JPS59197557A - 化学めつき液の処理方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 なう過程で、化学銅めっき液中に蓄積してくる化学銅め
つき反応の阻害成分％に陰イオンを、銅イオン、還元剤
等の有効成分を損うことなく、選択的に除去する、化学
銅めっき液の処理方法及び装置に関し、また、劣化した
化学銅めっき液の再生方法及び装置に関する。

化学鋼めっき浴は、建浴すると、通常、数週間以上の長
期に亘り、めっき作業に連続して使用されるので、その
間に、めっき反応で消費する銅イオン、還元剤、水酸化
イオン等の必要成分は、当然のことながら、補給されな
ければならない。これら成分の補給を続けながら、めっ
き作業を継続すると、消費されない銅イオンの対陰イオ
ンの硫酸イオンが蓄積してくる。一方、めっき液のｐＨ
調整の目的で、例えば、水酸化す）　ＩＪウムが加えら
れるが、このナトリウムイオンが、前記硫酸イオンと反
応して、硫酸ナトリウムを生成し、これが蓄積して、め
っき液中の塩濃度が上昇する。また、還元剤は、銅イオ
／を還元する過程で、それ自体は酸化されるが、その酸
化生成物イオン、例えば、ギ酸イオンは、めっき液中に
蓄積される。更に、化学銅めっき液は、アルカリ性が強
いので、空気中の炭酸がスを吸収して炭酸イオンを生成
し、これが蓄積される。そして、これらイオンの蓄積は
、化学銅めっき液の安定性を損うと共に、析出速度を著
しく低下させることとなり、ひいては、析出皮膜の延性
及び抗張力の低下となる。

そこで、従来は、化学めっき液中の塩濃度が高くなるに
つれて、化学めっき液の比重が大きくなる点に着目して
、化学めっき液の比重が一定値を越えたところで、全部
の化学めっき液を廃棄して新しい化学めっき液に更新す
るか、或は、化学めっき液の一部を廃棄して新しい化学
めっき液を補充するかしていた。いずれをとるにしても
、従来の化学銅めっき法では、塩濃度の高いめっき液は
、廃棄しなければならなかった。

ところで、廃棄されるめっき液は、高濃度のＣＯＤ、錯
化剤及び重金属を含有するため、その廃液処理は非常に
困難であり、多額の費用を要する。１だ、化学めっき液
の一部を更新するとしても、化学めっき液の建浴に要す
る費用は高く、めつきコストの中で占める割合も高くな
るので、問題となっていた。

このような問題点の解決をはかるだめに、既に提案され
た方法として、銅イオンの補給を、金属列のアノード溶
解によって行なう方法があるが、この方法では、銅イオ
ンの対Ｉ族イオンである硫酸イオンの蓄積については、
確かに回避できるとしても、還元剤の酸化生成物及び炭
げ：塩の蓄積は避けることができない。まだ、めっき液
に酸を加えて、ｐＨを２〜１１に調整した後、電気透析
により脱塩する方法もおるが、酸を加えると陰イオンの
増加は避けられず、電気透析に要する電力は増大する。

本発明は、このような従来法の問題点を悉く解ン交侯柚
脂で、ｐＨ９以下に調整し、この液を電気透析法によシ
処理して、めっき液の塩成分濃度を低減させるものであ
る。

めっき液を電気透析法により処理するに先だつて、特に
、該めっき液のｐＨを約１０以下特に、好ましくは６〜
９に調整するのは、該めっき液中の２価の炭酸イオン（
Ｃ○、−）を１価イオンの重炭酸イオン（Ｉ（ＣＯ３’
−）　にするためである。すなわち、化学鋼めっき液に
存在する陰イオンの中、有効成分の銅キレート錯イオン
（例えば、ＥＤＴＡＣｕ”−）は２価イオンであり、他
方、分離対象のギ酸イオン（ＨＣＯＯ−）は１価イオン
であるので、電気透析法によって容易に分離できるが、
炭酸イオ／（Ｃ０３−）は２価イオンであるため、その
選択的分離は比較的困難である。しかし、該めっき液の
ｐＨを１０以下特に、好ましくは、６〜９にすると、２
価イオンの炭酸イオン（ＣＯ３−）は、重炭酸イオン（
ＨＣＯ，−）に変化して、１価イオンとなるので、電気
透析法によって、ギ酸イオンと共に容易に分離できるよ
うになる。しかも、一般に陰イオン交換膜は耐アルカリ
性が乏しいので、強いアルカリ性のめつき液をその侭、
陽イオン交換膜及び陰イオン交換膜を有する電気透析槽
で処理するのは実用的であるとはいえない。

