JPS59147619A - 圧力スイング吸着系の為の新しい再加圧方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明！ｚｔ、　７１Ｌ合カスの一成分について容量で
９０〜９９％且つそれ以北の大きいカスの流れを犬”ｈ
：、（で得る為の方法に関する。本発明は訪に、炭素分
子ふるいを用いる圧カスインク吸着糸ＶＣ依り、少くと
も一成分を富化されたカスのｂＩＬ水を供給する為の吸
７ａ　工程に関する。

史に詳しく　ｆｄ、本発明は窒素、水素又はメタンの奸
１きカスの安１曲な且つ大容量のカス源をカえ、低温系
或は他の圧カスインク吸着系のいづれよりも少い作動の
為のエネルギーを必要とし、猶目一つ他にひけを取らな
い品質のカスを供給する為の方法に関する。

この中（で用いられている如く、カス混合物という用語
（ｄ空気と、異なる分子の太き六の２成分より主として
成る他のカス混合物を云う。富化されたカスという用語
は吸着剤を通ってカス混合物を通過させた後に、例えは
−成分に於て９０％から９９％迄の予め定められた純度
を混たす仕叡的吸ノ晶されないカス混合物の−（多）成
分より成るカスを云う。薄いカス（リーンカス）という
用語ｄ、沌化されたカスに対して定めらｈ／こ糾１度の
槓；準を７＋：ｌ’□１ずことか出来ない吸着リーンか
ら出るそのカスを云う。２（又ｄそれ以上の）塔の吸着
リーンの場合には薄いツ〕スは、１も化されたカスに対
して定められた純度の］県ｇｌｉをＭｌ’ｊずことか出
来ないカスであるけかりて＋ｄなり１該ンーンを構成す
る最後の塔を）１ｂつて単独Ｌ−Ｃ通過するそのカスで
もある。

カス混合物は圧カスインク吸着を用いて、該混合物の成
分の中の一つ又１ｄ二それ以十の成分を吸着出来るよう
に選択された吸着剤の床（ｂｅｄ　）を通って、高めら
れた圧力で、該混合物を通過さぜることにより、分別又
は分離される。この選択力は吸着剤に於ける細孔寸法分
布と！１五別のカス成分の吸着に対する適尚な旭ｌＩ子
し・１γ去の泊Ｈ子り容Ａ貰により支西己される。この
ようすこ、に１１．１孔寸法よりも小さいか又は等しい
運動径をもつカスの分子ｒｉ吸着剤に保持又はＩＷＩ　
１ｍさね、る。−力より大きい〕車動径のカス分子ｒＬ
塔を通過する。実際に該吸着剤はその分子径に従って該
カスをふるい分ける。カス混合物ｄ又、吸収剤の刈１孔
糸の中でのそれ等の成分の異った拡散率により分別され
る。

１該カスが吸着忙の塔を通って移動するに従って、該吸
着剤の細孔はカスの分子で満だきね、る。カラムクロマ
トクラフイ系に於ける固体吸７１′］剤を通って４多動
する液体吸着の前面（フロント）に類似の、該稲を通っ
て移動する吸着の前向（フロント）を想像することか出
来る。ある時間後には該塔から出て行くカスは該吸着剤
の塔に入るカスと本質的に同一組成である。之は破過点
としで知られている。

例え廻５、カス混合物（は吸着剤シて入り、全く・同じ
混合物が該吸着剤から出て行く。この破過点の前のある
時間に該吸着剤は出生されねばならない。選択された成
分をそれから吸着するよう該カス混合物を処理した後に
該塔を辿るカス混合物の流れは中ｉａ’ｊ’ｔされ、該
吸着剤は、真空か又は一般に該カス混合物により取られ
る流れの反対力向に（即ち向流に）、該塔を通って精製
された製品の一部を成す、パージカスの流れを通過さぜ
ることのいづね、かにより、該吸着された成分をパーン
すること＋ＩＣ依り再生される。

圧カスインク吸Ｍは一方の塔か再生されている間、他方
の塔が製品カスを製造する吸７Ｂ状態にある、即ち塔が
２つの交替する吸着ンー〉として相互に作用するように
、通常少くとも２つの吸着肴１１の塔を含＋！Ｌｒ。

