JPS59152046A - Centering apparatus - Google Patents

Centering apparatus

Info

Publication number
JPS59152046A
JPS59152046A JP1373783A JP1373783A JPS59152046A JP S59152046 A JPS59152046 A JP S59152046A JP 1373783 A JP1373783 A JP 1373783A JP 1373783 A JP1373783 A JP 1373783A JP S59152046 A JPS59152046 A JP S59152046A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
positional deviation
centering
detector
theta
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1373783A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ichiro Tanaka
一郎 田中
Akihiko No
明彦 能
Yoshiaki Saijo
西條 芳明
Shinichi Sato
進一 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP1373783A priority Critical patent/JPS59152046A/en
Publication of JPS59152046A publication Critical patent/JPS59152046A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/182Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by the machine tool function, e.g. thread cutting, cam making, tool direction control
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49113Align elements like hole and drill, centering tool, probe, workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a centering apparatus suitable for FMS by transmitting a control signal for driving an X-Y-theta table into said table from an arithmetic control part and correcting the position from a certain predetermined point in the table. CONSTITUTION:An X-Y-theta table 5 is loaded onto a base board 4. Said table 5 is constituted of an X-table 7, Y-table 9, and theta-table 11. Stays 14 and 15 are installed onto the side part of the base board 4. A differential transformer type position detector 16 is installed onto the stay 14, and position detectors 17 and 18 in the same type are installed onto the stay 15. Said position detectors 16-18 are electrically connected with an arithmetic control part 13. Thus, the control signal for driving the table 5 is output into the table 5 from the control part 13, and the position from a certain predetermined point in the table is corrected, and thus a centering apparatus suitable for FMS is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、自動生産システムにおける芯出し装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a centering device in an automatic production system.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

近時、フレキシブル生産システム(FMS)が、中る。 Recently, flexible manufacturing systems (FMS) have become popular.

これは、品種変更に伴うライン変更9段取シ換えなどに
対応しやすいフレキシビリティを有していることを大き
な特徴としている。たとえば、機械加工を主体とするF
MSにおいては、複数個のマシニングセンタなどの自動
工作機械をライン状に配置するとともに自動段取シ装置
を設置し、これら自動工作機械と自動段取シ装置とを例
えば無人車、搬送ロボット等の搬送手段によシ連絡し、
自動工作機械、自動段取シ装置及び搬送手段が集中管理
制御されるようになっている。ところで、上記自動段取
り装置は、工作機械に取付は可能なプレート上の所定位
置に加工物を保持・固定するための段取り作業を行うも
のである。しかして、上記加工物は、自動倉庫内の所定
位置に格納されていて、適時に搬送ロボットによシ把持
されいったん第1図に示すような芯出し装置(1)上に
載置される。そして、この芯出し装置(1)に出入自在
に設けられたL字状の位置決め治具(2)に対して、直
交する2方向(第1図、矢印(3a)、 (3b)方向
)カラ決め治具(2)側面に接触することにより加工物
(W)の位置決めが完了し、自動倉庫にて搬送ロボット
によシ加工物(W)を把持した際に生じている位置ずれ
が解消される。かくて、芯出し装置によシ位置決めされ
た加工物(W)は、再び搬送ロボットによシ把持され、
前記自動段取シ装置まで搬送され、所要の段取シ作業が
行われるようになっている。
A major feature of this system is that it is flexible enough to easily accommodate line changes and nine setup changes due to product changes. For example, F
In an MS, multiple automatic machine tools such as machining centers are arranged in a line and an automatic setup device is installed. contact us by any means,
Automatic machine tools, automatic setup devices, and conveyance means are now centrally managed and controlled. By the way, the automatic setup device described above performs setup work for holding and fixing a workpiece at a predetermined position on a plate that can be attached to a machine tool. The workpiece is stored at a predetermined position in an automated warehouse, and is gripped by a transport robot at a timely basis and placed on a centering device (1) as shown in FIG. The L-shaped positioning jig (2), which is provided in the centering device (1) so as to be freely removable, is moved in two orthogonal directions (directions of arrows (3a) and (3b) in Fig. 1). The positioning of the workpiece (W) is completed by contacting the side surface of the determining jig (2), and the positional deviation that occurs when the workpiece (W) is gripped by a transfer robot in an automated warehouse is eliminated. Ru. The workpiece (W) thus positioned by the centering device is gripped by the transfer robot again, and
It is conveyed to the automatic setup device and required setup work is performed.

