JP2746689B2 - Optical element processing device equipped with workpiece measurement device - Google Patents
Optical element processing device equipped with workpiece measurement deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は加工された光学素子の寸法精度を数値制御技
術を利用し自動的に確認するようにした工作物測定方法
および装置に関するものである。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method and an apparatus for measuring a workpiece in which the dimensional accuracy of a processed optical element is automatically checked using a numerical control technique. .
（従来の技術） この種の光学素子の寸法精度、特にその中心厚さ、ス
ラスト寸法および曲率半径、第６〜８図及び光学工業技
術研究組合発行“レンズ・プリズム加工技術'80"に示す
ように、簡単の検具を使用し加工装置から取り外した
後、個別に測定していた。(Prior Art) As shown in the dimensional accuracy of this type of optical element, particularly its center thickness, thrust dimension and radius of curvature, FIGS. 6 to 8 and "Lens and prism processing technology '80" issued by the Optical Industrial Technology Research Association. Then, after removing from the processing device using a simple inspection tool, it was measured individually.
即ち、第６図はダイヤルゲージ等の簡単な測定器12を
使用し、ワーク（レンズ）２の中心厚さを計測する装置
を示し、台13の上面が測定器12の垂直線上で凸面となっ
ている。That is, FIG. 6 shows an apparatus for measuring the center thickness of the work (lens) 2 using a simple measuring device 12 such as a dial gauge, and the upper surface of the table 13 is convex on the vertical line of the measuring device 12. ing.
又、第７図は台13を平面としてワーク２の平面部分に
おいてワークのスラスト寸法を計る手動測定装置を示
す。FIG. 7 shows a manual measuring device for measuring the thrust dimension of a work in a plane portion of the work 2 with the table 13 as a plane.
更に、第８図は球面環（リング）14と測定器12とを用
いてワーク（レンズ）２の曲率半径をマスターレンズと
の比較で計る手動測定装置を示す。FIG. 8 shows a manual measuring device for measuring the radius of curvature of the work (lens) 2 by using a spherical ring (ring) 14 and a measuring device 12 in comparison with a master lens.
（発明が解決しようとする課題） この種光学素子の寸法精度、特に中心厚さ、スラスト
寸法および曲率半径は品質を維持管理するうえで重要な
中間検査（インライン計測）として行われているが、そ
れぞれを、各々特有の検具により測定しているための作
業工数がかかわる欠点があった。(Problems to be Solved by the Invention) The dimensional accuracy of this type of optical element, particularly the center thickness, the thrust dimension, and the radius of curvature, is performed as an intermediate inspection (in-line measurement) important for maintaining and managing the quality. There is a drawback that the number of work steps is required because each is measured by a unique inspection tool.
又、測定を人間の感覚で行うため、測定誤差が発生す
る可能性が大きかった。In addition, since the measurement is performed with a human sense, there is a high possibility that a measurement error will occur.
更に、測定時ワークを加工装置から外して抜取り検査
で行っているが、その結果がタイムリーにフィードバッ
クされないため、品質のバラツキが発生することがしば
しばあった。Furthermore, during the measurement, the work is removed from the processing apparatus and the sampling inspection is performed. However, the results are not fed back in a timely manner, so that the quality often varies.
又、加工装置上に測定器を持込んで、寸法精度の確認
を行うことも可能であるが、確認に時間がかかり実質的
ではなかった。It is also possible to carry out a measuring instrument on the processing apparatus to confirm the dimensional accuracy, but the confirmation is time-consuming and not practical.
本発明はかかる従来の欠点を除去し、寸法精度の確認
を光学素子が加工装置に保持されている状態で行うとと
もにその結果をその場で直ちにフィードバックできるよ
うにした工作物測定方法及び装置を提供することを目的
とする。The present invention eliminates the above-mentioned conventional drawbacks and provides a workpiece measuring method and apparatus in which dimensional accuracy is confirmed in a state where the optical element is held in a processing apparatus and the result can be immediately fed back on the spot. The purpose is to do.
