JPS59207845A - Manufacture of optical fiber preform - Google Patents

Manufacture of optical fiber preform

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JPS59207845A
JPS59207845A JP8148383A JP8148383A JPS59207845A JP S59207845 A JPS59207845 A JP S59207845A JP 8148383 A JP8148383 A JP 8148383A JP 8148383 A JP8148383 A JP 8148383A JP S59207845 A JPS59207845 A JP S59207845A
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optical fiber
preform
burner
porous
porous preform
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Japanese (ja)
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Takao Shioda
塩田 孝夫
Kazuo Sanada
和夫 真田
Suehiro Miyamoto
宮本 末広
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To manufacture an optical fiber preform capable of giving a continuous optical fiber having ideal refractive index distribution, by forming porous preforms corresponding to the inside and outside of core and clad with specific and respective silicon oxides, and vitrifying to transparent glass. CONSTITUTION:The vapor of glass raw materials is subjected to the vapor-phase chemical reaction in the flame of the burner 1 to form fine powder of glassy SiO2, Al2O3, ZrO2, etc., and deposited to the lower end of the rod-like substrate 2 forming a porous glass preform 3 to form the core. When the preform 3 is grown to a certain degree, the burner 4 is ignited to form the porous preform 5 corresponding to the inner layer of the clad, and then, the combustion of the burner 6 is started to form the porous preform 7 corresponding to the outer layer of the clad. The resultant porous preform having triple layer structure is if necessary dehydrated with chlorine gas, and vitrified and clarified with heat to obtain the objective optical fiber preform.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、特にディプレストクランド構造のシングル
モード光ファイバを得るに好適な光フアイバ母材の製法
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing an optical fiber preform particularly suitable for obtaining a single mode optical fiber having a depressed land structure.

シングルモード光ファイバの伝送特性を一層向上させた
ものに、第1図に示すような屈折率分布を持つディプレ
ストクラッド構造のシングルモード光ファイバが提案さ
れている。このティプレストクラッド構造のシングルモ
ード光ファイバは、第1図からも明らかなように、クラ
ッドの屈折率がその半径方向にステップ状に変化し、コ
アに近い部分の屈折率が低く、コアから遠い部分の屈折
率が高くなっている。このような屈折率分布を有するデ
ィプレストクラッド構造のシングルモード光ファイバは
、伝送損失が小さく、帯域特性が優れているという特長
を持っている。
In order to further improve the transmission characteristics of a single mode optical fiber, a single mode optical fiber having a depressed cladding structure and having a refractive index distribution as shown in FIG. 1 has been proposed. As is clear from Figure 1, in this single-mode optical fiber with a tipped cladding structure, the refractive index of the cladding changes in a stepwise manner in the radial direction, with the refractive index of the portion close to the core being low and the refractive index of the portion far from the core being low. The refractive index of the part is high. A single-mode optical fiber with a depressed clad structure having such a refractive index distribution has the features of low transmission loss and excellent band characteristics.

従来、このようなディプレストクラッド構造のシングル
モード光ファイバdcVD法によって製造されていた。
Conventionally, single mode optical fibers with such depressed cladding structures have been manufactured by the dcVD method.

CVD法によれば、屈折率分布の調節が精密に行えるの
で、第1図に示すようなキレの良い屈折率分布を示すも
のが得られるものの光フアイバ母材の大きさが制限され
、長尺光ファイバを得ることは不可能である。
According to the CVD method, the refractive index distribution can be precisely adjusted, so it is possible to obtain a material with a sharp refractive index distribution as shown in Figure 1, but the size of the optical fiber base material is limited, and long It is impossible to obtain optical fiber.

