JPS59163515A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
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- JPS59163515A JPS59163515A JP58038640A JP3864083A JPS59163515A JP S59163515 A JPS59163515 A JP S59163515A JP 58038640 A JP58038640 A JP 58038640A JP 3864083 A JP3864083 A JP 3864083A JP S59163515 A JPS59163515 A JP S59163515A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/032—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure affecting incoming signal, e.g. by averaging; gating undesired signals
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差動容量方式の差圧センナを使用する差圧/電
流変換器と該変換器の出力を増幅・変換する電気回路よ
り成る差圧伝送器に関する0特に差圧伝送器の周囲温度
の影響による性能低下を小さくするための手段に関する
。
流変換器と該変換器の出力を増幅・変換する電気回路よ
り成る差圧伝送器に関する0特に差圧伝送器の周囲温度
の影響による性能低下を小さくするための手段に関する
。
差動容量方式の差圧センサは第1図にその断面図で示す
ように、両側面が接液ダイヤフラム4と5で封鎖さ・れ
ている容器内の測定室にこれ管7,8の2部分に分離す
るダイヤフラム1が測定室周縁に固定されており、ダイ
ヤフラム1を可動電極と極で差動容量を形成する。室内
には封入液6が満だされてい石。この差圧センサにおい
ては、容器両側面の接液ダイヤフラム4,5に外部から
高圧PI(と低圧Pが加わると両正は封入液6を介して
可動り 電極の両面に伝達でれて可動電極1にはpHとpLの差
圧が作用し可動電極1は低圧側固定電極2に近づく方向
に偏位する。このときの可動電極1の中心偏位Xと差圧
との間に次式が成立する。
ように、両側面が接液ダイヤフラム4と5で封鎖さ・れ
ている容器内の測定室にこれ管7,8の2部分に分離す
るダイヤフラム1が測定室周縁に固定されており、ダイ
ヤフラム1を可動電極と極で差動容量を形成する。室内
には封入液6が満だされてい石。この差圧センサにおい
ては、容器両側面の接液ダイヤフラム4,5に外部から
高圧PI(と低圧Pが加わると両正は封入液6を介して
可動り 電極の両面に伝達でれて可動電極1にはpHとpLの差
圧が作用し可動電極1は低圧側固定電極2に近づく方向
に偏位する。このときの可動電極1の中心偏位Xと差圧
との間に次式が成立する。
もとでは定数である。
この差動容量方式の差圧センVを使って構成きれている
差圧/電流変換器PDにおいてはセンサの可動電極1と
高圧側、低圧側の各固定電極3と2で形成されるコンデ
ン′+jCHとCLによって第2図に示す電橋回路が形
成はれている。(コンデンv鮨とCLを高圧側、低圧側
のブランチ容量と名付ける。)との電橋回路では電橋の
励振電圧ef制御するととによシコンデンvCH2CL
を流れる各電流iHと几の和は常に一定値工。に保たれ
る。また、可動電極1と各固定電極2,3との電極間の
初期のギャップdoとすれば差圧(PH−PL)と(1
L−iH)との間に下式が成立する。(なおiL、iH
ヲそれぞれ低圧側、高圧側のブランチ電流と名付ける。
差圧/電流変換器PDにおいてはセンサの可動電極1と
高圧側、低圧側の各固定電極3と2で形成されるコンデ
ン′+jCHとCLによって第2図に示す電橋回路が形
成はれている。(コンデンv鮨とCLを高圧側、低圧側
のブランチ容量と名付ける。)との電橋回路では電橋の
励振電圧ef制御するととによシコンデンvCH2CL
を流れる各電流iHと几の和は常に一定値工。に保たれ
る。また、可動電極1と各固定電極2,3との電極間の
初期のギャップdoとすれば差圧(PH−PL)と(1
L−iH)との間に下式が成立する。(なおiL、iH
ヲそれぞれ低圧側、高圧側のブランチ電流と名付ける。
)
上式は、Kが一定である場合は(iL−iH)が(P−
P)に比例することを示す。なお、実際の差L 圧/電流変換器pDでは(IL−IH)および(1L+
iH)はそれぞれ対応する直流信号工M1およびIM2
に変換される。°直流信号エヤ□−入力差圧を代表する
出力電流として変換器PDに縦続する電気回路に与えら
れ該回路で増幅され例えば4〜20mAの正規化電流用
カニに変換して受信器に送出される。正規化室流Iは差
圧の計測に利用される。また、直流信号工M2は変換器
PD内で電橋回路に供給される工。すなわち(iL、+
i□)を一定に保つために利用される。
P)に比例することを示す。なお、実際の差L 圧/電流変換器pDでは(IL−IH)および(1L+
iH)はそれぞれ対応する直流信号工M1およびIM2
に変換される。°直流信号エヤ□−入力差圧を代表する
出力電流として変換器PDに縦続する電気回路に与えら
れ該回路で増幅され例えば4〜20mAの正規化電流用
カニに変換して受信器に送出される。正規化室流Iは差
圧の計測に利用される。また、直流信号工M2は変換器
PD内で電橋回路に供給される工。すなわち(iL、+
i□)を一定に保つために利用される。
上記(2)式は変換器の周囲温度が一定の条件のもとで
成立する変換特性式でらるが、周囲温度が変化すれば多
少ながらその影響により出力電流工、□は入力差圧に比
例しなくなる。従来からこの種変換器の変換特性に及ば
ず周囲温度の変化の影響を軽減するためにその構造に種
々の工夫が施てれているが、まだ完全に温度変化の影響
