JPS59180248A - 極低温冷凍装置 - Google Patents

極低温冷凍装置

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JPS59180248A
JPS59180248A JP5292883A JP5292883A JPS59180248A JP S59180248 A JPS59180248 A JP S59180248A JP 5292883 A JP5292883 A JP 5292883A JP 5292883 A JP5292883 A JP 5292883A JP S59180248 A JPS59180248 A JP S59180248A
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expansion
regenerator
pipe
cylinder
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三田 英夫
冽 石橋
隆行 松井
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Aisin Corp
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Aisin Seiki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の対象) 本発明は、可変の圧縮空間と可変の多段の膨張空間の間
に放熱器と蓄冷器を有する冷凍機によって、略5.IK
以下の極低温の冷凍を得ることに関するものである。
(本発明の利用分野) 上記スターリングサイクル極低温冷凍機は、液体ヘリウ
ムを充填しているクライオスタットに取り付Aノ、タラ
イオスタツ1−に侵入する熱によって蒸発するヘリウム
蒸気を再び液化し、クライオスタット内の液体ヘリウム
の量を當時。
一定に保持することができるものである。
本発明は、液体ヘリウムで冷却されている超電導磁石、
ジョセフソン素子、スキッド素子等を常に超低温の状態
に維持することが要求される冷却システムに不過欠なも
のである。
(従来技術) かかる極低温冷凍は、従来へdvances in C
ry−ogenic tEngineering Vo
lume 16 (Proceedingsof th
e 1970 Cryogenic Engineer
ing Confer−ence The Unive
rsity of Co1orado Boulder
Co1orado June 1.7−190970)
に示されているTriple−expansion S
tiring−Cycle Refrigera−to
rに於ける如く、膨張シリンダー105内に膨張ビス1
−ン106を収納し、第1膨張空間107 (Extr
a 1Expansion 5pace 1 ) +第
2膨張空間(Extra Expansion 5pa
ce 2 ) 、そして第3膨張空間(Extra 1
ixpansion 5pace 3)を設けた構成と
している。これを図面にして示せは次の通りである。
第1図はそのような極低温冷凍機の構成図である。第1
図に於いて、101は圧縮シリンダーであり、該圧縮シ
リンダー101は圧縮ピストン102を摺動可能Qこ備
えている。103は圧縮空間であり、前記圧縮シリンダ
ー101の上部には、前記圧縮空間103と連通してい
る放熱器104が備えである。105は前記放熱器10
4と連jmシている膨張シリンダーであり、内部には膨
張ピストン10Gを摺動可能に01にえている。前記膨
張ピストン106と前記膨張シリンダー105は、第1
膨張空間107.第2膨張空間108.第3膨張空間】
09を形成している。前記膨張ピストン106はヘリウ
ムガス等の冷媒が流れる流路106,1.第1蓄冷器1
06 b、流路106 c、第2蓄冷器106d、流路
106e、第3蓄冷器106f、そして流路106g2
!l<順次連通ずるように設けられている。前記第1蓄
冷器106bは、前記第1膨張空間107へ、前記第2
蓄冷器106dは1)II記第2膨張空間108へ、そ
