JPS59197564A - イオンクラスタ−ビ−ム蒸着装置のルツボ - Google Patents
イオンクラスタ−ビ−ム蒸着装置のルツボInfo
- Publication number
- JPS59197564A JPS59197564A JP7130683A JP7130683A JPS59197564A JP S59197564 A JPS59197564 A JP S59197564A JP 7130683 A JP7130683 A JP 7130683A JP 7130683 A JP7130683 A JP 7130683A JP S59197564 A JPS59197564 A JP S59197564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control
- fluid element
- pair
- vapor deposition
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、イオンクラスタービーム蒸着装置のルツボ
に関するものであり、もう少し詳しくいうと、蒸着材を
収納し加熱により蒸着材の蒸気をノズルから噴出させる
イオンクラスタービーム蒸着装置のルツボに関するもの
である。
に関するものであり、もう少し詳しくいうと、蒸着材を
収納し加熱により蒸着材の蒸気をノズルから噴出させる
イオンクラスタービーム蒸着装置のルツボに関するもの
である。
第１図は従来のこの種のルツボを示し、ルツボの本体１
０／の上壁にノズル／θ、２が形成されており、本体１
０／を囲んで加熱ヒータｌθ３が配置されている。かか
る構成により、本体ＩＱＩに収納されている蒸着材ＩＯ
’ｌが加熱により溶融。
０／の上壁にノズル／θ、２が形成されており、本体１
０／を囲んで加熱ヒータｌθ３が配置されている。かか
る構成により、本体ＩＱＩに収納されている蒸着材ＩＯ
’ｌが加熱により溶融。
蒸発し、材料蒸気１０Ｓがノズル１０２から噴流１０、
Ａとして外方へ放出されるるこの際、断熱膨張により材
料蒸気が凝縮し、いくつかの弱い結合の原子のかたまり
であるクラスターの状態になる。
Ａとして外方へ放出されるるこの際、断熱膨張により材
料蒸気が凝縮し、いくつかの弱い結合の原子のかたまり
であるクラスターの状態になる。
このクラスターの数％〜数十％は途中でイオン化される
。イオン化されたクラスクーは磁場によ・つて任意の方
向に軌道を変更され、所定の蒸着面へ衝突、付着する。
。イオン化されたクラスクーは磁場によ・つて任意の方
向に軌道を変更され、所定の蒸着面へ衝突、付着する。
しかし、以上の構成でなる従来のものにおいては、イオ
ン化されない残り数千％の中性のクラスターは、ノズル
／θスから放出されるときの飛び出し方向にある蒸着面
への衝突しか期待できず、そのため蒸着面が狭い範囲に
限られ、加えて蒸着むらを避は得ないという欠点があっ
た。
ン化されない残り数千％の中性のクラスターは、ノズル
／θスから放出されるときの飛び出し方向にある蒸着面
への衝突しか期待できず、そのため蒸着面が狭い範囲に
限られ、加えて蒸着むらを避は得ないという欠点があっ
た。
この発明は、以上の事情に鑑みてなされたもので、ノズ
ル部を純流体素子とし、これに制御用流体素子を組合せ
、ノズルのｌ対の出力ボートから噴出する蒸着材蒸気を
一定周期で左右に振らせることにより、広い蒸着面が得
られるとともに蒸着むらを極小となしつるイオンクラス
タービーム蒸着装置のルツボな提供することを目的とす
るものである。
ル部を純流体素子とし、これに制御用流体素子を組合せ
、ノズルのｌ対の出力ボートから噴出する蒸着材蒸気を
一定周期で左右に振らせることにより、広い蒸着面が得
られるとともに蒸着むらを極小となしつるイオンクラス
タービーム蒸着装置のルツボな提供することを目的とす
るものである。
以下、この発明を第２図に示す一実施例について説明す
る。第２図はルツボのノズル部を拡大して示しており、
ノズルは従来の直管ノズルに代えて、流体素子ノズル／
を構成している。純流体素子でなる流体素子ノズル／は
、２．プリツタコによって、単一の入力ポート３に通じ
るｌ対の出カポ−ト’Ｉ ａ 、 ’Ｉ ｂおよび入力
ボート３側に対向して形成したｌ対の制御ボート！ｒａ
、ｊｂで構成されている。制御ボート＆ａ 、 ＆ｂに
は、蒸着材蒸気の噴流を左右に振るための制御用流体素
子Ａが接続されている。制御用流体素子６も純流体素子
であり、制御用入力ポードアに通じる各ｌ対の制御用出
力ボートｇａ、ざｂと制御用制御ボート９ ａ。
る。第２図はルツボのノズル部を拡大して示しており、
ノズルは従来の直管ノズルに代えて、流体素子ノズル／
