JPS59223820A - 可動部材位置表示装置 - Google Patents
可動部材位置表示装置Info
- Publication number
- JPS59223820A JPS59223820A JP6311284A JP6311284A JPS59223820A JP S59223820 A JPS59223820 A JP S59223820A JP 6311284 A JP6311284 A JP 6311284A JP 6311284 A JP6311284 A JP 6311284A JP S59223820 A JPS59223820 A JP S59223820A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spool
- coil
- valve
- inductance
- magnetic material
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
- G05D3/12—Control of position or direction using feedback
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本−A明は位置トランスジューサに関し、そして制約的
ではないが特にザーボ弁内のスプールの位置を決定する
ためのトランスジューサに関する。
ではないが特にザーボ弁内のスプールの位置を決定する
ためのトランスジューサに関する。
従来型式のサーボ弁において、スゾール〃ζトルクモー
タのアーマチュアの動きで制御される液圧増幅装置によ
って動かされ、そしてそのスプールの位置の変化が、該
アーマチュアに復原力を与える片持ち装架ばねによって
検知される。このようにしてスプールはモータを通る電
、泥によって決められる位置に設定される。そのような
構成はそれなシに充分な操作を行うものではあるが、ば
ねを正確に位置決めして装架しなければならず、そして
その場合でも弁の精度は機械的フィーPバック装置によ
って限定される。
タのアーマチュアの動きで制御される液圧増幅装置によ
って動かされ、そしてそのスプールの位置の変化が、該
アーマチュアに復原力を与える片持ち装架ばねによって
検知される。このようにしてスプールはモータを通る電
、泥によって決められる位置に設定される。そのような
構成はそれなシに充分な操作を行うものではあるが、ば
ねを正確に位置決めして装架しなければならず、そして
その場合でも弁の精度は機械的フィーPバック装置によ
って限定される。
本発明によれば、可動部材の位置を表示するための装置
が、いずれか一方が該可動部材と共に動くように装架さ
れるピックアップコイルと磁性材料部材、及び該コイル
のインダクタンスの変化を測定する装置をψ1ηえる。
が、いずれか一方が該可動部材と共に動くように装架さ
れるピックアップコイルと磁性材料部材、及び該コイル
のインダクタンスの変化を測定する装置をψ1ηえる。
該磁性材料部材が該可aJ部材上またはこれの延長部上
に装架されてよい。
に装架されてよい。
該測定装置は、該ピンクアップコイルのインダクタンス
によって発振周波数が決められるオシレータを備えるこ
とができる。
によって発振周波数が決められるオシレータを備えるこ
とができる。
該オシレータはコルピッツオシレータにされよう。
本発明を実施する位置トランスジューサは特に、ピック
アップコイルまたは磁性材料部材が仕事流体の中に漬ゆ
られるような用途に通している。
アップコイルまたは磁性材料部材が仕事流体の中に漬ゆ
られるような用途に通している。
本発明の他の特徴によれば、サーボ弁が弁スプールの位
置を表示するための装置を備え、この表示装置は、いず
れか一方が該スツールと共に動くように装架されるピッ
クアップコイルと磁性材料部材、及び該コイルのインダ
クタンスの変化全測定する装置を備える。
置を表示するための装置を備え、この表示装置は、いず
れか一方が該スツールと共に動くように装架されるピッ
クアップコイルと磁性材料部材、及び該コイルのインダ
クタンスの変化全測定する装置を備える。
次に実例として、添付図面を参照に本発明を実施するサ
ーボ弁f:詳細に説明する。
ーボ弁f:詳細に説明する。
第1図に示されるように、サーボ弁スツール1が弁体部
3内のスライドウェイ2の中に長手方向に動くように装
架される。スプール1と弁体部3とは一部のみ示される
。
3内のスライドウェイ2の中に長手方向に動くように装
架される。スプール1と弁体部3とは一部のみ示される
。
スプール1の延長部4が小さなフェライトコア5を担持
している。体部3の端壁に固定される端 ゛部キ
ャップ8の端部に設けられた孔7の中に設置されるフォ
ーマ上にピックアップコイル60層が巻かれ、そして上
記フェライトコア5は、スツール1が図示の「休止」の
