JPS59171336U - レジスト滴下ノズル - Google Patents

レジスト滴下ノズル

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Publication number
JPS59171336U
JPS59171336U JP6607283U JP6607283U JPS59171336U JP S59171336 U JPS59171336 U JP S59171336U JP 6607283 U JP6607283 U JP 6607283U JP 6607283 U JP6607283 U JP 6607283U JP S59171336 U JPS59171336 U JP S59171336U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resist dripping
dripping nozzle
resist
nozzle
tip
Prior art date
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Granted
Application number
JP6607283U
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English (en)
Other versions
JPH0110922Y2 (ja
Inventor
戸次　律蔵
正憲 佐藤
酒井　末男
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of JPH0110922Y2 publication Critical patent/JPH0110922Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレジスト滴下ノズルの側面図、第２図は
同断面図、第３図は同底面図、第４図はこの考案の一実
施例に係るレジスト滴下ノズルの側面図、第５図は同断
面図、第６図は同底面図、第７図は第５図の要部の拡大
図、第８図はレジストの塗布ラム発生率の従来のレジス
ト滴下ノズルとこの考案のレジスト滴下ノズルとを比較
して示す図である。 １１・・・本体、１２・・・レジスト滴下口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ノズル本体をその先端部に向けて先細りとなるように形
    成すると共に、この本体に設けられるレジスト滴下口を
    先端部に向けてラッパ状に広がるように形成したことを
    特徴とするレジスト滴下ノズル。
JP6607283U 1983-04-30 1983-04-30 レジスト滴下ノズル Granted JPS59171336U (ja)

Priority Applications (1)

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JP6607283U JPS59171336U (ja) 1983-04-30 1983-04-30 レジスト滴下ノズル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6607283U JPS59171336U (ja) 1983-04-30 1983-04-30 レジスト滴下ノズル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59171336U true JPS59171336U (ja) 1984-11-16
JPH0110922Y2 JPH0110922Y2 (ja) 1989-03-29

Family

ID=30196284

Family Applications (1)

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JP6607283U Granted JPS59171336U (ja) 1983-04-30 1983-04-30 レジスト滴下ノズル

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6467916A (en) * 1987-09-08 1989-03-14 Tokyo Electron Ltd Resist discharge nozzle
JPH02132444A (ja) * 1988-05-27 1990-05-21 Tokyo Electron Ltd 塗布装置及び塗布方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4482290B2 (ja) * 2003-06-11 2010-06-16 矢崎総業株式会社 電線用着色ノズル

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52144971A (en) * 1976-05-28 1977-12-02 Hitachi Ltd Spin coating device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52144971A (en) * 1976-05-28 1977-12-02 Hitachi Ltd Spin coating device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6467916A (en) * 1987-09-08 1989-03-14 Tokyo Electron Ltd Resist discharge nozzle
JPH02132444A (ja) * 1988-05-27 1990-05-21 Tokyo Electron Ltd 塗布装置及び塗布方法

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JPH0110922Y2 (ja) 1989-03-29

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