JPS59181385U - 真空弁装置 - Google Patents

真空弁装置

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Publication number
JPS59181385U
JPS59181385U JP7588883U JP7588883U JPS59181385U JP S59181385 U JPS59181385 U JP S59181385U JP 7588883 U JP7588883 U JP 7588883U JP 7588883 U JP7588883 U JP 7588883U JP S59181385 U JPS59181385 U JP S59181385U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
guide plate
valve device
vacuum valve
guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7588883U
Other languages
English (en)
Inventor
秀雄 小林
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP7588883U priority Critical patent/JPS59181385U/ja
Publication of JPS59181385U publication Critical patent/JPS59181385U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Lift Valve (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成略図、第２図は本考案の一実施
例装置を示す構成略図、第３図は第２図に示す実施例装
置のＡ−Ａ’断面図、第４図及び第５図ａ、　　ｂ、　
　ｃは本考案を説明するための図である。 １０：排気路、１１：遮蔽弁、１２：真空容器、１３ａ
、　１３ｂ：案内板、１４ａ、１４ｂ：案内、１５：ベ
アリング、１６：シャフト、１７：駆動軸、１８ａ、１
８ｂ：リング、１９：敢行金具、２０：支点棒、２１．
２２：Ｏリングパツキン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蝶番によって弁座を塞ぐ位置から回転可能な遮蔽弁と、
    該遮蔽弁に固定された案内板と、該案内板に設けられた
    案内に沿って摺動可能に嵌め込まれた結合部材と、該結
    合部材を先端部に有し直線移動可能な駆動軸とを備え、
    該駆動軸の移動により前記遮蔽弁が回転するよう前記案
    内板の案内の形状を形成したことを特徴とする真空弁装
    置。
JP7588883U 1983-05-20 1983-05-20 真空弁装置 Pending JPS59181385U (ja)

Priority Applications (1)

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JP7588883U JPS59181385U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 真空弁装置

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JP7588883U JPS59181385U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 真空弁装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59181385U true JPS59181385U (ja) 1984-12-04

Family

ID=30205948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7588883U Pending JPS59181385U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 真空弁装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59181385U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0260785U (ja) * 1988-10-27 1990-05-07
JPH0436189U (ja) * 1990-07-23 1992-03-26

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0260785U (ja) * 1988-10-27 1990-05-07
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