本発明は、Ｈ型イオン交換樹脂でめっき液を処理するこ
とによって、脱アルカリし、液のｐＨを約１０以下に調
整するものであり、陰イオンの混入を避けることができ
るので、電気透析装置の負荷を経滅することができる。

したがって、本発明によると、装置の小型化はもとより
、設備費及び操業費が節約できるう 本発明において、イオン交換樹脂は、Ｈ型で、アルカリ
イオンとイオン交換して、化学鋼めっき液の脱アルカリ
が可能な強酸性陽イオン交換樹脂及び弱酸性陽イオン交
換樹脂のいずれも使用することができる。これらの陽イ
オン交換樹脂の中でも、特に、マクロポーラス型弱酸性
附イオン交換樹脂が、イオン交換容量が犬であるのと処
理液のｐＨを中性に維持する上で好ましい。

電気透析槽に使用するイオン交換膜の中、陰イオン交換
膜については、分離対象の陰イオンが、１価イオンのギ
酸イオン（ＨＣＯＯ−）及び重炭酸イオン（ＨＣＯｌ−
１）であυ、めっき成分イオンの２価のイオン（ＥＤＴ
Ａ　−Ｃ１１−）　　と分離できる１価陰イオン選択性
を有する陰イオン交換膜が好ましい。

本発明において使用する「化学めっき液」の用語は、操
業中の化学めっき液はもとより、化学めっきにより硫酸
イオン、ギ酸イオン及び炭酸イオ本発明において除去対
象の陰イオンの中、硫酸イオン（Ｓ０４−）は、電気透
析によって透析分離される傾向はＥＤＴＡＣｕ−より遥
かに大きいので、硫酸イオンの分離も同時に行うことが
できるが、銅イオンの補給に当り、硫酸イオンの混入を
極力避けるのが、電気透析の負荷を軽減する上で好まし
い。

そこで、例えば、本願と同日の出願であって、本願発明
の発明者らの発明に係る出願の銅イオンを補給する方法
及び装置、すなわち、ｐＨ１１，５以上の化学銅めっき
液を、Ｈ型の陽イオン交換樹脂で脱アルカリして、該液
のｐＨを３ないし１１に調整し、ついで、この液を陽極
室内で銅陽極と接触させて、銅を溶解させる方法及び装
置或は銅製のイオン交換樹脂に化学銅めっき液を通液し
て、該めっき液中に銅を溶解させる方法及び装置を本発
明の方法及び装置と組み合わせるのも、化学めっきを行
う上で化学めっき反応阻害イオンの影響を効率よく避け
ることができるので効果的である。

次に、図面に示される本発明の実施例に基いて、本発明
の詳細な説明する。

第１図は、本発明の実施例の、回分式で脱塩する場合の
フローシートを示す。イオン交換塔１にマクロポーラス
型弱酸性陽イオン交換樹脂２（日本フィルター株式会社
商品銘柄に、ＢＣ）２００ＴＡｌを充填し、５係塩酸４
００　ＴＪで再生処理して、Ｈ型とした。該陽イオン交
換樹脂２は、塩素イオンが検出しなくなるまで純水で洗
浄した。

化学銅めっき液は次の組成の建浴液を用いた。

ＥＤＴ１２Ｎａ　　　　　　４０　ｇ　／、ｅＣｕ＋＋
　　　　　　　　　　　　　　　　　２．５　　Ｎ　　
／ｌ　（０，０４モに／４３）ホルマリン（３７％）　
　　　５成／Ｌα−αｔ　ソビリジル　　　　２０ｑ／
ぶＰＥＧ４１！　６００　　　　　　　１　５ゴ／Ｌｐ
Ｈ１２，２ めっき温度７０°±２℃、めっき負荷ｔｄｍ２／４で、
ステンレススチール板に約３０μｍの銅めっき皮膜を１
回のめつ＠量として、連続７回めっきめっき液を通液し
て、該めっき液中に銅イオンをＰＡ　靜補給した。この
銅イオンの補給方法によれば、銅イオンの対陰イオンを
めっき液中に入れることなく銅イオンのみを補給するこ
とができる。また、消耗する還元剤としてのホルマリン
は約１０チホルマリン溶液で補給した。ｐＨの調整は２
０チ苛性ンーダ溶液で行った。連続７回のめつき後の化
学鋼めっき液の組成は次のとお９であった。

