JPS59154625U - 高速線型可動体の振動解析装置 - Google Patents

高速線型可動体の振動解析装置

Info

Publication number
JPS59154625U
JPS59154625U JP4791383U JP4791383U JPS59154625U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
analysis device
vibration analysis
speed linear
moving bodies
linear moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4791383U
Other languages
English (en)
Inventor
古田 賢治
Original Assignee
三菱電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to JP4791383U priority Critical patent/JPS59154625U/ja
Publication of JPS59154625U publication Critical patent/JPS59154625U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図a、  b、  cはキャリッジに振動解析装置
を備えたそれぞれの平面図、側面図および正面図、第2
図はこの考案による振動解析装置の構成図、第3図は他
の実施例の構成図である。 1・・・キャリッジ、4・・・振動解析装置、4a・・
・He−Heレーザー、4b・・・偏光板、4C・・・
偏光ビームスプリッタ、4d・・・174波長板、4e
・・・4分割光検知器、5・・・振動解析装置、5a・
・・He−Heレーザー、5b・・・ハーフミラ−15
c、  5c’・・・偏光ビームスプリッタ、5d、 
 5e・・・4分割光検知器。なi、図中、同一符号は
同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. He−Heレーザー光の出口に偏光板、偏光ビームスプ
    リッタ−11八波長板の順序に光軸上に配置し、被検物
    に貼付けたミラーからの戻り光が1八波長板を通り、偏
    光ビームスプリッタ−で光路を直角に曲折し、この先軸
    上に4分割光検知器を備えたことを特徴とする高速線型
    可動体の振動解析装置。
JP4791383U 1983-03-31 1983-03-31 高速線型可動体の振動解析装置 Pending JPS59154625U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4791383U JPS59154625U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 高速線型可動体の振動解析装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4791383U JPS59154625U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 高速線型可動体の振動解析装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59154625U true JPS59154625U (ja) 1984-10-17

Family

ID=30178453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4791383U Pending JPS59154625U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 高速線型可動体の振動解析装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59154625U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3783101T2 (de) Anordnung zum nachweis des brennpunktes.
JPS59154625U (ja) 高速線型可動体の振動解析装置
JPS6027347U (ja) 線条体の外観試験装置
JPS6035243U (ja) 半導体レ−ザの非点隔差測定装置
JPH0311218U (ja)
JPS58143082U (ja) レ−ザ加工装置
JPS6012822U (ja) 光学式記録情報再生装置
JPS5936033U (ja) 光学式ピツクアツプ
JPS6077019U (ja) 光学式情報読取装置
JPS6036622U (ja) 光学レンズ
JPS60113546U (ja) 分光光度計用試料測定装置
JPS58189091U (ja) レ−ザ加工装置
JPS59178613U (ja) 光ヘツド用集光光学系
JPS6450460U (ja)
JPH0310271U (ja)
JPS589290U (ja) レ−ザ切断装置
JPS6021940U (ja) 温度検出装置
JPS60169718U (ja) 光ピツクアツプ装置
JPS60153560U (ja) 半導体レ−ザモジユ−ル
JPS60171684U (ja) レ−ザ加工装置
JPS5935274A (ja) 光学的読取装置
JPS59173131U (ja) 光ピツクアツプ光学系
JPH0296619U (ja)
JPS6114352U (ja) 反射鏡の歪み測定装置
JPS5867325U (ja) 投影機