をうけない変換器は実現されていない。したがって差圧
/電流変換器の設置されている場所に温度変化があれば
変換器出力電流”Mlはその影響をうけこれを増幅変換
せる伝送器出力Iもまたその影響をこうむりこれが工を
計測する受信器の指示に零点誤差およびスパン誤差とな
って現れる。その結果差圧測定の精度が低下する欠点が
ある。
成立する変換特性式でらるが、周囲温度が変化すれば多
少ながらその影響により出力電流工、□は入力差圧に比
例しなくなる。従来からこの種変換器の変換特性に及ば
ず周囲温度の変化の影響を軽減するためにその構造に種
々の工夫が施てれているが、まだ完全に温度変化の影響
をうけない変換器は実現されていない。したがって差圧
/電流変換器の設置されている場所に温度変化があれば
変換器出力電流”Mlはその影響をうけこれを増幅変換
せる伝送器出力Iもまたその影響をこうむりこれが工を
計測する受信器の指示に零点誤差およびスパン誤差とな
って現れる。その結果差圧測定の精度が低下する欠点が
ある。
本発明の主たる目的は差圧伝送器に含まれている差圧度
変換器の出力に及ぼす周囲温度の影響を低減する手段を
具備する差圧変換器を含む差圧伝送器を実現するにある
。
変換器の出力に及ぼす周囲温度の影響を低減する手段を
具備する差圧変換器を含む差圧伝送器を実現するにある
。
なお、差圧伝送システムの受信側の受信器の計測値に生
ずる零点誤差およびスパン誤差は主として伝送器側の変
換器において周囲温度の変化の影響によって生ずる変換
器出力の変化に起因する。
ずる零点誤差およびスパン誤差は主として伝送器側の変
換器において周囲温度の変化の影響によって生ずる変換
器出力の変化に起因する。
したがって以下の記述において、前者すなわち受信側受
信器の計測値に生ずる零点誤差およびスパン誤差の原因
でらる後者すなわち伝送側変換器出力の変動をそれぞれ
零点誤差およびスパン誤差と呼ぶ。
信器の計測値に生ずる零点誤差およびスパン誤差の原因
でらる後者すなわち伝送側変換器出力の変動をそれぞれ
零点誤差およびスパン誤差と呼ぶ。
本発明の他の目的は差圧変換器出力の零点誤差およびス
パン誤差を補償する零点誤差補償電流およびスノ、クン
誤差補償電流を発生する温度誤差補償回路を構成要素に
持つ差圧変換器を具備する差圧伝送器を提供するにある
。
パン誤差を補償する零点誤差補償電流およびスノ、クン
誤差補償電流を発生する温度誤差補償回路を構成要素に
持つ差圧変換器を具備する差圧伝送器を提供するにある
。
本発明の他の目的は差圧変換器の零点誤差の補償とスパ
ン誤差の補償を相互独立に行うことのできる機能を持つ
差圧変換器を具備する差圧伝送器を提供するにある。
ン誤差の補償を相互独立に行うことのできる機能を持つ
差圧変換器を具備する差圧伝送器を提供するにある。
本発明の他の目的は周囲温度が特定の基準温度回路を具
備する差圧変換器をもつ伝送益金提供するにある。
備する差圧変換器をもつ伝送益金提供するにある。
本発明の他の目的は一定の周囲温度変化に対応する差圧
変換器の零点誤差の補償およびスパイ誤差の補償を単一
の回路で行うことのできる温度誤差補償回路を具備する
差圧変換器をもつ伝送器を提供するにある。
変換器の零点誤差の補償およびスパイ誤差の補償を単一
の回路で行うことのできる温度誤差補償回路を具備する
差圧変換器をもつ伝送器を提供するにある。
以下、本発明実施例を参照して本発明の詳細な説明する
。
。
先ず、本発明の構成が従来の差圧伝送器の構成と相違す
る点を明かにするために従来の差圧変換器を使用する2
線式の差圧伝送システムを説明する。第3図はその構成
図である。図において、差圧伝送器PIIoは2線式伝
送器であシ、差圧/電流変換器PDは入力差圧を代表す
る差圧変換量カエヶ□と電橋回路に供給式ねる動作電流
IC−(iL+翰)に対応する直流信号IM2とを出力
する電橋回路部分pD工と前記直流電流工、。と基準電
施工□とを比較し両電流が等しくなるように電橋回路の
動作電流工。
る点を明かにするために従来の差圧変換器を使用する2
線式の差圧伝送システムを説明する。第3図はその構成
図である。図において、差圧伝送器PIIoは2線式伝
送器であシ、差圧/電流変換器PDは入力差圧を代表す
る差圧変換量カエヶ□と電橋回路に供給式ねる動作電流
IC−(iL+翰)に対応する直流信号IM2とを出力
する電橋回路部分pD工と前記直流電流工、。と基準電
施工□とを比較し両電流が等しくなるように電橋回路の
動作電流工。
を制御する動作電流制御回路部分PD2とよ構成る。
以下、pD から出力する出カ電流工や、と出方電流
1M2を区別するため工や□を第1出カ電流’ 1M
2を第2出力電流と呼ぶ。差圧/電流変換器PDK縦続
する電気回路は第1出カ電流よりi□を電圧E2に変換
するI/V変換器、変換増幅器A、出カトランジスタQ
1および帰還抵抗R2゜等を含む。伝送器pl工。は差
圧の測定現場に配設され、この伝送器P/工に含まれる
各演算回路の動作電力は受信側PMの電源E工から伝送
線12を通じて供給される。変換器PDの電橋回路部分
PDの第1出カ電流IM11iI/V、 V/T等一連
の信号変換回路によってDC4〜20mAの正規化出力
電流工。に変換きれ伝送線12を介して受信側PMに伝
送はれる。また、差圧変換器PDの電橋回路部分PD1
の第2出力電流工M2は基準電施工□と比較されその差
は制御増幅器U工に加えられる。制御増幅器U工の出力
は変換器PDに含まれている電橋回路(図示せず)の動
作電流(IL+iH)が常に工、に対応し一定の電施工
。になるように交流発振器O8Cの出力振幅eを制御す
る。伝送器P/I。の電流入出力端1δ。
1M2を区別するため工や□を第1出カ電流’ 1M
2を第2出力電流と呼ぶ。差圧/電流変換器PDK縦続
する電気回路は第1出カ電流よりi□を電圧E2に変換
するI/V変換器、変換増幅器A、出カトランジスタQ
1および帰還抵抗R2゜等を含む。伝送器pl工。は差
圧の測定現場に配設され、この伝送器P/工に含まれる
各演算回路の動作電力は受信側PMの電源E工から伝送
