JPS5915807A - 物体の表面計測方法 - Google Patents
物体の表面計測方法Info
- Publication number
- JPS5915807A JPS5915807A JP12509782A JP12509782A JPS5915807A JP S5915807 A JPS5915807 A JP S5915807A JP 12509782 A JP12509782 A JP 12509782A JP 12509782 A JP12509782 A JP 12509782A JP S5915807 A JPS5915807 A JP S5915807A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- system mirror
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- reflected
- scattered
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
光を照射し、その反射散乱光のパターン、輝度分布等を
二つのミラーをＸ軸、Ｙ軸方向に走査させることにより
計測して物体の表面状況（傷の有無、凹凸等）を検知す
る計測方法に関する。
二つのミラーをＸ軸、Ｙ軸方向に走査させることにより
計測して物体の表面状況（傷の有無、凹凸等）を検知す
る計測方法に関する。
従来この種方法には各種あり、その主な例として第１図
に示すようなものがある。
に示すようなものがある。
第１図のうち（イ）に示すものはレーザ発振器Ａからの
光を物体Ｂに照射し、物体Ｂからの反射散乱光を工業用
テレビＩＴＶで撮影してモニタテレビに映すようにした
テレビカメラ方式である。
光を物体Ｂに照射し、物体Ｂからの反射散乱光を工業用
テレビＩＴＶで撮影してモニタテレビに映すようにした
テレビカメラ方式である。
（口）に示すものは物体Ｂからの反射散乱光を多数本の
光ファイバからなるイメージガイドＣによシ受け、これ
をディテクタアレイＤを介して表示器に表示するように
した光フアイバ方式であるＯ （ハ）に示すものは物体Ｂからの反射散乱光をスクリー
ンＥに映し出し、それをスクリーンＥのＸ軸、Ｙ軸方向
に走査する受光器Ｆにより受光して記憶装置などに入力
するようにした受光部の面移動方式である。
光ファイバからなるイメージガイドＣによシ受け、これ
をディテクタアレイＤを介して表示器に表示するように
した光フアイバ方式であるＯ （ハ）に示すものは物体Ｂからの反射散乱光をスクリー
ンＥに映し出し、それをスクリーンＥのＸ軸、Ｙ軸方向
に走査する受光器Ｆにより受光して記憶装置などに入力
するようにした受光部の面移動方式である。
このうち、テレビカメラ方式は光波長帯域が可視光のみ
に限定されること、最低受光感度が悪いこと、Ｓ／Ｎが
悪いこと、といった各種の欠点がある。
に限定されること、最低受光感度が悪いこと、Ｓ／Ｎが
悪いこと、といった各種の欠点がある。
光ファイバによる方式は、光ファイバとデイテクタアレ
イとの結合が困難であるという難点がある。
イとの結合が困難であるという難点がある。
受光部の面移動方式のものは、機械的に受光器を走査さ
せるため信頼性、データの再現性が悪いという難点があ
る。
せるため信頼性、データの再現性が悪いという難点があ
る。
本発明はこれらの各種問題点の無い計測方法を提供する
もので、以下本発明を図示の一実施例に基づき詳記する
。
もので、以下本発明を図示の一実施例に基づき詳記する
。
光源（りから発せられるレーザ光、白色光等の光を物体
（２）の表面に照射し、その反射散乱光をレンズ（３）
により集束してテレビ画面の水平走査のようにＸ軸方向
に走査するＸ系ミラー（りに入れ、Ｘ系ミラー（４）か
らの反射光をテレビ画面の垂直走査のようにＹ軸方向に
走査するＸ系ミラー（５）に入れ、Ｘ系ミラー（５）か
らの反射光をスクリーン（６）のピンホール（７）を通
して受光部（８）に入れ、前記Ｘ系ミラー（４）、Ｘ系
ミラー（５）を夫々Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に別々に或は同
時に走査させることにより、物体（２）からの反射散乱
光全体を走査して反射散乱光の形状、輝度分布等を計測
するようにしたものである。第２図において（９）はＸ
系ミラー（４）を走査させるＸ系スキャナ、（１（９は
Ｘ系ミラー（５）を走査させるＸ系スキャナである。
（２）の表面に照射し、その反射散乱光をレンズ（３）
により集束してテレビ画面の水平走査のようにＸ軸方向
に走査するＸ系ミラー（りに入れ、Ｘ系ミラー（４）か
らの反射光をテレビ画面の垂直走査のようにＹ軸方向に
走査するＸ系ミラー（５）に入れ、Ｘ系ミラー（５）か
らの反射光をスクリーン（６）のピンホール（７）を通
して受光部（８）に入れ、前記Ｘ系ミラー（４）、Ｘ系
ミラー（５）を夫々Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に別々に或は同
時に走査させることにより、物体（２）からの反射散乱
光全体を走査して反射散乱光の形状、輝度分布等を計測
するようにしたものである。第２図において（９）はＸ
系ミラー（４）を走査させるＸ系スキャナ、（１（９は
Ｘ系ミラー（５）を走査させるＸ系スキャナである。
受光部（８）で受けた光はアンプ（Ｉすで増幅してから
Ｎ巾変換器でアナログ・デジタル変換し、これを８ピッ
トル１２ビツト程度で階調に分け、記憶装置（１２）に
入力する。この場合の記憶は比蔽的ゆっくりと行ない、
読出すときはビデオ信号と同等な速度で読み出す。これ
をデジタル−アナログ変換し、アンプを通し、更にビデ
オ信号に相当する垂直、水平同期信号を加えることによ
り通常のモニタテレビ０３）に反射散乱光を写し出すな
どすればよい。
Ｎ巾変換器でアナログ・デジタル変換し、これを８ピッ
トル１２ビツト程度で階調に分け、記憶装置（１２）に
入力する。この場合の記憶は比蔽的ゆっくりと行ない、
読出すときはビデオ信号と同等な速度で読み出す。これ
をデジタル−アナログ変換し、アンプを通し、更にビデ
オ信号に相当する垂直、水平同期信号を加えることによ
り通常のモニタテレビ０３）に反射散乱光を写し出すな
どすればよい。
記憶装置０２）からの信号を予め解析しであるソフトウ
ェアにより処理装置θ４）で処理すれば物体（２）の表
面状態がわかる。なお、第２図の制御部（１５）はＸ系
ミラー（４）、Ｘ系ミラー（５）の走査を制御したり、
