JPS59156931A - Manufacture of glass optical fiber - Google Patents
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- JPS59156931A JPS59156931A JP2454584A JP2454584A JPS59156931A JP S59156931 A JPS59156931 A JP S59156931A JP 2454584 A JP2454584 A JP 2454584A JP 2454584 A JP2454584 A JP 2454584A JP S59156931 A JPS59156931 A JP S59156931A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガラス光ファイバの製造に採用されている工
程に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to processes employed in the manufacture of glass optical fibers.
(従来技術)
光ファイバの製造において、カラスプレフォームは選択
的に不純物を深加したカラス管であって、MCVD(変
形化学的気相堆積法)、プラスマにより実施されたMC
VD, あるいは1976年に発行されたジャーナル
オブジ エレクトロケミカル ソサイアテイ( Jo
urnal of the Electrochemi
cal Society)第423号、1079ページ
にディー・クツパース( D, Kuppers)によ
り発表されたPCVDのようなプロセスにより製造され
たものである。プレフォームは一端が固相状基体の内部
に向ってつぶされて収縮されているか、あるいは封じら
れていて、つぶすのと同時、あるいはつぶしだ後に続い
て光ファイバは固相状基体から引抜かれる。プレフォー
ム、およびその結果得られたファイバのなかに拘束され
ているOH成分は、典型的には光通信システムに採用さ
れている波長領域において吸収され、事実上、斯かるシ
ステムにおける信号損失を増加させている。斯くして、
プレフォームの形成期間には、OH含有分、例えばSi
OHがプレフォームのなかに事実上、混入されないよう
に注意を払っている。一般に、OH成分の主要な供給源
は、管をつぶす温度において典型的には水に変換される
水素含有成分を含むものである。水はくり返しプレフォ
ームと反応して、拘束されだOH成分を生ずる。斯くし
て究極的に生産されたファイバの品質を保持するために
、水素含有成分を除去するようにプレフォームをつぶす
間に事実上の測定が行なわれる。(Prior Art) In the production of optical fibers, glass preforms are glass tubes that are selectively doped with impurities, and are manufactured by MCVD (Modified Chemical Vapor Deposition) or MC performed by plasma.
VD, or Journal of the Electrochemical Society published in 1976 (Jo
Urnal of the Electrochemi
Cal Society, No. 423, page 1079, by a process such as PCVD, as described by D. Kuppers. The preform is collapsed or sealed at one end into the interior of the solid substrate, and the optical fiber is pulled from the solid substrate simultaneously with or subsequent to the collapse. The OH components trapped within the preform, and the resulting fiber, are absorbed in the wavelength range typically employed in optical communication systems, effectively increasing signal loss in such systems. I'm letting you do it. Thus,
During the formation of the preform, the OH content, e.g. Si
Care is taken to ensure that virtually no OH is mixed into the preform. Generally, the primary source of OH components will be those containing hydrogen-containing components that are typically converted to water at the tube collapse temperature. The water repeatedly reacts with the preform to produce bound OH components. In order to preserve the quality of the fiber thus ultimately produced, virtual measurements are taken while crushing the preform to remove hydrogen-containing components.
ひとつの主要な方法が、プレフォームをつぶす期間にO
H成分が混入されないように採用されている。1981
年4月27日〜29日にカリフォルニアのサンフランシ
スコで行われた第3回国際集積光学、光フアイバ通信会
議の要録、ダブリュー・ニー・4、86〜.88ページ
ににューヨークの米国電気電子学会によシ)記載され、
ケイ・エル・ワルカらにより上記会議で発表された゛′
光ファイバプレフォームにおける水酸基汚染の減少″と
題する論文に記載されている過程において、分子状塩素
は管をつぶす過程において導入されている。( K.
L. Walker, et al.、”Reduct
ionof Hydroxyl Contaminat
ion In OpticalFiber Prefo
rms, ” Third Internation
alConference On Integrate
d Optics andOptical Fiber
Communications, San Fran
−cisco, California, Apri
l 2 7−29, 1 98 ]。One major method is to use O during crushing the preform.
This is adopted to prevent the H component from being mixed in. 1981
Proceedings of the 3rd International Conference on Integrated Optics and Fiber Optic Communications held in San Francisco, California, April 27-29, 2008, W.N. 4, 86-. Published by the Institute of Electrical and Electronics Engineers, New York, on page 88,
Presented at the above conference by K. El Warka et al.