線12を通じて供給される。変換器PDの電橋回路部分
PDの第1出カ電流IM11iI/V、 V/T等一連
の信号変換回路によってDC4〜20mAの正規化出力
電流工。に変換きれ伝送線12を介して受信側PMに伝
送はれる。また、差圧変換器PDの電橋回路部分PD1
の第2出力電流工M2は基準電施工□と比較されその差
は制御増幅器U工に加えられる。制御増幅器U工の出力
は変換器PDに含まれている電橋回路(図示せず)の動
作電流(IL+iH)が常に工、に対応し一定の電施工
。になるように交流発振器O8Cの出力振幅eを制御す
る。伝送器P/I。の電流入出力端1δ。
19の電圧V□は定電流回路Jおよびゼナーダイオード
Dzで定電圧v2に変換きれる。v2は伝送器P/I。
Dzで定電圧v2に変換きれる。v2は伝送器P/I。
の各演算増幅器を駆動する電源として利用爆れる。
第4図は第3図で例示せる2線式伝送システムを採用せ
る差圧伝送器P/Iに本発明を実施せる回路側の概略の
構成を示す。図において第3図の各部に付した記号と同
じ付号を付しである部分は第6図と同一部分である。以
下、各図においてEは電圧源およびその電圧値を、Rは
抵抗器およびその抵抗値を代表する。図において第5図
に示されている差圧伝送器P/I とこれに対応する第
4図の伝送器p/I との相違する部分は両者の変換器
r’Dの部分のみである。後者の変換器PDには温度誤
差補償回路TCが設けられておシ、その出力電流土工、
はPDの出力回路の電流加算点S□においてPD□の第
1出力電流工、□と適当な極性で加算され、他方の出力
電流土工はPD の第2出力電流工M2の出力回路1 の加算点S2において(工M2−工R)に適当な極性で
加算される。土工2を零点誤差補償電流、土工。をスパ
゛ン誤差補償電流と名付ける。
る差圧伝送器P/Iに本発明を実施せる回路側の概略の
構成を示す。図において第3図の各部に付した記号と同
じ付号を付しである部分は第6図と同一部分である。以
下、各図においてEは電圧源およびその電圧値を、Rは
抵抗器およびその抵抗値を代表する。図において第5図
に示されている差圧伝送器P/I とこれに対応する第
4図の伝送器p/I との相違する部分は両者の変換器
r’Dの部分のみである。後者の変換器PDには温度誤
差補償回路TCが設けられておシ、その出力電流土工、
はPDの出力回路の電流加算点S□においてPD□の第
1出力電流工、□と適当な極性で加算され、他方の出力
電流土工はPD の第2出力電流工M2の出力回路1 の加算点S2において(工M2−工R)に適当な極性で
加算される。土工2を零点誤差補償電流、土工。をスパ
゛ン誤差補償電流と名付ける。
第5図は第4図で例示せる本発明実施例における差圧変
換器PDに含まれる温度誤差補償回路70部分のより詳
細な構成を示す。この回路TCは温度差E/Iとより成
る。
換器PDに含まれる温度誤差補償回路70部分のより詳
細な構成を示す。この回路TCは温度差E/Iとより成
る。
温度差検出回路TBは一種の温度差検出ブリッジで、使
用温度内の特定の基準温度t’4と周囲温度tとの差(
1−1o)に比例する出力電圧Eを生ずる。
用温度内の特定の基準温度t’4と周囲温度tとの差(
1−1o)に比例する出力電圧Eを生ずる。
ここで例示されているTBは周囲温度のセンサとしてト
ランジスタQ2およ、びダイオードD□、D2’i利用
し、ブリッナの電源として差圧伝送器に含まれる演算増
幅器の動作電源v2を利用して構成されている。一般に
シリコントランジスタのベース・エミッタ間の順方向電
圧降下vBEはトランジスタを使用する−50 + 2
00°Cの常温範囲で約−2mV/’Cの温度係数をも
ってる。シリコンダイオードの順方向電圧降下も同様の
温度依存性をもつ。
ランジスタQ2およ、びダイオードD□、D2’i利用
し、ブリッナの電源として差圧伝送器に含まれる演算増
幅器の動作電源v2を利用して構成されている。一般に
シリコントランジスタのベース・エミッタ間の順方向電
圧降下vBEはトランジスタを使用する−50 + 2
00°Cの常温範囲で約−2mV/’Cの温度係数をも
ってる。シリコンダイオードの順方向電圧降下も同様の
温度依存性をもつ。
TBはこの温度特性を利用したブリッジ回路である。図
に示す如く■−[F]間の枝路はQ2のベース・枝路に
は定抵抗R3が接続される。■−■間の電位点Gは伝送
器に含まれる演算増幅器の演算基準点Gと同電位の点で
ろって基準電圧v2の中間の特定電位に保たれる。図で
点線で示されている抵抗RA。
に示す如く■−[F]間の枝路はQ2のベース・枝路に
は定抵抗R3が接続される。■−■間の電位点Gは伝送
器に含まれる演算増幅器の演算基準点Gと同電位の点で
ろって基準電圧v2の中間の特定電位に保たれる。図で
点線で示されている抵抗RA。
RBはここには実際に使用されていない。伝送器内で演
算基準点Gを基準電圧Vの中間の所望の電位に定めてい
る分圧要素を当価的に表わしたものである。TBは、伝
送器が使用てれる周囲温度の上限温度t+を例えば80
°C9下限温度t−を例えば−20°Cと定め、可変抵
抗R2を調整し基準温度t0で検電子[F]−0間に発
生する電圧Eを零に平衡し以後R2の調整位置をそこに
固定して使用される。この状態に調整式れている回路で
は周囲温度tと基準温度tとの差(1−1)に近似的比
例する電圧Eが険電端0
0 子[F]−0間に発生する。この場合、感温素子Q2+
D工+ D2に流れる順方向電流により素子の端子間に
発生する電圧の温度係数は負でβるからtがtよシ高い
領域でば◎に対する■の電圧Eは正、tがtより低い領
域では負である。上限温度t+に対応するEは正の最大
値となりtが低下するにしたがって低減し1=1 で零
となりなおtが低下すればEは負に変じ下限温度t−で
負の最小値となる。
算基準点Gを基準電圧Vの中間の所望の電位に定めてい
る分圧要素を当価的に表わしたものである。TBは、伝
送器が使用てれる周囲温度の上限温度t+を例えば80
°C9下限温度t−を例えば−20°Cと定め、可変抵
抗R2を調整し基準温度t0で検電子[F]−0間に発