１つ以上の塔か吸着リーン（（使用さ′ｆ″ｌ−祷る。

１つ以上の塔かこのようなリーンを＋１〜゛Ｉ成すると
きには、該塔は直列又は並列のいづれがの一列で連結さ
れる。吸着剤の塔か直列に連結さｉするときには、リー
ンの一方の塔を出るカスに１、該リーンを構成するその
次の塔の入口端に入る。並夕］１の配夕ｌ］で（は、該
カス混合物はリーンを４ｊ’ｌ成するすへての塔の入口
端に入る。

一般に直夕１］の１′電列は高度の精製に対（〜て好ま
しい。一方並列の配夕１１は、短時間のサイクルに於け
る大量の製品カスを供給する。この中で用いられでいる
如く、吸着リーンと云う用語は、単一の塔のリーン又は
直列に配列され／こ２塔のリーンのいづれにも当てはま
ると理ＩＱ’Ｆ　＠れる。いっれの場合に於ても各吸着
リーンは人口輻′５を持つ。例えば単−塔のノーンの人
口はその１塔の入口掌１であり、２塔のリーン（直列に
配列された）（で対しては、該入口端（ｄ該ソーンに於
ける第一塔の人口にある。

谷吸着ゾーン（弓、対応する出口端１を有する。該２塔
のリーンに対しては之ｄ、該リーンを構成する第二塔の
出口Ｖｉｒｉにある。２つの吸着リーンを用いるときに
は、之等の吸着リーン間をサイクルする（父互させる）
ことにより１、製品ガスは連続的に得られる。

空気から富化された窒素を製造する為の炭素分子ふるい
の使用は良く知られた工程である。例えは、ヘスターダ
ルによる、米国特許第２，５５６，８５９号とミュンッ
ナーその他による米国特許第３，９６０，５２２号を兄
よ。之等のふるいは酸素の該運動径に匹敵する大きさを
持つ細孔構造を有する。もし圧カスインク吸着糸に用い
られるときは、２舌のふるいｔｄ混合カスから酸素を選
択的に吸着し、その他の成分特に窒素が通過することを
許容する。

４塔の圧カスインク吸着ユニットは炭酸カス、水そして
肘質の脂肪族炭化水素と水素の混合物からの水素カスの
分離に首尾よく用いられてきだ。例えば、ワクナーによ
る米国特許第３，４３０，４１８号を見よ。

圧カスインク吸着に依る他の２成分のカス混合物の分別
も又知られている。例えばセオライト１３Ｘを用いる水
素と一酸化炭素の混合物から一酸化炭素の分別、そして
木炭、アルミナ又はシリカを用いる、燃料カスと炭酸カ
スとの混合物から炭酸カスの分別はよく知られている。

シモネットによる米国特許第３、．８８４，６６１号を
見よ。

アルコンと酸素又はヘリウムトメタンノ２成分カス混合
物は圧カスインク吸着工程に於ける、部分的に酸化され
た炭素の吸着剤によって分離された。ドイツ公報第２，
０４５，２００号を兄よ。

現在の圧カスインク吸着と炭素分子ふるいの技術に於け
る代表的な問題は、製品カスの低い収率、を求される分
子ふるいの大量とエネルキーの能率の」二からない再生
方法を含む。

発明の開示 シーケンスの段階より成る、富化されたカスの流ノ圭を
発生ずる為の吸着工程が、かくのクロク与えられる。そ
してそのシーケンスの段階＋ｄ、　この中で吸着圧力と
して言及される３０バール（約３．０５９Ｋｑ／ｃａ　
）から８０ノ＼−ル（約８．１５８　Ｋ９／ｃイ）の範
囲から選択されたー、つの圧力で、１又は２塔より成る
１つの吸着ゾーンを通してカス混合物を通過させ、破過
の前に、富化されたカスを生産し、この第一の吸着ゾー
ン（２塔のゾーンに於て）の最後の塔を通って、単独に
該カス混合物を通過させ、之により薄いカス（リーンカ
ス）を製造し且つ前記第一の吸着ゾーンの出口端から、
］塔又は２塔のいづれかより成る第二吸着ゾーンの出口
端に、該選択された吸着圧力の７０％乃至１２０％の範
囲に、該第二吸着ゾーンを加圧する為に、前記薄いカス
を通過させ、２塔の吸、；、′：ｆソーンの場合には前
記ゾーンの第一塔を該系から切り離しく締め切り）且つ
たた１塔のゾーンの場合には前記１塔を切り離し、そし
て第二の吸着ゾーンが、その中て炭素に依る自然吸着が
圧力降下を引き起すよう、時間おくれにより減圧するこ
とを許容し、一方間時に該第−吸着ゾーンの切り離され
、た塔を大気圧捷で通気し、且つ２塔のゾーンの場合に
は向流に該第−吸着ゾーンの第二塔を通気し、前記通気
さ才したカスを該ゾーンの予め通気され且つ切り囚しさ
れた塔を向流にパージする為に用い、その後に７０トー
ル（７０肛Ｈｑ　）　　乃至２５０トール（２５０謹Ｈ
？　）の範囲で、該ゾーンの入１」ψｉ！１ｆに適用さ
れる真空を用いることにより、該第−吸着ゾーンの全体
を再生する間、富化されたカスを生産する為に、該選択
された吸着圧力Ｖ（加圧でれた第二吸着ゾーンを通って
該カス混合物を通過させ、そして富化されたカス流中の
予め吸着された（望まれない）カスの望寸しくないレベ
ルに到達すると同時すこ即ち破過に先だって該サイクル
を繰り返すことにより構成される。