（課題を解決するための手段および作用） 本発明の工作物測定装置を備えた光学素子加工装置
は、ワーク搬送用のワーク保持手段とワーク寸法計測用
のタッチセンサとを備え、水平方向での位置制御を行う
第１駆動手段によって駆動するローディング装置と、ワ
ーク加工時にワークを保持するワーク保持手段を備え、
垂直方向での位置制御を行う第２駆動手段によって駆動
するワーク軸と、ワーク軸のワーク保持手段と対向する
位置に配置され、ワーク軸の保持手段に保持されたワー
クを加工する加工工具と、前記ローディング装置を駆動
する第１駆動手段とワーク軸を駆動する第２駆動手段と
を制御すると共に前記保持されたワークに接触したタッ
チセンサからの信号に基づき演算処理する制御装置とを
具備し、前記ローディング装置をワーク保持手段により
ワークを水平方向に搬送してこのワークをワーク軸のワ
ーク保持手段に保持させ、次いでワーク軸を下方向に移
動させてワークを加工工具に押し当てて加工し、加工後
のワークを上方向に移動させてワーク軸を原点位置に停
止した後に、このワークの被加工面にローディング装置
のタッチセンサを対向させると共に、再びワーク軸を下
方向に移動して前記タッチセンサとワークの被加工面と
を接触させワークの寸法を計測することを特徴とする。(Means and Actions for Solving the Problems) An optical element processing apparatus provided with a workpiece measuring device according to the present invention includes a workpiece holding means for transporting a workpiece and a touch sensor for measuring a dimension of the workpiece, and is provided in a horizontal direction. A loading device that is driven by a first driving unit that performs position control, and a work holding unit that holds the work during work processing;
A work axis driven by a second drive unit that performs position control in the vertical direction, a processing tool disposed at a position facing the work holding unit of the work axis, and processing a work held by the work axis holding unit; A control device that controls first driving means for driving the loading device and second driving means for driving the work axis, and performs arithmetic processing based on a signal from a touch sensor in contact with the held work; The loading device conveys the work in the horizontal direction by the work holding means, holds the work on the work holding means of the work axis, and then moves the work axis downward to press the work against the processing tool to process the work. After moving the processed workpiece upward and stopping the workpiece axis at the home position, touch the touch sensor of the loading device on the processed surface of this workpiece. It causes the direction, characterized by measuring the dimensions of a workpiece by moving the workpiece axis downward again contact with the processing surface of the touch sensor and the workpiece.
第１図及び第２図に示す本発明工作物測定方法の概念
において、１はNC駆動する加工機本体を示し、ワーク２
を保持するコレットチャック11とワーク軸３を備えてい
る。In the concept of the workpiece measuring method of the present invention shown in FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes an NC-driven processing machine main body,
The work shaft 3 is provided with a collet chuck 11 for holding the workpiece.
４はワークを搬送するローディング装置を示し、ワー
クチャック５とともにタッチセンサ６を備えている。Reference numeral 4 denotes a loading device for transporting a work, which includes a work chuck 5 and a touch sensor 6.
７はNC制御装置を示し、ワーク軸３をＺ方向に駆動す
るサーボモータ８やローディング装置４のＹ方向位置制
御を行うサーボモータ９とともにタッチセンサ６に接続
されて演算処理を行った後、その出力を制御軸群10に供
給して所望の制御指示を行い得るようにする。Reference numeral 7 denotes an NC control device, which is connected to the touch sensor 6 together with a servomotor 8 for driving the work axis 3 in the Z direction and a servomotor 9 for controlling the Y direction of the loading device 4 to perform arithmetic processing. The output is supplied to the control axis group 10 so that a desired control instruction can be performed.
尚、タッチセンサ６の移動接線は、第２図に示すよう
にワーク軸３のＺ方向に対し直角方向であればいかなる
方向をもとり得るように配置する。The movement tangent of the touch sensor 6 is arranged so that it can take any direction as long as it is a direction perpendicular to the Z direction of the work axis 3 as shown in FIG.
（第１実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を説明するが、
以下の図面において第１図に示した構成部分と同一部分
には同一符号を付して説明する。First Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the following drawings, the same components as those shown in FIG.