しかるに1第1図に示す芯出し装置(1)は種々の欠点
をもっている。すなわち加工物(W)の形状9寸法9重
量等の変更があるたびに、位置決め治具(2)や抑圧装
置の交換が必要な場合が発生し、取扱いが極めて煩雑と
なる不具合がある。さらに、位置決め治具(2)に押圧
される加工物(W)の形状はどのようなものでもよ゛い
わけではなく、位置決めを安定して行うことのできる形
状のものに制約されてしまう。壕だ位置決め治具(2)
に押しつけることは、加工物(W)の底面とテーブルの
静摩擦係数によって左右されるため、押しつけ精度はあ
まり高精度は期待できるものではない。以上のことから
して従来の芯出し装置(1)はFMSを構成する一装置
として無人稼動されることはむずかしい。
However, the centering device (1) shown in FIG. 1 has various drawbacks. That is, every time there is a change in the shape, dimensions, weight, etc. of the workpiece (W), the positioning jig (2) or the suppression device may need to be replaced, resulting in an extremely complicated handling. Furthermore, the shape of the workpiece (W) pressed by the positioning jig (2) is not limited to any shape, and is limited to a shape that allows stable positioning. Trench positioning jig (2)
Since pressing against the workpiece (W) depends on the coefficient of static friction between the bottom surface of the workpiece (W) and the table, very high pressing accuracy cannot be expected. In view of the above, it is difficult for the conventional centering device (1) to be operated unmanned as a device constituting an FMS.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、FMS
に適合した芯出し装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and is based on the FMS
The purpose is to provide a centering device that is suitable for

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

x−y−θテーブル上に加工物を載置するとともに、こ
の加工物のあらかじめ登録された特定面の位置検出を位
置検出器によシ行い、この位置検出器からの出力信号に
基づいて上記加工物のx−y−θテーブル上における位
置ずれ量を算出し、算出された位置ずれ量を解消するた
めに上記x−y−〇テーブルを駆動するだめの制御信号
を演算制御部からx−y−θテーブルに出力し、テーブ
ル内のあらかじめ決められた定点(原点)からの位置を
修正するようにしたものである。
A workpiece is placed on the x-y-θ table, and a position detector is used to detect the position of a pre-registered specific surface of the workpiece, and the above is performed based on the output signal from this position detector. The amount of positional deviation of the workpiece on the x-y-θ table is calculated, and in order to eliminate the calculated amount of positional deviation, a control signal for driving the x-y-〇 table is sent from the arithmetic control unit to the x-y-θ table. The data is output to a y-θ table, and the position from a predetermined fixed point (origin) in the table is corrected.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の一実施例を、図面を参照して詳述する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第2図及び第3図は、それぞれ本笑施例の芯出し装置の
平面図及び正面図を示している。、基台(4)上には、
x−y−θテーブル(5)が載設されている。
FIGS. 2 and 3 show a plan view and a front view, respectively, of the centering device of this embodiment. , on the base (4),
An x-y-θ table (5) is mounted.

このx−y−θテーブル(5)は、最下部に設けられ図
中矢印(6)方向に移動自在なXテーブル(カと、との
Xテーブル(7)上に第2図中矢印(8)方向(第3図
紙面垂直方向)に移動自在に設けられたXテーブル(9
)と、とのXテーブル上に第2図矢印(10)方向に回
動自在に設けられたθテーブル圓とから構成されている
。x−y−θテープ/I/(5)は、図示せぬステッピ
ングモータにより駆動されるようになっている。
This x-y-theta table (5) is placed on the X-table (7) provided at the bottom and movable in the direction of the arrow (6) in the figure. ) direction (perpendicular to the paper in Figure 3).
), and a θ table circle which is rotatably provided on the X table of and in the direction of arrow (10) in FIG. The xy-theta tape /I/(5) is driven by a stepping motor (not shown).

上記ステッピングモータは、ドライバα渇を介して例え
ばマイクロ・コンピュータなどの演算制御部09に接続
されている。一方、基台(4)の側面部には、第1の支
柱04J及び第2の支柱α四が添設されている。
The stepping motor is connected to an arithmetic control unit 09 such as a microcomputer via a driver α. On the other hand, a first support column 04J and a second support column α4 are attached to the side surface of the base (4).

