JPS59195177A - 光電子の計数方法 - Google Patents
光電子の計数方法Info
- Publication number
- JPS59195177A JPS59195177A JP6964383A JP6964383A JPS59195177A JP S59195177 A JPS59195177 A JP S59195177A JP 6964383 A JP6964383 A JP 6964383A JP 6964383 A JP6964383 A JP 6964383A JP S59195177 A JPS59195177 A JP S59195177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectrons
- sample
- photoelectron
- counting
- predetermined period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
電子を計数する方法に関する。
光電子の検出には、大気中で作動する空気カウンターを
用いる．試料に光を照射する際に、入射光の一部は乱反
射により空気カウンターに入る。
用いる．試料に光を照射する際に、入射光の一部は乱反
射により空気カウンターに入る。
これらの光のエネルギーが空気カウンターの壁材料の光
電的仕事関数より大きい場合は、空気カウンターの壁か
ら光電子が放出される．空気カウンターは、試料からの
光電子だけではなく、この壁からの光電子も同時に計数
してしまい、そのため試料から大気中に放出する光電子
のみを選択して正確に計数することができなかった。
電的仕事関数より大きい場合は、空気カウンターの壁か
ら光電子が放出される．空気カウンターは、試料からの
光電子だけではなく、この壁からの光電子も同時に計数
してしまい、そのため試料から大気中に放出する光電子
のみを選択して正確に計数することができなかった。
本発明の目的は試料から放出する光電子のみを正確に計
数する方法を提供することにある。
数する方法を提供することにある。
本発明の計数原理は、一定期間試料から放出する光電子
と空気カウンターの壁から放出する光電子との両方を計
数し一）これに続く一定期間試料カウンターの虫から放
出する光電子のみを計数し、嘔位時間当りの計数値に換
算して最初の期間の計数値から後の期間の計数値を差引
き、それにょシ・試料から放出する光電子の計数値を得
ることにある。
と空気カウンターの壁から放出する光電子との両方を計
数し一）これに続く一定期間試料カウンターの虫から放
出する光電子のみを計数し、嘔位時間当りの計数値に換
算して最初の期間の計数値から後の期間の計数値を差引
き、それにょシ・試料から放出する光電子の計数値を得
ることにある。
以下に添付図を参照し従来の光電子計数方法と本発明の
巻電子計数方法とを対比して説明する。
巻電子計数方法とを対比して説明する。
第１、２図を参照する．第１図は光電子測定装置を示し
、第一図は光電子測定装置の電極にか’する電圧の変化
を示す。光源６がらの光は、分光器７により単色化され
、空気カウンターｌｏ内に置かれた試料９を照射する．
単色光の強度はスリット８により調整される．試料，表
面９で反射された泊は空気カウンターｌＯの外へ出てい
＜、＊色光１五射によって放出させられる試料からの光
電子１は、第３図に示されている所定の電圧がパルス発
生器４、５から印加されている格子Ｇ２（ｇθＶン及び
Ｇ１（／θＯ Ｖ）を通過し陽極Ａに向う。陽極Ａには
高ｌ）ｌ：電源１から高電圧が加えられており、それに
より生じたＩＩａ極近くの強い電界が光電子を加速し、
気体放電を引き起す。との気体増幅作用により、第．２
図に示すように陽極の電位が低下し、電子／” ／ｌ’
Ｘが発生し、このパルスはグリアンゾ２を介して計数
装置り３に加えられる。パルスの発生と同時に格子Ｇ１
の電圧を／θθ■からダθＯｖに急に噌加させる．この
結果陽極と格子Ｇ１ との間の電位差が３０θ■低下
し、気体放電が停止する。
、第一図は光電子測定装置の電極にか’する電圧の変化
を示す。光源６がらの光は、分光器７により単色化され
、空気カウンターｌｏ内に置かれた試料９を照射する．
単色光の強度はスリット８により調整される．試料，表
面９で反射された泊は空気カウンターｌＯの外へ出てい
＜、＊色光１五射によって放出させられる試料からの光
電子１は、第３図に示されている所定の電圧がパルス発
生器４、５から印加されている格子Ｇ２（ｇθＶン及び
Ｇ１（／θＯ Ｖ）を通過し陽極Ａに向う。陽極Ａには
高ｌ）ｌ：電源１から高電圧が加えられており、それに
より生じたＩＩａ極近くの強い電界が光電子を加速し、
気体放電を引き起す。との気体増幅作用により、第．２
図に示すように陽極の電位が低下し、電子／” ／ｌ’
Ｘが発生し、このパルスはグリアンゾ２を介して計数
装置り３に加えられる。パルスの発生と同時に格子Ｇ１
の電圧を／θθ■からダθＯｖに急に噌加させる．この
結果陽極と格子Ｇ１ との間の電位差が３０θ■低下
し、気体放電が停止する。
この放電停止期間τの間は、放電は起らない。一方格子