この発明の目的は吸着剤として分子ふるい炭素を含んで
いる２吸着ソーンの圧カスインク吸着系の為に再加圧の
新しい方法を馬えることにある。この方法は該吸着剤の
再生の際のエネルキー哨費に関する先行技術の問題を克
服することに加えて、富化されたカスの良い収率を力え
るものである。

実施例による説明 本発明の新しい再力弓圧技術を用いる為の系は、本発明
に従って、ガス混合物を分・別［７得る２つの圧カスイ
ンク吸着ユニットを示す添付図面を参照することにより
史に良く理解され得る。本発明は２つの好適な実施例に
関して記述され且つ図ＩＱ！ｒきれているけわ５とも、
修正と変化が本発明の鞘神から（ｄすれることなしに用
いられることは埋デ１イされるへきである。

例えは、空気（窒素と酸素）、メタンと炭酸カス又は水
素と一酸化炭素を含み、しかしそれに限定されない如何
なるカス混合物も、満足させるであろう。

図１を詳細に説明すると、２つの圧力に耐える塔ＡとＢ
が示される。そして各基は空気からの窒素の分別に適し
た炭素分子ふるいて満だきれる。この工程の為の代表的
な有効な炭素分子ふるいは、ユントケン其の他に依る米
国特許出願第４，４１２，５２９号に記述されている。

塔Ａは第一の吸着ゾーン（ゾーン−１）を構成し、一方
塔Ｂは第二の吸着ゾーン（ゾーン−２）を構成する。谷
ゾーンは入口瑞と出口端を持つ。

圧力に酊える塔に連結される一連の弁は図Ｉ　ＶＣ示さ
れる番号（ｒＣより定義され且つ之の第一の好適配列で
果される機能により記述される。

図−１関係 （ａ）−７ＰＯと１６−主たる空気流入弁（１））弁１
と８−ゾーン１と２への入口空気弁 （ｃ）　　弁３と１０−ゾーン１と２の為の真空ライン
にある再生用弁 （ｄ）　　ジ１）２と９−通気弁−ゾーン１と２から圧
力を放出する弁 （ｅ）弁７と１４−ゾーン１と２から流れる製品（富化
）カス用升 （ｆ）　　弁１７．５と１２−パージの為のゾーン１と
２への富化カス連結弁 （ｇ）　　弁１６．１５．１１と１３．１５．４−再加
圧の為のゾーン１と２ 間の薄いカス連結弁 ハウシンクＡとＢ（は垂直の位置に示されているが、そ
：ｉ等は、連ｌ獣方法に対する逆効果なしに、水平又は
垂直のいづれの位置にも据付けられ得る。

外気は圧縮され、乾燥きれそして弁０又は弁１６のいづ
れかを経由して該糸に導入される。吸着１で先だって、
外気（ｄ、４０％以下の相対湿度が望寸しいので、過剰
な湿ＩＷを取り除く為に凝縮器を通してそれを〕［１）
過さぜることにより、修正さ′ｉ′１．イ４イる。そし
て又、謔過器又はスクラバーは炭１股カス、亜値酸カス
又は窒素酸化物の如き他のカスを取り除く為に月１いら
れ得る。之等の段階は該富化されたカス流の純度を改良
し、はつ非常に純粋な富化カス（例えは窒素）の為の仕
様書か、このような予めの除去を指定するときに用いら
）する。

