JPS59154625U - 高速線型可動体の振動解析装置 - Google Patents
高速線型可動体の振動解析装置Info
- Publication number
- JPS59154625U JPS59154625U JP4791383U JP4791383U JPS59154625U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analysis device
- vibration analysis
- speed linear
- moving bodies
- linear moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図a、 b、 cはキャリッジに振動解析装置
を備えたそれぞれの平面図、側面図および正面図、第2
図はこの考案による振動解析装置の構成図、第3図は他
の実施例の構成図である。 1・・・キャリッジ、4・・・振動解析装置、4a・・
・He−Heレーザー、4b・・・偏光板、4C・・・
偏光ビームスプリッタ、4d・・・174波長板、4e
・・・4分割光検知器、5・・・振動解析装置、5a・
・・He−Heレーザー、5b・・・ハーフミラ−15
c、 5c’・・・偏光ビームスプリッタ、5d、
5e・・・4分割光検知器。なi、図中、同一符号は
同−又は相当部分を示す。
を備えたそれぞれの平面図、側面図および正面図、第2
図はこの考案による振動解析装置の構成図、第3図は他
の実施例の構成図である。 1・・・キャリッジ、4・・・振動解析装置、4a・・
・He−Heレーザー、4b・・・偏光板、4C・・・
偏光ビームスプリッタ、4d・・・174波長板、4e
・・・4分割光検知器、5・・・振動解析装置、5a・
・・He−Heレーザー、5b・・・ハーフミラ−15
c、 5c’・・・偏光ビームスプリッタ、5d、
5e・・・4分割光検知器。なi、図中、同一符号は
同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- He−Heレーザー光の出口に偏光板、偏光ビームスプ
リッタ−11八波長板の順序に光軸上に配置し、被検物
に貼付けたミラーからの戻り光が1八波長板を通り、偏
光ビームスプリッタ−で光路を直角に曲折し、この先軸
上に4分割光検知器を備えたことを特徴とする高速線型
可動体の振動解析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4791383U JPS59154625U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 高速線型可動体の振動解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4791383U JPS59154625U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 高速線型可動体の振動解析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59154625U true JPS59154625U (ja) | 1984-10-17 |
Family
ID=30178453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4791383U Pending JPS59154625U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 高速線型可動体の振動解析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59154625U (ja) |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP4791383U patent/JPS59154625U/ja active Pending
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