して前記流路IQ6gは第3膨張空間109へと連通し
ている。前記第1膨張空間107を形成している部分の
膨張シリンダー105の外面にはふく射シールド板11
0が固着されている。圧縮空間103内の冷媒は、圧縮
ピストン102の上方向の移動によって圧縮され、放熱
器103によって冷却され、順次流路106 a、第1
蓄冷器106b、流路106 c、第2M冷型106d
、流路106e、第3蓄冷器106f、そして流路10
6gへと流入する。前記第1蓄冷器106b、第2蓄冷
器106d、第3蓄冷器106fに流入した冷媒は、順
次冷却され、温度が低められる。第1蓄冷器106bか
ら第1膨張空間107、第2蓄冷器106dから第2膨
張空間108、そして第3蓄冷器106fから流路]0
6gを通過し、第3膨張空間109に流入した冷媒は、
膨張ビスI・ン106の下ノブ向への移動によって略等
温膨張し、第1. 2. 3膨張空間107,108,
109内で順次低い温度の冷凍を発生ずる。第1膨張空
間107で発生した冷凍は、膨張シリンダー105そし
て膨張ピストン106の常温部から固体伝導で侵入する
熱、常温部からふく射シールド板110を伝わって侵入
するふ(射熱、更には第1蓄冷器106bの非すノ率に
よって発生ずる損失熱を吸収するために費やされる。
(従来技術の問題点及び技術的分析) この従来の極低温冷凍機では、第3膨張空間109内の
冷媒(ヘリウムガス)の温度が略7.8に以上になり、
超電導磁石、ジョセフソン素子、スキット素子等を冷却
しているクラ・イオスタツト内の蒸発してぎたヘリウム
ガスは、液化に必要な略5.IKJ:)、下の温度に達
していないので、液体ヘリウムの量を當時一定に維持す
ることが出来なくなり、更には超電導磁石、ジョセフソ
ン素子、スキッド素子等を長時間極低温で冷却するごと
が出来なくなるという問題が発生ずる。
かかる問題は、冷媒(−・リウムガス)が略15KE下
の温度において、理想気体から人11Jにスレるため、
前記第3膨張空間109内で、略12に以下の冷凍を発
生−已しめるには、冷媒(うリウムカス)の平均圧力(
例えば3,5kg/M)を低くしなければならず、その
結果、略マOKの温度の前記第1膨張空間107内の冷
媒ガス量と、冷凍量が減少するので、常温部より前記膨
張シリンダー105.前記膨張ビスI・ン106を伝わ
って前記第1膨張空間107に侵入する電導熱、常温部
からふく射によりふく射シールド板110を伝わって第
1膨張空間107に侵入する熱、そして第1蓄冷器10
6bの非効率もこよって発生ずる損失熱によって第1膨
張空間107内の冷媒の温度が上昇し、第2膨張空間1
08内の冷媒の温度も上昇し、その結果、第3膨張空間
109内の冷媒の温度は、略7.8に以上になるためで
ある。
前記第1膨張空間107内において少ない消費動力でt
ill)70KAii後の冷凍をi4Iるには、前記圧
縮空間の容積と前記膨張空間の′¥メ侍を増大しなげれ
ばならない。
この従来のものにおい゛乙消RfiIJ力を小さくしな
ければならないという要求から、前記第1膨張空間内で
発生湯る略70にのン令凍を増大するため、前記圧縮空
間の容積と0iJ記第1膨張空間の容積を増大すること
は出来ない。
(従来技術) 前記極低温冷凍機の欠点を改良したものとして、特公昭
47−11190号公報に示されている可逆式冷凍機が
あるが、これを第2図に基づいて説明すると、次の通り
である。
通気管5゛はシリンダーICの外面所定位置に導熱管1
2を介し、熱的に接続−止ると共に、管5ばシリンダー
ICの外面所定位置に池の導熱管12を介し熱的に接続
し、シリンダー〕0の壁所定部分を予冷するようにして
いる。
(従来技術の問題点及び技術的分析) ごのため、シリンダー10の2箇所を冷却しなりれはな
らず、機器構成が複雑となる。
かかる問題は、シリンダー10がシリンダー室1cとシ
リンダー室1cの間で冷凍を発生ずる室を全く有してい
ないので、シリンダー10の所定の2ケ所の面で導熱管
12を介し通気管5°、5の冷媒によってh9温部より
シリンダーIcの壁を伝わって侵入する熱を吸収しなけ
ればならないごとによる。
(技術的課題) 本発明は、5.1に以下の冷凍を得るため、可変圧縮空
