JPS59195734U - 酸化膜化成装置 - Google Patents
酸化膜化成装置Info
- Publication number
- JPS59195734U JPS59195734U JP9085883U JP9085883U JPS59195734U JP S59195734 U JPS59195734 U JP S59195734U JP 9085883 U JP9085883 U JP 9085883U JP 9085883 U JP9085883 U JP 9085883U JP S59195734 U JPS59195734 U JP S59195734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- film formation
- formation equipment
- chemical
- chemical substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案実施例の酸化膜化成装置の概略断面図、
第２図は攪拌子の構造を示す一部切欠斜視図である。 １・・・化成容器、３・・・被化成物、４・・・化成用
水溶液、６・・・攪拌子。
第２図は攪拌子の構造を示す一部切欠斜視図である。 １・・・化成容器、３・・・被化成物、４・・・化成用
水溶液、６・・・攪拌子。
Claims (1)
- 化威容器内の被化成物と化成用水溶液との間に電圧を加
えて被化成物に酸化膜を形成させる酸化膜化成装置にお
いて、前記被化成物の化成される表面に接触しかつマグ
ネットを備えた攪拌子を配設し、この攪拌子に前記容器
外より回転磁場を与えて回転させるようにしたことを特
徴とする酸化膜化成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9085883U JPS59195734U (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 酸化膜化成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9085883U JPS59195734U (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 酸化膜化成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195734U true JPS59195734U (ja) | 1984-12-26 |
Family
ID=30220817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9085883U Pending JPS59195734U (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 酸化膜化成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195734U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522275A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-08 | Iwatsu Electric Co Ltd | Device of forming semiconductor substrates |
-
1983
- 1983-06-13 JP JP9085883U patent/JPS59195734U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522275A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-08 | Iwatsu Electric Co Ltd | Device of forming semiconductor substrates |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59195734U (ja) | 酸化膜化成装置 | |
| JPS5851489U (ja) | カプラ装置 | |
| JPS6079531U (ja) | 磁気式撹拌装置 | |
| JPS59162932U (ja) | 液体用酸化防止器 | |
| JPS59178055U (ja) | ヘイキウブ用磁石付攪拌機 | |
| JPS59169042U (ja) | 液処理装置 | |
| JPS58119837U (ja) | 「か」拌容器 | |
| JPS58159737U (ja) | 半導体基板のエツチング装置 | |
| JPS60100026U (ja) | 撹拌装置 | |
| JPS5912471U (ja) | 鉛蓄電池 | |
| JPS605140U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS60128639U (ja) | 磁気健康器 | |
| JPS59191181U (ja) | 病害虫防除用の薬剤塗布器 | |
| JPS5931435U (ja) | マグネチツクスタ−ラ−用撹「はん」子 | |
| JPS5860912U (ja) | 電磁装置のコア | |
| JPS60124632U (ja) | 化学実験用撹拌装置 | |
| JPS59153558U (ja) | 感光材料処理装置 | |
| JPS5877851U (ja) | リ−ル台駆動装置 | |
| JPS6143106U (ja) | 製袋装置に於ける冷却装置 | |
| JPS59154304U (ja) | 結晶化装置 | |
| JPS6114674U (ja) | 半導体装置収納トレ− | |
| JPS60107758U (ja) | 薄層クロマトグラフイ用展開槽 | |
| JPS583033U (ja) | ウエハ−洗浄装置 | |
| JPS59191775U (ja) | 電子部品装置 | |
| JPS59121786U (ja) | カセツトハ−フ |