JPS59173592A - ベ−ン型真空ポンプの封液注入方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はベーン型真空ポンプの軸受潤滑を兼ねた封液
注入方法とその装置に関するものである。

この発明は、ベーン型真空ポンプの封液注入と同時に回
転軸の滑シ軸受にも封液を導通させて、耐摩耗性を向上
させたベーン型真空ポンプの封液注入方法とその装置の
提供を目的とする。

以下実施例の図面に基づいてこの発明を説明する。図の
ベーン型真空ポンプ１において、２は円筒状のケーシン
グ外筒で、両端は外部側板６，６で塞がれ、下部には固
定用の取付穴を有する平板状の台板２ａが一体に設けら
れている。４は円筒状のセラミックス製ケーシング内筒
で、両端はセラミックス製内部側板５，５で塞がれ、ケ
ーシング外筒２および外部側板６，６の内側に密着固定
されている。ケーシング内筒４の側面には、気体吸入口
６が設けられて外部の吸入気体通路（図示せず）と連通
し、また反対側の側面には、気体排出ロアが設けられて
外部の排出気体通路（図示せず）と連通している。８は
セラミックス製ロータで、ケーシング内筒４の内径よシ
小さい直径を有する円柱状に形成さ０れ、その中心はケ
ーシング２゜４の上方に偏心して設けたセラミックス製
回転軸９で回転可能に支持され、その横断面外周の一点
でケーシング内筒４の上方内面にほぼ内接している。ロ
ータ８の両端面はケーシング内筒４の側板５．５の内面
に摺動可能に接している。ロータ８の側面は円周上の少
なくとも２個所で分割（この実施例では４個所）され、
ロータ８の内部に向けてベーン溝１０が設けられている
。１１はベーンで、ロータ８とほぼ等しい長さを有し、
ベーン溝１０の深さとほぼ等しい幅を有する平板状に形
成されている。ベーン１１の材質はセラミックス。

グラファイト、カーボン、合成樹脂およびそれらの複合
材等である。４個のベーン１１は、ベーン溝１０にそれ
ぞれ挿入され、回転による遠心力によって、あるいはベ
ーン溝１０の底部に内挿された圧縮スプリング１２によ
って外方へ付勢され、その先端の一辺は常にケーシング
内筒４の内面と接触している。ロータ８を支持した回転
軸９の両端は内、外ケーシング側板３，５に設けられた
軸受ケース１３，１４および滑シ軸受１５，１５で支持
されている。軸受ケース１３，１４および滑り軸受け１
５．１５は、フェノール樹脂、ふっ素樹脂、セラミック
ス等で製作し、潤滑剤無供給滑り軸受を構成している。

一方の軸受ケース１３は軸封装置１３ａを有し、さらに
封液注入口１６を備えている。封液注入口１６に続く封
液導入路１７を設け、途中で分岐させて、一方の１７ａ
は滑シ軸受の内面に軸方向に少なくとも１本設けた潤滑
溝１５ａに連通させている。他方の封液導入路１７ｂは
、ケーシング内部側板５の内面に円環状に設けた封液注
入溝５ａに連通している。封液注入溝５ａの半径は、ベ
ーン溝１０の底部側面に対応する長さとし、封液が注入
溝５ａからベーン溝１０の底部に連通ずるように設ける
。他方の軸受ケー２１４は、封液注入口１８を備え、封
液導入路１９を通って滑シ軸受１５の内面に設けた潤滑
溝１５ａに連通している。回転軸９の一端はカップリン
グ２１を介して駆動モータに結合されている。

ケーシング内筒４．内部側板５．ロータ８２回転軸９．
軸受ケース１３，１４、滑シ軸受１５は、アルミナ、ジ
ルコニア、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等のセラミ
ックスだけでなく、これ以外の材質、例えば耐食性金属
、耐摩耗性金属、自己潤滑性を有する樹脂等で構成する
ことも可能である。

上記のように構成されたベーン型真空ポンプ１では、外
部の吸入気体通路を通って第１図の矢印Ａの方向から気
体が供給される。気体吸入口６がら吸い込まれた気体は
、高速回転するロータ８およびペー７１１の作用によっ
て圧縮され、気体排出ロアから矢印Ｂの外部排出気体通
路へ送シ出される。ポンプ本体の作動中、第２図に示す
ように軸受ケースｆ３，１４の各封液注入口１６，１８
から、油または水等からなる封液が供給される。

封液は各封液導入路１７，１９を通って両溝シ軸受１５
内面の潤滑溝１５ａ（第６図、第４図参照）に入シ、回
転軸９の摩擦抵抗を低減し、熱を吸収して潤滑作用を行
なう。潤滑溝１５ａを通過した封液は、内部側板５の内
面上に流出して、内部側板５とロータ８との隙間および
ベーン１１先端とケーシング内筒４との隙間のシールヲ
行なう。さらに軸受ケース１６においては、第４図に示
すように封液導入路１７ｂを通った封液が、内部側板５
の内面上の円環状注入溝５ａに供給され、対接した各ベ
ーン溝１０の底部に流入する。ベーン溝１０に入った封
液は、ベーン溝１ｏとベーン１１の隙間、およびベーン
１１先端とケーシング内筒４との隙間のシールを行なう
。さらにまたベーン溝１０の底部の封液は、各ベーン１
１の遠心力および弾性体による往復運動の往路の進出運
動を助成し、復路の底部との衝撃を緩和する働きをする
。

