JPS59200911A - デイスク寸法測定装置 - Google Patents
デイスク寸法測定装置Info
- Publication number
- JPS59200911A JPS59200911A JP7504683A JP7504683A JPS59200911A JP S59200911 A JPS59200911 A JP S59200911A JP 7504683 A JP7504683 A JP 7504683A JP 7504683 A JP7504683 A JP 7504683A JP S59200911 A JPS59200911 A JP S59200911A
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- JP
- Japan
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- disc
- disk
- sensor
- height
- signal recording
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は信号が記録されたディスクの信号記録面高さ
および板厚を検出するディスク寸法測定装置に関する。
および板厚を検出するディスク寸法測定装置に関する。
ディスク製造工程では信号が記録されたディスクの成形
品が規格内にあることを保証するということで寸法検査
を行なっている。
品が規格内にあることを保証するということで寸法検査
を行なっている。
ところで、ディスクの寸法検査にあたシ、静電容量式の
再生針とディスクとの関係を決める信号記録面高さ、デ
ィスクの剛性を決める板厚をディスク全面にわたって測
定する手段がなく、従来からディスクの寸法測定は、デ
ィスクを切断するかディスクの測定可能な部分を選びだ
し、これらを電気マイクロメータ等の測定器を使って手
動でサンプリング測定している。
再生針とディスクとの関係を決める信号記録面高さ、デ
ィスクの剛性を決める板厚をディスク全面にわたって測
定する手段がなく、従来からディスクの寸法測定は、デ
ィスクを切断するかディスクの測定可能な部分を選びだ
し、これらを電気マイクロメータ等の測定器を使って手
動でサンプリング測定している。
しかしながら、このようなサンプリング測定では充分な
測定アークが得られず、信頼性の低下をきたす問題、さ
らには手動測定なので測定に要する時間を多く費やし測
定能率がわるいといった問題を生じていた。
測定アークが得られず、信頼性の低下をきたす問題、さ
らには手動測定なので測定に要する時間を多く費やし測
定能率がわるいといった問題を生じていた。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、ディスク全面の信号記録面高さ、板
厚を高精度に測定することができるディスク寸法測定装
置を提供することにある。
的とするところは、ディスク全面の信号記録面高さ、板
厚を高精度に測定することができるディスク寸法測定装
置を提供することにある。
この発明は、ディスクを回転可能に支持する回転支持機
構、ディスクの信号記録面高さおよび板厚を検知するセ
ンサーをディスクの板面半径方向に対して往復移動させ
るセンサー移動機構、センサーからの検知信号を受けて
ディスクの信号記録面高さ、板厚の分布を算出する演算
処理部、センサーの移動に伴なうセンサー移動機構での
振動を緩衝するバランサー機構を設けることによシ、デ
ィスク全面における信号記録面高さ、板厚を高精度に、
かつ自動で測定しようとするものである。
構、ディスクの信号記録面高さおよび板厚を検知するセ
ンサーをディスクの板面半径方向に対して往復移動させ
るセンサー移動機構、センサーからの検知信号を受けて
ディスクの信号記録面高さ、板厚の分布を算出する演算
処理部、センサーの移動に伴なうセンサー移動機構での
振動を緩衝するバランサー機構を設けることによシ、デ
ィスク全面における信号記録面高さ、板厚を高精度に、
かつ自動で測定しようとするものである。
以下、この発明を第１図および第２図に示す一実施例に
もとづいて説明する。第１図中１は上面部の中央に凹所
１ａを備えて構成されるディスク載物台で、このディス
ク載物台１は回転自在に配置されている。そして、この
ディスク載物台１上に高密度に信号が記録された円盤状
のディスク２を静置することができるようになっている
。またディスク載物台１の上方には、ディスク載物台１
に静置するディスク２の中央に形成した透孔に対して係
脱自在に係止するセンタリング部材３がたとえば昇−可
能に配設されている。そして、このセンタリング部材３
は、昇降機構（図示しない）を介して回転駆動源、たと
えばパルスモータに連結されていて、センタリング部材
３をディスク２に係止するとともに、軽くディスク２を
ディスク載物台１側へ押付けることにより、センタリン
グ部材３を芯出しに使ってディスク載物台１に静置され
たディスク２をディスク載物台１と共に回転させること
がフきるようになっている。しかるにディスク載物台１
