JPS59206804A - Laser beam transmission line - Google Patents
Laser beam transmission lineInfo
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- JPS59206804A JPS59206804A JP8140783A JP8140783A JPS59206804A JP S59206804 A JPS59206804 A JP S59206804A JP 8140783 A JP8140783 A JP 8140783A JP 8140783 A JP8140783 A JP 8140783A JP S59206804 A JPS59206804 A JP S59206804A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はレーザビーム伝送路、とくにｃｏ２レーザビ
ームの伝送における。サーマルプルーミング効果等の抑
止に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser beam transmission path, particularly to the transmission of a CO2 laser beam. This relates to the suppression of thermal pluming effects, etc.
従来この種の装置として、第１図に示すものがあった。A conventional device of this type is shown in FIG.
第１図は、従来のレーザビーム伝送路を示す構成図であ
る。図において、（１）はａｏ２レーザ発撮器、（２）
はｃｏ２レーザビーム、（３）は設定光軸。FIG. 1 is a configuration diagram showing a conventional laser beam transmission path. In the figure, (1) is the ao2 laser emitting device, (2)
is the CO2 laser beam, and (3) is the set optical axis.
（４）はレーザビーム（２）の遮へいを目的としたレー
ザビーム伝送路本体、 （５ａ） 、 （５ｂ） 、
（５ｏ）はペンダミラー、（６）はレンズ、（７）は被
加工物である。(4) is the laser beam transmission line body for the purpose of shielding the laser beam (2), (5a), (5b),
(5o) is a pender mirror, (6) is a lens, and (7) is a workpiece.
次に動作について説明する。レーザ発振器（１）より発
したレーザビーム（２）は、レーザビーム伝送路本体（
４）に配されたペンダミラー（５ａ） 、 （５ｂ）
、 （５ｃ）によって方向を変え、レンズ（６）を通り
被加工物（７）に照射される。良好な加工を得るために
は、レーザビーム（２）がレンズ（６）の中心、すなわ
ち設定光軸（３）に一致し、かつレンズ（６）における
レーザビーム（２）の入射径が常に一定である必要があ
る。ところがレーザビーム伝送路本体（４）中に存在す
る例えばＣＯ２ガス、水分、有機ガス等の、 ｃｏ２レ
ーザビーム吸収物質によるサーマルプルーミング効果に
よりレーザビーム（２）の径の変化、出方の減少、ある
いは、レーザビーム伝送路本体（４）の気密性が低いだ
めに、異種ガスがレーザビーム伝送路本体（４）内に混
入し、レーザビーム伝送路本体（４）内に、屈折率の空
間分布ができることによるレーザビーム（２）の設定光
軸（３）からの偏向等がしげしげ発生した。Next, the operation will be explained. The laser beam (2) emitted from the laser oscillator (1) passes through the laser beam transmission line body (
4) Pender mirrors (5a) and (5b) placed on
, (5c), and the workpiece (7) is irradiated through the lens (6). In order to obtain good processing, the laser beam (2) must match the center of the lens (6), that is, the set optical axis (3), and the incident diameter of the laser beam (2) on the lens (6) must always be constant. It must be. However, due to the thermal pluming effect caused by CO2 laser beam absorbing substances such as CO2 gas, moisture, and organic gases present in the laser beam transmission line body (4), the diameter of the laser beam (2) changes, the output direction decreases, Alternatively, because the airtightness of the laser beam transmission line body (4) is low, a different type of gas may enter the laser beam transmission line body (4), causing a spatial distribution of refractive index within the laser beam transmission line body (4). As a result, the laser beam (2) was often deflected from the set optical axis (3).
従来の装置は以上のように構成されているので。The conventional device is configured as described above.
サーマルプルーミング効果によるレーザビーム径の変動
、出力の減少、またレーザビーム伝送路本体の気密性の
不足による異種ガス混入のためレーザビーム伝送路本体
中の屈折率の空間分布が不均一になり、このだめレーザ
ビームの偏向が発生するなどの欠点があった。Due to the thermal pluming effect, the laser beam diameter fluctuates, the output decreases, and the lack of airtightness in the laser beam transmission line causes the mixture of different gases, which causes the spatial distribution of the refractive index in the laser beam transmission line to become uneven. This method had drawbacks such as the occurrence of deflection of the laser beam.