生する電圧Eを零に平衡し以後R2の調整位置をそこに
固定して使用される。この状態に調整式れている回路で
は周囲温度tと基準温度tとの差(1−1)に近似的比
例する電圧Eが険電端0
0 子[F]−0間に発生する。この場合、感温素子Q2+
D工+ D2に流れる順方向電流により素子の端子間に
発生する電圧の温度係数は負でβるからtがtよシ高い
領域でば◎に対する■の電圧Eは正、tがtより低い領
域では負である。上限温度t+に対応するEは正の最大
値となりtが低下するにしたがって低減し1=1 で零
となりなおtが低下すればEは負に変じ下限温度t−で
負の最小値となる。
第5図に示す温度差検出回路TBにおいては温度セン9
.vとしてトランジスタQ2およびダイオ−ドロ工。
.vとしてトランジスタQ2およびダイオ−ドロ工。
D2を組合せて利用しているが、温度センサはこれらの
素子の組合せに限定するものではない。例えばダイオー
ドのみを使用し、その数も任意でろってよい。また、サ
ーミスタ、あるいは抵抗の温度係数が比較的大きい金属
線を使用してもよい。ここで温度センサとして使用され
る素子を総称して感温素子と名付ける。
素子の組合せに限定するものではない。例えばダイオー
ドのみを使用し、その数も任意でろってよい。また、サ
ーミスタ、あるいは抵抗の温度係数が比較的大きい金属
線を使用してもよい。ここで温度センサとして使用され
る素子を総称して感温素子と名付ける。
変換回路E/Iは演算増幅器U3で構成されている電圧
ホロアU3(以下電圧ホロアをU3で代表しU3と称す
る)と、同じ値の2つの抵抗Rと演算増幅器U4で構成
されている反転回路U4 (以下この回路をU4で代表
しU4と呼ぶ)と、U3の出力端■とU4の出力端■と
を橋絡する2つの滑り線抵抗Rv1とRv2と、各滑り
線抵抗RV□とRv2の摺動子d1.d2にそれぞれ接
続する出力抵抗R2,Rsとで構成される。
ホロアU3(以下電圧ホロアをU3で代表しU3と称す
る)と、同じ値の2つの抵抗Rと演算増幅器U4で構成
されている反転回路U4 (以下この回路をU4で代表
しU4と呼ぶ)と、U3の出力端■とU4の出力端■と
を橋絡する2つの滑り線抵抗Rv1とRv2と、各滑り
線抵抗RV□とRv2の摺動子d1.d2にそれぞれ接
続する出力抵抗R2,Rsとで構成される。
電圧ホロアU3はTBの出力端[F]とU3の出力端■
とを電気的に分離し0点にTB出力端[F]と同じ電圧
Eの電圧源を得るための緩衝増幅器である。周囲温度t
がt+とtの範囲にあればRVIとRv2の並列回路の
1端■には+Eが他端■には−Eが印加式れる。
とを電気的に分離し0点にTB出力端[F]と同じ電圧
Eの電圧源を得るための緩衝増幅器である。周囲温度t
がt+とtの範囲にあればRVIとRv2の並列回路の
1端■には+Eが他端■には−Eが印加式れる。
また、to〜t−の範囲にあれば■に−E、■に+Eが
印加される。RV工の摺動子d工に発生する可変電圧上
E2は出力抵抗R2により可変電流土工2に変換てれ、
±■2は零点誤差補償電流として差圧変換器PDの加算
点S1に送出される。Rv2の摺動子d2に発生する可
変電圧上E8は出力抵抗RI9によりスパン誤差補償第
6図(A)は変換器E/Iの一方の滑り線抵抗例え゛ば
RVlの構成説明図であυ、第6図(B)は滑υ線抵抗
RV□上を摺動する摺動子d工の接触位置とd工にピッ
クアップでれるEzとの対応関係を示す特性線図である
。図において(1)は周囲温度が上限温度t+の場合、
(2)は下限温度を−の場合の特性線である。図から明
力令うにt+の場合■端に印加でれる電圧を+Eとすれ
ば摺動子d工が滑シ線上を1端■から■に向って移動す
るにしたがって摺動子d□の電圧E2ば+Eから連続的
に低下し中央点■で零とな9■を過ぎれば負に転じ他端
■に達すれば−Eとなる。したがって特定値の抵抗R2
を通り出力回路に流れ出る零点誤差補償電施工、もE2
の変化に対応し連続的に低下する。また、周囲温度がt
−の場合E2、の変化はt+の場合と反対である。周囲
温度tが任意の温度tの場合はE、はその温度tに対応
した変化をたどる。図では任意の温度tに対する特性線
を(3)に例示する。
印加される。RV工の摺動子d工に発生する可変電圧上
E2は出力抵抗R2により可変電流土工2に変換てれ、
±■2は零点誤差補償電流として差圧変換器PDの加算
点S1に送出される。Rv2の摺動子d2に発生する可
変電圧上E8は出力抵抗RI9によりスパン誤差補償第
6図(A)は変換器E/Iの一方の滑り線抵抗例え゛ば
RVlの構成説明図であυ、第6図(B)は滑υ線抵抗
RV□上を摺動する摺動子d工の接触位置とd工にピッ
クアップでれるEzとの対応関係を示す特性線図である
。図において(1)は周囲温度が上限温度t+の場合、
(2)は下限温度を−の場合の特性線である。図から明
力令うにt+の場合■端に印加でれる電圧を+Eとすれ
ば摺動子d工が滑シ線上を1端■から■に向って移動す
るにしたがって摺動子d□の電圧E2ば+Eから連続的
に低下し中央点■で零とな9■を過ぎれば負に転じ他端
■に達すれば−Eとなる。したがって特定値の抵抗R2
を通り出力回路に流れ出る零点誤差補償電施工、もE2
の変化に対応し連続的に低下する。また、周囲温度がt
−の場合E2、の変化はt+の場合と反対である。周囲
温度tが任意の温度tの場合はE、はその温度tに対応
した変化をたどる。図では任意の温度tに対する特性線
を(3)に例示する。
第7図はTCに含まれるE/I回路における2つの補償
電流上12および土工。を出力する回路部分の構成を示
す当価回路である。RV□は零点誤差補償電流±12を
得るための滑p線抵抗、Rv2はスパン誤差補償電流土
工を得るための滑り線抵抗である。
電流上12および土工。を出力する回路部分の構成を示
す当価回路である。RV□は零点誤差補償電流±12を
得るための滑p線抵抗、Rv2はスパン誤差補償電流土
工を得るための滑り線抵抗である。
単一の補償電流を出力するTC回路を2つの補償電流を