第３図に示す本発明工作物測定方法を実施する装置に
おいて、１はNC駆動する加工機本体でワーク２を保持す
るコレットチャック11とワーク軸３とを有している。ワ
ークを搬送するローディング装置４はワークチャック５
とともにタッチセンサ６を備えている。In the apparatus for carrying out the method for measuring a workpiece according to the present invention shown in FIG. 3, reference numeral 1 denotes an NC-driven processing machine body having a collet chuck 11 for holding a workpiece 2 and a workpiece shaft 3. The loading device 4 for transporting the work includes a work chuck 5
And a touch sensor 6.
NC制御装置７はワーク軸をＺ方向に駆動するサーボモ
ータ８およびローディング装置４のＹ方向位置制御を行
うサーボモータ９と共にタッチセンサー６に接続されて
演算処理を行い、その出力を制御軸群10に接続して所望
の制御指示を行い得るようにする。The NC control device 7 is connected to the touch sensor 6 together with a servo motor 8 for driving the work axis in the Z direction and a servo motor 9 for controlling the Y direction position of the loading device 4 to perform arithmetic processing. To allow a desired control instruction to be issued.
かように構成された本発明工作物測定装置の作動を加
工装置と関連させて説明する。The operation of the workpiece measuring device of the present invention thus configured will be described in relation to a processing device.
自動ガラス研削機で加工するワーク（レンズの被測定
物）２は、まずコンベア等（第３図では図示していない
が、第１図の左側で図示あり）の位置からローオーディ
ンング装置４に装着したワークチャック５により保持
し、Ｙ方向の移動制御を行うサーボモータ９により水平
方向にワークチャック５を移動してワーク２をワーク軸
３の下側に移送後、加工機の上下方向に駆動するコレッ
トチャック11によりワーク２を把持し、そしてワークチ
ャック５をコレットチャック11によるワーク２の保持位
置から退避させた後、サーボモータ８によりコレットチ
ャック11を下降させて、その下方位置に配置された研削
用の加工工具（第１図の加工機において、ワーク軸３の
下方の開口部内に配置されているので見えないため図示
せず）に押当てることにより、研削加工される。加工
後、サーボモータ８により軸３を上昇させて、コレット
チャック11と共にワーク２をＺ方向の原点位置に移動さ
せ停止させる。本発明における実施例は、このようにし
て搬送され加工されたワーク２をさらに測定するタッチ
センサ６即ち測定装置を備えた加工装置である。A work (object to be measured for a lens) 2 to be processed by an automatic glass grinder is firstly transferred from a position of a conveyor or the like (not shown in FIG. 3, but shown on the left side of FIG. 1) to a loading apparatus 4. The work chuck 5 is held by the mounted work chuck 5 and moved in the horizontal direction by the servo motor 9 for controlling the movement in the Y direction. The work 2 is transferred to the lower side of the work shaft 3 and then driven in the vertical direction of the processing machine. After the work 2 is gripped by the collet chuck 11 to be moved, and the work chuck 5 is retracted from the holding position of the work 2 by the collet chuck 11, the collet chuck 11 is lowered by the servo motor 8 and is arranged at a position below the collet chuck 11. Pressing against a processing tool for grinding (not shown in the processing machine of FIG. 1 because it is located in an opening below the work shaft 3 and cannot be seen) Ri, it is grinding. After the machining, the shaft 3 is raised by the servomotor 8, and the work 2 is moved to the origin position in the Z direction together with the collet chuck 11 and stopped. The embodiment of the present invention is a processing apparatus provided with a touch sensor 6 for further measuring the workpiece 2 conveyed and processed as described above, that is, a measuring apparatus.
ローディング装置４は、サーボモータ９とNC制御装置
７によりミクロンオーダで任意に位置決めできる構造と
なっており、かつ、ワーク軸３のＺ方向に対し直角方向
であればいかなる方向をもとり得るように配置されてい
るため、これに装着しているタッチセンサ６もワーク２
の中心を通るように構成されている。The loading device 4 has a structure that can be arbitrarily positioned in micron order by the servo motor 9 and the NC control device 7 and is arranged so that it can take any direction as long as it is a direction perpendicular to the Z direction of the work axis 3. The touch sensor 6 attached to the work 2
It is configured to pass through the center.