In a process described in the paper entitled "Reducing Hydroxyl Contamination in Optical Fiber Preforms," molecular chlorine is introduced during the tube crushing process. (K.
L. Walker, et al. ,”Reduct
ionof Hydroxyl Contaminants
ion In Optical Fiber Prefo
rms, ”Third International
alConference On Integrate
dOptics and Optical Fiber
Communications, San Fran
-cisco, california, apri
l 2 7-29, 1 98 ].
( New York : IEEE, 1981 )
WA4. 86−88(1981))塩素は一般に水と
反応し、例えば、水素を含有する成分から形成された水
と反応し、反応を通して塩化水素を生成する。(New York: IEEE, 1981)
WA4. 86-88 (1981)) Chlorine generally reacts with water, for example water formed from hydrogen-containing components, producing hydrogen chloride through the reaction.
H2O + (J!24; 2H(y!+ MO2(+
)得られたHClはプレフォームの内部に混入されず、
流出物のなかに除去される。この分子状塩素の管をつぶ
す過程では、oHの吸収により、比較的低い損失(1,
39μmのOH吸収尖頭波長において、一般に03〜2
dB/Kmの範囲の損失)のファイバが生成されること
が見出されている。しかし、さらに希望するレベルにま
で損失を事実上減少させることは、既に損失が許容レベ
ルにあるにもがかわらず、確かに有利である。H2O + (J!24; 2H(y!+ MO2(+
) The HCl obtained is not mixed inside the preform,
removed in the effluent. In the process of crushing this molecular chlorine tube, there is a relatively low loss (1,
At the OH absorption peak wavelength of 39 μm, typically 03-2
It has been found that fibers with losses in the range of dB/Km) can be produced. However, it is certainly advantageous to effectively reduce the losses further to a desired level, even though the losses are already at an acceptable level.
(発明の要約)
四塩化炭素のような四ハロゲン化炭素化合物を、ガラス
光ファイバを製造するのに究極的に使用するよう改変さ
れているカラス基体環境、例えば、つぶされるプレフォ
ームの環境に対して導入することにより、OH成分の混
入により生成された゛損失は他の技術によるものと比べ
て実質上少ない。特に、139μmにおいて、0.05
dB/Kin という低いOH吸収損失が達成されて
いる。斯くして、本発明の使用によ多分子状塩素のよう
なガスを使用して得られるものに比べて、究極的に生産
されたファイバの品質を大きく改良することが可能であ
る。SUMMARY OF THE INVENTION Carbon tetrahalide compounds, such as carbon tetrachloride, are modified for use in glass substrate environments, such as crushed preform environments, for ultimate use in manufacturing glass optical fibers. By introducing the OH component, the losses produced by the contamination of the OH component are substantially less than with other techniques. In particular, at 139 μm, 0.05
OH absorption losses as low as dB/Kin have been achieved. Thus, with the use of the present invention it is possible to greatly improve the quality of the ultimately produced fiber compared to that obtained using gases such as polymolecular chlorine.
(詳細な説明)
四ハロゲン化炭素にもとづく化合物、例えは四塩化炭素
、CBr C13,CBr2α2.またはこれらの化合
物の混合物が、物理的あるいは化学的に変化しているカ
ラス基体の環境に導入されている場合には、光ファイバ
におけるOH成分により生成された損失はかなり減少す
る。DETAILED DESCRIPTION Compounds based on carbon tetrahalides, such as carbon tetrachloride, CBr C13, CBr2α2. Alternatively, if a mixture of these compounds is introduced into the physically or chemically altered environment of the glass substrate, the losses generated by the OH component in the optical fiber are significantly reduced.
特に、本発明による四ハロゲン化炭素の追加は、ガラス
基体の変化を含む種々のプロセス期間でのOHの混入を
減するのに有用であり、例えば、プレフォームをつぶす
プロセス期間のような物理的形状の変化、ならびにプレ
フォーム製造プロセス期間のような化学的女化にとって
有用である。いずれの場合にも、ガラス基体の変化期間
に於ける四ハロゲン化炭素の存在は、この基体から究極
的に製造されたファイバにおける損失レベルを非常に低
くする。本発明による技術は、一般にファイバ製造に至
るプロセスにおける、カラス基体の形成を含む過程に応
用可能ではあるが、本発明の技術に含まれているパラメ
ータを描写するだめの理解を助ける手段としてプレフォ
ームをつぶす過程を採用している。しかし、同じパラメ
ータを他のガラス基体形成工程にも応用できる。In particular, the addition of carbon tetrahalides according to the present invention is useful for reducing OH contamination during various process steps involving glass substrate changes, e.g. Useful for shape changes as well as chemical feminization such as during the preform manufacturing process. In either case, the presence of the carbon tetrahalide during the transformation of the glass substrate results in very low loss levels in the fiber ultimately produced from this substrate. Although the technique according to the present invention is generally applicable to processes that involve the formation of glass substrates in the process leading to fiber manufacturing, it is important to note that the preform The process of crushing is adopted. However, the same parameters can be applied to other glass substrate forming processes.