ならびセンタリング部材３がらディスク２を回転可能に
支持する回転支持機構４を構成している。
もとづいて説明する。第１図中１は上面部の中央に凹所
１ａを備えて構成されるディスク載物台で、このディス
ク載物台１は回転自在に配置されている。そして、この
ディスク載物台１上に高密度に信号が記録された円盤状
のディスク２を静置することができるようになっている
。またディスク載物台１の上方には、ディスク載物台１
に静置するディスク２の中央に形成した透孔に対して係
脱自在に係止するセンタリング部材３がたとえば昇−可
能に配設されている。そして、このセンタリング部材３
は、昇降機構（図示しない）を介して回転駆動源、たと
えばパルスモータに連結されていて、センタリング部材
３をディスク２に係止するとともに、軽くディスク２を
ディスク載物台１側へ押付けることにより、センタリン
グ部材３を芯出しに使ってディスク載物台１に静置され
たディスク２をディスク載物台１と共に回転させること
がフきるようになっている。しかるにディスク載物台１
ならびセンタリング部材３がらディスク２を回転可能に
支持する回転支持機構４を構成している。
一方、図中５はほぼコ字形状に成形されてなる駆動腕部
である。そして、この駆動腕部５はその空間部がディス
ク載物台１に静止されたディスク２の板面部に対して挿
通できるようにディスク載物台１の側方に配置されてい
る。そして、この駆動腕部５の先端部には第２図１も示
すように、ディスク２の板面部を介して互いに離間対向
するようにセンサーとしてたとえば電気マイクロメータ
（差動トランス型）６を構成する検知素子６＆ 、６ｂ
がそれぞれ設けられ、検知素子６ａ、６ｂ間を検知領域
としてディスク２の信号記録面高さ、板厚を検知するこ
とができるようになっている。また駆動腕部５の基部に
は、パルスモータ７の出力軸７ａに連結された送シねじ
軸８が進退自在に螺合されていて１、ｅルスモーク７の
回転によシ駆動腕部５を片持ちはシの形態にて、ディス
ク２に対し接近する方向あるいは離れる方向にスライド
移動させることができるようになっている。したがって
、検知素子にａ、６ｂをディスク２の板面に対し往復移
動させることができるようになっている。
である。そして、この駆動腕部５はその空間部がディス
ク載物台１に静止されたディスク２の板面部に対して挿
通できるようにディスク載物台１の側方に配置されてい
る。そして、この駆動腕部５の先端部には第２図１も示
すように、ディスク２の板面部を介して互いに離間対向
するようにセンサーとしてたとえば電気マイクロメータ
（差動トランス型）６を構成する検知素子６＆ 、６ｂ
がそれぞれ設けられ、検知素子６ａ、６ｂ間を検知領域
としてディスク２の信号記録面高さ、板厚を検知するこ
とができるようになっている。また駆動腕部５の基部に
は、パルスモータ７の出力軸７ａに連結された送シねじ
軸８が進退自在に螺合されていて１、ｅルスモーク７の
回転によシ駆動腕部５を片持ちはシの形態にて、ディス
ク２に対し接近する方向あるいは離れる方向にスライド
移動させることができるようになっている。したがって
、検知素子にａ、６ｂをディスク２の板面に対し往復移
動させることができるようになっている。
なお、駆動腕部５にはパルスモータ７の回転を受けて回
動変位を生じることがないよう図示しないストツノξ−
機構等が設けられていることはもちろんである。しかる
に、パルスモータ７、送シねじ軸８、駆動腕部５から検
知素子６ａ。
動変位を生じることがないよう図示しないストツノξ−
機構等が設けられていることはもちろんである。しかる
に、パルスモータ７、送シねじ軸８、駆動腕部５から検
知素子６ａ。
６ｂをディスク２の板面半径方向に対し往復移動させる
ことができるセンサー移動機構９を構成している。
ことができるセンサー移動機構９を構成している。
他方、図中１０はセンサー移動機構９を構成する駆動腕
部５の基部側に設けられたバランサー機構である。この
バランサー機構１０は、たとえば駆動腕部５の基部側の
容土・下面部に第２図受も示すように、溝部１１ａを備
えるレール部材１１を、その駆動腕部５の移動方向に沿
ってレール部材１１の後端部が駆動腕部５の後端から突
出するようにそれぞれ対をなして設置するとともに、そ
れら各レール部材１１．１１の溝部１１ａ、ｌｌａにノ
々ランス重シ１２ 、１２を図示しない固定具によシ移
動調整可能に取付けて構成されている。そして、バラン
ス重シ１２．１２の各位置調整ならびに各・々ランス重
量）１２，１ｚの設定によって、検知素子６ｈ。
部５の基部側に設けられたバランサー機構である。この
バランサー機構１０は、たとえば駆動腕部５の基部側の
容土・下面部に第２図受も示すように、溝部１１ａを備
えるレール部材１１を、その駆動腕部５の移動方向に沿
ってレール部材１１の後端部が駆動腕部５の後端から突
出するようにそれぞれ対をなして設置するとともに、そ
れら各レール部材１１．１１の溝部１１ａ、ｌｌａにノ
々ランス重シ１２ 、１２を図示しない固定具によシ移
動調整可能に取付けて構成されている。そして、バラン
