JPS59230078A - 色分離フイルタ−の接着方法 - Google Patents
色分離フイルタ−の接着方法Info
- Publication number
- JPS59230078A JPS59230078A JP58105047A JP10504783A JPS59230078A JP S59230078 A JPS59230078 A JP S59230078A JP 58105047 A JP58105047 A JP 58105047A JP 10504783 A JP10504783 A JP 10504783A JP S59230078 A JPS59230078 A JP S59230078A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color separation
- separation filter
- solid
- adhesive
- adsorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、色分離フィルターの接着方法に関する。
色分離性のカラーフィルターは、特に近年半導体製造技
術の進歩に伴ない、二次元画像を電気信号に変換するた
めの素子として従来の撮像管の代わりに固体撮像素子が
用いられるにつれ多用され、その重要性が増している。
術の進歩に伴ない、二次元画像を電気信号に変換するた
めの素子として従来の撮像管の代わりに固体撮像素子が
用いられるにつれ多用され、その重要性が増している。
例えば、ＣＣＤ（チャージカップルドデバイス） 、Ｍ
ＯＳ （メタルオキサイドセミコンダクター）、ＢＢＤ
（パケットブリゲートデバイス）、ＣＩＤ（チャージ
インジェクションデバイス）′４と呼ばれる固体撮像素
子は、微細に分割された多数の受光部と、この受光部か
らの情報を取り出すための駆動回路が一つのチップに収
容されて形成されている。固体撮像素子を用いたカラー
カメラは、これらＣＣＤ等の固体撮像素子の各画素に対
向させて、例えば赤、緑、青の各色からなるフィルター
素子がモザイク状あるいはストライプ状に形成された色
分離フィルターを配置することにより、カラー信号を取
り出している。現在、このような固体撮像素子の大部分
は、上記のような受光素子又は表示素子等の基板上に、
色分離フィルターを接着することにより製造されるのが
一般的である。
ＯＳ （メタルオキサイドセミコンダクター）、ＢＢＤ
（パケットブリゲートデバイス）、ＣＩＤ（チャージ
インジェクションデバイス）′４と呼ばれる固体撮像素
子は、微細に分割された多数の受光部と、この受光部か
らの情報を取り出すための駆動回路が一つのチップに収
容されて形成されている。固体撮像素子を用いたカラー
カメラは、これらＣＣＤ等の固体撮像素子の各画素に対
向させて、例えば赤、緑、青の各色からなるフィルター
素子がモザイク状あるいはストライプ状に形成された色
分離フィルターを配置することにより、カラー信号を取
り出している。現在、このような固体撮像素子の大部分
は、上記のような受光素子又は表示素子等の基板上に、
色分離フィルターを接着することにより製造されるのが
一般的である。
従来、このような固体撮像素子の製造に於いては、固体
撮像素子と色分離フィルターの接着を行う場合、接着剤
層の厚みをｌ〇−程度以ドとし、アライメント精度を１
μ程度とすることが要請されている。このような精度で
色分離フィルターの接着を実施するには、紫外線硬化型
の接着剤を用い、マスクアライナ−等の装置を利用する
ことにより、固体撮像素子の絵素部と色分離フィルター
の位置合わせを精度よ〈実施することが可能であり、位
置合わせが完了した直後に紫外線を照射することにより
、短時間に接着剤層の硬化を実施することが可能である
。
撮像素子と色分離フィルターの接着を行う場合、接着剤
層の厚みをｌ〇−程度以ドとし、アライメント精度を１
μ程度とすることが要請されている。このような精度で
色分離フィルターの接着を実施するには、紫外線硬化型
の接着剤を用い、マスクアライナ−等の装置を利用する
ことにより、固体撮像素子の絵素部と色分離フィルター
の位置合わせを精度よ〈実施することが可能であり、位
置合わせが完了した直後に紫外線を照射することにより
、短時間に接着剤層の硬化を実施することが可能である
。
しかしながら、この接着方法にも問題点が存在する。す
なわち、固体撮像素子上に塗布した接着剤中に気泡が混
入している場合には、色分離フィルターを添着する前に
予め脱泡処理を実施することにより接着剤中の気泡を除
去することがり能である。しかし、添着時に接着剤層と
色分離フィルターとの界面に発生した気泡については、
従来は第１図に示されるように、そのままの状態で接着
剤層の硬化が行われていたため、気泡が接着剤層中に残
存し、この気泡が画像欠陥を引き起す原因となっていた
。
なわち、固体撮像素子上に塗布した接着剤中に気泡が混
入している場合には、色分離フィルターを添着する前に
予め脱泡処理を実施することにより接着剤中の気泡を除
去することがり能である。しかし、添着時に接着剤層と
色分離フィルターとの界面に発生した気泡については、
従来は第１図に示されるように、そのままの状態で接着
剤層の硬化が行われていたため、気泡が接着剤層中に残
存し、この気泡が画像欠陥を引き起す原因となっていた
。
本発明の目的は、このような接着剤層中に気泡が残存し
たまま接着が行われやすい従来技術の欠点を改良した、
新規な色分離フィルターの接着方法を提供することにあ
る。
たまま接着が行われやすい従来技術の欠点を改良した、