希望される四ハロゲン化炭素の組成はガラス基体環境、
すなわち管をつぶす期間にプレフォーム管の内部空隙1
oに導入されている。The desired composition of carbon tetrahalide is a glass substrate environment,
That is, during the period of crushing the tube, the internal void 1 of the preform tube
It has been introduced in o.
(ホトんどの管をつぶすプロセスにおいて、内部のガラ
ス領域は導波路領域を形成し2、OH成分を制限するの
に最も厳密なものであるため、内部の間隙は有利に選択
されている。)四塩化炭素(一般にキャリアガスと共に
使用されるが、必ずしも必要ではない)を、四ハロゲン
化炭素をもとにした化合物として使用するのは最も望ま
しいことである。望捷しいv!]ハロケン化炭素化合物
を含むバブラを介してキャリアガスを通過させさらにこ
のキャリアガスをその四ハロゲン化炭素化合物と共にプ
レフォーム環境に流しこむといったような従来の方法に
よシ、四ハロゲン化炭素化合物ハフレフオーム環境へ容
易に導入される。(In the process of collapsing the photon tube, the internal gap is advantageously chosen because the internal glass region forms the waveguide region 2 and is the most stringent for limiting the OH content.) Most preferably, carbon tetrachloride (generally, but not necessarily, used with a carrier gas) is used as a carbon tetrahalide-based compound. Hopeful v! ] The tetrahalogenated carbon compound haflform can be prepared by conventional methods such as passing a carrier gas through a bubbler containing the halocarbon compound and flowing the carrier gas along with the tetrahalogenated carbon compound into the preform environment. Easily introduced into the environment.
(c7. 、 CBr (i3.ならびに/あるいはC
Br2C1!2の組合せが望まれるならば、個々のバブ
ラがらのカス流を組合せることにより、あるいは組成の
すべてを含むバブラを使用することにより混合物が生成
される。前者の場合、導入された各組成のモル比率は、
各バブラを通る各カス流速度と、バブラ温度とに依存す
る。(c7., CBr (i3. and/or C
If a combination of Br2C1!2 is desired, a mixture is produced by combining the waste streams of the individual bubblers or by using bubblers containing all of the compositions. In the former case, the molar proportion of each introduced composition is
It depends on each waste flow rate through each bubbler and on the bubbler temperature.
後者の場合、ガス相における各材料のモル比率は、バブ
ラのなかの相当するモル比率とバブラ温度とに依存する
が、等価ではない。いずれの位置でも、制御試料は最終
的なカス流において希望する比を得るだめの適当な条件
を決定するように容易に採用される。) CBrα3な
らびにCBr2Q!zを個々に、あるいは組合せて使用
することは不可能ではないが、少なくともそれらの四ハ
ローゲン化炭素をCQ!4と組合せて使用することはよ
り望捷しいことである。In the latter case, the molar proportions of each material in the gas phase depend on the corresponding molar proportions in the bubbler and the bubbler temperature, but are not equivalent. At either location, control samples are easily employed to determine the appropriate conditions to obtain the desired ratio in the final waste stream. ) CBrα3 and CBr2Q! Although it is not impossible to use z individually or in combination, at least those carbon tetrahalides can be combined with CQ! 4 is more desirable.
この結果に対して期待される説明は、(臭素含有化合物
を水と反応させた生成物である)T4BrがH(y!よ
りも安定ではないと云うことである。このようにHBr
には相対的不安定性があるので、等制約な結果を達成す
るためには、試料に寄与するハロゲンの濃度をいささか
高くして使う必要がある。A possible explanation for this result is that T4Br (the product of the reaction of a bromine-containing compound with water) is less stable than H(y!).
Because of the relative instability of , it is necessary to use a somewhat higher concentration of halogen contributing to the sample in order to achieve equiconstrained results.
