JPS59151689U - ロボツト用真空チヤツク装置 - Google Patents
ロボツト用真空チヤツク装置Info
- Publication number
- JPS59151689U JPS59151689U JP4531583U JP4531583U JPS59151689U JP S59151689 U JPS59151689 U JP S59151689U JP 4531583 U JP4531583 U JP 4531583U JP 4531583 U JP4531583 U JP 4531583U JP S59151689 U JPS59151689 U JP S59151689U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction pad
- bellows
- holder
- vacuum
- chuck device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図および第2図は従来の真空チャック装置の正面図
およびその側面断面図、第3図は同じ〈従来の真空チャ
ック装置におけるワークの吸着様子を示す側面図、第4
図および第5図は本考案の一実施例を示す真空チャック
装置の側面断面図およびその正面図、第6図は上記実施
例の動作説明に供する力学的モデルを示す図、第7図お
よび第 ′8図は本考案の他の実施例を示す真空チャ
ック装置の側面図およびその正面図、第9図は上記実施
例装置による薄形円板状ガラスを吸着する様子を示す図
、第10図は同じく検査装置に位置決めする様子を示す
図である。 11・・・吸着パッド、12・・・吸着面、13・・・
連通孔、14・・・真空用ベローズ、15・・・ホルダ
、16・・・取付ねじ、17・・・予圧調節体、18a
、18b・・・軸受部、1S・・・鋼球、20・・・空
路、24・・・本体取付具、25・・・圧縮ばね、26
・・・チャック本体、3◎・・・配管体、32・・・吸
着パッド、35・・・空圧センサ。
およびその側面断面図、第3図は同じ〈従来の真空チャ
ック装置におけるワークの吸着様子を示す側面図、第4
図および第5図は本考案の一実施例を示す真空チャック
装置の側面断面図およびその正面図、第6図は上記実施
例の動作説明に供する力学的モデルを示す図、第7図お
よび第 ′8図は本考案の他の実施例を示す真空チャ
ック装置の側面図およびその正面図、第9図は上記実施
例装置による薄形円板状ガラスを吸着する様子を示す図
、第10図は同じく検査装置に位置決めする様子を示す
図である。 11・・・吸着パッド、12・・・吸着面、13・・・
連通孔、14・・・真空用ベローズ、15・・・ホルダ
、16・・・取付ねじ、17・・・予圧調節体、18a
、18b・・・軸受部、1S・・・鋼球、20・・・空
路、24・・・本体取付具、25・・・圧縮ばね、26
・・・チャック本体、3◎・・・配管体、32・・・吸
着パッド、35・・・空圧センサ。
Claims (1)
- 剛体よりなる吸着パッドと、この吸着パッドの背面に一
端部が連結された真空用ベローズと、該ベローズの他端
部に固定された円筒状のホルダと、前記ホルダの内部に
該ホルダと螺合して同軸上に結合され、かつその先端部
において前記吸着パッドを球面軸受を介して回転自在に
支持させて該吸着パッドを位置決めするとともに、前記
ベローズを予圧するように構成された予圧調節体および
前記ホルダ上の端部に結合される取付具と前記ベローズ
の固定部との間に同軸上に介在された圧縮ばねからなる
チャック本体とを備え、前記予圧調節体の後端を真空源
に接続して前記吸着パッドの内部を負圧にすることによ
り、該吸着パッドにてワークを吸着するようにしたこと
を特徴とするロボット用真空チャック装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4531583U JPS59151689U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ロボツト用真空チヤツク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4531583U JPS59151689U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ロボツト用真空チヤツク装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59151689U true JPS59151689U (ja) | 1984-10-11 |
Family
ID=30175829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4531583U Pending JPS59151689U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ロボツト用真空チヤツク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59151689U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021163803A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社ディスコ | 搬送機構及びシート拡張装置 |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP4531583U patent/JPS59151689U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021163803A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 株式会社ディスコ | 搬送機構及びシート拡張装置 |
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