間と可変膨張空間の間に放熱器と蓄冷器を有する冷凍機
において、冷媒(ヘリウムガス)を低い平均圧力で作動
させ、圧縮空間と膨張空間の容積を増大することなく、
且つ機器構成を簡単にし、安価な冷媒液(例えば液体窒
素等)を利用して少ない消費動力で5.1Kl;)。
下の冷凍を発生ずることである。
(技術的手段) 上記技術的課題を解決するため講じた技術的手段は、冷
媒貯蔵内槽4.24こ冷媒液51を充填し、前記冷媒液
51に管62の一端側をひたし、前記管の他端側をポン
プ50の吸込み口に気密連通せしめ、前記ポンプの吐出
し口側に冷媒供給管33の一端を気密連通し、前記冷媒
供給管33の他端を冷却槽29の外周上部に気密連通せ
しめ、前記冷却槽29の外周下11+に冷媒もどり管3
4の一端を気密連通し、前記冷媒もどり管34の他端側
を前記冷媒貯蔵内槽42に気密固着せしめ、前記冷媒も
どり管34の他端例の先端を、前記冷媒貯蔵内槽42の
ガス層57内に設けた一端がめくらの管53に連通せし
め、前記管53の解放側をめくら側より低くめに ′し
、前記管53に、一端が人気に扇:放し、他端側が冷媒
貯蔵内槽42に気密固着しである内管54の他端側の先
端を連通させ、前記冷却層29を多段膨張シリンダー1
2の第1蓄冷器シリンダー12aと第1膨張シリンダー
12bに気密固着し、冷媒溜め30を設4ノ、前記冷却
層29の外周に第1ふく射シール!:板31を固定せし
めることである。
〔技術的手段の作用〕
上記技術的手段は、次のように作用する。ずなわら當温
部より第1蓄冷器ケース12aを伝わってくる伝導熱、
常温部よりふ(射によって第1ふく射シールド板31に
侵入するふく射熱、そして第1膨張空間14内の冷媒(
ヘリウムガス)から、第1膨張シリンダー12bの壁を
伝わる第1蓄冷器13の非効率によって発生した損失熱
は1.ポンプ50によって管62から吸い込まれ、冷媒
供給管33を通って冷媒槽29の冷媒溜め30に送り込
まれた液の一部が気化することによって吸収される。冷
媒槽29の冷媒溜め30内の冷媒蒸気止冷媒液は、冷媒
もどり管34を通って冷媒貯蔵内槽42内のガス層57
内に設けた管53内に流入し、冷媒蒸気は内管54を通
って大気に放出され、冷媒液は重力の作用によって管5
3の解放端から冷媒液51の液面上に落下し、冷媒液5
1に再びもどるので、冷媒液も無駄に消費されず、安価
に冷却することが出来る。
第1膨張空間14の近傍から第2膨張シリンダー12(
、の壁を伝わって第2膨張空間15に侵入する熱は、第
2膨張空間15内の冷媒(ヘリウムガス)が発生ずる冷
凍で吸収され、第2膨張空間15の近傍の第3膨張シリ
ンダー12dの壁を伝わって第3膨張空間16に侵入す
る熱は、第3膨張空間16内の冷媒(ヘリウムガス)が
発生ずる冷凍で吸収されるので、第4膨張空間17には
ほとんどメ:ハが1畳人してこない。
したがって、圧縮空間25の容積と第1膨張空間14の
容積を増大することなく、第1膨張空間14内の冷媒の
温度は、低くすることができ、第2,3膨張空間15.
46の冷媒(ヘリウムガス)の温度も低くでき、その結
果、第4膨張空間17内で少ない動力で、機器構成を複
雑にすることなく、しかも安価に略5.IK以下の冷凍
を発生する。
〔本発明によって生じた特有の効果〕
本発明は、次の特有の効果を住じる。すなわち、第」落
冷型シリンダー12aと第1膨張シリンダー12bそし
て、第1ふく射シールド板3ノは、冷媒液で強制的に冷
却されているので、短時間で第1膨張空間14内の冷媒
温度は定常状態に達し、第2.第3.第4膨張空間I5
.16.17の冷媒の温度も、短時間で定常状態に達す
る。
第1蓄冷器シリンダー12aと第1膨張シリンダー12
bそして第1ふく射シールド板31を冷却している冷媒
液の温度(例えば液体窒素では、Iffk77K)は、
安定しているので、第1膨張空間14内の冷媒温度は、
ふらつくことがなく安定し、第2.第3.第4膨張空間
15゜16.17の冷媒の温度も安定する。
第1ふく射シ′−ルド板31の温度は、冷媒貯蔵内槽内
42の冷媒液の温度とほぼ等しく低い温度であるので、
第1ふく射シールド板31がら第2ふく射シールド板2
6と第2膨張シリンダー1.2 cに侵入するふく射熱