プレフォームをつぶすプロセスにおいて水素含有成分を
収集するだめ採用された四ハロゲン化炭素化合物の濃度
は、プレフォームをつぶすプロセス期間において使用さ
れた成る位置にある他のプロセスに対して影響を与える
。例えば、酸素と共に四塩化ゲルマニウムのような添加
物補償物を、管をつぶす期間に、プレフォーム環境に導
入することは、常に望ましいことである。プレフォーム
の内側表面において希望するGeo2濃度を保持するよ
うに、酸素はGeα4と反応する。この過程を採用した
場合には、四ハロゲン化ゲルマニウムト四ハロゲン化炭
素とから遊離したハロゲンは、次の式により表わされた
作用の化学的平衡性を通してGeO2の濃度に影響を与
える。The concentration of the carbon tetrahalide compound employed to collect hydrogen-containing components during the preform crushing process has an impact on other processes used during the preform crushing process. For example, it is always desirable to introduce additive compensators such as germanium tetrachloride along with oxygen into the preform environment during tube collapse. The oxygen reacts with Geα4 to maintain the desired Geo2 concentration on the inner surface of the preform. When this process is adopted, the halogen liberated from germanium tetrahalide and carbon tetrahalide influences the concentration of GeO2 through the chemical equilibrium of the action expressed by the following equation.
Ge X4 + 02 ”: Ge 02 + 2 X
2 (2)ここで、Xはハロゲンである。それゆ
え、添加物濃度は四ハロゲン化炭素に関連して使用され
るべきであれば、得られた平衡の移動は、採用された四
ハロゲン化ゲルマニウム化合物の量に相当する増加量だ
け打勝つものでなければならない。Ge X4 + 02”: Ge 02 + 2
2 (2) Here, X is halogen. Therefore, if the additive concentration should be used in relation to the carbon tetrahalide, the resulting shift in equilibrium should be overcome by an increase corresponding to the amount of germanium tetrahalide compound employed. Must.
同様に、四ハロゲン化炭素よりも他の供給源からの事実
上のハロゲン1とプレフォーム環境における酸素2とを
生成する過程は、第(1)式に示す平衡に本質的な影響
を与え、斯くして、次に希望量の水を除去するため四ハ
ロゲン化炭素の量に影響する。例えば、キャリアガスと
して酸素を導入すれば、第(1)式の平衡は左側に移動
する。斯くして、ファイバ中にOHが事実上、存在する
のを避けるだめに必要な最小量の四ハロゲン化炭素(与
えられた量のハロゲン含有量)は、存在する酸素の量が
増加するに伴って増加する。(対比的に、ヘリウムある
いは、その他の不活性ガスのようなカスは、はとんど影
響を与えない。)四ハロゲン化炭素以外の供給源からの
ノ\ロゲンも存在するならば、四ハロゲン化炭素はほと
んど必要がない。温度は平衡上の考察に影響することが
多いとは云え、例えば2000〜2200℃の、プレフ
ォームをつぶす期間に採用された温度は希望するレベル
の四ハロゲン化炭素の量に事実上、影響を与えず、斯く
して、四ハロゲン化炭素を使用して生成されたプレフォ
ームから形成されたファイバにおいてOH吸収のレベル
には事実上、影響を為えない。Similarly, the process of producing de facto halogen 1 from sources other than carbon tetrahalide and oxygen 2 in the preform environment has a substantial effect on the equilibrium shown in equation (1), This then affects the amount of carbon tetrahalide to remove the desired amount of water. For example, if oxygen is introduced as a carrier gas, the equilibrium of equation (1) shifts to the left. Thus, the minimum amount of carbon tetrahalide (for a given amount of halogen content) required to avoid the effective presence of OH in the fiber decreases as the amount of oxygen present increases. increases. (In contrast, scum such as helium or other inert gases has little effect.) If halogens from sources other than carbon tetrahalides are also present, There is almost no need for carbon dioxide. Although temperature often influences equilibrium considerations, the temperature employed during preform crushing, for example 2000-2200°C, has virtually no effect on the amount of carbon tetrahalide at the desired level. and thus has virtually no effect on the level of OH absorption in fibers formed from preforms produced using carbon tetrahalides.