ＥＤＴＡ　　　　　　　　　　　Ｏ，１１（モル／１３
）Ｃｕ＋＋０．４４　　　’ ５ｏ４−０．００　　　＃ ＨＣＯＯ−０・８２　　　　“ ｃｏ３ニー　　　　　　　〇、０９　　　＃Ｎａ−←　
　　　　　　　ｌｊｌ　　　Ｉｔ、、＋（１２，２ この７回使用後の化学銅めっき液の一部をイオン交換塔
１にＳＶ６で通液循環して、脱アルカリを行った。化学
銅めつき槽６内のめつき液のｐＨ値が８〜９になったと
ころでイオン交換塔１への通液を停止し、電気透析槽３
に送液して脱塩処理を行った。電気透析槽３としては、
旭硝子株式会社製ＤＵ−０，６型眠気透析装置を使用し
た。そこに使用するイオン交換膜は、共に同社製のセレ
ミオンＣｔＶ（強酸性陽イオン交換膜）及びＡＳＶ（１
価イオ／選択性強塩基性交換膜）であり、有効面積が２
　ｄｍ２／枚であって、脱塩室４及び濃縮次に示す。

ＥＤＴＡ　　　　　　　　　　　　Ｏ，１１モル／ぶｃ
ｕ＋十　　　　　　　　　　　〇・０４３０、−−　　
　　　　　０．００ ＨＣＯＯ−０，０６ ＨＣＯｓ”’　　　　　　　０．０１ Ｎａ十０．２９ ｐＨ７，２モル／ｌ このように、電気透析によって、化学めっき反応阻害イ
オンのギ酸イオンは９３％及び同じく炭酸イオンは９５
襲除去されだのに対し、有効主要成分のｌ１ｕＤＴＡ’
−及びＦ、ＤＴＡＣｕ−は除去され方いで残留する。

めっき液は再生され、再び、連続して化学銅めっきを行
った。

第２図は、本発明の実施例の、連続式で脱塩する場合の
フローシートを示す。

イオン交換塔１には、予め酸でＨ型に再生した陽イオン
交換樹脂２が充填されている。化学鋼めつき槽６から、
ギ酸及び炭酸イオンが蓄積した化学銅めっき液をめっき
液貯槽８に送り、このめっき液貯槽８から、イオン交換
塔１に通液する。化学銅めっき液は、このイオン交換塔
１内でＨ型陽イオン交換樹脂２により、そのアルカリ分
がイオン交換されて分離されるので、中性ないし酸性と
なって流出する。このｐＨ１０以下でイオン交換塔を出
だ液は、電気透析槽３の脱塩室４に送り、電気透析にか
ける。電気透析により、ギ酸イオン、重炭酸イオン及び
ナトリウムイオンは濃縮室５側に選択的に分離除去され
る。次いで、ギ酸イオン、重炭酸イオン及びナトリウム
イオンといっためつき反応阻害イオンを除去されためつ
き液は、めつき槽６に送られ、アルカリ剤槽７から水酸
化ナトリウムを加え、化学鋼めつき貯槽８の液のｐＨを
１２〜１３に戻し、めっき液槽６に一部供給し連続的に
化学銅めっきを続ける。

第３図に示す本発明の一実施例に基いて、本発明の詳細
な説明する。

化学めっき反応を行って、めっき液中に反応阻害成分の
ギ酸イオン及び炭酸イオンが蓄積した化学めっき液を、
バルブ■１、■８、■９、■、。及びｖｌｌを閉じ、バ
ルブ■２及び■、を開いて、めっき液貯槽８から、ポン
プＰ−１によって管路１２を通し、途中、フィルター１
１で液中の夾雑物を除いて、イオン交換塔１の通液口に
送る。イオン交換塔１内でめっき液中のアルカリ分は、
Ｈ型イオン交換樹脂２とイオン交換して分離除去される
ので、イオン交換塔１の流出液のｐＨは１０以下となる
。