は、はとんど無くなり、第2膨張空間15の容積は小さ
くなる冷媒貯蔵内槽42は、1台で、冷媒供給管33、
冷媒もどり管34.そして外管44.47を多数分枝す
ることによって、多数個の冷凍機に設けた冷却槽に、冷
媒液を供給することができるので、5.1に以下の温度
の冷凍を互に遠隔な位置で多数t+m発生ずることがで
きる。
(実施例) 以下、上記技術的手段の一具体(?lJを示す実施1列
について説明する。
第3図に示す例について、圧縮ピストンIの外周部の溝
にはピストンリング2が装着してあり、圧縮シリンダー
5の内面に気密を保ちなから摺動可能に接合している圧
縮ビス1−ン1の下方の端面には、ロッド3Gが固着せ
しめである。図示していない駆動部に接続しである圧縮
ピストンlの中心部にはロッド4が通る孔1aが設げて
あり、核化1aの内周面の溝には、ロッドシール3が装
着しである。ロッドシール3とロッド4は、気密を保ち
なから摺動可能に接合されている。前記ロット4の一端
ば、図示していない駆動部に接b′5.またロッド4の
他端は、4段凸形状の多段膨張ビス1−ン6に固着して
おり、該多段膨張ビス1−ン6の各段には、ピストンリ
ング7.8.9.10が装着しである。ピストンリンク
7は放熱器11のシリンダー面11;3に気密を保ぢな
らが摺動可能に接合している。放熱器11の下部フラン
ジllbは圧縮シリンダー5の一端に気密固着され、放
熱器11の上部フランジllcは凸形5段形状の多段膨
張シリンダー12に気密・固着せしめである。
圧縮シリンダー5の他端は、図示していない駆動装置の
ハウジングに気密固着しである。 多段膨張シリンダー
12の1段目の第1落冷器シリンダー123には、中空
円筒形の第1蓄冷器13が設りである。第1蓄冷器13
の中空部の内径は放熱器11のシリンダー面11aの内
径にほぼ等しく、かつ多段膨張ピストン6の第1段目6
aの外周面が接触しないようにせしめである。多段膨張
シリンダー12の第2段目の第1膨張シリンダー12b
と多段膨張ピストン6の第1股目6aと第2段目6b、
 そしてピストンリング7.8で囲まれた空間は、第1
膨張空間14を形成する。
多段膨張シリンダー12の第3段目の第2膨張シリンダ
ー12Cと、多段膨張ピストン6の第2段目6b及び第
3段目5c、そしてピストンリング8.9で囲まれた空
間は、第2膨張空間15を形成する。
多段膨張シリンダー12の第4段目の第3膨張シリンダ
ー12d、多段膨張ピストン6の第3段目6C及び第4
段目5d、 そしてピストンリング9,10で囲まれた
空間は、第3膨張空間16を形成する。
多段膨張シリンダー12の第5段目の第4膨張シリンダ
ー12eと多段膨張ピストン6の第4段目6d、そして
ビス;−ンリング10で囲まれた空間は、第4膨張空間
17を形成する。
多段膨張ピストン6の第2段目6b、第3段目6CそU
7て第4段目6dの上部には、それぞれ多fl!個の孔
18,19.20が設げてあり、孔18,1.9.20
の一端は、それぞれ第2膨張空間15.第3膨張空間1
飢第4膨張空間17へ連通している。孔18,19.2
0の他端は、それぞれ、多段膨張ピストン6の第2段目
6b、第3段目5c、第4段目6dの内部に設けた第2
蓄冷器21.第3蓄冷器22.第4落冷器23へ連通し
ている。第2蓄冷器22の一端(高温側)は、多段膨張
ピストン6の第2段目6bの下部に設けた多数個の孔2
4に連通し、孔24は第1膨張空間14へ連通している
。第2蓄冷器21の他端(低温側)は第3蓄冷器22の
一端(高温側)に連通しており、第3落冷器22の他端
(低温側)は第4N冷器く高温側)23に連通している
第1膨張空間14は、第1蓄冷器13の一端(低温側)
に連通しており、第1蓄冷器13の他+4(高温側)は
、放熱器11のパイプdllに連通している。パイプl
idば、圧縮シリンダー5.圧縮ピストン1.多段膨張
ピストン62放熱器11.ロッド4.ピストンリング2
゜7そしてロッドシール3で囲まれノこ圧縮空間25へ
連通している。
多段膨張シリンダー12の第2膨張シリンダー12Cの
上部には、第2ふく射シールド板26が針金等28で固
定されている。多段膨張シリンダー12の第1膨張シリ
ンダー12bの上部と第1蓄冷器シリンダー122の上