このタッチセンサ６としては、作動感知の繰返し再現
性が一ミクロン以下の高精度のセンサを使用するのが好
適である。As the touch sensor 6, it is preferable to use a high-precision sensor having a repeatability of operation sensing of 1 micron or less.
ワーク軸３はサーボモータ８とNC制御装置７によりミ
クロンオーダでＺ方向に移動し位置決め、検出できる構
造とする。The work shaft 3 has a structure that can be moved, positioned and detected in the Z direction on the order of microns by the servo motor 8 and the NC controller 7.
この第１実施例では、ワーク２の中心厚さを計測する
場合の動作を順をおって説明する。In the first embodiment, an operation for measuring the center thickness of the work 2 will be described in order.
加工終了後のワーク軸３はＺ方向の原点位置に移動し
停止している。次にタッチセンサー６がワーク軸線上に
移動後停止する。なお、Ｚ方向の原点位置はワーク２の
裏面が接するコレットチャック11のあてつけ面であり、
この基準点からタッチセンサ６の作動点までの距離ａを
予め基準寸法としてNC制御装置７に記憶させておく。次
のワーク軸３を際サーボモータ８により動かしワーク２
の面でタッチセンサー６が作動するまでの距離ｂはNC制
御装置７により計数されているので正確に測定される。
従ってワーク２の中心厚さｃは次式の簡単な計算で求め
ることができる。After the machining, the work axis 3 moves to the origin position in the Z direction and stops. Next, the touch sensor 6 stops after moving on the work axis. Note that the origin position in the Z direction is the contact surface of the collet chuck 11 where the back surface of the work 2 is in contact,
The distance a from the reference point to the operating point of the touch sensor 6 is stored in the NC controller 7 as a reference dimension in advance. The next work shaft 3 is moved by the servomotor 8 to move the work 2
Since the distance b until the touch sensor 6 is activated on the surface is counted by the NC control device 7, it can be accurately measured.
Therefore, the center thickness c of the work 2 can be obtained by a simple calculation of the following equation.
中心厚さｃ＝基準寸法ａ−ワーク軸移動量ｂ この計算はNC制御装置７で自動的に行われ表示される
と共に公差により外れた場合には次のワークにフィード
バックさせるべく制御軸群10に自動指令される。Center thickness c = reference dimension a−work axis movement amount b This calculation is automatically performed and displayed by the NC control device 7, and when it deviates due to tolerance, the control axis group 10 feeds back to the next work. Automatically commanded.
このようにワークが加工機に保持された状態で自動加
工するのに必要な既存のユニットを利用しワーク２の中
心厚さを自動計測および処理するため、費用及び作業工
数がかからず、又、タイムリにフィードバックが掛かる
ため品質の安定を図ることができる。As described above, since the center thickness of the work 2 is automatically measured and processed by using the existing unit necessary for automatic processing while the work is held in the processing machine, the cost and the number of man-hours are reduced. In addition, since feedback is provided in a timely manner, quality can be stabilized.
（第２実施例） 第４図に本発明工作物測定方法を実施する装置の第２
実施例を示す。図中第３図に示す構成部材と同一部材に
は同一符号を付して示し、その説明を省略する。従って
本例では構成の説明は省略し、ワーク２のスラスト計測
を行う場合の作動を順を追って説明する。(Second Embodiment) FIG. 4 shows a second embodiment of an apparatus for implementing the method for measuring a workpiece according to the present invention.
An example will be described. In the drawing, the same members as those shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. Therefore, in this example, the description of the configuration is omitted, and the operation in the case of performing the thrust measurement of the work 2 will be described in order.
本実施例が第１実施例と相違する所はタッチセンサ６
の停止位置がワーク２の下向き平面位置に移動している
点である。This embodiment is different from the first embodiment in that the touch sensor 6
Is the point where the stop position of (2) has been moved to the downward plane position of the work 2.