出力する回路に変更するには十E、−Eを出力する出力
端■、■に橋絡する滑り線抵抗の数を1個〃・ら2個に
変更するだけでよい。
出力する回路に変更するには十E、−Eを出力する出力
端■、■に橋絡する滑り線抵抗の数を1個〃・ら2個に
変更するだけでよい。
回路の作用を説明する。
現在実用されている多くの差圧変換器の性能について次
の事項が実験的に知られている。いま人出方間の変換係
数Δ工M1/Δp、 (但しΔP□は入力信号Piの微
小変化、ΔIM1 はΔP□に対する出力電施工M1の
微小変化)が等しいと保証されている同種の変換器につ
いて、 (1)差圧変換器PDの変換係数は変換器の測定範囲の
入力Pについて一定とみなすことができる。しま たがって入力Pのフルスケール値P1(f−s )に対
すす る出力エラ□のフルスケール値工や、(f−6)の比も
一定とみなすことができる。
の事項が実験的に知られている。いま人出方間の変換係
数Δ工M1/Δp、 (但しΔP□は入力信号Piの微
小変化、ΔIM1 はΔP□に対する出力電施工M1の
微小変化)が等しいと保証されている同種の変換器につ
いて、 (1)差圧変換器PDの変換係数は変換器の測定範囲の
入力Pについて一定とみなすことができる。しま たがって入力Pのフルスケール値P1(f−s )に対
すす る出力エラ□のフルスケール値工や、(f−6)の比も
一定とみなすことができる。
01)変換器pDの使用温度範囲t+〜t−の中の任意
の温度tにおける零点誤差およびスパン誤差は温度tと
特定の基準温度tとの差<1−1>に比例する。
の温度tにおける零点誤差およびスパン誤差は温度tと
特定の基準温度tとの差<1−1>に比例する。
0 0
0ii) 同種多数の差圧変換器PDにおいて、各変
換器の零点誤差およびスパン誤差は最小スパンの数%以
内であるが個々の変換器における誤差の太きでおよび極
性ともにまちまちである。
換器の零点誤差およびスパン誤差は最小スパンの数%以
内であるが個々の変換器における誤差の太きでおよび極
性ともにまちまちである。
本発明においてはこのような同種の変換器の温度による
零点誤差およびスパン誤差を先に説明した同一構成の温
度誤差補償回路TCの零点誤差補償電流上弓およびスパ
ン誤差補償電施工、で補償しようとするものである。ま
た、本発明の補償回路TCの誤差補償電流I2.Ise
変換器PDの出力電施工8□。
零点誤差およびスパン誤差を先に説明した同一構成の温
度誤差補償回路TCの零点誤差補償電流上弓およびスパ
ン誤差補償電施工、で補償しようとするものである。ま
た、本発明の補償回路TCの誤差補償電流I2.Ise
変換器PDの出力電施工8□。
およびPDの出力電流”M2に付加しても基準温度上〇
に対する入出力特性に影響を及ぼさないTCを実現せん
とするものでるる。
に対する入出力特性に影響を及ぼさないTCを実現せん
とするものでるる。
第8図は変換器PDにおける零点誤差補償に関連する回
路部分の構成説明図である。図においてPDの第1出力
電流−0を出力する電源を当価的にElによシ、またそ
の出力抵抗を当価抵抗R□によって示す。また、温度誤
差補償回路TCにおける零点誤差補償作用工2の出力回
路部分をTC(Z)で表わしこれを滑り線抵抗RV□の
摺動子d工に生ずる可変電圧上E2と出力抵抗R2で示
す。補償電流土工。ばPDの出力端11とI/V変換器
の入力端13との間の加、算点S□に導入される。土V
の電圧が印加されている可変抵抗Rvoは工や□の零調
整用の抵抗である。
路部分の構成説明図である。図においてPDの第1出力
電流−0を出力する電源を当価的にElによシ、またそ
の出力抵抗を当価抵抗R□によって示す。また、温度誤
差補償回路TCにおける零点誤差補償作用工2の出力回
路部分をTC(Z)で表わしこれを滑り線抵抗RV□の
摺動子d工に生ずる可変電圧上E2と出力抵抗R2で示
す。補償電流土工。ばPDの出力端11とI/V変換器
の入力端13との間の加、算点S□に導入される。土V
の電圧が印加されている可変抵抗Rvoは工や□の零調
整用の抵抗である。
第9図は差圧変換器PDにおけるスパン誤差補償に関連
する部分の回路構成を示す。差圧変換器PDの電橋回路
部分PD1の第2出力電流工、12とこれと比較する基
準電流iRとの加算点S2にTC(S)からスパン誤差
補償電流土工が導入はれる。±E8はTC回回 路の第2の滑り線抵抗R■2の摺動子d2に生ずる可変
電圧を代表する。
する部分の回路構成を示す。差圧変換器PDの電橋回路
部分PD1の第2出力電流工、12とこれと比較する基
準電流iRとの加算点S2にTC(S)からスパン誤差
補償電流土工が導入はれる。±E8はTC回回 路の第2の滑り線抵抗R■2の摺動子d2に生ずる可変
電圧を代表する。
第6図、第8図を参照し零点誤差補償作用を説明する。
まず、基準温度tにおいて零点調整用の可変抵抗を調整
して入力差圧p1が零に対する出力電流エヤ□を零にす
る。上限温度t+における零点誤差は前述の如く個々の
変換器において異なっているがその中でt+における誤
差の最大値工M□(MAX ’)は既知である。かかる
場合に温度誤差補償回路TCKおけるE/I回路の滑り
線抵抗RV□の摺動子d工を滑り線の■端または■端上
に置きd、を通って流出するを定める。個々の変換器に
おいて、使用温度の変化範囲t+〜t−の間の任意の温
度tにおける零点誤差の太きではt+におけるI6.1
1(MAX)の絶対値以下でろるから、出力抵抗R2が
上述のように設定してろれば、周囲温度tが未知でβっ
ても摺動子d1を滑り線上の■−■間を摺動することに
より零点誤差すなわち出力電施工hx□が零になる点(
/Cd1を位置決めすることができる。なお摺動子dの
位置決めは基準温度tVCおいて較正てれている入力p
、の零に1 対応する伝送器の正規死出カニの計測値を参照して行わ
れる。
して入力差圧p1が零に対する出力電流エヤ□を零にす
る。上限温度t+における零点誤差は前述の如く個々の
変換器において異なっているがその中でt+における誤
差の最大値工M□(MAX ’)は既知である。かかる