一般に、本発明によるプロセスは水素含有成分を大きく
除去する過程として採用したものではない。反応性材料
の高純度化のような他の注意点は、水素含有成分のレベ
ルを事実上域するように考慮されている。この理由で、
酸素の存在のもとでも、十分な四塩化炭素を容易に導入
して、これらの注意をした後でも存在する水素含有成分
レベルに関連する損失を防いでいる。(一般に、結合し
ているとは云え、重量で1〜]Oppmの汚染水素が存
在する。)それにもかかわらす、上に議論したように、
酸素は−りえられたレベルの水素含有成分に要求される
最小の四塩化炭素の量に影響する。管をつぶす期間には
、酸素は目的をもって導入しなくても、一般に01気圧
以下のレベルにある。斯かる酸素レベルに対して、0.
015気圧あるいはそれ以上の四塩化炭素分圧をガラス
基体環境に導入する場合には、典型的な水素成分レベル
に対して希望する結果が得られる。酸素を目的をもって
導入し、斯くして酸素レベルが0.1気圧を越えている
場合には、PO2%/P(!(!14の比を20未満の
値に保持することが典型的には望捷しい。(Po2
ならびにPcc14は、それぞれ02の分圧、ならびび
に導入されたCα4の分圧である。)ippm未満の、
通常より低い水素成分レベルが存在するか、あるいは事
実上すべて除去してないことが許容できるならば、相当
する小量の四ハロゲン化炭素、すなわちPo2%/pc
c14が採用される。(MCVDによりプレフォームを
つぶす以外のプロセスにおいては、01気圧より低い圧
力の酸素の背圧が存在することが可能である。斯かる場
合には、相当する小量の四ハロゲン化炭素を導入しても
、同様に希ましい結果が得られる。)制御試料は、希望
するOH減衰量を生ずるのに必要な四ハロゲン化炭素の
量を決定するのに使用している。In general, the process according to the invention is not intended to significantly remove hydrogen-containing components. Other considerations, such as high purity of reactive materials, are considered to virtually limit the level of hydrogen-containing components. For this reason,
Even in the presence of oxygen, sufficient carbon tetrachloride is readily introduced to prevent losses associated with hydrogen-containing component levels that are present even after these precautions. (Typically, there is between 1 and ] Oppm by weight of contaminated hydrogen, albeit bound.) Nevertheless, as discussed above,
Oxygen influences the minimum amount of carbon tetrachloride required in the hydrogen-containing component of the recovered level. During the tube collapse period, oxygen is generally at a level below 0.1 atmospheres, even if it is not purposefully introduced. For such oxygen levels, 0.
Desired results are obtained for typical hydrogen content levels when carbon tetrachloride partial pressures of 0.15 atm or higher are introduced into the glass substrate environment. When oxygen is purposefully introduced so that the oxygen level exceeds 0.1 atm, it is typically It's promising. (Po2
and Pcc14 are the partial pressure of 02 and the introduced Cα4, respectively. ) less than ippm,
If lower than normal levels of hydrogen components are present or can be tolerated without virtually all removal, a correspondingly small amount of carbon tetrahalide, i.e. Po2%/pc
c14 will be adopted. (In processes other than crushing preforms by MCVD, it is possible to have a backpressure of oxygen below 0.1 atm. In such cases, a correspondingly small amount of carbon tetrahalide may be introduced. A control sample is used to determine the amount of carbon tetrahalide required to produce the desired OH attenuation.
酸素供給源、ならびに四ハロゲン化炭素以外のハロゲン
供給源の存在は、本発明のプロセスに直接には関係して
いないプロセスによって導入された主な影響である。し
かしながら、水素含有成分から得られる化合物である水
と、四ハロゲン化炭素成分との間の反応平衡に影響を与
え、斯くして本発明において採用されたパラメータに対
して調整が必要な、本発明以外のプロセスに使用する目
的では、他の材料を導入することは可能である。それぞ
れの特定の位置に適した校正を行うべく決定するだめに
、制御試料は容易に採用される。The presence of an oxygen source, as well as a halogen source other than carbon tetrahalide, are the main effects introduced by processes not directly related to the process of the present invention. However, the present invention does not affect the reaction equilibrium between water, the compound obtained from the hydrogen-containing component, and the tetrahalogenated carbon component, thus requiring adjustment to the parameters employed in the present invention. It is possible to introduce other materials for use in other processes. Control samples are easily employed to determine the appropriate calibration for each particular location.
上記考察にもかかわらず、成る注意を払わなければなら
ない。Cα4を使用する場合には、0.3気圧に満たな
いプレフォーム環境において分子状塩素として表わされ
た塩素濃度を制限することは、一般に望ましいことであ
る。Notwithstanding the above considerations, certain precautions must be taken. When using Cα4, it is generally desirable to limit the chlorine concentration, expressed as molecular chlorine, in the preform environment below 0.3 atmospheres.