この流出液は、管路１０から電気透析槽３の脱塩宇４に
入る。流出液のｐＨの値が、低いときはｐＨＯ値が６〜
８となるようにバルブ■、を開いて、めっき液の一部を
直接流出液に混入することもできる。電気透析槽３の濃
縮室５には、濃縮液槽か濃縮用液をポンプＰ４によって
循環する。濃縮用液としては水を用い、塩濃度が所定の
値以下に維持するように濃縮液の一部を抜取り、水を補
充する（この糸路は図示されていない）。

丑だ、陽極室及び陰極室には、ポンプＰ−５によって、
極液槽から極液を循環させる。この極液としては硫酸ナ
トリウム溶液を用いる。

電気透析により脱塩されためつき液は、脱塩室４の脱塩
液出口から流出し、管路１２から、めっき液貯槽８に送
られる。そして、アルカリ剤槽からの苛性ソーダ溶液の
添加により、液の１）Ｈを１２〜１３に戻し、管路２８
から操業中の化学銅めつき槽６（図示せず）に送られる
。したがって、化学銅めっき槽の操業を停止することな
く、連続的に化学めっき液の脱塩或は再生を行うことが
できる。

なお、使用してイオン交換能が低下した、すなわち、脱
アルカリ機能が弱くなったイオン交換樹脂は再生する必
要があるため、イオン交換塔１は複数段は交互に再生し
、交互にイオン交換操作に使用する。

イオン交換樹脂の再生は、次の操作で行う。まず、バル
ブ■２、■３、■４、■２、■７、ｖｏ及び■１゜を閉
じ、■１及び■、を開いて水貯槽２３がら洗浄水又は純
水を、ポンプＰ−３にょシイオン交換塔１内に送り、イ
オン交換塔１内の化学銅めっき液を押出し、化学めっき
液貯槽に送る。化学銅めっき液の押出しが終ったところ
で、バルブＶ１を閉じ、バルブｖ４．　ｖ、及び■１ｏ
　を開いて、ポンプＰ−３によって水貯槽から水又は純
水を送り、イオン交換樹脂を逆洗してほぐす。イオン交
換樹脂の逆洗が終了したところで、ポンプＰ−３の運転
を止め、バルブＶ、　、Ｖ６及びＶＩＯを閉じ、バルブ
Ｖ、　、Ｖ９及び■Ｉ＋を開いて、酸槽２２から再生液
の鉱酸（例えば、５条硫酸、又は５チ塩酸）を、ボンデ
Ｐ−２によって、管路１９からバルブＶ１１を経てイオ
ン交換塔１に通液し、使用したイオン交換樹脂２をＨ型
に再生する。再生排水は、バルブ■、を経て廃水処理装
置２６へ排水する。再生処理が終了したところで、ポン
プＰ−２の運転を停止し、■。

を閉じ、バルブ■６を開いて、ボン７′Ｐ−３を運転し
て、水貯槽２３から水又は純水をイオン交換塔１に送り
、イオン交換樹脂を水洗してイオン交換塔ｌ内に残留す
る再生剤の鉱酸を洗浄除去する。

流出する洗浄排水中の鉱ｅ量が所定値以下となったとこ
ろで水洗操作を止め、バルブ■。及び■、Ｉを閉じ、バ
ルブ■２を開いて、ボンデ２により、イオン交換塔１に
化学めっき液貯槽から、化学銅めっき液を送液し、イオ
ン交換塔１内に残留する水を追出し、化学銅めっき液を
置換充填する。次いで、バルブ■８．を閉じ、バルブ■
３を開いて、化学めっき液のイオン交換塔１への通液を
開始する。。

一方、この間に化学めっき液とイオン交換工程にあって
、イオン交換能の低下した、他のイオン交換樹脂につい
ての再生操作を開始する。

なお、図３に示す装置において、回分式で脱塩を行うに
は、バルブｖ３、ｖ、　、ｖ、　、ｖ、　、ｖ７、ｖ８
、■、及び■、。を閉じ、バルブ■１及び■２を開いて
、化学めっき液貯槽８のめつき液を管路９からイオン交
換塔１に通液し、イオン交換塔１からの流出液を管路１
１から、化学めっき液貯槽に戻し、循環し、化学めっき
液貯槽８内の液のｐＨが１０以下、好ましくは６〜９に
達したところで、バルブ■２を閉じてこのイオン交換塔
１への通液を停止する。ついで、バルブｖ８を開いて、
ｐＨ１０以下の、化学めっき液貯槽８内の液を、管路１
０から電気透析槽３の脱塩室４に送り、膣液を脱塩し、
化学めっき液貯槽に送る１つ脱塩が終ったところで、バ
ルブ■７を開いてアルカリ剤を化学めっき液貯槽８内の
液に加え、膣液のｐＨを１２〜１３に戻して、管路２８
から化学めつき槽６に送液する。