一方%VAD法は光フアイバ母材の太き盲に制限を受け
ず、長尺の光ファイバを得ることができるが、このVA
D 法を利用してディプレストクラッド構造のシングル
モード光ファイバを製造すると、例えば第2図に示すよ
うに屈折率分布がダして、完全なステップ状の屈折率分
布を持つものを得ることが不可能である。これは、クラ
ッドとなる多孔質プリフォームを形成する際、先に形成
されたコアとなる多孔質プリフォーム中の酸化ゲルマニ
ウムなどのドーパントの1部が揮散してクラッドとなる
ガラス微粒子と反応したり、脱水、透明ガラス化の際の
加熱によって反応もしくは揮散したり干るためである。
On the other hand, the %VAD method is not limited by the thick blindness of the optical fiber base material and can obtain long optical fibers.
When a single-mode optical fiber with a depressed cladding structure is manufactured using the D method, the refractive index distribution is depressed and a completely step-like refractive index distribution can be obtained, for example, as shown in Figure 2. It's impossible. This is because when forming the porous preform that will become the cladding, a part of the dopant such as germanium oxide in the porous preform that will become the core that was formed first evaporates and reacts with the glass particles that will become the cladding. This is because it reacts, evaporates, or dries due to heating during dehydration and transparent vitrification.

この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、理想的
な屈折率分布を有するディプレストクラッド構造のシン
グルモード光ファイバの長尺物を得ることのできる光フ
アイバ母材の製法を提供することを目的とするもので、
コアおよびクラッドとなる多孔質プリフォームのド−パ
ントを特定し、かつクラッドの内側部分となる多孔質プ
リフォームの形成にプラズマジェットを利用することを
特徴とするものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an optical fiber preform that can produce a long single-mode optical fiber having a depressed cladding structure and having an ideal refractive index distribution. The purpose is to
This method is characterized by specifying dopants for porous preforms that will become the core and cladding, and by using a plasma jet to form the porous preforms that will become the inner part of the cladding.

以下、図面を参照してとの発明の詳細な説明する。Hereinafter, the invention will be described in detail with reference to the drawings.

第3図は、この発明の製法に好適に用いられる製造装置
を示すもので、図中符号1はコアとなる多孔質プリフォ
ームを形成するための第1のバーナである。この第1の
バーナ1は、多重管構造の酸水素炎バーナであって、S
iC沼4、MCA3hZrc−134ガスなどのガラス
原料ガヘH2ガス、0□ガス、Ar  ガスなどが別々
に供給される。ガラス原料ガスは火炎中で熱加水分解反
応、熱酸化反応等の気相化学反応を受けて、S10□5
M203、zrO□などのガラス微粉末となり、回転し
ながら上方に移動する棒状基材2の先端に付着、堆積し
てコアとなる多孔質ガラスプリフォーム3が形成されて
ゆく。
FIG. 3 shows a manufacturing apparatus suitably used in the manufacturing method of the present invention, and reference numeral 1 in the figure is a first burner for forming a porous preform that becomes a core. This first burner 1 is an oxyhydrogen flame burner with a multi-tube structure, and is S
H2 gas, 0□ gas, Ar gas, etc. are separately supplied to glass raw material gases such as iC Swamp 4 and MCA3hZrc-134 gas. The glass raw material gas undergoes gas phase chemical reactions such as thermal hydrolysis reaction and thermal oxidation reaction in a flame, and then undergoes S10□5
The powder becomes fine glass powder such as M203 and zrO□, which adheres to and accumulates on the tip of the rod-shaped base material 2 that moves upward while rotating, forming a porous glass preform 3 that becomes the core.

ここで、屈折率を高めるドーパントに5to2.tりも
高融点のM2O3、zr02  などの品融点酸化物を
使用することがポイントである。M2O3、ZrO□な
どはその融点が例えば1600℃以上と高く後工程の塩
素((J2)ガスによる脱水や透明ガラス化の際の加熱
によっても、他のガラス成分と反応したり、あるいは揮
散したりすることがない。また、次のクラッドとなる多
孔質プリフォームの形成の際にも、そのガラス微粒子の
SIO□と反応することがない。したがって、A−82
03、zrO2などの高融点酸化物をドーパントとする
ことによって、コアとなるプリフォームの外IIt!l
Fa分の屈折率のダレがなく、理想的なステップ型の屈
折率分布とすることができる。
Here, 5to2. The key point is to use oxides with a high melting point such as M2O3 and ZR02. M2O3, ZrO□, etc. have high melting points, for example, over 1600°C, and may react with other glass components or volatilize during dehydration using chlorine (J2) gas in the subsequent process or heating during transparent vitrification. Also, during the formation of the porous preform that will become the next cladding, it will not react with the SIO□ of the glass particles.Therefore, A-82
By using a high melting point oxide such as 03, zrO2 as a dopant, the outside of the core preform IIt! l
There is no droop in the refractive index due to the Fa component, and an ideal step-type refractive index distribution can be achieved.