これらのレベルを越えては、塩素が高濃度であるとプレ
フォームに泡を形成しやすく、許容できないほどの高損
失を招くことになる。Above these levels, high concentrations of chlorine tend to form bubbles in the preform, leading to unacceptably high losses.
さらに、四ハロゲン化炭素の存在下における酸素は炭素
の堆積を避ける傾向を有し、二酸化炭素、−酸化炭素、
ならびに成る条件下ではホスゲンのようなガスの形成を
もたらす。Furthermore, oxygen in the presence of carbon tetrahalides has a tendency to avoid carbon deposition, and carbon dioxide, -carbon oxide,
Conditions in which this occurs also result in the formation of gases such as phosgene.
例えはHの重量比で表わした場合に、四ハロゲン化炭素
材料は40 ppmより大きい値の過剰な水素含有成分
の不純物を含んではならない。斯くして、40 ppm
よりも大きい水素レベルを有する四ハロゲン化炭素の組
成は、ホトクロリネーション、ならびにHX(X−αま
たばBr )およびH2Oを除去するための乾燥不活性
カスで掃引するような従来技法により高純度化するのが
好ましい。6 ppmに満たない量を含むような高純度
化が好ましい。(希望する純度レベルを得るために必要
ならば、CBrα3ならびにCBr2C/!2のホトク
ロリネーションを拡張して、結合されたBrを幾分かα
に変換できる。しかしながら、得られた四)10ゲン化
炭素は上記のように、本発明のプロセスにおいて使用す
るのに許容できるものである。)
次の実例は、本発明を図によって説明したものである。The carbon tetrahalide material should not contain excess hydrogen-containing impurities greater than 40 ppm, for example expressed as a weight percentage of H. Thus, 40 ppm
The composition of carbon tetrahalides with hydrogen levels greater than It is preferable to High purity containing less than 6 ppm is preferred. (If necessary to obtain the desired purity level, photochlorination of CBrα3 as well as CBr2C/!2 may be extended to remove some α
It can be converted to . However, the resulting 4) decagenide carbon is acceptable for use in the process of the present invention, as described above. ) The following example illustrates the invention graphically.
(実例1)
1982年に出版された米国電気電子学会、量子工学論
文誌、第QE−1,8巻、第4号、459〜476ペー
ジにニス・アール・ネーゲルらにより発表されたMCV
Dプロセスにより生成されたプレフォームを採用した。(Example 1) MCV published by Niss R. Nagel et al. in 1982, Institute of Electrical and Electronics Engineers, Journal of Quantum Engineering, Volume QE-1, Volume 8, No. 4, Pages 459-476.
A preform produced by the D process was employed.
(S、 R,Nage 1et al、、 IEEEJ
ournal of Quantum Electro
nics。(S, R, Nage 1 et al, IEEEJ
internal of Quantum Electro
nics.
QE−18(4)、459−4.76 (1982)
)これらのプレフォームは最初に一端を封じ、2000
〜2200℃の間の温度に保ってトーチ20で長手方向
に繰返し移動させることにより管をつぶした。プレフォ
ームの一端を封じる前に、酸素を毎分330部のカス流
速度で、40℃に保持した9四塩化炭素!<ブラをイr
して通した。カス流を含むとのCα4は、第2の毎分1
000 CCの酸素流と組合せた。組合せだガス流はプ
レフォーム25の一端に導入し7、管をパージするのに
十分々時間にわたって保持しておいた。次に、カス導入
点の反対側のプレフォームの端を封じた。封じ期間にお
けるガス流は、プレフォームにおいて事実」二圧力が増
加するのを防ぐため、徐々に減少させた。このように徐
々に減少させた結果、毎分25CCのバブラを通しての
酸素流速と、毎分75CCの第2の酸素流速とが得られ
た。トーチは毎分6〜10cmの範囲で変化する速度で
、プレフォームの長手方向を横切って移動させた。それ
ぞれの通過期間に、導入されているガスのプレフォーム
からの逃げ口15を制御するか、あるいは結合されたガ
ス流の導入速度を制御することにより管内の圧力を制御
した。これらの方法を介しての圧力は過度の急激な管の
つぶれを避け、はソ5〜7回の通過の後に管全体のつぶ
れが生ずるように制御した。次に、1980年にエル・
エル・75452世らにより発表され、米国電気電子学
会誌、第68巻、1194〜1198ページに記載され
ているような標準技法により、プレフォームからファイ
バを引抜いた。(L、 L。QE-18(4), 459-4.76 (1982)
) These preforms were first sealed at one end and 2000
The tube was crushed by repeated longitudinal movements with a torch 20 while maintaining the temperature between -2200<0>C. 9 carbon tetrachloride held at 40°C with oxygen at a sludge flow rate of 330 parts per minute before sealing one end of the preform! <Put your bra on
I passed it. Cα4 including the waste flow is 1/min of the second