ワーク２（以下レンズと称する）のスラスト寸法は裏
面（この場合は平面）の基準位置から表面の平面までの
厚さであり、しかるも裏面基準位置はコレットチャック
のあてつけ面である。従って、この基準点からタッチセ
ンサ６の作動点までの距離をａ、レンズの下向き平面位
置が下降しタッチセンサ６が作動するまでの距離をｂと
すれば、レンズスラスト寸法ｃは次式で求めることがで
きる。The thrust dimension of the work 2 (hereinafter referred to as a lens) is the thickness from the reference position on the back surface (plane in this case) to the plane surface, and the reference position on the back surface is the contact surface of the collet chuck. Therefore, assuming that the distance from the reference point to the operating point of the touch sensor 6 is a, and the distance from when the downwardly-facing planar position of the lens is lowered and the touch sensor 6 is operated is b, the lens thrust dimension c is obtained by the following equation. be able to.
スラスト寸法ｃ＝基準寸法ａ−ワーク軸移動量ｂ タッチセンサ６の停止位置はＺ軸線上＋ｄ寸法である
が、このｄ寸法は図面より求めることができるため、こ
の値をあらかじめNC制御装置７に入れておくと計算し停
止位置を決めてくれる。この計算及びこれ以降の処理も
第１実施例と同一であるためその説明を省略する。Thrust dimension c = reference dimension a−work axis movement amount b The stop position of the touch sensor 6 is + d dimension on the Z axis line. Since this d dimension can be obtained from the drawing, this value is stored in the NC controller 7 in advance. If you put it in, it will calculate and determine the stop position. This calculation and the subsequent processing are the same as those in the first embodiment, and therefore the description thereof will be omitted.
従って、ローディング装置４に装着したタッチセンサ
６の位置を僅か移動するだけで上述した所と同様の動作
によりスラスト寸法を測定することができる。Therefore, the thrust size can be measured by the same operation as described above by slightly moving the position of the touch sensor 6 mounted on the loading device 4.
（第３の実施例） 第５図に本発明工作物測定方法を実施する装置の第３
実施例を示す。第５図において第３図に示す構成部材と
同一部材には同一符号を付して示し、その説明を省略す
る。従って本例では構成の説明は省略し、ワーク２の曲
率半径の計測を行う場合の作動を順を追って説明する。(Third Embodiment) FIG. 5 shows a third embodiment of the apparatus for implementing the method for measuring a workpiece according to the present invention.
An example will be described. 5, the same members as those shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Therefore, in this example, the description of the configuration is omitted, and the operation when measuring the radius of curvature of the work 2 will be described step by step.
ワーク２（以下レンズと称する）の曲率半径は従来例
の球面計で計る方法からも明らかなように決められたレ
ング径（Ｄ）が被計測レンズアール面に接する底面から
レンズ頂点までの高さをｈとすると、曲率半径Ｒは次式
で求めることができる。The radius of curvature of the work 2 (hereinafter referred to as a lens) has a length (D) determined as apparent from a method of measuring with a conventional spherical meter, and a height from the bottom surface in contact with the lens surface to be measured to the vertex of the lens. Is h, the radius of curvature R can be obtained by the following equation.
Ｒ＝（D/2）２＋h2/2h 一方、本例の構成素子を使ってレンズの曲率半径を計
測する場合には、第１実施例の方法によりタッチセンサ
６の作動点とレンズ頂点までの距離ｂとを求め、レング
径に相当するＤの1/2、つまり、ｆ値を決め、Ｚ軸線上
よりタッチセンサ６を移動させ、再度ワーク軸３を下降
しタッチセンサ６が作動するまでの距離ｄを求める。こ
の計測により上式の高さｈを次式から求めることができ
る。R = (D / 2) 2 + h 2 / 2h On the other hand, when measuring the radius of curvature of the lens using the constituent elements of this example, the operation point of the touch sensor 6 and the lens vertex are measured by the method of the first embodiment. Is determined, and 1/2 of D corresponding to the length of the length, that is, the f-value is determined, the touch sensor 6 is moved from the Z-axis line, and the work shaft 3 is lowered again until the touch sensor 6 is activated. Is determined. From this measurement, the height h in the above equation can be obtained from the following equation.
ｈ＝ｂ−ｄ 従って曲率半径Ｒは次式により求めることができる。 h = b−d Therefore, the radius of curvature R can be obtained by the following equation.