新規な色分離フィルターの接着方法を提供することにあ
る。
すなわち、本発明の色分離フィルターの接着方法は、固
体撮像素子の上に接着剤を介して色分離フィルターを接
着する方法に於いて、その吸着面が凸曲面形状の色分離
フィルター吸着用部材を用いて、色分離フィルターを該
吸着用部材の吸着面に吸着させ、該色分離フィルターを
凸曲面状に保ちつつ固体撮像素子上に添着し、しかる後
に接着剤を硬化させることを特徴とする。
体撮像素子の上に接着剤を介して色分離フィルターを接
着する方法に於いて、その吸着面が凸曲面形状の色分離
フィルター吸着用部材を用いて、色分離フィルターを該
吸着用部材の吸着面に吸着させ、該色分離フィルターを
凸曲面状に保ちつつ固体撮像素子上に添着し、しかる後
に接着剤を硬化させることを特徴とする。
以ド、本発明による色分離フィルターの接着方法を図面
に基づいて説明する。第２〜４図は、本発明の接着方法
に用いる色分離フィルター吸着用部材の吸着面の幾つか
の態様を示すための部分平面図及びその断面図である。
に基づいて説明する。第２〜４図は、本発明の接着方法
に用いる色分離フィルター吸着用部材の吸着面の幾つか
の態様を示すための部分平面図及びその断面図である。
これらの図から明らかなように、本発明の接着方法で使
用される色分離フィルター吸着用部材１は、吸着面２が
凸曲面状を呈するものである。なお、凸曲面状とは、ロ
ール状の湾曲曲面形状だけではなく球面形状をも含むも
のである。吸着面２の曲率としては、 Ｒ＝ １００
−１０１０００（ｆｆｉ 、好ましくはＲ＝２００〜５
００程度が適当である。吸着用部材ｌは、透明性の材料
１通常はガラスを使用して製造され、真空吸着用の溝３
が形成された後、吸着面２を例えば光学研磨することに
より製造される。真空吸着用の溝３の設は方としては種
々の態様が選択でき、これらが第２〜４図に示されてい
が、色分離フィルター４を吸着面２に吸着させた際に、
色分離フィルター４が固体撮像素子５の面側に凸曲面状
を呈することができればどのようなものであってもよい
。
用される色分離フィルター吸着用部材１は、吸着面２が
凸曲面状を呈するものである。なお、凸曲面状とは、ロ
ール状の湾曲曲面形状だけではなく球面形状をも含むも
のである。吸着面２の曲率としては、 Ｒ＝ １００
−１０１０００（ｆｆｉ 、好ましくはＲ＝２００〜５
００程度が適当である。吸着用部材ｌは、透明性の材料
１通常はガラスを使用して製造され、真空吸着用の溝３
が形成された後、吸着面２を例えば光学研磨することに
より製造される。真空吸着用の溝３の設は方としては種
々の態様が選択でき、これらが第２〜４図に示されてい
が、色分離フィルター４を吸着面２に吸着させた際に、
色分離フィルター４が固体撮像素子５の面側に凸曲面状
を呈することができればどのようなものであってもよい
。
このような色分離フィルター吸着用部材ｌを使用する本
発明の接着方法を模式的に示したのが第５図である。色
分離フィルター４は、接着に際して吸着用部材ｌにより
真空吸着される。吸着面２が凸曲面状を呈しているので
、吸着された色分離フィルター４は、固体撮像素子５面
側に凸曲面状を呈する。次に吸着面２に吸着された色分
離フィルター４を、固体撮像素子５に２０ＪＬｌｌ程度
まで近接させ、色分離フィルター４と固体撮像素子５の
絵素部とをアライナ−等により位置合わせを行う。
発明の接着方法を模式的に示したのが第５図である。色
分離フィルター４は、接着に際して吸着用部材ｌにより
真空吸着される。吸着面２が凸曲面状を呈しているので
、吸着された色分離フィルター４は、固体撮像素子５面
側に凸曲面状を呈する。次に吸着面２に吸着された色分
離フィルター４を、固体撮像素子５に２０ＪＬｌｌ程度
まで近接させ、色分離フィルター４と固体撮像素子５の
絵素部とをアライナ−等により位置合わせを行う。
この際に吸着用部材ｌが透明なものであれば容易に位置
合わせが可能である。次いで、吸着用部材１を接着剤層
が１０ｕ程度の厚さになるまで固体撮像素子５に近接さ
せる。このようにすると、色分離フィルター４は、固体
撮像素子５上に塗布若しくは滴下されている接着剤６に
対して、先ず線若しくは点接触し、吸着用部材を徐々に
固体撮像素子５側に近づけることにより吸着された色分
離フィルター４と接着剤６との接触面は徐々に広がり、
これにより添着時に接着層と色分離フィルターとの界面
に気泡が混入するのを排除することが可能である。また
、たとえ添着時に接着層中に気泡が混入したとしても、
最初に色分離フィルターの中央部が接着剤６と接し、接
触面が広がるにつれて、接着剤６は中央部から外周部に
広げられていくために、接着剤層中に混入した気泡は色
分離フィルター４の外周部に押し出される効果もあり、
接着層中あるいは接着界面に気泡が残存することは殆ど
排除される。その後色分離フィルター吸着部材の真空を
開放し、吸着部材と色分離フィルターとを離脱させ、次
いで接着剤、を硬化させることにより色分離フィルター
と固体撮像素子との接着が完了し、固体撮像素子が完成
される。
合わせが可能である。次いで、吸着用部材１を接着剤層
が１０ｕ程度の厚さになるまで固体撮像素子５に近接さ
せる。このようにすると、色分離フィルター４は、固体
撮像素子５上に塗布若しくは滴下されている接着剤６に
対して、先ず線若しくは点接触し、吸着用部材を徐々に
固体撮像素子５側に近づけることにより吸着された色分
離フィルター４と接着剤６との接触面は徐々に広がり、
これにより添着時に接着層と色分離フィルターとの界面
に気泡が混入するのを排除することが可能である。また