この第1の支柱(1荀には、差動トランス型の第1の位
置検出器α0が突設されている。この第1の位置検出器
(Ieに進退自在に設けられている円柱状のコアである
検出子(16a)の軸心は、θテーブル圓上面に平行に
なるように設定されている。さらに、第2の支柱(1ツ
には、差動トランス型の第2及び第3の位置検出器αD
、αυが突設されている。これら第2及び第3の位置検
出器αで、(18に進退自在に設けられている円柱状の
コアである検出子(17a)、 (18a)の軸心は、
θテーブル0υ上面に平行かつ互に平行となるように設
けられている。しかして、上記第1゜第2.第3の位雀
検出子αflj、 (171,θ団は、前記演算制御部
(13に電気的に接続されている。
A differential transformer type first position detector α0 is protruded from this first pillar (1). The axis of the detector (16a), which is the core, is set to be parallel to the top surface of the θ table circle. position detector αD
, αυ is provided protrudingly. In these second and third position detectors α, the axes of the detectors (17a) and (18a), which are cylindrical cores provided movably in 18, are as follows:
The θ tables 0υ are provided parallel to the upper surface and parallel to each other. However, the above 1st and 2nd. The third Ijjaku detector αflj, (171, θ group is electrically connected to the calculation control unit (13).

つぎに、上記構成の芯出し装置の作動を、第4図の70
−チャートに基づいて説明する。まず、自動倉庫の所定
位置に格納されている直方体状の加工物(1(Iを搬送
ロボットにょシ把持し、θテーブルα迫上に載置する(
第4図ブロック(イ))。このとき、θテーブル圓上の
加工物α■は、主として自動倉庫内における格納位置の
位置決め誤差及び搬送誤差などに基因して、あらかじめ
定められた正規の位置からの位置ずれを生じている。か
くて、第1の位置検出器(IQの検出子(16a)の先
端を加工物α9の側面(19’a)に、かつ第2及び第
3の位置検出器α7)、(ISO検出子(17a)、 
(18a)の先端を加工物a優の側面(19b)に当接
させる。そうして、このとき第1.第2.第3の位置検
出器αe、α力、(1→から出力された位置検出信号に
基づき演算制御部(l(至)に加工物(11の位置測定
を行う(第4図ブロック0υ)。さらに、演算制御部α
霧にては、あらかじめ記憶部に格納されている加工物(
19が正規位置にあるときの基準位置情報とブロック(
2υにて求められた位置情報とを比較し、正規位置から
の位置ずれ量が算出される(第4図ブロック0渇)。す
なわち、第1の位置検出器(IOによシ矢印(8)方向
の位置ずれが検出されるとともに、第2及び第3の位置
検出器αη、α印によシ矢印(6)方向の位置ずれ及び
矢印QQ1方向の回転位置ずれが検出される。かくて、
演算制御部03)からは、求められた位置ずれを解消す
るために、制御信号がドライバ(12)に出力され、こ
の制御信号を入力したドライバによりX−y−θテーブ
ル(5)が制御信号により指定された所定量だけ駆動さ
れる(第4図ブロック(至))。つぎに、ブロック(2
I)と同様にして位置ずれ修正後の加工物α俤の位置測
定を行う(第4図ブロック(24) )。もし、位置ず
れが解消している場合は、芯出し作業を終了する。しか
し、位置ずれが残存している場合は、さらに再び、ブロ
ック(221と同様にして位置ずれ量を算出しく第4図
ブロック(29)、加工物(19)の位置ずれ修正をブ
ロック(ホ)と同様にして行う。しかして、位置ずれ量
算出及び位置ずれ修正の作業を加工物α0が正規位置に
達するまで繰返す。かくて、正規位置に到達した加工物
α9を前記搬送ロボットによυ自動段迭 取シ装置まで搬慮し、所定位置に載置する。このとき加
工物翰は、あらかじめ芯出し装置にて位置決めされてい
るので、自動段取り装置にてあらたに位置決めを行う必
要はなく、段取9作業をすみやかに行うことができる。
Next, the operation of the centering device having the above configuration will be explained at 70 in FIG.
- Explain based on the chart. First, a cuboid-shaped workpiece (1) stored at a predetermined position in the automated warehouse is grasped by the transport robot and placed on the θ table α (
Figure 4 block (a)). At this time, the workpiece α■ on the θ table circle is deviated from the predetermined normal position mainly due to positioning errors and transportation errors in the storage position in the automated warehouse. Thus, the tip of the first position detector (IQ detector (16a) is placed on the side surface (19'a) of the workpiece α9, and the second and third position detectors α7), (ISO detector ( 17a),
The tip of (18a) is brought into contact with the side surface (19b) of workpiece a. Then, at this time, the first. Second. Based on the position detection signal output from the third position detector αe, α force, (1→), the position of the workpiece (11) is measured by the arithmetic control unit (l) (block 0υ in Fig. 4).Furthermore, , arithmetic control section α
In the fog, the processed material (
Reference position information and block when 19 is in the normal position (
The amount of positional deviation from the normal position is calculated by comparing the position information obtained at 2υ (block 0 in FIG. 4). In other words, the first position detector (IO) detects the positional deviation in the direction of arrow (8), and the second and third position detectors αη, α mark detect the positional deviation in the direction of arrow (6). The deviation and rotational position deviation in the direction of arrow QQ1 are detected.Thus,
The arithmetic control unit 03) outputs a control signal to the driver (12) in order to eliminate the determined positional deviation, and the driver inputting this control signal converts the X-y-θ table (5) into a control signal. (block (to) in FIG. 4). Next, block (2
The position of the workpiece α after the positional deviation has been corrected is measured in the same manner as in I) (block (24) in FIG. 4). If the positional deviation has been resolved, the centering work is completed. However, if the positional deviation remains, the positional deviation amount is calculated again in the same way as block (221). The process of calculating the amount of positional deviation and correcting the positional deviation is repeated until the workpiece α0 reaches the normal position.The workpiece α9 that has reached the normal position is then automatically transferred by the transfer robot. The workpiece is transported to the setup device and placed in a predetermined position.At this time, the workpiece has already been positioned by the centering device, so there is no need to perform new positioning by the automatic setup device. Setup 9 work can be done quickly.