ス重シ１２．１２の各位置調整ならびに各・々ランス重
量）１２，１ｚの設定によって、検知素子６ｈ。
６ｂを移動する際の駆動腕部５、パルスモータ７による
反力等をバランスさせ、移動に伴なう振動を緩衝するこ
とが１きるようになっている。
反力等をバランスさせ、移動に伴なう振動を緩衝するこ
とが１きるようになっている。
また、上記電気マイクロメータ６を構成する検知素子６
には、演算処理部１３および表示部１４が順に直列に接
続されていて、検知素子６から出力される検知信号を受
けて、演算処理部１３にてその逐次送られる検知信号を
Ａ／Ｄ変換するとともに演算処理してディスク２の信号
記録面高さおよび板厚の分布を算出し、その算出結果を
表示部１４へ表示することができるよりになっている。
には、演算処理部１３および表示部１４が順に直列に接
続されていて、検知素子６から出力される検知信号を受
けて、演算処理部１３にてその逐次送られる検知信号を
Ａ／Ｄ変換するとともに演算処理してディスク２の信号
記録面高さおよび板厚の分布を算出し、その算出結果を
表示部１４へ表示することができるよりになっている。
しかして、このように構成されたディスク寸法測定装置
を用いてディスク２０寸法を測定するときには、まず・
々ランス重ｐ１２．１２の重量および位置を選択および
調整して駆動腕部５、パルスモータ７の駆動に対する振
動に備えるようにバランス調整を行なう。そして、ノ々
ランス調整を終えて測定の準備が整ったならば、つぎに
測定しようとするディスク２をディスク載物台１上に静
置する。ついで、ディスク２の上方にあるセンタリング
部材３を下降させて、ディスク２の中央に形成された透
孔へ係止させるとともに軽くディスク２を押付ける。こ
れによ担ディスク２の支持を終える。しかるのち、セン
サー移動機構９のパルスモータ７にて、駆動腕部５の先
端部に配置された検知素子６ａ、６ｂを送シねじ軸８を
通じてディスク２の外周端部に導く。そして、この状態
からセンタリング部材３を介してディスク２をステップ
的に回転させ、このディス２２０回転変位に同期してパ
ルスモータ７ｆ検知素子６ａ、６ｂをディスク２の板面
に対し半径方向へ順次ステップごとに往復移動させれば
、検知素子６ｇ、６ｂの移動ならびにディスク２０回転
によシ、検知素子６ａ。
を用いてディスク２０寸法を測定するときには、まず・
々ランス重ｐ１２．１２の重量および位置を選択および
調整して駆動腕部５、パルスモータ７の駆動に対する振
動に備えるようにバランス調整を行なう。そして、ノ々
ランス調整を終えて測定の準備が整ったならば、つぎに
測定しようとするディスク２をディスク載物台１上に静
置する。ついで、ディスク２の上方にあるセンタリング
部材３を下降させて、ディスク２の中央に形成された透
孔へ係止させるとともに軽くディスク２を押付ける。こ
れによ担ディスク２の支持を終える。しかるのち、セン
サー移動機構９のパルスモータ７にて、駆動腕部５の先
端部に配置された検知素子６ａ、６ｂを送シねじ軸８を
通じてディスク２の外周端部に導く。そして、この状態
からセンタリング部材３を介してディスク２をステップ
的に回転させ、このディス２２０回転変位に同期してパ
ルスモータ７ｆ検知素子６ａ、６ｂをディスク２の板面
に対し半径方向へ順次ステップごとに往復移動させれば
、検知素子６ｇ、６ｂの移動ならびにディスク２０回転
によシ、検知素子６ａ。
６ｂを通じてデ、イスク２の全面が走査検知される。す
なわち、検知素子６ａ、６ｂにてディスク２の全面にお
ける信号記録面高さおよびディスク２の全面における板
厚の分布が検知される。
なわち、検知素子６ａ、６ｂにてディスク２の全面にお
ける信号記録面高さおよびディスク２の全面における板
厚の分布が検知される。
そして、このときの走査によって生じる振動、すなわち
駆動開始時および停止時の駆動腕部５の振動、駆動中の
・ぐルスモータ７からの共振を伴なった振動等は、上述
したバランス重量１２゜１２の重量設定ならびに位置調
整によって緩衝されるからその振動は著しく減衰され、
高精度の測定データが検知素子６ａ、６ｂから得られる
。ついで、得られた検知信号は、演算処理部１３にてＡ
／Ｄ変換されて信号記録面高さ、板厚の分布を求めるべ
く演算され、その算出したディスク２の測定結果が表示
部１４にて表示される。そして、ディスク２の測定を終
えたならば、駆動腕部５を二点鎖線で示す位置にまフ退
避させて検知素子６ａ、６ｂをディスク２の測定領域か
ら外すとともに、センタリング部材３を上方へ移動させ
てディスク２に対する係止を解除すれば、ディスク２の
交換によシ次のディスク２の測定が可能となる。
駆動開始時および停止時の駆動腕部５の振動、駆動中の
・ぐルスモータ７からの共振を伴なった振動等は、上述
したバランス重量１２゜１２の重量設定ならびに位置調
整によって緩衝されるからその振動は著しく減衰され、
高精度の測定データが検知素子６ａ、６ｂから得られる
。ついで、得られた検知信号は、演算処理部１３にてＡ
／Ｄ変換されて信号記録面高さ、板厚の分布を求めるべ
く演算され、その算出したディスク２の測定結果が表示
