JPS59195622A - 分岐光導波路 - Google Patents
分岐光導波路Info
- Publication number
- JPS59195622A JPS59195622A JP7038883A JP7038883A JPS59195622A JP S59195622 A JPS59195622 A JP S59195622A JP 7038883 A JP7038883 A JP 7038883A JP 7038883 A JP7038883 A JP 7038883A JP S59195622 A JPS59195622 A JP S59195622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- optical waveguide
- branching
- guided light
- branched optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3137—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は分岐光導波路に関する。特に導波光を分岐させ
、光スィッチ、光偏向’ｌ？ｒ等の光装置素子に応用す
る光回路素子に応用する分岐光導波路に関する。
、光スィッチ、光偏向’ｌ？ｒ等の光装置素子に応用す
る光回路素子に応用する分岐光導波路に関する。
従来例の構成とその問題点
従来１この種の分岐光導波路はたとえばＬｉＮｂＯ３単
結晶のような電気光学材料を用い、Ｔｉ 拡散ＬｉＮｂ
Ｏ３導波路で構成されていた。この場合たとえば、第１
図に示すように表面を研磨したＬｉＮｂ０ｇ単結晶基板
１１の表面層にＴｉ 金属を拡散させ、主導波路１２を
形成するとともに上記主導波路１２に接続する副導波路
１３を形成し、制御電極１４を石英ガラスからなるバッ
ファ層１５を介して接続部１６上に設け、制御電極１４
に電圧全印加し、電極ギャップ下の導波路の屈折率を低
下させて低屈折率層を形成し、導波路中を伝搬する導波
光を低屈折率層との界面で全反射させ導波光の方向を変
化させるものであった。すなわち、たとえば４１から４
２に進む光波を電圧の印加によりｅｌからｅ５に偏向さ
せるものである。
結晶のような電気光学材料を用い、Ｔｉ 拡散ＬｉＮｂ
Ｏ３導波路で構成されていた。この場合たとえば、第１
図に示すように表面を研磨したＬｉＮｂ０ｇ単結晶基板
１１の表面層にＴｉ 金属を拡散させ、主導波路１２を
形成するとともに上記主導波路１２に接続する副導波路
１３を形成し、制御電極１４を石英ガラスからなるバッ
ファ層１５を介して接続部１６上に設け、制御電極１４
に電圧全印加し、電極ギャップ下の導波路の屈折率を低
下させて低屈折率層を形成し、導波路中を伝搬する導波
光を低屈折率層との界面で全反射させ導波光の方向を変
化させるものであった。すなわち、たとえば４１から４
２に進む光波を電圧の印加によりｅｌからｅ５に偏向さ
せるものである。
しかし、このような従来の分岐光導波路には以下のよう
な問題点を有していた。すなわち、電気光学効果による
屈折率変化が小さいため、主導波路１２と分岐導波路１
３の交差角を小さくする必要があり、そのため４１から
ｅ２に伝搬する導波光のめ うちｅ５へ漏洩が生じていた。このた寺、電圧無印加時
のｅ２とｅ３の導波光の強度比すなわち分岐比が１０ｄ
Ｂ 程度である。これ以上分岐比を向上させるには交差
角を大きくすればよいが、そうすると導波光を偏向さぜ
る分岐動作電圧が高くなり、実用上問題が多い１、また
、特に高次モード導波光の分岐比が低次モードに比べて
悪く、マルチモード導波光の制御がむずかしい、という
問題があった。
な問題点を有していた。すなわち、電気光学効果による
屈折率変化が小さいため、主導波路１２と分岐導波路１
３の交差角を小さくする必要があり、そのため４１から
ｅ２に伝搬する導波光のめ うちｅ５へ漏洩が生じていた。このた寺、電圧無印加時
のｅ２とｅ３の導波光の強度比すなわち分岐比が１０ｄ
Ｂ 程度である。これ以上分岐比を向上させるには交差
角を大きくすればよいが、そうすると導波光を偏向さぜ
る分岐動作電圧が高くなり、実用上問題が多い１、また
、特に高次モード導波光の分岐比が低次モードに比べて
悪く、マルチモード導波光の制御がむずかしい、という
問題があった。
したがって、大きな分岐比をとれないため、漏話特性が
低く、Ｓ／Ｎ比が充分にとれないという欠点を有してい
た。
低く、Ｓ／Ｎ比が充分にとれないという欠点を有してい