以上述べたように本発明の化学銅めっき液の再生法及び
装置によれば、従来技術では、不可能であった蓄積イオ
ンの還元剤の酸化生成物イオン及び炭酸イオンが、選択
的かつ経済的に除去でき、実用的である。この為、本発
明の方法及び装置によると、高価な化学めっき液が永久
的に使用できる上、施されるめっき皮膜が良質となるの
で、極めて効果的である。

以上、本発明について、実施例を中心に説明したが、本
発明は、これらによって何ら制限される換膜及び電気透
析装置について如何なる変更も可能であり、組合わせて
変更した態様をも包含するものでちる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、夫々、本発明の一実施例のフロー
シートであり、第３図は、本発明装置の一実施例を示す
フローシートである。 図中、１はイオン交換塔、２はイオン交換樹脂、３は電
気透析槽、４は脱塩室、５は濃縮室、６は化学めっき槽
、８は化学めっき液貯槽、２７はフィルター、０は圧力
計及び口は流量計を示す。 手　　続　　補　　正　　書 ５９．７．１９ 昭和　　年　　月　　日 特　　許　　庁　　長　　官　　　殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第６８８９８号 ２、発明の名称 化学めっき液の処理方法及び装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 住　　　所　　　東京都大田区大森北１丁目１番１１号
名　　　称　　　日本フィ　ルター　株式会社４、代　
理　人 ７゜補正の内容 （１）特許請求の範囲については別紙のとおり（２）発
明の詳細な説明については １、明細書第２頁第１２行目に「対陰イオンの硫」とあ
るな「対陰イオン、例えば硫」と補正する。 ２、明細書第３頁第４行目ないし第６行目に「損うと共
に、析出・・・・・抗張力の低下となる。」とあるを［
損うと共に、めっき皮膜の品質の劣化をもたらす。」と
補正する。 ３、明細書第４真下から第４行目にｌ’−ｐＨ９以下に
調整」とあるをｌ’−ｐＨ１０以下に調整」と補正する
。 ４、明細書第５頁第６行目に「（例えば、ＥＤＴＡＣｕ
−）Ｊとあるを「（例えば、［ＥＤＴ−Ａ−Ｃｕ　：］
〜　）」と補正する。 ５、明細書第６頁第３行目に「約１０以下に調整」とあ
るを「約１１以下に１ｉｌｌ整」と補正する。 ６、明細書９第７頁第９行目に「傾向はＥＤＴＡＣｕ−
より遥かに大きい」とあるな［傾向は（ＥＤ’ｒＡ−Ｃ
ｕ″ｌ−より道かに大きい」と補正する。 ７、明細書第８頁第１０行目【ご「商品銘柄ＫＢＣ）Ｊ
とあるを［商品銘柄ＫＢＣ５）Ｊと補正する。 ８、明細書第８頁第１６行目にｒ２，５ｔｔ／（ＩＣＯ
ｏｏ　４モル／１）」とあるをｒ２．５＆＃！Ｊと補正
する。 ９、明細書第８頁第１９行目に「１シ＊１／Ｉ」とある
な「１５即〃」と補正する。 １０、明細書第９頁第１４行目ないし＄２０行目に［Ｅ
ＤＴＡ・・・・・１２．２／／Ｊとあるを ｒＥＤＴＡ　　　４０　　　ｇｉｌｌ　　（０，１１モ
ル／β）Ｃｕ”　　　　　２．５ｇ／ｌ　　（０，０４
／／　　）ＳＯ４−−Ｏｇ／ｌ　　（０，００ｔｉ　　
）ＨＣＯＯ−３６，９ｉ＋＃　　（０，８２ｔｔ　　）
ＣＯ３−−５，４＆／１　　（０，０９”　　）Ｎ♂　
　　３２．４ｇ／ｌ　　（１，４１ｔｔ　　）ｐＨ１２
，２Ｊと補正する。 １１、明細３第１０頁第７行目に「社製ＤＵ−０６型電
気透析装置」とあるを「社製電気透析装置ＤＵ−Ｏｂ（