を構成している。純流体素子でなる流体素子ノズル／は
、２．プリツタコによって、単一の入力ポート３に通じ
るｌ対の出カポ−ト’Ｉ ａ 、 ’Ｉ ｂおよび入力
ボート３側に対向して形成したｌ対の制御ボート！ｒａ
、ｊｂで構成されている。制御ボート＆ａ 、 ＆ｂに
は、蒸着材蒸気の噴流を左右に振るための制御用流体素
子Ａが接続されている。制御用流体素子６も純流体素子
であり、制御用入力ポードアに通じる各ｌ対の制御用出
力ボートｇａ、ざｂと制御用制御ボート９ ａ。
９ｂおよびアキュムレータｌＯａ、１０ｂで構成され、
アキュムレータｌθａ、１０ｂは、流量調節用の絞り／
／を介して制御ボートｊａ 、５ｂおよび制御用制御ボ
ート９ａ、９ｂにそれぞれ接続され、かつ、自らの制御
用出力ボートｌｒａ、ｒｂにそれぞれ接続されている。
アキュムレータｌθａ、１０ｂは、流量調節用の絞り／
／を介して制御ボートｊａ 、５ｂおよび制御用制御ボ
ート９ａ、９ｂにそれぞれ接続され、かつ、自らの制御
用出力ボートｌｒａ、ｒｂにそれぞれ接続されている。
次に動作について説明する。まず、流体素子ノズル／で
は、入力ポート、？より流入する蒸着材蒸気／ ！ｉの
矢印／、３で示す主噴流は、流れの剥離によって生じる
矢印１３で示す低圧のうすが原因して出力ボート４ａ
、グｂいずれかの側壁１（付着し、一方の出力ボートか
ら矢印／グで示す噴流が放出される。この純流体素子ノ
ズルでは、制御ボート左ａ、りｂよりうず７３部へ流体
を瞬時導入し、５ず／３を破壊すること（てより、他方
の出力ボートの方へ主噴流を移動させることができる。
は、入力ポート、？より流入する蒸着材蒸気／ ！ｉの
矢印／、３で示す主噴流は、流れの剥離によって生じる
矢印１３で示す低圧のうすが原因して出力ボート４ａ
、グｂいずれかの側壁１（付着し、一方の出力ボートか
ら矢印／グで示す噴流が放出される。この純流体素子ノ
ズルでは、制御ボート左ａ、りｂよりうず７３部へ流体
を瞬時導入し、５ず／３を破壊すること（てより、他方
の出力ボートの方へ主噴流を移動させることができる。
また、出力ポートゲａ、！ｂの側壁に付着後の噴流は安
定である。こうして噴流／ｇの出力ボートが左右いずれ
かに選択される。
定である。こうして噴流／ｇの出力ボートが左右いずれ
かに選択される。
一方、制御用流体素子基においても上記と同様の現象が
みられ、アキュムレータ／θａ、１０ｂの一方ｌＯａに
蒸着材蒸気が充填される。アキュムレータ１０ａ、１０
ｂは制御ボート５ａ 、 ｊｂおよび制御用制御ボー）
ｑａ、９ｂに接続されているので、内部圧力が流体素子
ノズルｌ内の主噴流１２の流れ方向を変えるＯＮ−信号
となる。この入力信号により、制御用流体素子６内の主
噴流は付着壁を他方の出力ボートへ変更し、蒸気ｉｓは
他方のアキュムレータｌＯｂへ流入を開始し。
みられ、アキュムレータ／θａ、１０ｂの一方ｌＯａに
蒸着材蒸気が充填される。アキュムレータ１０ａ、１０
ｂは制御ボート５ａ 、 ｊｂおよび制御用制御ボー）
ｑａ、９ｂに接続されているので、内部圧力が流体素子
ノズルｌ内の主噴流１２の流れ方向を変えるＯＮ−信号
となる。この入力信号により、制御用流体素子６内の主
噴流は付着壁を他方の出力ボートへ変更し、蒸気ｉｓは
他方のアキュムレータｌＯｂへ流入を開始し。
アキュムレータｌｏａ内の蒸気は各ボートを経て放出さ
れる。このとき、流体素子ノズルｌ内の主噴流／、２が
、信号を発生するアキュムレータ／□ａと同じ側の出カ
ポ−）４（ａの側壁に付着している場合は、信号発生と
ともに噴流１２の流れ方向を変え、もしも初期段階で反
対の出力ボートｕｂの側壁に主噴流／２が付着している
場合はｌパルスおくれて次のアキュムレータの信号で流
れを変更する。かような動作は、流体素子ノズルｌを備
えたルツボ内で蒸着材蒸気／Ｓが発生し続ける限り一定
の周期で繰返され、蒸着材蒸気１５は左右の出力ボート
＋ａ、Ｑｂから交互に噴出されることとなる。
れる。このとき、流体素子ノズルｌ内の主噴流／、２が
、信号を発生するアキュムレータ／□ａと同じ側の出カ
ポ−）４（ａの側壁に付着している場合は、信号発生と
ともに噴流１２の流れ方向を変え、もしも初期段階で反
対の出力ボートｕｂの側壁に主噴流／２が付着している
場合はｌパルスおくれて次のアキュムレータの信号で流
れを変更する。かような動作は、流体素子ノズルｌを備
えたルツボ内で蒸着材蒸気／Ｓが発生し続ける限り一定
の周期で繰返され、蒸着材蒸気１５は左右の出力ボート
＋ａ、Ｑｂから交互に噴出されることとなる。
以上の説明から明らかなように、この発明は、純流体素
子を用いた簡単な構成により、外部からの動力を用いな
いで、以下の効果を奏するものである。
子を用いた簡単な構成により、外部からの動力を用いな
いで、以下の効果を奏するものである。