部(低温側)との間には、第1膨張シリンダー12bの
外側及び第1蓄冷器1.22の上部8 (低温側)の外
側を囲むように冷却槽29が機密固着され、冷媒溜め3
0が形成されている。冷却槽29の外周面には第1ふく
射シールド板31が4金等32で固定されている。冷却
槽29の外周上部には冷媒供給管33の一端が気密に連
通されており、冷媒溜め30に連通している。
冷媒供給管33の他端は、放熱器11の上部フランジ1
1Cに設げられた孔と冷媒貯蔵外槽45に設けられた孔
を通って液体窒素等の冷媒液51を貯くわえた冷媒貯蔵
内槽42の内部に設りだポンプ50の吐出口に気密に連
通している。ポンプ50の吸込側には、管62の一端が
気密固着しており、他端は冷媒液にひたっている。冷媒
槽29の外周下部には冷媒もどり管34の一端が気密連
通されており、冷媒溜め30に連通している。冷媒もど
り管34の他端側は、放熱器11の上部フランジ11C
に設けられた孔と冷媒貯蔵外槽45に設けられた孔を通
って、冷媒貯蔵内槽42に気密固着しており、前記冷媒
もどり管34の他端例の先端は、冷媒貯蔵内槽42のガ
ス層57内にある一端がめくらの管53に連通している
。前記管53の開放端は、めくら端よりわずか低くしで
ある。冷媒供給i’4’33の中央部には、真空空間4
3を介して外管44が設けられ、外管44の両端はそれ
ぞれ」二g++フランジIlcと冷媒貯蔵外槽45に気
密に連通している。冷媒もどり管34の中央部には、真
空空間46を介して外管47が設けられ、外管47の両
端はそれぞれ上部フランジ11Cと冷媒貯蔵外槽45に
気密連通している。冷媒貯蔵内槽42の外面には多数個
の断熱支持月48の一端が固定されており、断熱支持月
48の他端は冷媒貯蔵外槽45の内面に固定されている
。冷媒貯蔵内槽42と冷媒貯蔵外槽45との間の空間は
真空空間49を形成する。内管52.54は、に媒貯藏
外槽45に設りた孔を通って、冷媒貯蔵内槽42に気密
に連通されている。内管52の一錨+は冷媒液につかっ
ており、他端はボール弁55に気密連通せしめてあり、
ボール弁55と冷媒貯蔵外槽45の間の内管52の部分
にば外管56が設げられている。外管56の両端はそれ
ぞれ冷媒貯蔵外槽45と内管52に気密固着しである。
内管54の一端例は冷媒貯蔵内槽42に気密固着してあ
り、前記内管54の一端側の先端は前記管53に連通せ
しめである。前記内管54の他な111は大気に開放し
ている。内管54の大気側と冷媒貯蔵外槽45との間の
内管54の部分にば外管61が設げられ、外管61の両
端はそれぞれ冷媒貯蔵外槽45と内管54に気密固着せ
しめている。放熱器11の上部フランジIIGには真空
槽37が多数本のポルト38によつ−C固着されている
真空槽37の下部のフランジには、0リング溝か設げて
あり、Oリング39が装着され、真空空間41の真空を
気密を保持している。真空槽37の外周面には孔37a
が設けてあり、真空弁40の一端が気密に固着されてい
る。
圧縮空間25.放熱器11のバイブ11d。
第1. 2. 3.蓄冷器L3,21,22,23、孔
24.18.19.20、第1.2.3゜4膨張空間1
4,15,16.17には、ヘリウム等の作動ガスが封
入され、スフ−リングサイクル冷凍機の作動空間を形成
している。そして、ロツ1;36ば、ロッド4よりも略
90°位相が遅れるように図示していない駆動部によっ
て駆動されている。
圧縮空間25内の作動ガスは、圧縮ピストン1と多段膨
張ピストン6によって圧縮され、発熱、昇温し、放熱器
1のバイブll’dに流入すると、バイブlidの外側
を通っている冷却水等で冷却され温度が下がり、第1蓄
冷器13に流入し、第1蓄冷器13のエレメントによっ
て冷却され、さらに温度が低くなり、第1膨張空間14
に流入する。第1膨張空間14に流入した作動ガスの一
部は、孔24を通って第2蓄冷器21に流入すると、第
2蓄冷器21のエレメントによって冷却され、温度がさ
らに下がり、孔18と第3蓄7名器22に流入する。孔
18に流入した作動ガスは、第2膨張空間15へ流入す
る。第3蓄冷器22に流入した作動ガスは、m3M冷器
2zのエレメントによってさらに冷却され、温度が下が
り、孔19と第4蓄ン名器23へと流入する。孔19に