このように本実施例の芯出し装置は、加工物の形状・寸
法・重量が変化した場合でも、演算制御装置側にあらか
じめその加工物の基準位置情報を記憶させてやることに
よシ対応できる。しかも、加工物そのものを移動させる
のではなく、加工物が載置されているテーブル側を移動
するようにしているので、加工物の軽重にともなう摩擦
係数の大小による移動量の不正確さが軽減される。さら
に、加工物の側面形状が凹凸面であったシ、湾曲面等で
あったりして、位置決め治具に加工物を押圧することに
よシ芯出しするやり方では、芯出しに支障が生じる場合
でも、テーブル側そのもの奢移動するようにしているの
で、加工物形状により芯出し精度が低下することがない
。したがって、本実施例の芯出し装置は、以上の効果が
相俟って、7レキシビリテイが向上し、FMSに適合し
たものとなる。
In this way, the centering device of this embodiment can cope with changes in the shape, dimensions, and weight of the workpiece by storing the reference position information of the workpiece in advance on the arithmetic and control unit side. . Moreover, rather than moving the workpiece itself, the table side on which the workpiece is placed is moved, which reduces inaccuracies in the amount of movement due to the magnitude of the friction coefficient due to the weight of the workpiece. be done. Furthermore, if the side surface of the workpiece is uneven or curved, problems may occur when centering the workpiece by pressing it against a positioning jig. However, since the table side itself moves slowly, the centering accuracy does not deteriorate depending on the shape of the workpiece. Therefore, the centering device of this embodiment has improved 7 flexibility due to the above-mentioned effects, and is suitable for FMS.

なお、上記実施例においては位置検出器として差動トラ
ンス型のものを用いたが、ポテンシ目メータ型の位置検
出器を用いてもよい。さらに、位置ずれの検出をI’l
’Vカメラ、 CCD (Char7e Couple
dl)evice )等の視覚センナによシ行うように
してもよい。さらにまた、位置検出器の数は本実施例で
は第1〜第3までの3個を用いているが、3個は本装置
の機能から見て最小の数であり、3個以上使用すれば芯
出し精度はよシ向上することが期待される。また、位置
測定とその補正の手順は以下に述べる手順でもよい。す
なわち、第3図において第2.第3の位置検出器(17
)、(IE9により加工物(W)のθ方向の位置ずれ(
101の補正を行ない、その後に、第1乃至第3の検出
器a6)、αわ、αWにょ)位置ずれ(6)。
In the above embodiment, a differential transformer type position detector is used as the position detector, but a potentiometer type position detector may also be used. Furthermore, the detection of positional deviation is
'V camera, CCD (Char7e Couple
This may be done using a visual sensor such as dl)evice). Furthermore, although three position detectors are used in this embodiment, three position detectors are used, from the viewpoint of the function of this device, and three or more position detectors are used. It is expected that centering accuracy will be significantly improved. Further, the procedure for position measurement and its correction may be the procedure described below. That is, in FIG. Third position detector (17
), (positional deviation of the workpiece (W) in the θ direction by IE9 (
After performing the correction of 101, the positional deviation (6) of the first to third detectors a6), αW, αWNyo) is performed.

(8)の補正を行なう。Perform the correction in (8).

