JPS59183679U - 物体検知装置 - Google Patents

物体検知装置

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JPS59183679U
JPS59183679U JP7721483U JP7721483U JPS59183679U JP S59183679 U JPS59183679 U JP S59183679U JP 7721483 U JP7721483 U JP 7721483U JP 7721483 U JP7721483 U JP 7721483U JP S59183679 U JPS59183679 U JP S59183679U
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JP
Japan
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detection device
object detection
vacuum suction
suction system
openings
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Pending
Application number
JP7721483U
Other languages
English (en)
Inventor
章 岩山
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はフォトレジスト膜形成装置の概略構成図である
。第２図ないし第５図は従来の各種の物体検出装置の概
略構成図である。第６図はこの考案の一実施例の物体検
知装置の平面図である。第７図は第６図の物体検知装置
の■−■線に沿う断面図である。 １・・・検知すべき物体（半導体ウェーハ）、５０・・
・搬送ベルト、６０・・・物体検知装置、６１・・・樹
脂パイプ、６２・・・開口部、６３・・・センサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 検知すべき物体が通過する近傍下方に所定間隔でパイプ
    の開口部を設け゛、このパイプを真空吸引系に接続する
    とともに、前記開口部と真空吸引系との中途部に静圧ま
    たは流速変化センサを設置したことを特徴とする物体検
    知装置。。
JP7721483U 1983-05-23 1983-05-23 物体検知装置 Pending JPS59183679U (ja)

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JP7721483U JPS59183679U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 物体検知装置

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JPS59183679U true JPS59183679U (ja) 1984-12-06

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ID=30207248

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4841760A (ja) * 1971-09-27 1973-06-18

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4841760A (ja) * 1971-09-27 1973-06-18

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