場合に温度誤差補償回路TCKおけるE/I回路の滑り
線抵抗RV□の摺動子d工を滑り線の■端または■端上
に置きd、を通って流出するを定める。個々の変換器に
おいて、使用温度の変化範囲t+〜t−の間の任意の温
度tにおける零点誤差の太きではt+におけるI6.1
1(MAX)の絶対値以下でろるから、出力抵抗R2が
上述のように設定してろれば、周囲温度tが未知でβっ
ても摺動子d1を滑り線上の■−■間を摺動することに
より零点誤差すなわち出力電施工hx□が零になる点(
/Cd1を位置決めすることができる。なお摺動子dの
位置決めは基準温度tVCおいて較正てれている入力p
、の零に1 対応する伝送器の正規死出カニの計測値を参照して行わ
れる。
次に1、第7図、第9図および第10図を参照しス”M
lとの間の入出力特性を示す線図である。図において、
特性線(1)は基準温度tにおける特性線を示す。なお
ことに示されている線図は変換器の差圧センサによる電
橋回路(第2図参照)の動作電流(iL+1H)が一定
の基準電施工□に対応する一定値に保たれている条件の
もとての特性線である。特性線(2)は上記の条件のも
とにおける例えば周囲温度がその上限温度t+のときの
入出力特性線を例示する。なお線(2)はt+のときの
零点誤差は補償済の特性線である。いま第9図に例示せ
る変換器において入力P、の任意の値pに対する上限温
度t+における出力電施工、□を工(t+)p ’基準
温度t。における工ヶ□を工(t )pで表せば上限温
度t+にお゛ける入力差圧pに対するスパン誤差ε
は下式で定義されs(f、+) る。
lとの間の入出力特性を示す線図である。図において、
特性線(1)は基準温度tにおける特性線を示す。なお
ことに示されている線図は変換器の差圧センサによる電
橋回路(第2図参照)の動作電流(iL+1H)が一定
の基準電施工□に対応する一定値に保たれている条件の
もとての特性線である。特性線(2)は上記の条件のも
とにおける例えば周囲温度がその上限温度t+のときの
入出力特性線を例示する。なお線(2)はt+のときの
零点誤差は補償済の特性線である。いま第9図に例示せ
る変換器において入力P、の任意の値pに対する上限温
度t+における出力電施工、□を工(t+)p ’基準
温度t。における工ヶ□を工(t )pで表せば上限温
度t+にお゛ける入力差圧pに対するスパン誤差ε
は下式で定義されs(f、+) る。
説明の便宜上人力Pの最大値p (MAX)に対するt
+およびtにおける出力電施工をI(t+)(fs)お
よび工(t )(fs、)で表せば’s(t+)は下式
で表わすことかできる。
+およびtにおける出力電施工をI(t+)(fs)お
よび工(t )(fs、)で表せば’s(t+)は下式
で表わすことかできる。
しかるに上限温度t+における出力電流は差圧センサに
含まれている電橋回路(第2図参照)9動作電流IM2
” (LL ” lH)に比例ししたがってPDの加
算点S2で工M2と比較てれる基準電施工Rニ比例する
。
含まれている電橋回路(第2図参照)9動作電流IM2
” (LL ” lH)に比例ししたがってPDの加
算点S2で工M2と比較てれる基準電施工Rニ比例する
。
したがって(5)式ε は下式となる。
SCt+)
但しK(1)は周囲温度tの関数であり上限温度七十に
おいて一定である。
おいて一定である。
ここで誤差を補償するために加算点S2においてスパン
誤差補償電施工、を工□に加算するが第10図にεs(
t+)を零に減するためには(6)式の右辺を零と置い
た下式を満足する工を加算点S2に供給しなければなら
ない〇 K(t)(IR−IS) p(max) −I(t)(
fs) = O(7)〇 一方、上限温度t+においてスパン誤差の最大値すなわ
ち工(t+)(fs)の最大値工(t+)MAXは既知
であれば、零点誤差補償の場合と同様にTC回路におけ
るE/1回路のスパン誤差補償電流土工の出力回路の電
源用滑り線抵抗Rv2の摺動子d2を滑り線の■端上に
置きd2を通って流出するスパン誤差補償電流土工の絶
対値が工 の絶対値より大きな値にs
(t+)MAX なるよう土工の出力回路の抵抗Rの値を定める。
誤差補償電施工、を工□に加算するが第10図にεs(
t+)を零に減するためには(6)式の右辺を零と置い
た下式を満足する工を加算点S2に供給しなければなら
ない〇 K(t)(IR−IS) p(max) −I(t)(
fs) = O(7)〇 一方、上限温度t+においてスパン誤差の最大値すなわ
ち工(t+)(fs)の最大値工(t+)MAXは既知
であれば、零点誤差補償の場合と同様にTC回路におけ
るE/1回路のスパン誤差補償電流土工の出力回路の電
源用滑り線抵抗Rv2の摺動子d2を滑り線の■端上に
置きd2を通って流出するスパン誤差補償電流土工の絶
対値が工 の絶対値より大きな値にs
(t+)MAX なるよう土工の出力回路の抵抗Rの値を定める。
S
sかくすれば、個々の変換器におけるt+の出力信号I
(t)(fS)は”(t+)MAX以下であるから摺動
子d2を滑シ線上の■−■間を摺動することにより(7
)式を満足する点にd2を位置決めすることができる。
sかくすれば、個々の変換器におけるt+の出力信号I
(t)(fS)は”(t+)MAX以下であるから摺動
子d2を滑シ線上の■−■間を摺動することにより(7
)式を満足する点にd2を位置決めすることができる。
すなわち特性線(2)を基準温度tにおける特性線(1
)に合致式せることかできる。
)に合致式せることかできる。
性が正の範囲で特性線(4)を特性線(1)に合致させ
ることができる。まfc5使用温度の変化範囲t+〜t
−の間の任意の温度tVCおけるスパン誤差はtが未知
でβっても摺動子d2をRv2の■−■間を摺動するだ
けで人力の任意の値Pに対する出力電流I(1)を基準
温度における工(1)と一致させることかできる。
ることができる。まfc5使用温度の変化範囲t+〜t
−の間の任意の温度tVCおけるスパン誤差はtが未知
でβっても摺動子d2をRv2の■−■間を摺動するだ