Ｇ２ け、τの期間−３０Ｖに保たれ、放電によって
発生した正イオンを補集し、正イオンが試料に行かない
ようにしている。
Ｇ２ け、τの期間−３０Ｖに保たれ、放電によって
発生した正イオンを補集し、正イオンが試料に行かない
ようにしている。
τの期間の後、格子Ｇ２及びＧ１の電圧は、元の電圧ざ
θ■と／θ０■にそれぞれ回復させられ、空気カウンタ
ー１０は再び光電子を検出できる状ｊ−になる．このよ
うに陽極に発生した電子ノやルスを計数することにより
光電子を計数する。しかしながらこの計数方式では、試
料からの光電子１と壁からの光電子２を区別して、試料
からの光電子のみを選択的に計数することができない。
θ■と／θ０■にそれぞれ回復させられ、空気カウンタ
ー１０は再び光電子を検出できる状ｊ−になる．このよ
うに陽極に発生した電子ノやルスを計数することにより
光電子を計数する。しかしながらこの計数方式では、試
料からの光電子１と壁からの光電子２を区別して、試料
からの光電子のみを選択的に計数することができない。
第３図を参照して空気カウンターを使用して試料がらの
光′１１子のみを選択的に計数する本発明の光）Ｋ子の
計数方法の実施例を説明する。
光′１１子のみを選択的に計数する本発明の光）Ｋ子の
計数方法の実施例を説明する。
第３図において、第１の所定期間Ｔ１ 中は第２図を
参照して上に説明したと同様に光電子を計数する．この
計数値は当然試料からの光？ｌｉ子１と壁からの光電子
２との総ｆｉＮ１ を示す。
参照して上に説明したと同様に光電子を計数する．この
計数値は当然試料からの光？ｌｉ子１と壁からの光電子
２との総ｆｉＮ１ を示す。
第１の所定期間Ｔ１ に続く第一の所定期間Ｔ２の間
陽極Ａへの光電子の到来毎に格子Ｇ１の電圧を上げて電
界強度を減少して放電を防止するが、他方では試料９か
らの光電子１の到来を阻止するため格子Ｇ２ に連続
的な負電位障壁（−３０Ｖ）をつくり、それにより壁か
らの光電子２のみ選択的に計数して計数値Ｎ２ を得
る。
陽極Ａへの光電子の到来毎に格子Ｇ１の電圧を上げて電
界強度を減少して放電を防止するが、他方では試料９か
らの光電子１の到来を阻止するため格子Ｇ２ に連続
的な負電位障壁（−３０Ｖ）をつくり、それにより壁か
らの光電子２のみ選択的に計数して計数値Ｎ２ を得
る。
Ｔ１とＴ２を等しくとると、計数値の差Ｎ１−Ｎ２がら
、試料からの光電子１のみの計数値を知ることができる
． Ｔ１とＴ２が等しくない場合は、単位時間当りの計
数値、すなわち計数率Ｎ １ ／Ｔ ＩとＮ２．／Ｔ
２の差をとればよい。
、試料からの光電子１のみの計数値を知ることができる
． Ｔ１とＴ２が等しくない場合は、単位時間当りの計
数値、すなわち計数率Ｎ １ ／Ｔ ＩとＮ２．／Ｔ
２の差をとればよい。
第４図に酸化物で被覆したＰ型シリコン（１ ０’ ０
）面からの光電子放出が酸化膜の厚さによりどのように
変化するかを本発明の方法により測定した例を示す．照
射紫外光のエネルギーは左Ａｅｖ（波長コ。２０ ｙｉ
ｍ）であり、この光では酸化膜からの光電子放出は生じ
ない、酸化１漠の下層のシリコン面からの光電子のうち
酸化膜の厚み内で運動エネルギーを失わなかったものだ
けが大気中へ放出され、１１［；牧される。
）面からの光電子放出が酸化膜の厚さによりどのように
変化するかを本発明の方法により測定した例を示す．照
射紫外光のエネルギーは左Ａｅｖ（波長コ。２０ ｙｉ
ｍ）であり、この光では酸化膜からの光電子放出は生じ
ない、酸化１漠の下層のシリコン面からの光電子のうち
酸化膜の厚み内で運動エネルギーを失わなかったものだ
けが大気中へ放出され、１１［；牧される。
第１図は光電子測定用空気カウンターの概略図である。
’：ｒＳ ２図は従来の光電子計数原理に従う空気カウ
ンターの’１！ 極の加用変化を示す。 第３図は本発明の方法に従う空気カウンターの）ｎ極の
電１王変化を示す。 第を図は本発明の方法を適用してＰ型シリコンの１“便
化［Ｉりの厚みと光電子放出強度の関係を測定した例を
示す。 図中： １：高圧１ｆＬ源、 ２：プリアンプ、３：計数装置、
４：）ぐルス発生器、５：ノぐルスー兄生器、６
：光源、 ７：分光器、８＝スリツト、 ９：試料
１０：空気カウンター。 第１図 第２図 第３図 第４図 ０ １００ ２０
０赦化膜の厚さ （λ）
ンターの’１！ 極の加用変化を示す。 第３図は本発明の方法に従う空気カウンターの）ｎ極の
電１王変化を示す。 第を図は本発明の方法を適用してＰ型シリコンの１“便
化［Ｉりの厚みと光電子放出強度の関係を測定した例を
示す。 図中： １：高圧１ｆＬ源、 ２：プリアンプ、３：計数装置、
４：）ぐルス発生器、５：ノぐルスー兄生器、６
：光源、 ７：分光器、８＝スリツト、 ９：試料
１０：空気カウンター。 第１図 第２図 第３図 第４図 ０ １００ ２０
０赦化膜の厚さ （λ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ 投射光に応答して試料から放出された光電子の陽極
への到来数を電気ノヤルスの形で計数する光電子の計数
方法において、 第１の所定期間中陽極への光電子の到来毎に放電防止の
ため電界強度を減少し同時に空間清浄のため負電位域を