記憶装置（１２）、処理装置（１５）のオン・オフ、Ｘ
系ミラー（４）、Ｘ系ミラー（５）との同期等々を制御
するものである。
ェアにより処理装置θ４）で処理すれば物体（２）の表
面状態がわかる。なお、第２図の制御部（１５）はＸ系
ミラー（４）、Ｘ系ミラー（５）の走査を制御したり、
記憶装置（１２）、処理装置（１５）のオン・オフ、Ｘ
系ミラー（４）、Ｘ系ミラー（５）との同期等々を制御
するものである。
物体（２）の表面状態を知るために必要な計測要素は反
射散乱光のＸ、、Ｙ方向の直径、輝度分布であり、レー
ザ光として用いる代表的な波長はＨｅ−Ｎｅの０．６３
ｐｍからＣ０２のｌｏ、６１１ｍ帯のものがよい。
射散乱光のＸ、、Ｙ方向の直径、輝度分布であり、レー
ザ光として用いる代表的な波長はＨｅ−Ｎｅの０．６３
ｐｍからＣ０２のｌｏ、６１１ｍ帯のものがよい。
本発明は斜上のように、物体（２）からの反射散乱光を
Ｘ系ミラー（りとＸ系ミラー（５）とにより夫々Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向に走査し、その光をピンホール（７）ヲ介
して受光部（８）に受光させるようにしであるため反射
散乱光全体を確実に計測することができ、また、受光部
（８）で受光された光を適宜手段により後処理してモニ
タテレビなどの表示器（＋３）に表示すれば物体（２）
の表面を正確にしかも容易に観測することができる。
Ｘ系ミラー（りとＸ系ミラー（５）とにより夫々Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向に走査し、その光をピンホール（７）ヲ介
して受光部（８）に受光させるようにしであるため反射
散乱光全体を確実に計測することができ、また、受光部
（８）で受光された光を適宜手段により後処理してモニ
タテレビなどの表示器（＋３）に表示すれば物体（２）
の表面を正確にしかも容易に観測することができる。
更に、第１図（イ）に示すようにモニタテレビを使用す
る必要がなく、同図（ロ）に示すようにイメージファイ
バを使用する必要がなく、同図（ハ）のように受光部Ｆ
ｅ移動させる必要もないためこれらが有する各種欠点も
一切無い。
る必要がなく、同図（ロ）に示すようにイメージファイ
バを使用する必要がなく、同図（ハ）のように受光部Ｆ
ｅ移動させる必要もないためこれらが有する各種欠点も
一切無い。
しかもＸ系ミラー（４）、Ｘ系ミラー（５）を走査させ
るものであるため、物体（２）が走行している場合には
この走行速度と両ミラー（４）（５）の走査速度との関
係を適宜選定することにより走行中の物体（２）の表面
計測をも容易に行なうことができる。
るものであるため、物体（２）が走行している場合には
この走行速度と両ミラー（４）（５）の走査速度との関
係を適宜選定することにより走行中の物体（２）の表面
計測をも容易に行なうことができる。
従って例えば冷延鋼板の製造過程において製造される鋼
板の表面計測を行なうのに好適となる。
板の表面計測を行なうのに好適となる。
第１図（イ）（ｏ）（ハ）は従来の表面計測方法の各種
例を示す説明図、第２図は本発明の一実施例を示す説明
図である。 （２）は物体、 （３）はレンズ、 （４）はＸ系ミラー、 （５）はＸ系ミラー、 （６）はスクリーン、 （７）はピンホーノペ （８）は受光部。
例を示す説明図、第２図は本発明の一実施例を示す説明
図である。 （２）は物体、 （３）はレンズ、 （４）はＸ系ミラー、 （５）はＸ系ミラー、 （６）はスクリーン、 （７）はピンホーノペ （８）は受光部。
Claims (1)
- 計測する物体の表面に光を照射し、その反射散乱光をレ
ンズにより集束してＸ軸方向に走査するＸ系ミラーに入
れ、Ｘ系ミラーからの反射光ＩｙＸ軸方向走査するＸ系
ミラーに入れ、Ｘ系ミラーからの反射光をスクリーンの
ピンホールを通して受光部に入れ、Ｘ系ミラー、Ｘ系ミ
ラーの夫々をＸ軸方向、Ｙ軸方向に別々に或は同時に走
査させて物体からの反射散乱光の全体を走査するように
した物体の表面計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12509782A JPS5915807A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 物体の表面計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12509782A JPS5915807A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 物体の表面計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915807A true JPS5915807A (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=14901773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12509782A Pending JPS5915807A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 物体の表面計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915807A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63503243A (ja) * | 1986-05-05 | 1988-11-24 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 粒子状物質を識別する方法および装置 |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP12509782A patent/JPS5915807A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63503243A (ja) * | 1986-05-05 | 1988-11-24 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 粒子状物質を識別する方法および装置 |
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