JPS59184308A - 複数光学要素の光軸傾き調整方法 - Google Patents
複数光学要素の光軸傾き調整方法Info
- Publication number
- JPS59184308A JPS59184308A JP5780383A JP5780383A JPS59184308A JP S59184308 A JPS59184308 A JP S59184308A JP 5780383 A JP5780383 A JP 5780383A JP 5780383 A JP5780383 A JP 5780383A JP S59184308 A JPS59184308 A JP S59184308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical
- optical axis
- light
- inclination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
軸の傾きを調整すム方法に関するものである。１詳しく
は光ディスク等の光学系を組立てる場今に、レンズの光
軸の傾きを測定してレンスノ米して、第１図に示すよう
にレーザ光線１をレンズ２に入射するとレンズの表面３
によってレー・ザ光点が反射し７、虚・実像のレーザ点
Ｐ１、Ｐ２・・・が形成される。もし、レーザ光１とレ
ンズの光・軸Ａが傾いていると、第２図に示すように、
し。
は光ディスク等の光学系を組立てる場今に、レンズの光
軸の傾きを測定してレンスノ米して、第１図に示すよう
にレーザ光線１をレンズ２に入射するとレンズの表面３
によってレー・ザ光点が反射し７、虚・実像のレーザ点
Ｐ１、Ｐ２・・・が形成される。もし、レーザ光１とレ
ンズの光・軸Ａが傾いていると、第２図に示すように、
し。
−ザ光点Ｐ１、Ｐ２・・・の列がな十＠４が傾く。
従ってレーザ入射方向からレーザ光点を目視観察するこ
とによって、光点列の並び方によってレンズ光軸５の傾
き△θを測定することができるＯ ところでこのような従来の光軸傾き測定方法。
とによって、光点列の並び方によってレンズ光軸５の傾
き△θを測定することができるＯ ところでこのような従来の光軸傾き測定方法。
において、傾きの測定精度は光点がレンズ傾きに対して
どの程度傾くかに依存する。即ち第３図に示す↓′うに
、レンズ表面３から光点２寸での距離をｔ、レンズの傾
きを△θとすると、光点Ｐの移動距離は２ｔ・△θとな
る。そこでレンズ表面の曲率が小さい方がｔが長くなり
、光点の移動距離は大きくなる。また光点の大きさもｔ
が長い方が大きくなるので、観察に好都合であるっまだ
レンズの傾きは、複数の光点の配列で測定されるので、
複数の要素で構成されるレンズの長さは長い方が傾き測
定精度は良くなる。
どの程度傾くかに依存する。即ち第３図に示す↓′うに
、レンズ表面３から光点２寸での距離をｔ、レンズの傾
きを△θとすると、光点Ｐの移動距離は２ｔ・△θとな
る。そこでレンズ表面の曲率が小さい方がｔが長くなり
、光点の移動距離は大きくなる。また光点の大きさもｔ
が長い方が大きくなるので、観察に好都合であるっまだ
レンズの傾きは、複数の光点の配列で測定されるので、
複数の要素で構成されるレンズの長さは長い方が傾き測
定精度は良くなる。
しかしながら光ディスク等に用いられるレジズけ、焦点
距離が短かく、且つレンズの長さ本短かいのでレンズの
曲率が大きくなり、上記の如くレーザ光を入射させても
、レンズ光軸の癲きΔθに対して光点の移動量が小さく
、光点の大きさも小さく、しかも、光点形成の焦点深度
が浅くなるため、目視で光点を観察しても光点列を観察
できず、レンズの光軸の傾き調整が不可能であった。
距離が短かく、且つレンズの長さ本短かいのでレンズの
曲率が大きくなり、上記の如くレーザ光を入射させても
、レンズ光軸の癲きΔθに対して光点の移動量が小さく
、光点の大きさも小さく、しかも、光点形成の焦点深度
が浅くなるため、目視で光点を観察しても光点列を観察
できず、レンズの光軸の傾き調整が不可能であった。
本発明の目的は、上記従来技術の欠点をなくし、光ディ
スク等に用いられている焦点距離の短かい、且つ長さも
短かいレンズの光軸の傾きを高精度にしかも迅速に調整
できるようにした複数光学弗素の光軸傾き調整方法を提
供するにある。
スク等に用いられている焦点距離の短かい、且つ長さも
短かいレンズの光軸の傾きを高精度にしかも迅速に調整
できるようにした複数光学弗素の光軸傾き調整方法を提
供するにある。
本発明は、複数の光学要素（例えばレンズ）。
で形成された光学系にレーザ光線を入射させ、入射した
光線が複数の光学要素の表面で反射することによシ形成
された複数のレーザ光像を光路長を変えた別々の光学系
で結像し、この結像された光点が一致するように上記光
学要素の光軸に対する傾きを調整することを特徴と干る
ものである、 〔発明の実施例〕 以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体的に説明
する。
光線が複数の光学要素の表面で反射することによシ形成
された複数のレーザ光像を光路長を変えた別々の光学系
で結像し、この結像された光点が一致するように上記光
学要素の光軸に対する傾きを調整することを特徴と干る
ものである、 〔発明の実施例〕 以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体的に説明
する。
第４図は発明の一実施例である。
半透明鏡６によってレーザ光１を光軸の傾き。