位置に在るとき、ピックアップコイル6に対し中心に位
置する。孔7はシール9によって閉じられ、そのシール
にコイル6からの出力リード10が通される。シール1
1がスライドウェイ2から液圧流体の漏洩するのを防ぐ
。
している。体部3の端壁に固定される端 ゛部キ
ャップ8の端部に設けられた孔7の中に設置されるフォ
ーマ上にピックアップコイル60層が巻かれ、そして上
記フェライトコア5は、スツール1が図示の「休止」の
位置に在るとき、ピックアップコイル6に対し中心に位
置する。孔7はシール9によって閉じられ、そのシール
にコイル6からの出力リード10が通される。シール1
1がスライドウェイ2から液圧流体の漏洩するのを防ぐ
。
使用において、スツール1の動きによってフェライトコ
ア5がピックアップコイル6に対して動かされ、これに
よってコイル6のインダクタンスに変化が生じ、この変
化が測定されることによシスノール1の動きの大きざが
表示される。そのインダクタンス変化から発せられる制
御信号が後述のように使用されるフィードバック信号と
なってスプール1の位置決めを助けるのである。
ア5がピックアップコイル6に対して動かされ、これに
よってコイル6のインダクタンスに変化が生じ、この変
化が測定されることによシスノール1の動きの大きざが
表示される。そのインダクタンス変化から発せられる制
御信号が後述のように使用されるフィードバック信号と
なってスプール1の位置決めを助けるのである。
第2図は、コイル6のインダクタンスの変化を測定し、
そこから制御信号を発するための回路のダイアダラムで
ある。
そこから制御信号を発するための回路のダイアダラムで
ある。
コイル6はキャパシタ(C2)及び(C6)と連繋して
、トランクδり(TR1)を含むコルピッツオシレータ
の同調回路を作る。そのオシレータの諸パラメータは、
スプール1が中央休止位置に在シ、従ってコア5がピッ
クアップコイル6の中心に在るとき、成る既知の周波数
を持つように設計される。
、トランクδり(TR1)を含むコルピッツオシレータ
の同調回路を作る。そのオシレータの諸パラメータは、
スプール1が中央休止位置に在シ、従ってコア5がピッ
クアップコイル6の中心に在るとき、成る既知の周波数
を持つように設計される。
スツール1が第1図で左かまた鉱石へ動くとオシレータ
の発振周波数に変化が生じる。
の発振周波数に変化が生じる。
オシレータの出力は、エミッタホロワとしてJ巣作する
増幅段(TR2)により緩衝されてから、レジスタ(R
5) ’e通シ、液圧リミッタとして」条部する集積回
路(IC1)の入力の1つに接続され、そしてその集積
回路(IC1)の出力はキャパシタ(C4) f通って
位相ロックループ集積回路(IC2)を駆動する。ダイ
オード(Dl)と(D2)は集積回路(IC2)に加え
られる最大入力′液圧スイングを制限する。
増幅段(TR2)により緩衝されてから、レジスタ(R
5) ’e通シ、液圧リミッタとして」条部する集積回
路(IC1)の入力の1つに接続され、そしてその集積
回路(IC1)の出力はキャパシタ(C4) f通って
位相ロックループ集積回路(IC2)を駆動する。ダイ
オード(Dl)と(D2)は集積回路(IC2)に加え
られる最大入力′液圧スイングを制限する。
集積回路(IC2)の出力はレジスタ(R12)を介し
て位相コンパレータ集積回路(ICろ)へ送られる。
て位相コンパレータ集積回路(ICろ)へ送られる。
この集積回路(IC5)の出力信号のマグニチュードは
、コルピッツオシレータの周及数変化に対応して変化す
る。
、コルピッツオシレータの周及数変化に対応して変化す
る。
長さ’7+m1外径6.5朋の非磁性7オーマ上に巻か
れた2層の2 E3 swgワイヤで成るピックアップ
コイル6と連繋する長さ8朋、直径4.5mmの円筒形
フェライトコア5、及び、スプール1が中央零位置に在
り、コイル6がコア5に対し中心且つ同軸になっている
とき75 Q kHzで発振するように設計されたコル
ピッツオシレータを使用した場合、スプール1の長手方
向位置が1.25mm変化すると、発振周波数に75
kHzの式化が生じる。オシレータ同調に対する漂遊キ
ャパシタンスの効果を最少にするため、オシレータのL
C比は最小のインダクタンスをもつものとされる。これ
によってスプールの動きによるキャパシタンス効果が峡
少にされ、サーボ弁全爆発の危険性のある雰囲気中でも
使用できるようにする内在的な安全性が備えられる。ま
たコイル6の層状の巻線は、スプールの動きとオシレー
タ周波数との間に良好な線形関係を作るのを助ける。
れた2層の2 E3 swgワイヤで成るピックアップ
コイル6と連繋する長さ8朋、直径4.5mmの円筒形
フェライトコア5、及び、スプール1が中央零位置に在
り、コイル6がコア5に対し中心且つ同軸になっている
とき75 Q kHzで発振するように設計されたコル
ピッツオシレータを使用した場合、スプール1の長手方