この発明は以上説明したように、ベーン型真空ポンプに
おいて、軸受ケースに設けた注入口および封液導入路を
通シ、滑り軸受内面に設けた潤滑溝を通ってケーシング
内に連通する封液通路と、一方の軸受ケースの封液導入
路から分岐して側板内面に設けた円環状の注入溝を介し
て、各ベーン溝の底部に連通ずる封液通路とからなる封
液注入装置であυ、この装置によって封液注入と同時に
回転軸の滑り軸受にも封液を導通させる構成であるから
、軸受に対する潤滑作用が付加され、また常に清浄な封
液が供給されるため軸受面への異物の侵入が防止され、
これらによって軸受の耐摩耗性が向上する効果がある。

また吸入気体が腐植性の場合も、封液の流動によって軸
受の腐食が防止される効果がある。さらにまた各隙間に
対する完全なシールが行なわれるので、水のような低粘
性でかつ安価な封液の利用が可能となシ、またベーン溝
内に導入した封液によってベーンの往復運動を円滑にし
、衝撃を緩和してベーンの寿命を長くする効果がある。

【図面の簡単な説明】

図はこの発明の実施例を示し、第１図はベーン型真空ポ
ンプの横断面図、第２図はロータの側面を含む第１図の
Ｉ−１線縦断面図、第３図は滑シ軸受の横断面図、第４
図は軸受部の要部拡大図である。 ４・・・ケーシング内筒　５・・・内部側板５ａ・・・
封液注入溝　　９・・・回転軸１０・・・ベーン溝　　
　　１３，１４・・・軸受ケース１５・・・滑シ軸受　
　　　１５ａ・・・潤滑溝１６．１８・・・封液注入口 １７．１７ａｔ　１７ｂ、１９・・・封液導入踏出　　
願　人　　　　　株式会社　ノリタケカンパニーリミテ
ド代理人　弁理士　岡田英彦 ５４３

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）両端をそれぞれ側板で塞ぎ側面に気体吸入口と気
   体排出口を設けた横置き円筒状のケーシングと、前記両
   側板間一杯に挿入され横断面外周の一点で前記ケーシン
   グにほぼ内接し、中心を前記ケーシング内の偏心位置を
   通る回転軸で支持された円柱状のロータと、前記ロータ
   の側面を円周上の少なくとも２個所で分割する位置から
   内部に向って設けたベーン溝と、前記ベーン溝内にそれ
   ぞれ摺動可能に挿入され、回転による遠心力で、あるい
   は溝底部に設けられた弾性体で付勢されて先端の一辺が
   前記ケーシング内面に接触している。平板状のベーンと
   、前記回転軸に結合された駆動モータとからなるベーン
   型真空ポンプにおいて、前記回転軸の軸受ケースに設け
   た注入口から封液を導入し、前記回転軸の滑り軸受内面
   を通って前記ケーシング内に流出させることによって、
   前記滑ｐ軸受の潤滑と、前記側板と前記ロータさらに前
   記ベーンと前記ケーシングの各隙間のシールを行なわせ
   、さらに一方の軸受ケースの封液は前記側板内面に設け
   た円環状の注入溝を介して前記各ベーン溝の底部に導入
   することによって、前記ぺ一するベーン型真空ポンプの
   封液注入方法。
2. （２）両端をそれぞれ側板で塞ぎ側面に気体吸入口と気
   体排出口を設けた横置き円筒状のケーシングと、前記両
   側板間一杯に挿入され横断面外周の一点で前記ケーシン
   グにほぼ内接し、中心を前記ゲージング内の偏心位装置
   を通る回転軸で支持された円柱状のロータと、前記ロー
   タの側面を円周上の少なくとも２個所で分割する位置か
   ら内部に向って設けたベーン溝と、前記ベーン溝内にそ
   れぞれ摺動可能に挿入され、回転による遠心力で、ある
   いは溝底部に設けられた弾性体で付勢されて先端の一辺
   が前記ケーシング内面に接触している平板状のベーンと
   、前記回転軸に結合された駆動モー夕とからなるベーン
   型真空ポンプにおいて、前記回転軸の軸受ケースに設け
   た注入口および封液導入路を通り、滑シ軸受内面に設け
   た潤滑溝を通って前記ケーシング内に連通ずる封液通路
   と、一方の軸受ケースの前記封液導入路から分岐して前
   記側板内面に設けた円環状の注入溝を介して前記各ベー
   ン溝の底部に連通ずる封液通路とを設けたことを特徴と
   するベーン型真空ポンプの封液注入装置。