検出するレンズ系２に入射させる。形成された光点ｐｉ
、Ｐ２ヲ対物レンズ７によって拡大し、接眼レンズ８の
位置に結像し、観察するようにする。゛対物レンズ７を
出た光はＰｌ、Ｐ２の位置が異るので、両者は接眼レン
ズ８の同位置には結像しない。そこで、光透明鏡９にＩ
つで光を２つに分離する。２つに分けられた光路の片イ
Ｆｉ！ｌにはレンズ９が設けてあり、２つの光点Ｐ１、
Ｐ２がともに接眼位置で結像するようにする。このよう
′な構成によって光点Ｐ１、Ｐ２の像が、同時に同一視
野で観察できる。
、Ｐ２ヲ対物レンズ７によって拡大し、接眼レンズ８の
位置に結像し、観察するようにする。゛対物レンズ７を
出た光はＰｌ、Ｐ２の位置が異るので、両者は接眼レン
ズ８の同位置には結像しない。そこで、光透明鏡９にＩ
つで光を２つに分離する。２つに分けられた光路の片イ
Ｆｉ！ｌにはレンズ９が設けてあり、２つの光点Ｐ１、
Ｐ２がともに接眼位置で結像するようにする。このよう
′な構成によって光点Ｐ１、Ｐ２の像が、同時に同一視
野で観察できる。
なお１０．１１は鏡には半透明鏡である。
第５図は他の実施例を示すものである。
この場合は、２つに分離した光を別々の撮像装置１６．
１４でおのおのＰｌ、Ｐ２を撮像する。Ｐｌ、Ｐ２の像
をＴＶモニター１５によって重ね合せて表示すれば１．
２つの光点Ｐ１、Ｐ２が同時に観察できるっ このようにして観察した２つの光点を互に重なるように
レンズの傾きを調整すれば、レーザ光の進む方向（光＠
）とレンズの光軸とを一致させることができる。また、
あらかじめ、し。
１４でおのおのＰｌ、Ｐ２を撮像する。Ｐｌ、Ｐ２の像
をＴＶモニター１５によって重ね合せて表示すれば１．
２つの光点Ｐ１、Ｐ２が同時に観察できるっ このようにして観察した２つの光点を互に重なるように
レンズの傾きを調整すれば、レーザ光の進む方向（光＠
）とレンズの光軸とを一致させることができる。また、
あらかじめ、し。
ザ光線とレンズ光軸のなす角度と２つの光点の間隔との
関係を測定しておけば、２つの光点の間隔を測定するこ
と（でよって角度が測定できる。
関係を測定しておけば、２つの光点の間隔を測定するこ
と（でよって角度が測定できる。
なお第５図に示す実施例において各分岐された各々の光
路に別々のＦＫレンズ１６１．１７ヲおい−でもよいこ
とは明らかである。− 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明ｉ／Ｃよれば、小型、で且つ
短焦点距離の光学要素（レンズ）に対して、光軸（レー
ザ光線入射方向）と光学要素光軸とを一致させる調整が
極めて迅速に且つ精度良くできる効果を奏するっ
路に別々のＦＫレンズ１６１．１７ヲおい−でもよいこ
とは明らかである。− 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明ｉ／Ｃよれば、小型、で且つ
短焦点距離の光学要素（レンズ）に対して、光軸（レー
ザ光線入射方向）と光学要素光軸とを一致させる調整が
極めて迅速に且つ精度良くできる効果を奏するっ
第１図はレンズに対し、レーザ光を入射させた場合に観
、１察できるレーザ光点の生成を説明するだめの図、第
２図はレンズが傾いた場合のレーザ光点の様子を説明す
るだめの図、第３図はレンズが傾いた場合の光点の移動
量を説明するための図、第４図及び第５図は各々本発明
の如く光点を観察しレンズの光軸をレーザ光軸にで致さ
せるだめの一実施例を示す図である。 １・・・・・・光軸に平行なレーザ光、２・・・・・レ
ンズ ６・・・・・・レンズの表面、 ４・・・・・・光点のなす軸、 ５・・・・・レンズの光軸、 ６９１２ ・・・半透鏡、 ７ ・・・対物レンズ、 ８ ・・・接眼レンズ、 １０１１・・・・・・鏡、 １３１４・・・・・・撮像装置、 １５・・・・・・ＴＶモニタ。 才１ 区 ど 躬３ 図 男 ４ 図 第５閃
、１察できるレーザ光点の生成を説明するだめの図、第
２図はレンズが傾いた場合のレーザ光点の様子を説明す
るだめの図、第３図はレンズが傾いた場合の光点の移動
量を説明するための図、第４図及び第５図は各々本発明
の如く光点を観察しレンズの光軸をレーザ光軸にで致さ
せるだめの一実施例を示す図である。 １・・・・・・光軸に平行なレーザ光、２・・・・・レ
ンズ ６・・・・・・レンズの表面、 ４・・・・・・光点のなす軸、 ５・・・・・レンズの光軸、 ６９１２ ・・・半透鏡、 ７ ・・・対物レンズ、 ８ ・・・接眼レンズ、 １０１１・・・・・・鏡、 １３１４・・・・・・撮像装置、 １５・・・・・・ＴＶモニタ。 才１ 区 ど 躬３ 図 男 ４ 図 第５閃
Claims (1)
- １、 複数の光学要素で形成された光学系にレニザ光線
を入射させ、入射したレーザ光線が複数の光学要素の表
面で反射することにより形成された複数のレーザ光点の
像を光路長を変えた別々の光学系で結像し、この結像さ
れた・光点が一致するように上記光学要素の光軸に・・
対する傾きを調整することを特徴とする複数光学要素の
光軸傾き調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5780383A JPH0229202B2 (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | Fukusukogakuyosonokojikukatamukichoseihoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5780383A JPH0229202B2 (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | Fukusukogakuyosonokojikukatamukichoseihoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59184308A true JPS59184308A (ja) | 1984-10-19 |