Combined with an oxygen flow of 000 CC. The combined gas stream was introduced 7 into one end of preform 25 and held for a sufficient time to purge the tube. The end of the preform opposite the point of waste introduction was then sealed. The gas flow during the containment period was gradually reduced to prevent pressure from building up in the preform. This gradual reduction resulted in an oxygen flow rate through the bubbler of 25 CC per minute and a second oxygen flow rate of 75 CC per minute. The torch was moved across the length of the preform at a speed varying from 6 to 10 cm per minute. During each pass, the pressure in the tube was controlled by controlling the escape port 15 of the gas being introduced from the preform or by controlling the rate of introduction of the combined gas stream. The pressure through these methods was controlled to avoid too rapid collapse of the tube and to allow collapse of the entire tube to occur after 5 to 7 passes. Next, in 1980, Elle
The fibers were drawn from the preforms using standard techniques such as those published by El. (L, L.
Blyler Jr、 、 et al、 、 Pro
ceedings of IEEE。Blyler Jr., et al., Pro
ceedings of IEEE.
68.11.94−1198 (1980))得られ
たファイバの損失は、ニス・イー・ミラらにより著述さ
れ、アカデミツクプレスから1979年に出版されだ゛
′光ファイバ電気通信″″と題する文献の第11章に記
載されている過程により測定した。(S、 E、 Mj
1ler et al、 、 0pticalFib
er Telecommunications、Ch
apter 11 。68.11.94-1198 (1980)). The measurements were made according to the process described in Chapter 11 of . (S, E, Mj
1ler et al., 0pticalFib
er Telecommunications, Ch.
apter 11.
Academic Press(1979) ) 得
られたファイバは、13μmにおいて0.05〜0.1
. dB/KmのOH吸収損失を示しだ。Academic Press (1979)) The obtained fiber has a thickness of 0.05 to 0.1 at 13 μm.
.. It shows the OH absorption loss in dB/Km.
(実例2)
プレフォームを最初には封じてない点を除いては、実例
1に記載したものと同一の過程により実施しだ。実例1
に記載したように、バブラを介しての酸素の初期流速は
毎分330江であり、第2の酸素流速は毎分1000c
cであった。四塩化炭素に装荷された酸素と、四塩化炭
素から遊離した酸素との間の流速比は変えずに保持して
おいた。しかしながら、組合せた全体の流速は、管全体
のつぶれが7回の移動で生じうるような速度に減じた。Example 2 The same process as described in Example 1 was followed, except that the preform was not initially sealed. Example 1
The initial flow rate of oxygen through the bubbler is 330 c/min and the second oxygen flow rate is 1000 c/min, as described in
It was c. The flow rate ratio between the oxygen loaded on carbon tetrachloride and the oxygen liberated from carbon tetrachloride was kept unchanged. However, the total combined flow rate was reduced to such a rate that collapse of the entire tube could occur in 7 passes.
得られたファイバは、1.39 tLmにおいて0.0
5〜0.1dB/KInのOH吸収損失を示した。The resulting fiber was 0.0 at 1.39 tLm.
It showed an OH absorption loss of 5 to 0.1 dB/KIn.
(実例3)
四塩化ゲルマニウムを同時にプレフォーム環境に導入し
た点を除いては、実例2の過程に従った。40℃の温度
に四塩化ゲルマニウムのバブラを保持して、毎分15c
cの速度で酸素を流すことによってこの導入を行った。Example 3 The process of Example 2 was followed, except that germanium tetrachloride was simultaneously introduced into the preform environment. Keeping the germanium tetrachloride bubbler at a temperature of 40°C, 15c/min
This introduction was carried out by flowing oxygen at a rate of c.
四塩化ゲルマニウムのバブラを通る流速は、管全体をつ
ぶす過程を通して、事実上、変化させなかった。得られ
たファイバは、1.39μmにおいてはX 0.1 d
B/KmのOH吸収損失の測定値を有するものであった
。The flow rate through the germanium tetrachloride bubbler remained virtually unchanged throughout the entire tube collapse process. The obtained fiber has a diameter of X 0.1 d at 1.39 μm
It had a measured value of OH absorption loss of B/Km.