これに対し、一般に多用されるGe O2をドーパント
とすると、GeO2の融点は1100℃と低いため、上
記後工程においてGeO□が反応したり、揮散したりし
て、屈折率分布のダしたものしか得られない。
On the other hand, when GeO2, which is commonly used, is used as a dopant, the melting point of GeO2 is as low as 1100°C, so GeO□ reacts or evaporates in the above-mentioned post-process, resulting in only a product with a dull refractive index distribution. I can't get it.

つイテ、コアとなる多孔質ガラスプリフォーム3がある
程度生長すると、第1のバーナlの上方に設けられた第
2のバーナ4が燃焼を開始する。
When the porous glass preform 3 that becomes the core grows to a certain extent, the second burner 4 provided above the first burner 1 starts combustion.

この第2のバーナ4は、クラッドの内側部分の多孔質プ
リフォームを形成するもので、筒周波プラズマトーチと
なっている。すなわち、バーナ4の本体4aの外周には
高周波コイル4bが巻回され図示しない高周波電源に接
続されて高周波電流が通電される。また、バーナ本体4
aの基部からは本体4a内にプラズマ発生ガスとしての
Ar ガス、N2 ガス、馬 ガスなどが圧送され、こ
れによってプラズマジェットがバーナ4のノズルから放
射される。これと同時に、バーナ本体4aには5ick
4などのガラス原料ガス、0□ ガス、Ar ガスおよ
びフッ化物ガスが供給される。このフッ化物ガスは、B
F  、OF  、5tF4.PF4゜4 AgF2.  SF6 などの非金属元素のフン化物で
、常温付近でガス状態となっているものであシ、特にC
F4、SF6  が好ましい。バーナ4に供給された上
記ガスは、プラズマ中で気相化学反応を受け、5t−F
結合を有するガラス微粒子となり、コアとなる多孔質プ
リフォーム3上に付着、堆積し一クラットの内側部分と
なる多孔質プリフォーム5となる。この際、バーナ4か
らは、1万〜2万’にの超高温のプラズマジェットが放
蝕されるのでtバーナ4は先に形成されたコアとなる多
孔質プリフオーム3から十分離して設置されh  12
00〜1500℃程度にまで冷却したガラス微粒子が付
着、堆積するように留意される。
This second burner 4 forms a porous preform on the inner side of the cladding, and is a cylindrical frequency plasma torch. That is, a high frequency coil 4b is wound around the outer periphery of the main body 4a of the burner 4, and is connected to a high frequency power source (not shown) to supply high frequency current. In addition, the burner body 4
Ar gas, N2 gas, horse gas, etc. as plasma generating gas are pumped into the main body 4a from the base of the burner 4a, and a plasma jet is thereby emitted from the nozzle of the burner 4. At the same time, 5ick is applied to the burner body 4a.
Frit gas such as 4, 0□ gas, Ar gas, and fluoride gas are supplied. This fluoride gas is B
F, OF, 5tF4. PF4゜4 AgF2. It is a fluoride of non-metallic elements such as SF6, which is in a gas state at around room temperature, especially C.
F4 and SF6 are preferred. The above gas supplied to the burner 4 undergoes a gas phase chemical reaction in the plasma, resulting in 5t-F
The glass particles become bonded and adhere to and accumulate on the porous preform 3 that becomes the core, forming the porous preform 5 that becomes the inner part of one crat. At this time, the burner 4 emits an ultra-high temperature plasma jet of 10,000 to 20,000', so the burner 4 is installed sufficiently away from the previously formed porous preform 3 that will serve as the core. 12
Care must be taken to ensure that glass fine particles cooled to about 00 to 1500° C. adhere and deposit.