（ａ） 噴流の偏向により蒸着面が拡大される。
（ｂ） 磁場で偏向できない中性のクラスターの偏向
が可能となる。
が可能となる。
（Ｃ） 中性のクラスクーの偏向ＩＣより蒸着むらを
極小となしうる。
極小となしうる。
第１図は従来のものの縦断正面図、第２図はこの発明の
一実施例の要部の流体回路を含む縦断正面図である。 ｌ・・流体素子ノズル、２・・スプリッタ、３・・入力
ボート、＆ａ、ｌｌｂ・・出力ポート、ｊａ、！；ｂ・
・制御ボート、６・・制御用流体素子、７・・制御用入
力ポート、ｇａ、ｔｂ・・制御用出力ポート、？ａ 、
９ｂ・・制御用制御ボート、ｌθａ、１０ｂ・・アキ
ュムレータ、／／・・絞り。 代理人 大 岩 増 雄 手続補正書「自発」 １．事件の表示 特願昭 ５ｇ−７１ＪＯｂ号２、
発明の名称 イオンクラスタービーム蒸着装置のルツボ３、補正をす
る者 代表者片山仁へ部 ４代理人 （１） 明細書の発明の詳細な説明の欄（１） 明
細書源２員餓／Ｓ行、第乙頁第１二行「磁場」を「電場
」と補正する。
一実施例の要部の流体回路を含む縦断正面図である。 ｌ・・流体素子ノズル、２・・スプリッタ、３・・入力
ボート、＆ａ、ｌｌｂ・・出力ポート、ｊａ、！；ｂ・
・制御ボート、６・・制御用流体素子、７・・制御用入
力ポート、ｇａ、ｔｂ・・制御用出力ポート、？ａ 、
９ｂ・・制御用制御ボート、ｌθａ、１０ｂ・・アキ
ュムレータ、／／・・絞り。 代理人 大 岩 増 雄 手続補正書「自発」 １．事件の表示 特願昭 ５ｇ−７１ＪＯｂ号２、
発明の名称 イオンクラスタービーム蒸着装置のルツボ３、補正をす
る者 代表者片山仁へ部 ４代理人 （１） 明細書の発明の詳細な説明の欄（１） 明
細書源２員餓／Ｓ行、第乙頁第１二行「磁場」を「電場
」と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 蒸着材が収納される本体の土壁にノズルを設けてなるイ
オンクラスタービーム蒸着装置のルツボにおいて、 対向して形成された／対の制御ボートと、この制御ボー
トを経て単一の入力ポートから分岐されたｌ対の出力ポ
ートでなる流体素子ノズルと、対向して形成されたｌ対
の制御用制御ポートと、この制御用制御ボートを経て単
一の制御用入力ポートから分岐された／対の制御用出力
ボートと、この制御用出力ボートと前記制御ボートおよ
び前記制御用制御ポートがそれぞれ接続された／対のア
ギュムレータでなる制御用流体素子と、を備えてなるこ
とを特徴とするイオンクラスタ−ビーム蒸着装置のルツ
ボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130683A JPS59197564A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | イオンクラスタ−ビ−ム蒸着装置のルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130683A JPS59197564A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | イオンクラスタ−ビ−ム蒸着装置のルツボ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59197564A true JPS59197564A (ja) | 1984-11-09 |
Family
ID=13456814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7130683A Pending JPS59197564A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | イオンクラスタ−ビ−ム蒸着装置のルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59197564A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63216967A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
-
1983
- 1983-04-21 JP JP7130683A patent/JPS59197564A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63216967A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
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