| JPH0229202B2 JPH0229202B2 (ja) | 1990-06-28 |
Family
ID=13066067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5780383A Expired - Lifetime JPH0229202B2 (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | Fukusukogakuyosonokojikukatamukichoseihoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229202B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0269337A2 (en) * | 1986-11-24 | 1988-06-01 | AT&T Corp. | Alignment of optical components |
-
1983
- 1983-04-04 JP JP5780383A patent/JPH0229202B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0269337A2 (en) * | 1986-11-24 | 1988-06-01 | AT&T Corp. | Alignment of optical components |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229202B2 (ja) | 1990-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10245683B2 (en) | Apparatus and method for beam diagnosis on laser processing optics | |
| TWI668469B (zh) | 用於使用光源配置之改進的聚焦追蹤的系統和方法 | |
| JPS6318166B2 (ja) | ||
| JP2020024418A (ja) | ブロッキング構造体を用いてフォーカストラッキングが改善したシステム及び方法 | |
| CN112325802B (zh) | 基于共路差分和自校零的二维小角度激光测量方法与装置 | |
| JP2022519927A (ja) | レーザレーダ | |
| US5059022A (en) | Device for measuring radius of curvature and a method thereof | |
| JP2003232989A (ja) | 顕微鏡ベースのシステムに対するオートフォーカスモジュール、オートフォーカスモジュールを有する顕微鏡システム、および顕微鏡ベースのシステムに対する自動焦点合わせ方法 | |
| TW201719784A (zh) | 使用用於半導體檢查及度量之差分偵測技術而改善高度感測器之橫向解析度之方法 | |
| JP3120885B2 (ja) | 鏡面の測定装置 | |
| US8598559B2 (en) | Systems and methods for beam splitting for imaging | |
| US20180252516A1 (en) | Method and apparatus for measuring the height of a surface | |
| JP6810801B2 (ja) | フォーカシング・レベリング装置 | |
| JPS59184308A (ja) | 複数光学要素の光軸傾き調整方法 | |
| JPH06508218A (ja) | 広い測定範囲を有する偏向型光学装置 | |
| JP2983673B2 (ja) | 曲率半径測定方法および装置 | |
| JP7064606B2 (ja) | レーザ加工システムの焦点位置を特定する装置、それを備えたレーザ加工システム、および、レーザ加工システムの焦点位置の特定方法 | |
| US3832063A (en) | Lens axis detection using an interferometer | |
| JP6904872B2 (ja) | 波面計測装置、波面計測方法、及び光学系の製造方法 | |
| KR102602118B1 (ko) | 스캐너를 위한 빔을 반사 또는 투과시키기 위한 스캔 헤드 장치 및 방법, 스캔 헤드 장치를 갖는 스캐닝 장치 및 스캔 헤드 장치를 갖는 스캐너 | |
| JPS59171812A (ja) | 光学検査装置及び方法 | |
| JP2003177292A (ja) | レンズの調整装置および調整方法 | |
| CN112325803B (zh) | 基于共路差分的多面体工件夹角变化激光测量方法与装置 | |
| JPS6117907A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH08261734A (ja) | 形状測定装置 |