ここで、第2のバーナ4にプラズマトーチを用いたのは
、上述のようにプラズマは1万〜2万χと非常に高温と
なるためSl  とFとが反応し、51−F結合を持つ
ガラス微粒子が生成するためである。一般の酸水素炎バ
ーナでは、火炎の温度は約2480℃であるので%5i
−F結合が生じず、フッ化物ガスから分解したFが5i
O2Vc風に付着した状態となっており、このようなガ
ラス微粒子を堆積した多孔質プリフォームを脱水あるい
は透明ガラス化するとき、その高温雰囲気でFが揮散し
てしまい、十分に屈折率を下げることができなくなると
ともに屈折率が外側部分と内側部分で変化しへ平坦なス
テップ状にならなくなる。一方、Si−’FF結合有す
るガラス微粒子を堆積して形成した多孔質プリフォーム
は、Si  とFとが強固に結合しているので、脱水、
透明ガラス化の際にFが揮散することがなく、これらの
後工程を経ても屈折率の変化のないガラス母材が得られ
る。
Here, a plasma torch was used for the second burner 4 because, as mentioned above, the plasma has a very high temperature of 10,000 to 20,000 χ, so Sl and F react, forming a 51-F bond. This is because glass fine particles are generated. In a general oxyhydrogen flame burner, the flame temperature is approximately 2480°C, so %5i
-F bond does not occur and F decomposed from fluoride gas is 5i
When a porous preform on which such glass particles are deposited is dehydrated or made into transparent vitrification, F evaporates in the high temperature atmosphere, making it difficult to sufficiently lower the refractive index. At the same time, the refractive index changes between the outer portion and the inner portion, and the refractive index no longer becomes a flat step shape. On the other hand, porous preforms formed by depositing glass fine particles having Si-'FF bonds have strong bonds between Si and F, so dehydration and
F does not volatilize during transparent vitrification, and a glass base material whose refractive index does not change even after these post-processes can be obtained.

このようにして、第2のバーナ4によって、クラッドの
内側部分となる多孔質プリフォーム5が形成されたなら
ば、第2のバーナ4の上方に設けられた第3のバーナ6
が燃焼し、クラッドの外側部分となる多孔質プリフォー
ム7が形成される。
Once the porous preform 5, which will become the inner part of the cladding, is formed by the second burner 4 in this way, the third burner 6 provided above the second burner 4
is combusted, forming a porous preform 7 which becomes the outer part of the cladding.

第3のバーナ6は、多重管構造の酸水素炎/(−すで、
s t ci 4  ガス、馬 ガス、0□ ガス、A
r  ガス等が供給され、火炎中でSIO□のみからな
るガラス微粒子が生成される。このガラス微粒子は先に
形成されたクラッドの内側部分となる多孔質プリフォー
ム5上に付着、堆積し、クラッドの外側部分となる多孔
質プリフォーム7となる。
The third burner 6 has a multi-tube structure with an oxyhydrogen flame/(-
s t ci 4 Gas, horse Gas, 0□ Gas, A
r gas etc. are supplied, and glass fine particles consisting only of SIO□ are produced in the flame. These glass particles adhere and accumulate on the previously formed porous preform 5 which will become the inner part of the cladding, and become the porous preform 7 which will become the outer part of the cladding.

このようにして得られた三層構造の多孔質プリフォーム
は、必要に応じて塩素ガスによる脱水処理を受けたのち
、加熱されて透明ガラス化されて、光フアイバ母材とさ
れる。この透明ガラス化の際に、コアとなる多孔質プリ
フォーム3には高融点酸化物が含まれているので、加熱
温度は1600〜1700℃程度とされる。
The porous preform having a three-layer structure thus obtained is subjected to a dehydration treatment using chlorine gas as necessary, and then heated to be transparently vitrified and used as an optical fiber base material. During this transparent vitrification, since the porous preform 3 serving as the core contains a high melting point oxide, the heating temperature is about 1600 to 1700°C.