けで人力の任意の値Pに対する出力電流I(1)を基準
温度における工(1)と一致させることかできる。
本発明によれば(i)零点誤差およびスパン誤差の補償
を相′互干渉なしに行うことができる。(11)任意の
温度tにおいて零点誤差補償回路およびスパン誤差補償
回路のみの操作で基準温度tにおける較正時の入出力特
性と一致する特性の差圧変換器が実現できる。G11)
本発明による零点誤差補償電流土工2およびスパン誤差
補償電流土工。は基準温度t。
を相′互干渉なしに行うことができる。(11)任意の
温度tにおいて零点誤差補償回路およびスパン誤差補償
回路のみの操作で基準温度tにおける較正時の入出力特
性と一致する特性の差圧変換器が実現できる。G11)
本発明による零点誤差補償電流土工2およびスパン誤差
補償電流土工。は基準温度t。
において零になるのでこれを変換器に付加しても基準温
度における入出力特性に変化を生ずることがない。(V
)零点誤差の補償は測定レンジ変更を行なうI/V変換
器の前段で行なわれるように伝送器が構成式れているの
で測定レンジの変更により零点誤差補償電流に過不足を
生じない。
度における入出力特性に変化を生ずることがない。(V
)零点誤差の補償は測定レンジ変更を行なうI/V変換
器の前段で行なわれるように伝送器が構成式れているの
で測定レンジの変更により零点誤差補償電流に過不足を
生じない。
第1図は本発明の差圧変換器の一部でめる差動容量方式
の差圧センサの断面図を示す。第2図は第1図の差圧セ
ンサを使用して構成されている電橋回路部分の原理図を
示す。第3図は従来公知の2線式差圧伝送方式の構成図
である。第4図は本発明を実施せる2線式差圧伝送器の
概略の構成を示す。第5図は第4図の本発明実施例にお
ける差圧変換器に含まれる温度誤差補償回路の詳細な構
成を示す。第6図囚は本発明を実施せる差圧変換器の温
度誤差補償回路の一部である電圧/電流変換器の一方の
滑υ線抵抗の構成説明図、第6図(n)は滑り線抵抗上
を摺動する摺動子の接触位置と摺動子上の電圧との対応
関係を示す。第7図は温度誤差補償回路に含まれる電圧
/電流変換器の出力回路部分の構成を示す当価回路でる
る。第8図は本発明を実施せる差圧変換器部分における
零点誤差補償に関連する回路部分の構成を示す。第9図
は本発明を実施せる差圧変換器部分におけるスパン誤差
補償vc関連する部分の回路構成を示す。第10図は差
圧変換器の入出力特性を示す線図である。 第4図において、 PD・・・差圧変換器、PDl・・・差圧変換器の電橋
回路部分、PD・・・差圧変換器の動作電流制御回路部
分、TC・・・温度誤差補償回路、I/V・・・電流/
電圧変換回路、Sイ・・・加算点、S・・・加算点、■
□・・・基準電流、エ 2 RV工・・・第1滑υ線抵抗、d□・・第1摺動子、R
v2・・・第2滑り線抵抗、d2・・・第2摺動子、R
2・・・第1出力抵抗、R・・・第2出力抵抗。 第 71利 宅 2 劇 秀 5)4 $4 7)七11 名 71阿 箭 8 )肩 透 q 帽 労。 番 IQ +囚
の差圧センサの断面図を示す。第2図は第1図の差圧セ
ンサを使用して構成されている電橋回路部分の原理図を
示す。第3図は従来公知の2線式差圧伝送方式の構成図
である。第4図は本発明を実施せる2線式差圧伝送器の
概略の構成を示す。第5図は第4図の本発明実施例にお
ける差圧変換器に含まれる温度誤差補償回路の詳細な構
成を示す。第6図囚は本発明を実施せる差圧変換器の温
度誤差補償回路の一部である電圧/電流変換器の一方の
滑υ線抵抗の構成説明図、第6図(n)は滑り線抵抗上
を摺動する摺動子の接触位置と摺動子上の電圧との対応
関係を示す。第7図は温度誤差補償回路に含まれる電圧
/電流変換器の出力回路部分の構成を示す当価回路でる
る。第8図は本発明を実施せる差圧変換器部分における
零点誤差補償に関連する回路部分の構成を示す。第9図
は本発明を実施せる差圧変換器部分におけるスパン誤差
補償vc関連する部分の回路構成を示す。第10図は差
圧変換器の入出力特性を示す線図である。 第4図において、 PD・・・差圧変換器、PDl・・・差圧変換器の電橋
回路部分、PD・・・差圧変換器の動作電流制御回路部
分、TC・・・温度誤差補償回路、I/V・・・電流/
電圧変換回路、Sイ・・・加算点、S・・・加算点、■
□・・・基準電流、エ 2 RV工・・・第1滑υ線抵抗、d□・・第1摺動子、R
v2・・・第2滑り線抵抗、d2・・・第2摺動子、R
2・・・第1出力抵抗、R・・・第2出力抵抗。 第 71利 宅 2 劇 秀 5)4 $4 7)七11 名 71阿 箭 8 )肩 透 q 帽 労。 番 IQ +囚
Claims (3)
- (1)差動容量形差圧センサを使用する差圧/電流変換
器と該変換器の出力電流を増幅・変換する電気回路とよ
シ成し、前記変換器は一端を基準電位点に接続し他端に
周囲温度と基準温度との差に比例する第1出力電圧を発
生する第1電圧源と一端を基準電位点に接続し他端に前
記第1出方電圧と反対極性の出力電圧を発生する第2電
圧源と前記第1.第2の電圧源のそtぞれの他端に一端
と他端とを接続する滑υ線抵抗と該滑り線抵抗の摺動子
に一端を接続する特定の抵抗値の出方抵抗とよシ成り該
出力抵抗の他端を出力端とする温度\誤差補償回路を具
備し、前記出方端を前記変換器の出力電流出力回路の加
算点に接続し、前記摺動子の滑り〜線抵抗上の接触位置
を選択的に設定し該設定点において該摺動子に生ずる電
圧に対応して前記出力端に生ずる零点誤差補償電流にょ
シ前記変換器の零点誤差電流を補償するように構成嘔れ
ている前記変換器金倉む差圧伝送器。 - (2)差動容量形差圧センサを使用する差圧/電流変換
器と該変換器の出力電流を増幅・変換する電気回路とよ
り成り、前記変換器は一端金基準電位点に接続し他端に
周囲温度と基準温度との差に比例する出力電圧を発生す
る第1電圧源と一端を基準電位点に接続し他端に前韻第
1出力電圧と反対極性の出力電圧を発生する第2電圧源
と前記第1゜第2の電圧源のそれぞれの他端に一端と他
端とを接続する滑シ線抵抗と該滑シ線抵抗の摺動子に一
