JPS59182933U - ウェーハ装着機 - Google Patents

ウェーハ装着機

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Publication number
JPS59182933U
JPS59182933U JP1983078093U JP7809383U JPS59182933U JP S59182933 U JPS59182933 U JP S59182933U JP 1983078093 U JP1983078093 U JP 1983078093U JP 7809383 U JP7809383 U JP 7809383U JP S59182933 U JPS59182933 U JP S59182933U
Authority
JP
Japan
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mounting machine
wafer mounting
mounting
view
tape
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Application number
JP1983078093U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6314461Y2 (ja
Inventor
小野　喬利
Original Assignee
株式会社　デイスコ
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社　デイスコ filed Critical 株式会社　デイスコ
Priority to JP1983078093U priority Critical patent/JPS59182933U/ja
Publication of JPS59182933U publication Critical patent/JPS59182933U/ja
Priority to US06/852,594 priority patent/US4652135A/en
Application granted granted Critical
Publication of JPS6314461Y2 publication Critical patent/JPS6314461Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は通常のマウントフレームと半導体基板にテープ
を貼着した平面図、第２図は半導体基板のストリートを
示す平面図、第′３図以下この考案に係り、第３図はこ
の考案に係る検認装置を組込んだテープ貼着装置の斜視
図、第４図は第３図に示すテープ貼着装置の一部断面を
示す正面図、第５図は検認機構の斜視図、第６図は他の
実施例を示す本考案装置要部正面図。 １・・・マウントフレーム、２・・・収納孔、３・・・
半導体基板、４・・・テープ、５・・・ストリート、６
・・・載置物下面の検装置を組みこんだテープ貼着装置
、７・・・ケース体、８・・・蓋体、９・・・軸、１０
・・・円形孔、１１・・・回動環体、１２・・・車輪、
１３・・・押え輪、１４・・・載置台、１５・・・ラム
、１６・・・軸承部、１７・・・貼着テープ、１８・・
・テープロール、１９・・・中間ロール、２０・・・嵌
合凹部、２１・・・半導体基板、２２・・・顕出部、２
３．２３’・・・検認機構（反射鏡、被反射鏡）、２３
ａ・・・支持体、２３ｂ・・・反射鏡、２３Ｃ・・・基
準線、２４・・・回転カッタ、２５・・・把持体、２６
・・・開閉腕、２７・・・操作輪、２８・・・スイッチ
、２９・・・検認機構（顕微鏡）、３０・・・パイロッ
トランプ。 第３図 第４図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 不動状もしくは可動状に構成した載置台の載置面に下方
    へ貫通する載置物頭出部を適宜形成すると共に該顕出部
    下力には載置物下面を検認する検認機構を装設したこと
    を特徴とする載置地下面の検認装置。
JP1983078093U 1983-05-23 1983-05-23 ウェーハ装着機 Granted JPS59182933U (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1983078093U JPS59182933U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウェーハ装着機
US06/852,594 US4652135A (en) 1983-05-23 1986-07-03 Article holding apparatus and its use

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1983078093U JPS59182933U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウェーハ装着機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59182933U true JPS59182933U (ja) 1984-12-06
JPS6314461Y2 JPS6314461Y2 (ja) 1988-04-22

Family

ID=13652243

Family Applications (1)

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JP1983078093U Granted JPS59182933U (ja) 1983-05-23 1983-05-23 ウェーハ装着機

Country Status (2)

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US (1) US4652135A (ja)
JP (1) JPS59182933U (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS6314461Y2 (ja) 1988-04-22
US4652135A (en) 1987-03-24

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