図は、本発明の一実施例を示す図である。
〔主要部分の符号の説明〕
ガラス基体・・・・・25゜
第1頁の続き
0発 明 者 スザンヌ・ローズ・ナゲルアメリカ合衆
国07960ニュージ
ャーシイ・モリス・モリスタウ
ン・マウント・ケンプル・アヴ
エニュー555The figure is a diagram showing an embodiment of the present invention. [Explanation of symbols of main parts] Glass substrate...25゜Continued from page 1 0 Inventor Suzanne Rose Nagel 555 Mount Kemple Avenue, Morristown, New Jersey 07960
Claims (1)
であって、 ガラス基体においてOHの存在量を制限するように選択
されたカスを、前記ガラス基体の環境に与えるだめの工
程と、 前記ガラス基体を高温度に加熱するだめの工程と、 前記加熱によシ前記カラス基体を変化せしめるだめの工
程と を具備する、ガラス基体からガラス光ファイバを製造す
る方法において、 前記カスが四ハロゲン化炭素を含むことを特徴とするガ
ラス光ファイバの製造方法。 2、特許請求の範囲第1項記載の方法において、 前記四ハロゲン化炭素が四塩化炭素、 Cα2Br2.ならびにCα3Brのうちの少くともひ
とつを含むことを特徴とするガラス光ファイバの製造方
法。 3、特許請求の範囲第1項、あるいは第2項記載の方法
において、 前記液体が四塩化炭素と、Cα2 Br2およびCα3
Br のうちの少なくともひとつとを含むことを特徴
とするカラス光ファイバの製造方法。 4、特許請求の範囲第1項、または第2項、あるいは第
3項記載の方法において、 前記キャリアガスが酸素を含むことを、特徴とするガラ
ス光ファイバの製造方法。 5、特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかひと
つに記載の方法において、 前記カスがGeC&を含むことを特徴とするガラス光フ
ァイバの製造方法。 6、特許請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかひと
つに記載の方法において、 キャリアガスを液体を介して泡立てることによって前記
カラス基体のなかの間隙にガスを供給することを特徴と
するカラス光ファイバの製造方法。 7、特許請求の範囲第1項ないし第6項のいずれかひと
つに記載の方法において、 前記変化せしめる工程が、ガラスプレフォームをつぶす
工程を含むことを特徴とするカラス光ファイバの製造方
法。 8、特許請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかひと
つに記載の方法において、 前記つぶしたガラス基体から前記ファイバを引抜く工程
を含むことを特徴とするカラス光ファイバの製造方法。 9、特許請求の範囲第1項ないし第8項のいずれかひと
つに記載の方法において、 前記高温度が2000℃〜2200℃の範囲にあること
を特徴とするガラス光ファイバの製造方法。[Claims] 1. A method for manufacturing a glass optical fiber from a glass substrate, comprising the step of providing the environment of the glass substrate with scum selected to limit the amount of OH present in the glass substrate. A method for manufacturing a glass optical fiber from a glass substrate, comprising: heating the glass substrate to a high temperature; and changing the glass substrate by the heating, wherein the scum is A method for producing a glass optical fiber characterized by containing carbon tetrahalide. 2. The method according to claim 1, wherein the carbon tetrahalide is carbon tetrachloride, Cα2Br2. and Cα3Br. 3. The method according to claim 1 or 2, wherein the liquid comprises carbon tetrachloride, Cα2 Br2 and Cα3
A method for manufacturing a glass optical fiber, characterized in that it contains at least one of Br. 4. A method for manufacturing a glass optical fiber according to claim 1, 2, or 3, characterized in that the carrier gas contains oxygen. 5. The method of manufacturing a glass optical fiber according to any one of claims 1 to 4, wherein the waste contains GeC&. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the gas is supplied to the gap in the glass substrate by bubbling a carrier gas through the liquid. Method of manufacturing glass optical fiber. 7. A method for manufacturing a glass optical fiber according to any one of claims 1 to 6, wherein the changing step includes a step of crushing a glass preform. 8. A method for manufacturing a glass optical fiber according to any one of claims 1 to 7, comprising the step of pulling out the fiber from the crushed glass substrate. 9. A method for manufacturing a glass optical fiber according to any one of claims 1 to 8, wherein the high temperature is in a range of 2000°C to 2200°C.
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