つくり、第１の所定期間に続く第２の所定期間中陽極へ
の光電子の到来毎に放電防止のため電界強度を減少し、
同時に試料からの光電子の到来を阻止するための連続的
な負電位障壁をつくり、そして前記の第１の所定期間中
の光電子のカウントを前記の第コの所定期間中の光電子
のカウントで較正して試料からの放出光電子のみを計数
するようにしたことを特徴とする光電子の計数方法。 λ 前記の第１の所定期間と前記の第２の所定期間とが
同じ時間であり、第１の所定期間中の光電子のカウント
から第コの所定期間中の光電子のカウントを差引いて試
料からの放出光電子のみを計数するようにした特許請求
の範囲第１項に記載の光電子の計数方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6964383A JPS59195177A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光電子の計数方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6964383A JPS59195177A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光電子の計数方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195177A true JPS59195177A (ja) | 1984-11-06 |
| JPH0437390B2 JPH0437390B2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=13408735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6964383A Granted JPS59195177A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光電子の計数方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195177A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239185A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Rikagaku Kenkyusho | 低速電子測定装置 |
| JPS61239184A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Rikagaku Kenkyusho | 低速電子測定装置 |
| JPS639855A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Rikagaku Kenkyusho | 電子計数装置 |
| JPS6384587U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-02 | ||
| JPH01138450A (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-31 | Riken Keiki Kk | 光電子放出閾値測定装置 |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP6964383A patent/JPS59195177A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239185A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Rikagaku Kenkyusho | 低速電子測定装置 |
| JPS61239184A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Rikagaku Kenkyusho | 低速電子測定装置 |
| JPS639855A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Rikagaku Kenkyusho | 電子計数装置 |
| JPS6384587U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-02 | ||
| JPH0542377Y2 (ja) * | 1986-11-25 | 1993-10-26 | ||
| JPH01138450A (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-31 | Riken Keiki Kk | 光電子放出閾値測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0437390B2 (ja) | 1992-06-19 |
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