端を接続する特定の抵抗値の出力抵抗とよシ成り該出力
抵抗の他端を出力端とする温度誤差補償回路を具備し、
前記出力端を前記変換器の電橋回路の動作電流に対応す
る直流出力と基準電流との加算点に接続し、前記摺動子
の滑υ線抵抗上の接触位置を選択的に設定し該設定点に
おいて該摺動子に生ずる電圧に対応し前記出力端に生ず
るスパン誤差補償電流により前記基準電流を補償し任意
の周囲温度において任意の入力差圧に対する前記変換器
の出力電流と基準温度において前記任意の入力差圧に対
する前記変換器の出力電流との差を実質的に零に減する
ように前記動作電流を制御する前記変換器を含む差圧伝
送器。 - (3)差動容量形差圧センブを使用する差圧/電流変換
器と該変換器の出力電流を増幅・変換する電気回路とよ
り成シ、前記変換器は一端を基準電位点に接続し他端に
周囲温度と基準温度との差に比例する第1出力電圧を発
生する第1電圧源と一端を基準電位点に接続し他端に前
記第1出力電圧と反対極性の出力電圧を発生する第2電
圧源々前記第1.第2の電圧源のそれぞれの他端に一端
と他端とを接続する第1滑シ線抵抗と該滑シ線抵抗の第
1摺動子に一端を接続する特定の抵抗値の第1出力抵抗
とよシ成シ該第1出力抵抗の他端を零点誤差補償電流の
出力端とする第1出力回路と、前記第1滑9抵抗と並列
に接続する第2滑シ線抵抗と該第2滑り線抵抗の第2摺
動子に一端を接続する特定の抵抗値の第2出力抵抗とよ
シ成り該第2出力抵抗の他itスパン誤差補償電流の出
力端とする第2出力回路とを具備する温度誤差補償回路
を有し、前記第1出力回路の出力端を前記変換器の出力
電流出力回路の加算点に接続し前記第1摺動子の第1滑
シ線抵抗上の接触位置を選択的に設定し該設定点におい
て該第1摺動子に生ずる電圧に対応して前記第1出力回
路の出力端に生ずる零点誤差補償電流によシ前記変換器
の零点誤差電流を補償するとともに、前記第2出力回路
の出力端な前記変換器の電橋回路の動作電流に対応する
直流出力と基準電流との加算点に接続し前記第2摺動子
の第2滑シ線抵抗上の接触位置を選択的に設定し該設定
点において該第2摺動子に生ずる電圧に対応し前記第2
出力回路の出力端に生ずるスパン誤差補償電流により前
記基準電流を補償し任意の周囲温度において任意の入力
差圧に対する前記変換器の出力電流と基準温度において
前記任意の入力差圧に対する前記変換器の出力電流との
差を1的に零に減するように前記動作電流を制御する。 前記変換器を含む差圧伝送器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58038640A JPS59163515A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58038640A JPS59163515A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 差圧伝送器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59163515A true JPS59163515A (ja) | 1984-09-14 |
JPH0326322B2 JPH0326322B2 (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=12530837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58038640A Granted JPS59163515A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59163515A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62267636A (ja) * | 1986-05-05 | 1987-11-20 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | センサ |
EP0711976A1 (de) * | 1994-11-11 | 1996-05-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Anordnung zur Linearisierung und Temperaturkompensation von Sensorsignalen |
-
1983
- 1983-03-09 JP JP58038640A patent/JPS59163515A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62267636A (ja) * | 1986-05-05 | 1987-11-20 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | センサ |
EP0711976A1 (de) * | 1994-11-11 | 1996-05-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Anordnung zur Linearisierung und Temperaturkompensation von Sensorsignalen |
US5604685A (en) * | 1994-11-11 | 1997-02-18 | Endress Hauser Gmbh Co | Circuit arrangement for the linearization and temperature compensation of sensor signals |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0326322B2 (ja) | 1991-04-10 |
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