ついで、透明ガラス化された光フアイバ母材は。Next, the transparent vitrified optical fiber base material.

必要に応じて石兵ガラス管にジャケットさ才したのち、
常法によって溶融紡糸され、目的とするディプレスクラ
ンド構造のシングルモード光ファイバとされる。この溶
融紡糸に当っては、高融点酸化物が含まれているので、
溶融温度を1600〜1700℃以上と高くシ、かつ高
速紡糸全行って、光ファイバを急冷し一高融点酸化物の
再結晶化を防ぐことが必要である。
After adding a jacket to the Sekihei glass tube as necessary,
The fiber is melt-spun using a conventional method to obtain the desired single-mode optical fiber with a depressed-clamp structure. Since high melting point oxides are included in this melt spinning,
It is necessary to raise the melting temperature to 1,600 to 1,700° C. or higher, and to perform high-speed spinning in order to rapidly cool the optical fiber and prevent recrystallization of the high-melting-point oxide.

このような光フアイバ母材の製法によれば、コアとなる
多孔質プリフォーム3のドーパントにM2O3、zrO
2などの高融点酸化物を用いたので、後工程での加熱の
際にドーパントが反応したり、揮散したりすることがな
く、均一な屈折率を持つものとなる。また、クランドの
内側部分となる多孔質プリフォーム5には、プラズマト
ーチを利用して5l−F結合を有するガラス微粒子を堆
私したので、やはり後工程での加熱の際にFが反応した
カ揮散したりすることがなく、効果的に屈折率が低下さ
せられ(ディプレスト)、シかも平坦となる。よって、
この光フアイバ母材から得られる光ファイバは、第1図
に示すような理想的な屈折率分布を持つディプレストク
ラッド構造のシングルモード光ファイバとなる。
According to the manufacturing method of such an optical fiber base material, M2O3, zrO is added to the dopant of the porous preform 3 serving as the core.
Since a high melting point oxide such as No. 2 is used, the dopant does not react or volatilize during heating in the post-process, and has a uniform refractive index. In addition, since glass fine particles having 5l-F bonds were deposited on the porous preform 5, which is the inner part of the gland, using a plasma torch, there is also a risk of F reacting during heating in the post-process. There is no volatilization, the refractive index is effectively lowered (depressed), and the surface becomes flat. Therefore,
The optical fiber obtained from this optical fiber base material becomes a single mode optical fiber with a depressed clad structure having an ideal refractive index distribution as shown in FIG.

以下、実施例を示して具体的て説明する。Hereinafter, a specific explanation will be given by showing examples.

実施例 第3図に示す製造装置を用いて、光フアイバ母材を製造
した。
Example An optical fiber base material was manufactured using the manufacturing apparatus shown in FIG.

第1のバーナ1にSt(?i412 occ/分b Z
rC42rro=、鵠/分、H24,OJ3/分、0□
 10.0437分、 Ar 1.5−137分 を送
給し、棒状基材2の先端に直径12nDコアとなる多孔
質プリフォーム3を90狐/時間の生長速度で生長させ
た。
St (?i412 occ/min b Z
rC42rro=, Mouse/min, H24, OJ3/min, 0□
10.0437 minutes and Ar 1.5-137 minutes were supplied to grow a porous preform 3 having a core diameter of 12 nD at the tip of the rod-shaped base material 2 at a growth rate of 90 mm/hour.