た。
発明の目的
本発明の目的は、主導波路の導波光を分岐導波路に分岐
させる。分岐光導波路全提供することを目的とするもの
である。
させる。分岐光導波路全提供することを目的とするもの
である。
発明の構成
本発明は、基板表面に形成された主導波路と、上記主導
波路に接続する分岐導波路と、上記主および分岐導波路
により構成された接続部に設けた制御電極とを備え、さ
らに補償導波路を上記接続部に設けたものである。
波路に接続する分岐導波路と、上記主および分岐導波路
により構成された接続部に設けた制御電極とを備え、さ
らに補償導波路を上記接続部に設けたものである。
実施例の説明
第２図は本発明にかかる分岐光導波路の要部平面図であ
る。同図において、基板１１の表面に形成された主導波
路１２と、上記主導波路１２に接続する分岐導波路１３
により構成された接続部１６に設けた制御電極１４とか
らなる分岐導波路１０において、補償導波路２１を上記
接続部１６に設けて分岐光導波路を構成している。
る。同図において、基板１１の表面に形成された主導波
路１２と、上記主導波路１２に接続する分岐導波路１３
により構成された接続部１６に設けた制御電極１４とか
らなる分岐導波路１０において、補償導波路２１を上記
接続部１６に設けて分岐光導波路を構成している。
発明者らは上記構造の分岐導波路において、従来の分岐
導波路に補償導波路２１を接続部２１に付設することに
より分岐比の改善されることを発見し、この発見にもと
づいて本発明にかかる分岐導波路を発明した。
導波路に補償導波路２１を接続部２１に付設することに
より分岐比の改善されることを発見し、この発見にもと
づいて本発明にかかる分岐導波路を発明した。
すなわち、従来の分岐光導波路では接続部１６での構造
変化が導波光４１の導波の条件に影響し、４５への漏洩
が生じて分岐比を低下させていた。そのため、この漏洩
導波光は光スィッチ等の素子における消光比も劣化させ
ていた。本発明の構造における補償導波路２１は、分岐
光導波路の接続部の導波光の条件を従来の分岐光導波路
の場合と異なり、ｅｌの導波光を１３へ漏洩しない条件
に近ずけたものである。
変化が導波光４１の導波の条件に影響し、４５への漏洩
が生じて分岐比を低下させていた。そのため、この漏洩
導波光は光スィッチ等の素子における消光比も劣化させ
ていた。本発明の構造における補償導波路２１は、分岐
光導波路の接続部の導波光の条件を従来の分岐光導波路
の場合と異なり、ｅｌの導波光を１３へ漏洩しない条件
に近ずけたものである。
特に、分岐導波路と主導波路との鋭角なる分岐交差角θ
１と補償導波路と主導波路との鋭角なる補償交差角θ２
とをほぼ等しくすると、１１の導波光のムへの漏洩が特
に少ないことを発見し、この発見にもとづき有効な分岐
光導波路を発見した。すなわち、この種の構成にすると
主導波路１２の４１の導波光は接続部１６においても、
導波光の導波条件は４１に対して対称の形であるため、
４ろに漏洩することなり４２に導波し、良好な分岐比が
得られると考えられる。
１と補償導波路と主導波路との鋭角なる補償交差角θ２
とをほぼ等しくすると、１１の導波光のムへの漏洩が特
に少ないことを発見し、この発見にもとづき有効な分岐
光導波路を発見した。すなわち、この種の構成にすると
主導波路１２の４１の導波光は接続部１６においても、
導波光の導波条件は４１に対して対称の形であるため、
４ろに漏洩することなり４２に導波し、良好な分岐比が
得られると考えられる。
以下本発明の内容を理解できるように具体的な実施例を
あげて説明する。
あげて説明する。
本発明の実施例を第２図により具体的に説明する・たと
えば電気光学材料であるＬｉ１（ｂｏｓ 単結晶にお
いて、表面が平滑なＹカットＬｉＮｂＯ３単結晶基板１
１上に深さ１μｍ程度のＴｉ 拡散層からなる幅３〜５
０μｍの導波路を形成し、主導波路１２、分岐導波路１
３、補償導波路２１とする。
えば電気光学材料であるＬｉ１（ｂｏｓ 単結晶にお
いて、表面が平滑なＹカットＬｉＮｂＯ３単結晶基板１
１上に深さ１μｍ程度のＴｉ 拡散層からなる幅３〜５
０μｍの導波路を形成し、主導波路１２、分岐導波路１
３、補償導波路２１とする。
さらに石英ガラスからなるバッファ層１５を接続部１６
上にスパッタ蒸着により形成したのち、膜厚０．１ ｐ
ｍ 、空隙２〜６μη７の制御電極１４ｆ：Ａｅ蒸着膜
により構成し、分岐光導波路とする。１ｖ、上の構成に
すると、１１の導波光の分岐比１４ｄＢ以をマルチモー
ド導波光においても得られることを確認した。したがっ