Ｒ＝f2＋h2/2h 尚ｆ値は図面より求められるので、これを予めNC制御
装置７に入れておくと、これが自動的に計算し停止位置
を決めることができる。R = f 2 + h 2 / 2h Since the f value is obtained from the drawing, if the f value is previously stored in the NC control device 7, it is automatically calculated and the stop position can be determined.
かように、これらの一連の計算と動作はNC制御装置７
で自動的に行われ表示されると共に公差より外れた場合
には次ワークにフィードバックさせるべく制御軸群10に
自動指令されることは前記実施例の場合と同様である。Thus, these series of calculations and operations are performed by the NC controller 7
In the same manner as in the above-described embodiment, the command is automatically performed and displayed, and when the value is out of the tolerance, the control axis group 10 is automatically instructed to feed back to the next work.
本例は第１実施例と組合わせて実行することも容易で
あり、従って自動測定が一層短時間で行なえ、その効果
は大なるものである。This embodiment can be easily implemented in combination with the first embodiment, so that automatic measurement can be performed in a shorter time, and the effect is great.
又、本例によれば基準リング等の特定治具を使うこと
なく曲率半径Ｒの絶対値が計測できるため、汎用性が高
くなる。Further, according to this example, since the absolute value of the radius of curvature R can be measured without using a specific jig such as a reference ring, versatility is improved.
（発明の効果） 上述したように、本発明の工作物測定装置を備えた光
学素子加工素子によれば以下に示す効果を呈することが
できる。(Effects of the Invention) As described above, according to the optical element processing element provided with the workpiece measuring device of the present invention, the following effects can be exhibited.
ガラスの自動加工に必要な既存のユニットを利用し、
これにタッチセンサを付設しただけで、レンズの中心厚
さ、スラスト寸法、曲率半径が自動計測できるため、設
備費および治工具の費用がかからない。Using existing units required for automatic glass processing,
By simply attaching a touch sensor to this, the center thickness, the thrust dimension, and the radius of curvature of the lens can be automatically measured, so that equipment costs and jigs and tools are not required.
この際、タッチセンサが取り付けられているローディ
ング装置には、ワーク加工時に加工負荷が加わらず、水
平方向に移動制御するだけのため、ローディング装置全
体が軽量であって、移動制御の精度が良い。At this time, the loading device to which the touch sensor is attached is not subjected to a processing load at the time of processing the workpiece, and only controls the movement in the horizontal direction. Therefore, the entire loading device is lightweight and the accuracy of the movement control is good.
３種類の検査項目がワーク軸のワーク保持手段からワ
ークを取り外すことなく自動計測でき、処理できるため
加工品質の安定化が図れる。Since three types of inspection items can be automatically measured and processed without removing the work from the work holding means of the work axis, the processing quality can be stabilized.
故に、ワークが加工機のワーク軸に保持された状態で
自動計測を行うため、人によるバラツキが発生せず、品
質管理を行うのが容易となる。Therefore, the automatic measurement is performed in a state where the work is held on the work axis of the processing machine, so that there is no variation due to humans, and quality control can be easily performed.
制御装置に数値データを入力するだけで計測できるた
め汎用性が高くなる。。The versatility is improved because measurement can be performed by simply inputting numerical data to the control device. .