流入した作動ガスは、第3膨張空間16へ流入する。第
4蓄冷器23へ流入した作動ガスは、第2蓄冷器21の
エレメントによってさらに冷却され、温度が下がり、孔
20を通って第4膨張空間17に流入する。第1膨張空
間14.第2膨張空間15.第3膨張空間16そして第
4膨張空間17に流入した作動ガスは、多段膨張ビス1
−ン6の下方向の移動によって、膨張し、第1.2,3
.4内で順次、低い温度の冷凍を発生にる。多段膨張ビ
ス(−ン6の一ヒ方向の移動によって、第4膨張空間1
7の作動カスは、孔20を通って第4落冷器23に流入
し、第4蓄冷器23のエレメントによって暖められ、温
度が上昇し、第3蓄冷器22−・流入する。第3膨張空
間16の作動ガスは、孔19を通って第3蓄冷器22に
流入する。第3蓄冷器22に流入した作動ガスは、第3
蓄冷器22のニレメン1−によって暖められ、温度が上
昇し、第2蓄冷器21に流入する。第2膨張空間15の
作動ガスは、孔18を通って第2蓄冷器21に流入する
。第2蓄冷器21に流入した作動ガスは、第2蓄冷器2
1のエレメントによって暖められ、温度が上昇し、孔2
4を通って第1膨張空間14に流入する。第1膨張空間
14の作動ガスは、第1蓄冷器13に流入し、第1蓄冷
器13のエレメントによって暖められ、温度が上昇し、
放熱器11のバイブ11dを通って圧縮空間25に流入
する。このようにして、スターリングサイクル冷凍機1
待程を完了する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の極低温冷凍機の断面図、第2図は従来の
可逆式冷凍機のlli面図、そして第3図は本発明の一
実施例を示す中央縦断面図である。 12a・・・第1落冷器シリンター。 12b・・・第1膨張シリンダー。 12C・・ ・第2膨張ソリンター。 31・・・第1ふく射シール)・板。 29・・・冷却槽、33・・・冷媒供給管。 34・・・冷媒もどり管。 42・・・冷媒貯蔵内槽、50・・・ポンプ151・・
・冷媒液、53・・・管。 54・・・内管、62・・・管。 特許出願人 1イレン)^椹林式官社 代表者中井令人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ■冷媒貯蔵内槽内の冷媒液に管の一端をひたし、前記管
    の他端側をポンプの吸い込み口に気密に連通せしめ、前
    記ポンプの吐出口側に冷媒供給管の一端を気密連通し、
    前記冷媒供給管の他端を圧縮空間1放熱器、蓄冷器、及
    び膨張空間を有する冷凍機に設けた冷却槽に気密に連通
    せしめ、前記冷却槽に冷媒もどり管の一端を気密に連通
    し、前記冷媒もどり管の他端側を前記冷媒貯蔵内槽に気
    密に固着せしめ、前記冷媒もどり管の他端側の先端を前
    記冷媒貯蔵内槽内に連通している管に連通し、前記管に
    一端が大気に解放し、他I/! (jllが冷媒貯蔵内
    槽に気密固着しである内管の他端例の先端に連通せしめ
    、前記冷却槽内の冷媒で第1蓄冷器シリンダー、第1膨
    張シリンダー、第2膨張シリンダーの前記第1膨張シリ
    ンダーの近傍、第1ふく射シールド板のうち少なくとも
    1()M以」二を冷却可能になるように前記冷却槽を設
    け、前記冷媒貯蔵内槽内の前記冷媒液を前記ポンプで、
    前記管より吸い込み、順次前記冷媒供給管、前記冷却槽
    に送り込み、前記第1蓄冷器シリンダー、前記第1膨張
    シリンダー、前記第2膨張シリンダーの前記第1膨張シ
    リンダー近傍、前記第1ふく射シールド板のうち1個以
    上を前記冷却槽内の冷媒で冷却し、冷却し終えた冷媒を
    前記冷媒もどり管を通って前記冷媒貯蔵内槽にもどし、
    冷媒蒸気は内管を通って大気に放出せしめ、冷媒液は重
    力によって前記冷媒貯蔵内槽内のん媒液に再びもどす極
    低温冷凍装置。
JP5292883A 1983-03-29 1983-03-29 極低温冷凍装置 Granted JPS59180248A (ja)

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