部１４にて表示される。そして、ディスク２の測定を終
えたならば、駆動腕部５を二点鎖線で示す位置にまフ退
避させて検知素子６ａ、６ｂをディスク２の測定領域か
ら外すとともに、センタリング部材３を上方へ移動させ
てディスク２に対する係止を解除すれば、ディスク２の
交換によシ次のディスク２の測定が可能となる。
かくして、ディスク２はその全面にわたる各部全ての信
号記録面高さ、板厚を詳細に測定することができるよう
になシ、充分、かつ詳細な測定データから精度のよいデ
ィスク測定を行なうことができる。しかも、バランサー
機構１０の設置によって検知信号の精度低下をきたす原
因となるセンサー移動系の振動を緩衝したことで、その
振動の低減を図ることができるようになシ、安定した高
精度の測定を約束することができ、ディスク２の品質管
理上の信頼性を向上させることが１きるものである。そ
のうえ、バランサー機構１０はセンサー移動機構９に対
する・ぐランスの設定だけでよいから複雑な振動解析は
いらない利点をもつ。また、ディスク２の測定はディス
ク２０回転と検知素子６ａ、６ｂの移動とによって自動
的に行なわれるから、測定に要する時間を従来に比べて
短縮させることができ、測定能率を向上させることがで
きるものである。実験によれば、従来のディスク測定に
比２１０％以上、測定時間を短縮することができた。
号記録面高さ、板厚を詳細に測定することができるよう
になシ、充分、かつ詳細な測定データから精度のよいデ
ィスク測定を行なうことができる。しかも、バランサー
機構１０の設置によって検知信号の精度低下をきたす原
因となるセンサー移動系の振動を緩衝したことで、その
振動の低減を図ることができるようになシ、安定した高
精度の測定を約束することができ、ディスク２の品質管
理上の信頼性を向上させることが１きるものである。そ
のうえ、バランサー機構１０はセンサー移動機構９に対
する・ぐランスの設定だけでよいから複雑な振動解析は
いらない利点をもつ。また、ディスク２の測定はディス
ク２０回転と検知素子６ａ、６ｂの移動とによって自動
的に行なわれるから、測定に要する時間を従来に比べて
短縮させることができ、測定能率を向上させることがで
きるものである。実験によれば、従来のディスク測定に
比２１０％以上、測定時間を短縮することができた。
なお、上述した一実施例１は、円盤状のディスクを測定
するようにしたものを一例にあげたが、センタリング部
材を変えれば、他の形状等の異なるディスクの測定も行
なうことが１きることはもちろんである。
するようにしたものを一例にあげたが、センタリング部
材を変えれば、他の形状等の異なるディスクの測定も行
なうことが１きることはもちろんである。
また上述した一実施例ｆは送シねじ軸およびパルスモー
タを用いたセンサー移動機構を使用したが、これに限ら
ず他の手段、たとえばソレノイドを用いてセンサーを移
動するようにしてもよい。
タを用いたセンサー移動機構を使用したが、これに限ら
ず他の手段、たとえばソレノイドを用いてセンサーを移
動するようにしてもよい。
また上述した一実施例〒はセンサーに電気マイクロメー
タを採用したものを一例に示したが、それ以外のセンサ
ー、たとえば容量式センサー、電磁センサー、自動焦点
形半導体レーザーモジュール、電気マイクロ等であって
もよく、またバランサー機構もバランス重量以外の手段
にて重量以外の・々２ンスカを与えるようにしても、セ
ンサー移動機構の駆動系の機械的寸法、重量等を考慮し
て・々ランスを実験的に選択することで上述した一実施
例と同様に安定、かつ高精度の測定を行なうことができ
ることはいうまでもない。
タを採用したものを一例に示したが、それ以外のセンサ
ー、たとえば容量式センサー、電磁センサー、自動焦点
形半導体レーザーモジュール、電気マイクロ等であって
もよく、またバランサー機構もバランス重量以外の手段
にて重量以外の・々２ンスカを与えるようにしても、セ
ンサー移動機構の駆動系の機械的寸法、重量等を考慮し
て・々ランスを実験的に選択することで上述した一実施
例と同様に安定、かつ高精度の測定を行なうことができ
ることはいうまでもない。
以上説明したようにこの発明によれば、ディスク全面か
ら信号記録面高さおよび板厚の分布を詳細に、かつ自動
的に測定することができるようになシ、充分、かつ詳細
な測定データから精度のよいディスク測定を行なうこと
ができる。
ら信号記録面高さおよび板厚の分布を詳細に、かつ自動
的に測定することができるようになシ、充分、かつ詳細
な測定データから精度のよいディスク測定を行なうこと
ができる。
しかも、ノ々ランサー機構の設置によって検知精度の低
下をきたす振動を緩衝するから、その振動の低減を図り
得、安定した高精度な測定を約束することができ、ディ
スクの品質管理の信頼性を向上させることができるもの
でおる。そのうえ、ディスクの回転とセンサーの移動と
によってディスクの測定を自動的に行なうので、測定時
間の短縮化を図ることができる。
下をきたす振動を緩衝するから、その振動の低減を図り
得、安定した高精度な測定を約束することができ、ディ
