JPS59154625U - 高速線型可動体の振動解析装置 - Google Patents

高速線型可動体の振動解析装置

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JPS59154625U
JPS59154625U JP4791383U JP4791383U JPS59154625U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP 4791383 U JP4791383 U JP 4791383U JP S59154625 U JPS59154625 U JP S59154625U
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JP
Japan
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analysis device
vibration analysis
speed linear
moving bodies
linear moving
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Pending
Application number
JP4791383U
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English (en)
Inventor
古田　賢治
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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Priority to JP4791383U priority Critical patent/JPS59154625U/ja
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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　　ｂ、　　ｃはキャリッジに振動解析装置
を備えたそれぞれの平面図、側面図および正面図、第２
図はこの考案による振動解析装置の構成図、第３図は他
の実施例の構成図である。 １・・・キャリッジ、４・・・振動解析装置、４ａ・・
・Ｈｅ−Ｈｅレーザー、４ｂ・・・偏光板、４Ｃ・・・
偏光ビームスプリッタ、４ｄ・・・１７４波長板、４ｅ
・・・４分割光検知器、５・・・振動解析装置、５ａ・
・・Ｈｅ−Ｈｅレーザー、５ｂ・・・ハーフミラ−１５
ｃ、　　５ｃ’・・・偏光ビームスプリッタ、５ｄ、　
　５ｅ・・・４分割光検知器。なｉ、図中、同一符号は
同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. Ｈｅ−Ｈｅレーザー光の出口に偏光板、偏光ビームスプ
    リッタ−１１八波長板の順序に光軸上に配置し、被検物
    に貼付けたミラーからの戻り光が１八波長板を通り、偏
    光ビームスプリッタ−で光路を直角に曲折し、この先軸
    上に４分割光検知器を備えたことを特徴とする高速線型
    可動体の振動解析装置。
JP4791383U 1983-03-31 1983-03-31 高速線型可動体の振動解析装置 Pending JPS59154625U (ja)

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JPS59154625U true JPS59154625U (ja) 1984-10-17

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ID=30178453

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