向位置が1.25mm変化すると、発振周波数に75
kHzの式化が生じる。オシレータ同調に対する漂遊キ
ャパシタンスの効果を最少にするため、オシレータのL
C比は最小のインダクタンスをもつものとされる。これ
によってスプールの動きによるキャパシタンス効果が峡
少にされ、サーボ弁全爆発の危険性のある雰囲気中でも
使用できるようにする内在的な安全性が備えられる。ま
たコイル6の層状の巻線は、スプールの動きとオシレー
タ周波数との間に良好な線形関係を作るのを助ける。
(ICI)は6140型、そして(IC2)は5m56
5型にすることができよう。(IC1)は(IC2)へ
+/−500mvの範囲内の出力を送る。(IC2)の
電圧制御されるオシレータの周波数はキャパシタ(C5
)及びレジスタ(RIO)と連累する成位差計(VRl
)によって決定される。そのループの捕捉範囲は呼称中
央周波数の+/−50%である。
5型にすることができよう。(IC1)は(IC2)へ
+/−500mvの範囲内の出力を送る。(IC2)の
電圧制御されるオシレータの周波数はキャパシタ(C5
)及びレジスタ(RIO)と連累する成位差計(VRl
)によって決定される。そのループの捕捉範囲は呼称中
央周波数の+/−50%である。
10のゲインを採る6140型の(IC3)は、スプー
ルの動き0.025mm当り10tnVの全システムの
伝達関数にする。
ルの動き0.025mm当り10tnVの全システムの
伝達関数にする。
上述のようなシステムはスゾール動きの非常に高感度で
正確な表示を行う。該システムの更に別の長所として、
永久磁気路が無いため、使用液圧流体中に存在すること
のある鉄全含有する破片がコイルとコアの近傍に溜祉る
傾向がなくなる。
正確な表示を行う。該システムの更に別の長所として、
永久磁気路が無いため、使用液圧流体中に存在すること
のある鉄全含有する破片がコイルとコアの近傍に溜祉る
傾向がなくなる。
上記のようなコアまたはコイルの動きを検出する装置を
組込んだサーボ弁が第6図に断面示される。スプール1
がスリーブ組立体12内に長手方向に動くよう装架され
る。そのスリーブ12は体部3内でrolリング上に浮
動装架され、これによって、スプール1が僅かな凹凸の
あるマニホルド内に装架された場合に加わるような副方
向の荷重からスプールを隔絶する。スリーブ12は偏心
ピン(図示せず)によって所定位置に正確に設定される
。
組込んだサーボ弁が第6図に断面示される。スプール1
がスリーブ組立体12内に長手方向に動くよう装架され
る。そのスリーブ12は体部3内でrolリング上に浮
動装架され、これによって、スプール1が僅かな凹凸の
あるマニホルド内に装架された場合に加わるような副方
向の荷重からスプールを隔絶する。スリーブ12は偏心
ピン(図示せず)によって所定位置に正確に設定される
。
スプールは゛供給口13から来る液圧流体全制御して管
状フィルタ14ff:通し、スリーブ12の出力口17
.18’を介して2つの出力制御口15゜16のいずれ
か一方へ送る。
状フィルタ14ff:通し、スリーブ12の出力口17
.18’を介して2つの出力制御口15゜16のいずれ
か一方へ送る。
スツール1はこれの両端面における流体圧力差によって
作動される。その圧力差は、体部2に取付けられるハウ
ジング21内の磁気モータのアーマチュア20に取イ」
ケられた7ラツパ19によって制御される。そのモータ
は、24で概略的に図示される付勢巻線と磁石をもった
上下極ピース22.23を備える。アーマチュア20は
、体部2上に装架される可撓管25上に支持される。フ
ラッパ19は可撓管25内に延在し、そしてノズル26
.27と共同して、スツール1に掛かる圧力差を制御す
る。
作動される。その圧力差は、体部2に取付けられるハウ
ジング21内の磁気モータのアーマチュア20に取イ」
ケられた7ラツパ19によって制御される。そのモータ
は、24で概略的に図示される付勢巻線と磁石をもった
上下極ピース22.23を備える。アーマチュア20は
、体部2上に装架される可撓管25上に支持される。フ
ラッパ19は可撓管25内に延在し、そしてノズル26
.27と共同して、スツール1に掛かる圧力差を制御す
る。
このシステムは、通常の閉じループ制御装置において、
操作する。現在のスプール位置を表示する(工C3)か
らの出力が所要スプール位置を表示する信号と比較され
、そしてその結果の誤差信号が、必要に応じて増幅され
て、電磁石の巻線を付勢するために送られる電流全決定
する。
操作する。現在のスプール位置を表示する(工C3)か
らの出力が所要スプール位置を表示する信号と比較され
、そしてその結果の誤差信号が、必要に応じて増幅され
て、電磁石の巻線を付勢するために送られる電流全決定
する。
スプールの動きの上述のようにして得られる表示が正確
であるほど、サーボ弁はより正鉋且つ精密に操作する。
であるほど、サーボ弁はより正鉋且つ精密に操作する。