商品名）」と補正する。 １２、明細書第１０頁第１５行目ないし第１１頁第１行
目にｒＥＤＴＡ・・・・Ｐ）１　　７．２　　　モル／
ｌ」とあるをｒＥＤＴＡ　　　４０　　　ｙ／β　（０
，ｉ１モル／１）千十 Ｃｕ　　　　　　　２．５ｇ／ｆ　　（０，０４／／　
　）ＳＯ４−ＯｆＩｌＮ　　（０，００ｔｔ　　）ＨＣ
ＯＯ−２，７ｙ＃！　　（０，０６ｔｔ　　）ＨＣＯ３
−０，６ｙ＃　　（０，０１ｔｔ　　）Ｎａ”　　　　
　６．７ｙ／１　（０，２９ｔｔ　　）ｐＨ７，２、Ｊ
と補正する。 １３、明Ｍｉ書第１１頁ＭＳ５行目にｌ’−ＥＤＴＡＣ
ｕ−Ｊとあるをｒ（ＥＤＴＡ−Ｃｕ　）−−Ｊと補正す
る。 １４、明細書第１１頁第１６行目及び第１７行目に「学
銅めっき液をめっぎ液貯槽８・・・き液貯槽８から、イ
オン交換塔１」とあるを「学銅めっき液をイオン交換塔
１」と補正する。 １５、明細書第１２頁第９行目に「化学銅めっき貯槽８
の液」とあるな「化学銅めっき液」と補正する。 １６、明細書第１２頁第１６行目に「めっと液を、パル
プＶ＋Ｊとあるな「管路２９からめっき液貯槽８に導入
する。バルブＶ＋Ｊと補正する。 ］７．明細書第１２４”を第１８行目に「管路１２を通
し、」とあるを「管路９を通し、」と補正する。 １８、明ｍ再ｔ５１２頁第１９行目に「フィルター１１
で液中」とあるを「フィルター２７で液中」と補正する
。 １９、明細苺第１３頁第８行目及び第９行目ｌこ「濃縮
液相か・・・ポンプＰ４によって」とあるを「濃縮液槽
から濃縮用液をポンプ■〕−４によって」と補正する。 ２０、明細書第１３頁第１８行目に「そして、アルカリ
剤槽」とあるを［そして、適宜に、バルブＶ７を操作し
て、アルカリ剤槽」と補正する。 ２１、明細書第１４頁第１行目に「と槽６（図示せず）
に」とあるを「きＭ＋Ｊ（図示せず）に」と補正する。 ２２、明細書第１３頁第１５行目に「ポンプ２により、
」とあるを「ポンプ１〕−１により、」と補正する。 ２；３．明細書第１６頁第１７行目に「バ°ルブ■７を
開いてアルカリ剤を」とあるな「バルブ■・、を開いて
管路１３からアルカリ剤を」と補正する。 別　　　　紙 ２、特許請求の範囲 （１）　　ｒ’Ｈ１１，，５以上の化学めっき液の少く
とも一部を、少くともその一部がＦＩ型の陽イオン交換
樹脂で処理して、該化学めっき液のｐＨを約１０以下１
こ調整し、ｐＨを約１０以下に調整された該化学めっき
液から、電気透析により、少くとも一種の陰イオン成分
を除去することを特徴とする化学めっき液の処理方法。 （２）　少くともその一部が１−１型の陽イオン交換樹
脂を充填し灸生学めっぎ液の通液口及び処理液出口を有
するイオン交換塔と、電気透析装置とを包含し、前記イ
オン交換塔の処理液出口が脱塩室入口に連通してなるこ
とを特徴とする化学めっき液の処理装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１ｐＨ１２以上の化学めっき液の少くとも一部を、
   少くともその一部がＨ型の陽イオン交換樹脂で処理して
   、該化学めっき液のｐＨを約１０以下に調整し、ｐＨを
   約１０以下に調整された該化学めっき液から、眠気透析
   により、少くとも一種の陰イオン成分を除去することを
   特徴とする化学めっき液の処理方法。 鴛 （２）　　少くともその一部がＨ型の揚イオン交換樹脂
   を充填した、化学めっき液の通液口及び処理液出口を有
   するイオン交換塔と、電気透析装置とを包含し、前記イ
   オン交換塔の処理液出口が脱塩室入口に連通してなるこ
   とを特徴とする化学めっき液の処理装置。