第１図は本発明工作物測定方法の概念を示す説明図、 第２図は本発明工作物測定方法の制御軸の位置関係を示
す説明図、 第３図は中心厚さの測定を行う本発明工作物測定方法を
実施する装置の第１実施例を示す説明図、 第４図はスラストの測定を行う本発明工作物測定方法を
実施する装置の第２実施例を示す説明図、 第５図は曲率半径の測定を行う本発明工作物測定方法を
実施する装置の第３実施例を示す説明図、 第６図は中心厚さの測定を行う従来の工作物測定方法を
実施する装置を示す説明図、 第７図はスラストの測定を行う従来の工作物測定方法を
実施する装置を示す説明図、 第８図は曲率半径の測定を行う従来の工作物測定方法を
実施する装置を示す説明図である。 １……加工機本体 ２……ワーク ３……ワーク軸 ４……ローディング装置 ５……ワークチャック ６……タッチセンサ ７……NC制御装置 ８……サーボモータ ９……サーボモータ 10……制御軸群 11……コレットチャック 12……測定器 13……台 14……基準環（リング）FIG. 1 is an explanatory view showing the concept of the method for measuring a workpiece of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing the positional relationship between control axes of the method for measuring a workpiece of the present invention, and FIG. 3 is a book for measuring a center thickness. FIG. 4 is an explanatory view showing a first embodiment of an apparatus for implementing the invention work measuring method, FIG. 4 is an explanatory view showing a second embodiment of the apparatus for implementing the present invention work measuring method for measuring thrust, FIG. FIG. 3 is an explanatory view showing a third embodiment of an apparatus for performing the method for measuring a workpiece according to the present invention for measuring a radius of curvature, and FIG. 6 is an apparatus for performing a conventional method for measuring a workpiece for measuring a center thickness. FIG. 7 is an explanatory view showing an apparatus for implementing a conventional workpiece measuring method for measuring thrust, and FIG. 8 is an explanatory view showing an apparatus for implementing a conventional workpiece measuring method for measuring a radius of curvature. FIG. 1 Processing machine body 2 Work 3 Work axis 4 Loading device 5 Work chuck 6 Touch sensor 7 NC control device 8 Servo motor 9 Servo motor 10 Control Shaft group 11 Collet chuck 12 Measuring device 13 Stand 14 Reference ring
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−132816（ＪＰ，Ａ) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-61-132816 (JP, A)
Claims (1)
法計測用のタッチセンサとを備え、水平方向での位置制
御を行う第１駆動手段によって駆動するローディング装
置と、 ワーク加工時にワークを保持するワーク保持手段を備
え、垂直方向での位置制御を行う第２駆動手段によって
駆動するワーク軸と、 ワーク軸のワーク保持手段と対向する位置に配置され、
ワーク軸のワーク保持手段に保持されたワークを加工す
る加工工具と、 前記ローディング装置を駆動する第１駆動手段とワーク
軸を駆動する第２駆動手段とを制御すると共に前記保持
されたワークに接触したタッチセンサからの信号に基づ
き演算処理する制御装置とを具備し、 前記ローディング装置のワーク保持手段によりワークを
水平方向に搬送してこのワークをワーク軸のワーク保持
手段に保持させ、次いでワーク軸を下方向に移動させて
ワークを加工工具に押し当てて加工し、加工後のワーク
を上方向に移動させてワーク軸を原点位置に停止した後
に、このワークの被加工面にローディング装置のタッチ
センサを対向させると共に、再びワーク軸を下方向に移
動して前記タッチセンサとワークの被加工面とを接触さ
せワークの寸法を計測する工作物測定装置を備えた光学
素子加工装置。A loading device driven by a first driving means for controlling a position in a horizontal direction, comprising: a workpiece holding means for transporting the workpiece; and a touch sensor for measuring the dimension of the workpiece; A work axis provided with a work holding means and driven by a second drive means for performing position control in the vertical direction; and a work axis disposed at a position facing the work holding means,
A processing tool for processing the work held by the work holding means on the work axis; a first driving means for driving the loading device; and a second driving means for driving the work axis, and contact with the held work. A control device for performing arithmetic processing based on a signal from the touch sensor. The work holding means of the loading device conveys the work in the horizontal direction, holds the work on the work holding means of the work axis, and then sets the work axis. After moving the workpiece downward and pressing the workpiece against the machining tool, the workpiece is moved upward and the workpiece axis is stopped at the home position, and then the loading device touches the workpiece surface of this workpiece. While facing the sensor, the work axis is moved downward again to bring the touch sensor into contact with the work surface of the work, thereby reducing the size of the work. An optical element processing apparatus having a workpiece measuring apparatus for measuring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249952A JP2746689B2 (en) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | Optical element processing device equipped with workpiece measurement device |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP1249952A JP2746689B2 (en) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | Optical element processing device equipped with workpiece measurement device |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP2746689B2 true JP2746689B2 (en) | 1998-05-06 |
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1989
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