第4図は本発明のサーボ弁の第2実施例の、第1図と同
様な断面図を示す。第4図において、第1図の部品と対
応する部品には同じ参照番号が付けられる。
様な断面図を示す。第4図において、第1図の部品と対
応する部品には同じ参照番号が付けられる。
第4図に示される実施例において、フェライトコア5は
短かいロンド状の支持28の一方のyJ部に担持される
。この支持28は、これの他端郡に近い方の個所に固定
されたディスク31と端部キャップ8の端壁30との間
に設置されるばね29によって荷重を掛けられている。
短かいロンド状の支持28の一方のyJ部に担持される
。この支持28は、これの他端郡に近い方の個所に固定
されたディスク31と端部キャップ8の端壁30との間
に設置されるばね29によって荷重を掛けられている。
ばね29は支持28を、これがスプール1の端面32と
接触するように保持し、従って支持28はスプール1と
一緒に動く。ばね29の荷重は、支持28を常にスプー
ル1と]妾触させておくだけのものであればよい。
接触するように保持し、従って支持28はスプール1と
一緒に動く。ばね29の荷重は、支持28を常にスプー
ル1と]妾触させておくだけのものであればよい。
ここに記述してきたコイル/コア構成は、サーボ弁以外
の型式の弁のスプールの動@全表示するのにも利用でき
ることは理解されよう。
の型式の弁のスプールの動@全表示するのにも利用でき
ることは理解されよう。
例えば、直接、1ハ動弁において、スプールはリニア電
気モータによって直接駆動される。ここに述べてきたよ
うなコア/コイル構成を組込むことによ勺、スプールの
位置を任意の時点で表示でき、あるいはまたその検出装
置の出力を利用して制御ループを閉じ、こうしてサーボ
システムを形成することができよう。
気モータによって直接駆動される。ここに述べてきたよ
うなコア/コイル構成を組込むことによ勺、スプールの
位置を任意の時点で表示でき、あるいはまたその検出装
置の出力を利用して制御ループを閉じ、こうしてサーボ
システムを形成することができよう。
更に本発明のコア/コイル式検出装置は、弁以外の装置
の可動要素の位置の表示や動きの測定を行うのに利用で
きる。例えば、その検出装置を使って短ストローク液圧
作動器または液圧モータの監視を行うことができよう。
の可動要素の位置の表示や動きの測定を行うのに利用で
きる。例えば、その検出装置を使って短ストローク液圧
作動器または液圧モータの監視を行うことができよう。
第1図は第1サーボ弁の部分のR略IEf面図、第2図
は回路ダイアダラム、第6図は第1図のサーボ弁の詳細
断面図、第4図は第2サーボ弁の部分の概略断面図であ
る。 1・・・サーボ弁スプール、2・・・スライドウェイ、
3・・・弁体部、4・・・スプール延長部、5・・・フ
ェライトコア、6・・・ピックアップコイル、8・・・
端部キャップ、10・・・出力リード、12・・・スリ
ーブi且立体、13・・・激圧流体供給口、15.16
・・・出力制御口、19・・・フラッパ、20・・・磁
気モータアーマチュア、21・・・磁気モータノ・ウジ
ング、22.23・・・極ピース、24・・・巻;腺、
25・・・可撓’#s26,27・・・ノズル、28・
・・フェライトコア支持、29・・・ばね、32・・・
スプール端面。 代理人 浅 村 皓
は回路ダイアダラム、第6図は第1図のサーボ弁の詳細
断面図、第4図は第2サーボ弁の部分の概略断面図であ
る。 1・・・サーボ弁スプール、2・・・スライドウェイ、
3・・・弁体部、4・・・スプール延長部、5・・・フ
ェライトコア、6・・・ピックアップコイル、8・・・
端部キャップ、10・・・出力リード、12・・・スリ
ーブi且立体、13・・・激圧流体供給口、15.16
・・・出力制御口、19・・・フラッパ、20・・・磁
気モータアーマチュア、21・・・磁気モータノ・ウジ
ング、22.23・・・極ピース、24・・・巻;腺、
25・・・可撓’#s26,27・・・ノズル、28・
・・フェライトコア支持、29・・・ばね、32・・・
スプール端面。 代理人 浅 村 皓
Claims (9)
- (1)可動部材の位t’を表示するための装置において
、いずれか一方が該可動部材と共に動くように装架され
るピックアップコイルと磁性材料部材、及び該コイルの
インダクタンスの変化を測定する装置を備える装置。 - (2) 特許請求の範囲第1項の装置において、該磁
性材料部材が該可動部材上またはこれの延長部上に装架
される、装置。 - (3)特許請求の範囲第1:lJtまたは第2項の装置
において、該コイルまたは該磁性材料部材が、該可動部
材から分離されているがそれと共に動くように植成され
た支持によって担持される、装置。 - (4)特許請求の範囲第1項、第2 JA% または第
3項の装置において、該測定装置が、該ピックアップコ
イルのインダクタンスにょっ<’4振周波畝が決められ