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するだ
めになされたもので、気密性を有するレーザビーム伝送
路本体内に、レーザビームを吸収し々い非吸収性気体を
充満することにより、サーマルプルーミング効果、レー
ザビーム偏向の発生等を抑え、信頼性の高いレーザビー
ム伝送路を提供することを目的としている。This invention was made to eliminate the drawbacks of the conventional ones as described above, and by filling the airtight laser beam transmission line body with a non-absorbing gas that absorbs the laser beam, The purpose is to suppress the occurrence of thermal pluming effects, laser beam deflection, etc., and provide a highly reliable laser beam transmission path.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図は、この発明の一実施例によるレーザビーム伝送路の
構成図であり、（８）は例えば、Ｎ２゜Ａｒ、Ｈ８など
の、レーザビーム（２）を吸収し々い非吸収性気体の供
給装置、（４）は気密性を有するレーザビーム伝送路本
体、 （９ａ）はこの気密性を有するレーザビーム伝送
路本体（４）の始点近くに設けられた非吸収性気体の入
口、 、（ｓｂ）はレーザビーム伝送路本体（４）の終
点即ちレンズ（６）の近傍に設けられた非吸収性気体の
出口である。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Second
The figure is a configuration diagram of a laser beam transmission line according to an embodiment of the present invention, and (8) is a supply of a non-absorbing gas that strongly absorbs the laser beam (2), such as N2°Ar or H8. (4) is an airtight laser beam transmission line main body; (9a) is a non-absorbing gas inlet provided near the starting point of the airtight laser beam transmission line main body (4); ) is an outlet for non-absorbing gas provided at the end point of the laser beam transmission line main body (4), that is, near the lens (6).
非吸収性気体供給装置（８）より供給された例えばＮ２
＋ Ａｒ ＋ Ｈ＠などの非吸収性気体は、レーザビ
ーム伝送路本体（４）の始点近傍に設けられた入口（９
ａ）からレーザビーム伝送路本体（４）内に入り、レー
ザビーム伝送路本体（４）の内部を非吸収性気体で満た
しつつ、レンズ（６）近傍に設けられたレーザビーム伝
送路本体（４）終点の出口（９ｂ）から大気中に吐出さ
れる。レーザビーム伝送路本体（４）は良好な気密性を
保っているため、レーザビーム伝送路本体（４）内部は
例えばＮ２などの非吸収性気体が一種のみで充満され、
レーザビーム（２）の吸収に基づくサーマルプルーミン
グ効果によるレーザビーム（２）の径の変動、出力の減
少、あるいは１例えばＮ２ガス充満中のレーザビーム伝
送路本体（４）中に例えばＡｒガスなどの異種ガス混入
による設定光軸（３）とレーザビーム（２）の中心がず
れる。すなわちビーム偏向などの現象の発生を抑えるこ
とが可能である。For example, N2 supplied from a non-absorbable gas supply device (8)
A non-absorbing gas such as + Ar + H
a) enters the laser beam transmission line body (4), and while filling the inside of the laser beam transmission line body (4) with non-absorbing gas, the laser beam transmission line body (4) provided near the lens (6) enters the laser beam transmission line body (4). ) is discharged into the atmosphere from the exit (9b) at the end point. Since the laser beam transmission line main body (4) maintains good airtightness, the inside of the laser beam transmission line main body (4) is filled with only one type of non-absorbing gas such as N2.
Changes in the diameter of the laser beam (2) due to thermal pluming effect based on absorption of the laser beam (2), decrease in output, or 1. For example, if the laser beam transmission line body (4) is filled with N2 gas, for example, Ar gas, etc. The set optical axis (3) and the center of the laser beam (2) are shifted due to the mixing of different gases. That is, it is possible to suppress the occurrence of phenomena such as beam deflection.
なお、上記実施例では、レーザビーム伝送路本体（４）
内を通過した例えばＮ２などの非吸収性気体は出口（９
ｂ）から大気中に吐出される開放系であるが。In addition, in the above embodiment, the laser beam transmission line main body (4)
The non-absorbable gas such as N2 that has passed through the outlet (9
b) It is an open system that is discharged into the atmosphere.
出口（９ｂ）と非吸収性気体供給装置（８）とを結んだ
循環系としてもよい。第３図は、この発明の他の実施例
によるレーザビーム伝送路の構成図であり。A circulation system may be provided in which the outlet (9b) and the non-absorbable gas supply device (8) are connected. FIG. 3 is a configuration diagram of a laser beam transmission path according to another embodiment of the present invention.
乾燥空気をレーザビーム伝送路本体内に流した循環系の
実施例である。図において、（８）はオイルミストトラ
ップが付いた空気乾燥器、ａｌはプロワ。This is an example of a circulation system in which dry air is flowed into the main body of the laser beam transmission line. In the figure, (8) is an air dryer with an oil mist trap, and al is a blower.