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の芯出し装置は、加工物の軽重1寸法・形状の異
同にかかわらず、芯出し作業を迅速かつ高精度で行うこ
とができる。したがって、フレキシビリティが大である
ことから、FMSに適合した装置となる。
The centering device of the present invention can perform centering work quickly and with high precision regardless of the weight, weight, size, and shape of the workpiece. Therefore, since it has great flexibility, it becomes a device suitable for FMS.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の芯出し方法による平面図、第2図及び第
3図はそれぞれ本発明の一実施例の芯出し装置の平面図
及び正面図、第4図は芯出し作業の手順を示すフローチ
ャートである。 (5):x−y−θテーブル(テーブル)、a渇:ドラ
イバ(駆動機構)、 Q3):演算制御部、Q6)、 
(17)、 Q8) : 位を検出器、 Q9:加工物
、09a)、 09b) : Sum (特定8.位)
。 代理人・弁理士 則近憲佑 (ほか1名)′f 1 図 第4図
Fig. 1 is a plan view of a conventional centering method, Figs. 2 and 3 are a plan view and a front view of a centering device according to an embodiment of the present invention, and Fig. 4 shows a procedure for centering work. It is a flowchart. (5): x-y-θ table (table), a: driver (drive mechanism), Q3): calculation control unit, Q6),
(17), Q8): Detector, Q9: Workpiece, 09a), 09b): Sum (Specific 8.)
. Agent/patent attorney Kensuke Norichika (and 1 other person)'f 1 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 物体を載置するとともに上記物体載置面に沿って回動自
在かつ互に交差する方向に平行移動自在に設けられたテ
ーブルと、このテーブル上に載置された上記物体の特定
部位の位置を検出する位置検出器と、上記テーブルを駆
動する駆動機構と、上記位置検出器から出力された位置
検出信号に基づいて上記物体の位置ずれ量を算出し上記
駆動機構に上記物体の位置ずれを修正するだめの制御信
号を出力する演算制御部とを具備することを特徴とする
芯出し装置。
A table on which an object is placed and which is rotatable along the object placement surface and movable in parallel in mutually intersecting directions; A position detector to detect, a drive mechanism to drive the table, and a positional shift amount of the object is calculated based on the position detection signal output from the position detector, and the drive mechanism corrects the position shift of the object. 1. A centering device, comprising: an arithmetic control section that outputs a control signal for stopping.
JP1373783A 1983-02-01 1983-02-01 Centering apparatus Pending JPS59152046A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1373783A JPS59152046A (en) 1983-02-01 1983-02-01 Centering apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1373783A JPS59152046A (en) 1983-02-01 1983-02-01 Centering apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59152046A true JPS59152046A (en) 1984-08-30

Family

ID=11841567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1373783A Pending JPS59152046A (en) 1983-02-01 1983-02-01 Centering apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59152046A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56119358A (en) * 1980-02-20 1981-09-18 Hitachi Ltd Machine tool with work position correcting function

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56119358A (en) * 1980-02-20 1981-09-18 Hitachi Ltd Machine tool with work position correcting function

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0913236B1 (en) Articulated robot
EP0045174A1 (en) Gripping device
WO2001069336A1 (en) Touch calibration system for wafer transfer robot
US7551979B2 (en) Robot calibration system and method
JP2018116617A (en) Processing system provided with robot for transporting workpieces to processing machine
JP2000071190A (en) Workpiece carrying system
JP3651026B2 (en) Method for teaching robot for stocker
JPH01169939A (en) Centering equipment for semiconductor wafer
JPS59152046A (en) Centering apparatus
JPH07171779A (en) Centering method of industrial robot with travel device
JPS5856792A (en) Centering device with blank check mechanism
JPH04140691A (en) Positioner
JPS61810A (en) Automatic member positioning device
JPS6128470B2 (en)
JPS59166482A (en) Conveyor
JP7453114B2 (en) Measuring device, transfer device, and measuring method
JPH01159188A (en) Method of controlling industrial robot
JP2008260599A (en) Method for adjusting conveying face of semiconductor wafer conveying system, semiconductor wafer conveying system using it, and semiconductor manufacturing device
JP2746689B2 (en) Optical element processing device equipped with workpiece measurement device
JPS61232018A (en) Bending device
JP2005181023A (en) Measuring device and method of height difference and tilt angle between planes
JP2834653B2 (en) Ferrite core centering method and apparatus
JPS6353411A (en) Work measuring apparatus
JPH03166073A (en) Detection of work position
JPH11207668A (en) Teaching method for robot