るオシレータを備える、装置。 - (5)特許請求の範囲第4項の装置において、該オシレ
ータがコルピッツオシレータである、装置。 - (6)特許請求の範囲第4項または第5項の装置におい
て、該ピックアップコイルのインダクタンスが最小限度
のものとされる、装置。 - (7)弁スプールの動!’tm11屋するための特許請
求の範囲前記任慧1′JAの装置を備える弁。 - (8)特許請求の範囲第7項の弁において、該磁性材料
部材が該弁スプール上またはこれの延長部上に装架され
る、弁。 - (9)4¥−許請求の範囲第8唄の弁において、該磁性
材料部材が管形状にされ、該ピックアップコイル力4亥
磁性材料部材に対し同軸的に装架される、装置0
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8308976 | 1983-03-31 | ||
GB8308976 | 1983-03-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59223820A true JPS59223820A (ja) | 1984-12-15 |
Family
ID=10540559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6311284A Pending JPS59223820A (ja) | 1983-03-31 | 1984-03-30 | 可動部材位置表示装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0124242A3 (ja) |
JP (1) | JPS59223820A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4907615A (en) * | 1987-11-05 | 1990-03-13 | Schenck Pegasus Corporation | High frequency response servovalve with electrical position feedback element structure and method |
DE9000605U1 (ja) * | 1990-01-20 | 1991-05-29 | Univam Peter Janssen-Weets Kg, 2878 Wildeshausen, De | |
DE19710318A1 (de) * | 1997-03-13 | 1998-09-17 | Mannesmann Rexroth Ag | Wegeventil |
US6470751B1 (en) | 1999-02-20 | 2002-10-29 | Lg Electronics Inc. | Vibration detecting apparatus and method thereof |
WO2005098299A1 (de) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Parker Hannifin Gmbh & Co. Kg | Ventilanordnung mit einem gekapselten wegmesssystem |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513288B2 (ja) * | 1973-06-18 | 1980-04-08 | ||
AT340732B (de) * | 1976-02-03 | 1977-12-27 | Frieseke & Hoepfner Gmbh | Elektro-hydraulisches regelventil |
GB1584707A (en) * | 1978-05-30 | 1981-02-18 | Hirschmann F | Control equipment for welding |
DE2916172C2 (de) * | 1979-04-21 | 1983-08-18 | Karl 7298 Loßburg Hehl | Proportionalventil für hydraulische Anlagen |
-
1984
- 1984-03-23 EP EP84301969A patent/EP0124242A3/en not_active Withdrawn
- 1984-03-30 JP JP6311284A patent/JPS59223820A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0124242A2 (en) | 1984-11-07 |
EP0124242A3 (en) | 1987-04-01 |
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