第2のバーナ4として石英管の外周に径30鵡の高周波
コイル4bを巻回したものを用い、このコイル4blC
周波数13.5RaHz ffi力30KW(7)高周
波電力を供給し、プラズマジェットを発生した。石英管
の基部には5i(J。 1000cc/分、Ar4.0
.8/分、O□5.0437分、 CF42ocr:4
/分をそルぞれ同時に゛供給し、ガラス微粒子を生成し
、外径601Lmのクラッドの内10 &f1分となる
多孔質プリフォーム5を形成した。第2のバーナ4とプ
リフォーム5との距離(’;’ l 80 vsとした
As the second burner 4, a high frequency coil 4b having a diameter of 30 mm is wound around the outer periphery of a quartz tube, and this coil 4blC
A high frequency power with a frequency of 13.5 RaHz and an ffi power of 30 KW (7) was supplied to generate a plasma jet. 5i (J. 1000cc/min, Ar4.0
.. 8/min, O□5.0437min, CF42ocr:4
/min to each at the same time to generate glass fine particles and form a porous preform 5 having an outer diameter of 601 Lm and having a size of 10 &f1 minutes. The distance between the second burner 4 and the preform 5 (';' l 80 vs.

ついで第3のバーナ6に、S iC41800QC−7
分、H2S、 5.137分、0□ 87/分、Ar2
.0−g/分をそれぞれ供給し、SiO2のみからなる
クランドの外側部分となる多孔質プリフォーム7を形成
する。仕上り外径は907uLとした。
Next, in the third burner 6, SiC41800QC-7
min, H2S, 5.137 min, 0□ 87/min, Ar2
.. 0-g/min, respectively, to form a porous preform 7 which becomes the outer part of the crund consisting only of SiO2. The finished outer diameter was 907 uL.

得らnた三層構造の多孔質プリフォームを1680℃で
加熱し、透明ガラスrヒしたのち、引延し、石英パイプ
内に封入し、光フアイバ母材とした。この光フアイバ母
材を溶融紡糸して得ら2tた光ファイバの屈折率分布は
、第4図に示すようにほぼ完全なディプレストクラッド
構造であり、この光ファイバは通常のシングルモード光
ファイバに比べ、屈曲特性にすぐれ、伝送損失も安定で
あった。
The obtained porous preform with a three-layer structure was heated at 1680° C. and heated with transparent glass, then stretched and sealed in a quartz pipe to obtain an optical fiber base material. The refractive index distribution of the 2t optical fiber obtained by melt-spinning this optical fiber base material has an almost perfect depressed clad structure as shown in Figure 4, and this optical fiber is different from a normal single mode optical fiber. In comparison, the bending properties were excellent and the transmission loss was stable.

な2、第2のバーナ4は、高周波プラズマト−チに限ら
ず、非移送式の直流プラズマトーチなど全使用してもよ
いが、電極との反応が生じて多孔質プリフォームが汚染
さ壮る恐れが生じることがあるので注意を要する。
2. The second burner 4 is not limited to a high-frequency plasma torch, but any type of non-transfer type direct current plasma torch may be used, but it may cause a reaction with the electrode and cause serious contamination of the porous preform. Please be careful as there may be a risk of

以上薄明したように、この発明の光フアイバ母材の製法
は、VAD 法によ1)、コアとなる多孔質プリフォー
Jを酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の高融点酸
化物をドープした酸化ケイ素で形成し、クランドの内側
部分となる多孔質プリフォームを−プラズマジエツYを
利用してフッ素をドープした酸化ケイ素で形成し、クラ
ンドの外側部分となる多孔質プリフォームを酸化ケイ素
のみで形成し、ついで透明カラス化するものである。よ
って、この多孔質プリフォームを脱水処理や迅明ガラス
化などの際の高温雰囲気下lK曝らしても、コアおよび
クラッドとなるプリフォームのそれぞ才1のドーパント
が他のガラス成分と反応したシあるいは揮散したりする
ことがなく、屈折率の変動を来すことがない。したがっ
て、ζ、の光フアイバ母材よシ得られた光ファイバは、
例えば篇1図に示すような理想的なディプレストクラッ
ド構造を有するシングルモード光ファイバとなる。また
As explained above, the method for manufacturing the optical fiber base material of the present invention is to use the VAD method (1) to form the porous Prefor J as the core with silicon oxide doped with a high melting point oxide such as aluminum oxide or zirconium oxide. Then, a porous preform that will become the inner part of the gland is formed of silicon oxide doped with fluorine using Plasma Jets Y, a porous preform that will become the outer part of the gland is formed only of silicon oxide, and then a transparent It is something that turns into a crow. Therefore, even if this porous preform was exposed to 1K in a high temperature atmosphere during dehydration treatment or quick vitrification, the respective dopants in the core and cladding preforms reacted with other glass components. It does not evaporate or evaporate, and does not cause fluctuations in the refractive index. Therefore, the optical fiber obtained from the optical fiber base material of ζ is
For example, a single mode optical fiber having an ideal depressed cladding structure as shown in Figure 1 is obtained. Also.

