JPS59151689U - ロボツト用真空チヤツク装置 - Google Patents

ロボツト用真空チヤツク装置

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Publication number
JPS59151689U
JPS59151689U JP4531583U JP4531583U JPS59151689U JP S59151689 U JPS59151689 U JP S59151689U JP 4531583 U JP4531583 U JP 4531583U JP 4531583 U JP4531583 U JP 4531583U JP S59151689 U JPS59151689 U JP S59151689U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction pad
bellows
holder
vacuum
chuck device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4531583U
Other languages
English (en)
Inventor
一昭 長野
Original Assignee
日立電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日立電子株式会社 filed Critical 日立電子株式会社
Priority to JP4531583U priority Critical patent/JPS59151689U/ja
Publication of JPS59151689U publication Critical patent/JPS59151689U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来の真空チャック装置の正面図
およびその側面断面図、第３図は同じ〈従来の真空チャ
ック装置におけるワークの吸着様子を示す側面図、第４
図および第５図は本考案の一実施例を示す真空チャック
装置の側面断面図およびその正面図、第６図は上記実施
例の動作説明に供する力学的モデルを示す図、第７図お
よび第　　′８図は本考案の他の実施例を示す真空チャ
ック装置の側面図およびその正面図、第９図は上記実施
例装置による薄形円板状ガラスを吸着する様子を示す図
、第１０図は同じく検査装置に位置決めする様子を示す
図である。 １１・・・吸着パッド、１２・・・吸着面、１３・・・
連通孔、１４・・・真空用ベローズ、１５・・・ホルダ
、１６・・・取付ねじ、１７・・・予圧調節体、１８ａ
、１８ｂ・・・軸受部、１Ｓ・・・鋼球、２０・・・空
路、２４・・・本体取付具、２５・・・圧縮ばね、２６
・・・チャック本体、３◎・・・配管体、３２・・・吸
着パッド、３５・・・空圧センサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 剛体よりなる吸着パッドと、この吸着パッドの背面に一
    端部が連結された真空用ベローズと、該ベローズの他端
    部に固定された円筒状のホルダと、前記ホルダの内部に
    該ホルダと螺合して同軸上に結合され、かつその先端部
    において前記吸着パッドを球面軸受を介して回転自在に
    支持させて該吸着パッドを位置決めするとともに、前記
    ベローズを予圧するように構成された予圧調節体および
    前記ホルダ上の端部に結合される取付具と前記ベローズ
    の固定部との間に同軸上に介在された圧縮ばねからなる
    チャック本体とを備え、前記予圧調節体の後端を真空源
    に接続して前記吸着パッドの内部を負圧にすることによ
    り、該吸着パッドにてワークを吸着するようにしたこと
    を特徴とするロボット用真空チャック装置。
JP4531583U 1983-03-29 1983-03-29 ロボツト用真空チヤツク装置 Pending JPS59151689U (ja)

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JP4531583U JPS59151689U (ja) 1983-03-29 1983-03-29 ロボツト用真空チヤツク装置

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Publication Number Publication Date
JPS59151689U true JPS59151689U (ja) 1984-10-11

Family

ID=30175829

Family Applications (1)

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JP4531583U Pending JPS59151689U (ja) 1983-03-29 1983-03-29 ロボツト用真空チヤツク装置

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JP (1) JPS59151689U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021163803A (ja) * 2020-03-31 2021-10-11 株式会社ディスコ 搬送機構及びシート拡張装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021163803A (ja) * 2020-03-31 2021-10-11 株式会社ディスコ 搬送機構及びシート拡張装置

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