スクの品質管理の信頼性を向上させることができるもの
でおる。そのうえ、ディスクの回転とセンサーの移動と
によってディスクの測定を自動的に行なうので、測定時
間の短縮化を図ることができる。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はディスク寸
法測定装置の構成図、第２図はそのセンサー廻シを示す
斜視図である。 １・・・ディスク載物台、２・・・ディスク、３・・・
センタリング部材、４・・・回転支持機構、５・・・駆
動腕部、６ａ、６ｂ・・・検知素子（センサー）、７・
・・Ａ ｋ ス％ −タ、８・・・送シねじ軸、９川セ
ンサ一移動機構、１０・・・ノ々２ンサー機構、１２・
・・バランス重量。
法測定装置の構成図、第２図はそのセンサー廻シを示す
斜視図である。 １・・・ディスク載物台、２・・・ディスク、３・・・
センタリング部材、４・・・回転支持機構、５・・・駆
動腕部、６ａ、６ｂ・・・検知素子（センサー）、７・
・・Ａ ｋ ス％ −タ、８・・・送シねじ軸、９川セ
ンサ一移動機構、１０・・・ノ々２ンサー機構、１２・
・・バランス重量。
Claims (1)
- 信号が記録されたディスクを回転可能に支持する回転支
持機構と、上記ディスクの信号記録面高さおよび板厚を
検知するセンサーと、このセンサーをディスクの板面半
径方向に対し往復移動させるセンサー移動機構と、上記
センサーからの検知信号を受けてディスクの信号記録面
高さ、板厚の分布を算出する演算処理部とを備を特徴と
するディスク寸法測定装飲。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7504683A JPS59200911A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | デイスク寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7504683A JPS59200911A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | デイスク寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59200911A true JPS59200911A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13564866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7504683A Pending JPS59200911A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | デイスク寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59200911A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61118609A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非球面測定装置 |
| JPS63159703A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | レジスト膜厚検査装置 |
| CN105043330A (zh) * | 2015-04-30 | 2015-11-11 | 福建农林大学 | 段木最大径测量装置及测量方法 |
| CN113375624A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-09-10 | 中国汽车工程研究院股份有限公司 | 一种商用车制动盘dtv的测量及数据处理方法 |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7504683A patent/JPS59200911A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61118609A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非球面測定装置 |
| JPS63159703A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | レジスト膜厚検査装置 |
| CN105043330A (zh) * | 2015-04-30 | 2015-11-11 | 福建农林大学 | 段木最大径测量装置及测量方法 |
| CN113375624A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-09-10 | 中国汽车工程研究院股份有限公司 | 一种商用车制动盘dtv的测量及数据处理方法 |
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