αυは非吸収性気体の循環路である。オイルミストトラ
ップが付いた空気乾燥器ＯＩによ！ｌ） ｌ ＣＯ２レ
ーザビーム（２）を吸収するオイルミスト、水分等が除
かれた乾燥空気はプロワ員によりレーザビーム伝送路本
体（４）に送り込まれ、レーザビーム伝送路本体（４）
内を乾燥空気で満たしつつ、出口（ｓｂ） 、循環器（
Ｉｆ）を通り、空気乾燥器（８）に戻る。乾燥空気はレ
ザビーム伝送路本体（４）内通渦中に９例えばレーザビ
ーム伝送路本体（４）内面に耐着するオイル、水分など
の異種分子に汚染されるが、これら異種分子はオイルミ
ストトラップ付き空気乾燥器（８）を通ることにより取
ね除かれる。従って、レーザビームの偏向、サーマルプ
ルーミング効果などの発生を抑えることが可能である。αυ is the circulation path for non-absorbable gas. Air dryer OI with oil mist trap! l) l Dry air from which oil mist, moisture, etc. that absorbs the CO2 laser beam (2) is removed is sent to the laser beam transmission line main body (4) by a blower worker, and the dry air is sent to the laser beam transmission line main body (4).
While filling the inside with dry air, the outlet (sb), circulator (
If) and returns to the air dryer (8). Dry air is contaminated with foreign molecules such as oil and moisture that adhere to the inner surface of the laser beam transmission line body (4) during swirling inside the laser beam transmission line body (4), but these foreign molecules are contained in oil mist traps. It is removed by passing through an air dryer (8). Therefore, it is possible to suppress the occurrence of laser beam deflection, thermal pluming effects, and the like.
以−Ｌのようにこの発明によれば、気密性を有するレー
ザビーム伝送路本体内に、レーザビームを吸収しない非
吸収性気体を充満したので、サーマルプルーミング効果
、レーザビーム偏向現象等の発生を抑えることができ、
良好なレーザ加工が信頼性よ〈実施できる効果がある。According to the present invention, as shown in L above, the airtight laser beam transmission line body is filled with a non-absorbing gas that does not absorb the laser beam, thereby preventing the occurrence of thermal pluming effects, laser beam deflection phenomena, etc. can be suppressed,
Good laser processing has the effect of improving reliability.
第１図は従来のレーザビーム伝送路を示す構成図、第２
図はと、の発明の一実施例によるレーザビーム伝送路の
構成図、第３図はこの発明の他の実施例によるレーザビ
ーム伝送路の構成図である。
図において、（２）はレーザビーム、（４）はレーザビ
ーム伝送路本体、（８）は非吸収性気体供給装置、（９
ｂ）は出０．（１１はブロワ、ＯＩ）は循環路である。
なお９図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
代理人大岩増雄Figure 1 is a configuration diagram showing a conventional laser beam transmission path, Figure 2
FIG. 3 is a block diagram of a laser beam transmission line according to an embodiment of the invention, and FIG. 3 is a block diagram of a laser beam transmission line according to another embodiment of the invention. In the figure, (2) is the laser beam, (4) is the laser beam transmission line main body, (8) is the non-absorbing gas supply device, and (9) is the laser beam transmission line body.
b) is 0. (11 is a blower, OI) is a circulation path. In addition, in FIG. 9, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Agent Masuo Oiwa
Claims (3)
記レーザビームを吸収しない非吸収性気体を充満したこ
とを特徴とするレーザビーム伝送路。(1) A laser beam transmission line characterized in that a gas-tight laser beam transmission line body is filled with a non-absorbing gas that does not absorb the laser beam.
供給装置と非吸収性気体の出口を設け、上記非吸収性気
体が上記レーザビーム伝送路本体内を流れるようにした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザビ
ーム伝送路。(2) The main body of the laser beam transmission line is provided with a non-absorbing gas supply device and an outlet for the non-absorbing gas, so that the non-absorbing gas flows through the main body of the laser beam transmission line. A laser beam transmission line according to claim 1.
の循環路とプロワを設け、上記非吸収性気体が上記レー
ザビーム伝送路本体内を循環するようにしたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザビーム伝送路
。(3) The laser beam transmission line main body is provided with a non-absorbing gas circulation path and a blower, so that the non-absorbing gas is circulated within the laser beam transmission line main body. A laser beam transmission line according to scope 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140783A JPS59206804A (en) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Laser beam transmission line |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140783A JPS59206804A (en) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Laser beam transmission line |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59206804A true JPS59206804A (en) | 1984-11-22 |
Family
ID=13745473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8140783A Pending JPS59206804A (en) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Laser beam transmission line |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59206804A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310094A (en) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | Laser beam machine |
| CN110091079A (en) * | 2018-01-30 | 2019-08-06 | 住友重机械工业株式会社 | Laser aid |
-
1983
- 1983-05-10 JP JP8140783A patent/JPS59206804A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310094A (en) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | Laser beam machine |
| JPH0536157B2 (en) * | 1986-06-30 | 1993-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | |
| CN110091079A (en) * | 2018-01-30 | 2019-08-06 | 住友重机械工业株式会社 | Laser aid |
| KR20190092253A (en) | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | Laser apparatus |
| JP2019134008A (en) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 住友重機械工業株式会社 | Laser device |
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