、たとえ添着時に接着層中に気泡が混入したとしても、
最初に色分離フィルターの中央部が接着剤６と接し、接
触面が広がるにつれて、接着剤６は中央部から外周部に
広げられていくために、接着剤層中に混入した気泡は色
分離フィルター４の外周部に押し出される効果もあり、
接着層中あるいは接着界面に気泡が残存することは殆ど
排除される。その後色分離フィルター吸着部材の真空を
開放し、吸着部材と色分離フィルターとを離脱させ、次
いで接着剤、を硬化させることにより色分離フィルター
と固体撮像素子との接着が完了し、固体撮像素子が完成
される。
なお、接着剤は必ずしも固体撮像素子５上に塗布する態
様に限定ｙれず、色分離フィルター４上に塗布されてい
てもよい。また、色分離フィルター４と固体撮像素子５
との添着に先立ち、接着剤６中の気泡の脱泡処理を実施
してももちろんさしつかえない。
様に限定ｙれず、色分離フィルター４上に塗布されてい
てもよい。また、色分離フィルター４と固体撮像素子５
との添着に先立ち、接着剤６中の気泡の脱泡処理を実施
してももちろんさしつかえない。
本発明の方法に使用される接着剤としては、比較的低粘
度の、熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤の一種以北
が使用できる。
度の、熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤の一種以北
が使用できる。
本発明の色分離フィルターの接着方法によれば、従来使
用されてきた色分離フィルター吸着用部材を僅かに改変
したものを使用することだけによって、接着層中に気泡
が残存することがなく、画像欠陥を生じない固体撮像素
子を製造することが可能である。
用されてきた色分離フィルター吸着用部材を僅かに改変
したものを使用することだけによって、接着層中に気泡
が残存することがなく、画像欠陥を生じない固体撮像素
子を製造することが可能である。
第１図は、従来の色分離フィルターの接着方法により製
造された固体撮像素子を示す模式図である。第２〜４図
は、本発明の接着方法に用いる色分離フィルター吸着用
部材の吸着面の幾つかの態様を示すための部分平面図及
びその断面図である。第５図は、本発明の色分離フィル
ターの接着方法を示す模式図である。 ｌ二色分離フィルター吸着用部材 ２：吸着面 ３：真空吸着用の溝 ４：色分離フィルター ５：固体撮像素子 ６：接着剤 ７：パンケージ 第１因 第２図 第３図 第４図 第５図
造された固体撮像素子を示す模式図である。第２〜４図
は、本発明の接着方法に用いる色分離フィルター吸着用
部材の吸着面の幾つかの態様を示すための部分平面図及
びその断面図である。第５図は、本発明の色分離フィル
ターの接着方法を示す模式図である。 ｌ二色分離フィルター吸着用部材 ２：吸着面 ３：真空吸着用の溝 ４：色分離フィルター ５：固体撮像素子 ６：接着剤 ７：パンケージ 第１因 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 固体撮像素子の上に接着剤を介して色分離フィルターを
接着する方法に於いて、その吸着面が凸曲面形状の色分
離フィルター吸着用部材を用いて、色分離フィルターを
該吸着用部材の吸着面に吸着させ、該色分離フィルター
を凸曲面状に保ちつつ固体撮像素子上に添着し、しかる
後に接着剤を硬化させることを特徴とする色分離フィル
ターの接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58105047A JPS59230078A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58105047A JPS59230078A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230078A true JPS59230078A (ja) | 1984-12-24 |
Family
ID=14397080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58105047A Pending JPS59230078A (ja) | 1983-06-14 | 1983-06-14 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230078A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01135439A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-29 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | ウェハー製造方法、及びその製造装置 |
-
1983
- 1983-06-14 JP JP58105047A patent/JPS59230078A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01135439A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-29 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | ウェハー製造方法、及びその製造装置 |
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