て、消光比も容易に１４ｄＢ以上得られることを確認し
た。
上にスパッタ蒸着により形成したのち、膜厚０．１ ｐ
ｍ 、空隙２〜６μη７の制御電極１４ｆ：Ａｅ蒸着膜
により構成し、分岐光導波路とする。１ｖ、上の構成に
すると、１１の導波光の分岐比１４ｄＢ以をマルチモー
ド導波光においても得られることを確認した。したがっ
て、消光比も容易に１４ｄＢ以上得られることを確認し
た。
なお、実施例はＬｉＮｂＯ３導波路について説明しだが
、本発明における構造において導波路はどの材料でもよ
く、導波光の分岐は電気光学効果のみによるものでなく
超音波、磁気光学効果、熱等のいずれでもよい。
、本発明における構造において導波路はどの材料でもよ
く、導波光の分岐は電気光学効果のみによるものでなく
超音波、磁気光学効果、熱等のいずれでもよい。
発明の効果
以上のように本発明にかかる分岐光導波路においては、
従来の分岐光導波路よりも分岐比を向上させているので
、消光比も優れており漏話特性も良好である利点を有し
ている。特゛に、マルチモード光での分岐比が優れてい
るため、多モード伝搬が可能となりその工業的価値は高
いものである・
従来の分岐光導波路よりも分岐比を向上させているので
、消光比も優れており漏話特性も良好である利点を有し
ている。特゛に、マルチモード光での分岐比が優れてい
るため、多モード伝搬が可能となりその工業的価値は高
いものである・
第１図は従来の分岐光導波路の構造を示す要部平面図、
第２図は本発明の一実施例にかかる分岐光導波路の構造
を示す要部平面図である。 １２・・・・・・主導波路、１３・・・・・・分岐導波
路、１４・・・・・・制御電極、１５・・・・・・バッ
ファ層、１６・・・・・・接続部、２１・・・・・・補
償導波路。
第２図は本発明の一実施例にかかる分岐光導波路の構造
を示す要部平面図である。 １２・・・・・・主導波路、１３・・・・・・分岐導波
路、１４・・・・・・制御電極、１５・・・・・・バッ
ファ層、１６・・・・・・接続部、２１・・・・・・補
償導波路。
Claims (1)
- ０）基板表面に形成された主導波路と、上記主導波路に
接続する分岐導波路と、上記上および分岐導波路により
構成された接続部に設けた制御電極と、上記接続部に設
けた補償導波路とを備えたことを特徴とする分岐光導波
路１゜（２）分岐導波路と主導波路との鋭角なる分岐交
差角と、補償導波路と前記主導波路との鋭角なる補償交
差角とがほぼ等しくなるように前記補償導波路を配置し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の分岐光
導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038883A JPS59195622A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038883A JPS59195622A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195622A true JPS59195622A (ja) | 1984-11-06 |
Family
ID=13430006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7038883A Pending JPS59195622A (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195622A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373162A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-02 | Nec Corp | 導波型光・音響スペクトラムアナライザの製造方法 |
-
1983
- 1983-04-21 JP JP7038883A patent/JPS59195622A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373162A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-02 | Nec Corp | 導波型光・音響スペクトラムアナライザの製造方法 |
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