シングルモード光ファイバに限らず、一般のマルチモー
ドのステップインデックス型の光ファイバを得ることも
でき、特にキレのよい屈折率分布を持つものが得られる
It is possible to obtain not only a single mode optical fiber but also a general multimode step index type optical fiber, and one having a particularly sharp refractive index distribution can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、理想的なディプレストクラッド構造のシング
ルモード光ファイバの屈折率分布を示すグラフ、第2図
は従来のVAD 法によって得られたディプレストクラ
ッド構造のシングルモード光ファイバの屈折率分布を示
すグラフ、第3図はこの発明の製法に好適に用いられる
製造装置の例を示す概略斜視図、第4図はこの発明の実
施例で得られた光ファイバの屈折率分布を示すグラフで
ある。 1・・・・・・第1のバーナ%2・・・・・・棒状基材
、3・・・・・・コアとなる多孔質プリフォーム、4・
・・・・・第2のバーナ、5・・・・・・クラッドの内
側部分となる多孔質プリフォーム、6・・・・・・第3
のバーナ、7・・・・・・クラット0の外側部分となる
多孔質プリフォーム。 第を図 犯灯牛住 他ま〒ヰ径 ム1′33図 1 第4図 →うm 1−48%← □125ノ Δ 胤宵ヤ修 2
Figure 1 is a graph showing the refractive index distribution of an ideal single-mode optical fiber with a depressed cladding structure, and Figure 2 is a graph showing the refractive index distribution of a single-mode optical fiber with a depressed cladding structure obtained by the conventional VAD method. 3 is a schematic perspective view showing an example of a manufacturing apparatus suitably used in the manufacturing method of the present invention, and FIG. 4 is a graph showing the refractive index distribution of an optical fiber obtained in an example of the present invention. be. 1... First burner% 2... Rod-shaped base material, 3... Porous preform serving as the core, 4.
...Second burner, 5...Porous preform that becomes the inner part of the cladding, 6...Third
burner, 7... Porous preform that becomes the outer part of crat 0. Figure 4 → Um 1-48% ← □125ノΔ Taneyoi Yashu 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 VAD 法により、 コアとなる多孔質プリフォームを酸化アルミニウム、酸
化ジルコニウム等の高融点酸化物をドープした酸化ケイ
素で形成し、 クラッドの内側部分となる多孔質プリフォームをプラズ
マジェットを利用してフッ素をドープした酸化ケイ素で
形成し、 クラッドの外側部分となる多孔質プリフォームを酸化ケ
イ素で形成し、ついで透明ガラス化するととt特徴とす
る光フアイバ母材の製法。
[Claims] By the VAD method, a porous preform as a core is formed of silicon oxide doped with a high melting point oxide such as aluminum oxide or zirconium oxide, and a porous preform as an inner part of the cladding is formed using plasma. A method for producing an optical fiber base material, which is characterized in that it is formed from silicon oxide doped with fluorine using a jet, a porous preform that becomes the outer part of the cladding is formed from silicon oxide, and then it is made into transparent glass.
JP8148383A 1983-05-10 1983-05-10 Manufacture of optical fiber preform Pending JPS59207845A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04270130A (en) * 1990-08-16 1992-09-25 Corning Inc Method for manufacture of non-porous body of highly pure fused silica glass

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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