しかしながら之等は本発明の成功した運転に対し補助的
であり且つ必須のものではない。

空気は、該吸着圧力に於て、酸素を選択的にふるい分け
る為に弁０と弁１又は弁８のいづれかを＾径由して、ゾ
ーン−１又はゾーン−２に入れられる。そして該供給空
気は該吸着ゾーンを通って押し進められる。富化された
製品窒素カスは升７又は弁１４のいづれかを経由して夫
々ゾーン−１又はゾーン−２からり１出される。

製品窒素カスの流れは製品カス溜めの圧力を一定に保つ
為に、該吸着圧力以下の圧力で該カス溜めから刊−出さ
れる。瞬間的な窒素のｂｆｌ、量はタボ」１１″流量計
で測定される。そして富化でれたカスの酸素含有量は該
製品カス溜の上流−ご分析される。

一方の吸着ゾーンが富化されたカスを発生している時に
は、他方のゾーンは弁３又は弁１０をモイ由して適用さ
れた真空により、再生されている。このように、ゾーン
−１が、開放された升０．１そして７を経由して富化さ
れたカスを製造している間、ゾーン−２は開放された弁
１０を経由して、７０トール（７０ｍｍＨ９）　　乃至
２５０　ト−Ｌ　（２５０ｍｍ　Ｈ９）　（７）範囲の
真空により再生されている。

該富化された窒素カスの酸素含イ１量の分セ１が、望ま
しくない酸素のレベル、例えは１％から１０％−土でよ
りも大きいレベル・て到達したことを示すとき（ｄ、弁
０．１と７又（ｄ弁０．８と１４は閉しられる。このよ
う（で該製造ラインは閉じられる。その時供給空気（弓
、弁１６と１又（は弁１６と８を経由して、人々ソーツ
ー１−又（ｄソーシー２（塔Ｂ）（で入れられる。該塔
から１ツ１出される薄いカスは弁６．１５と１１又（ｒ
ｉ弁１３．１５と４のいっれかを通って、ソーシー２又
はソーシー１の人Ｎ端に流れる。該薄いカスは該吸着圧
力の７０％乃至１２０％、好寸しく　ｆｉ：　８０％乃
至１０５％の範囲迄他方のソーツを加圧する為（ぞ用い
られる。この過度の加圧を成し遂げる為に用いられた該
ソーツは、次いで該系がら切り肉１１される（経め切ら
れる）。この段階の後に、該過度に加圧されたソーツは
、時間遅れ作用に依り、そして又該分子ふるい炭素によ
るカス分子の自然吸着により減圧することを許容される
。一般（でこの圧力降下は約１乃至６０秒の間に起る。

この時間の間（Ｃ１該切り矧■された吸着ソ・−ンは弁
２又（は９のいっれかを辿っで抽気されることにより、
大気圧に戻される。

該時間遅れを経、験し／ζ該吸着ソゾー（ｄ合弁０と弁
８又は弁１のいっれかを通って供給空気を受は人えしる
。そして製品カスｉ’ｊ：弁１４又は７を経由して放出
される。一方の吸着ソーツが１９）化さ尤した窒素カス
を製造し−Ｃいる間、他方の吸着ソーンｔｄ弁３又は弁
１０を経由して７０トール（７０ｍｍＨｆ）乃至２５０
トール（２５０ｗｎ　Ｈ９）の範囲の真空の適用により
古生されている。該サイクル（ｒｉ該第二吸着ンゾーか
らの製品カスの酸素含有量か再び望捷（−゛ぐないレベ
ルに到達するときに探り返される。

図２を詳１ｆｆｌ＋に説明すると、４つの圧力に耐える
塔Ｃ，ＤとＥとＦが示されている。そして之等の塔のお
のおのには空気からの窒素の分別に適している炭素分子
ふるいの床（ｂｅｄ）で汐づ／こされている。塔ＣとＤ
は第一の吸着ソーク（ソーシー１）を構成し、一方略Ｅ
とＦは第二の吸着ソーク（ソーシー２）を構成する。各
ソーツは入口（ｔ１■（ソーン］＝塔りえソーン＝塔Ｆ
）と出口立；飴（ノーン−１−塔Ｄ、ラーン−２−塔Ｆ
）を持っている。

圧力（に１制える塔に連結される一連の弁は図２に示さ
れる番号により定義され且つ之の第二の好適配列で果さ
れる桜能により記述される。

（ａ）　　弁θ′と１７　−主たる空気流入弁（ｂ）　
　弁２′、７′と１１′、１６′−塔Ｃ，ＤとＥ、Ｆへ
の夫々の流入弁 （ｃ）　　弁３′と１２′　　−再生弁−ソーツ　１と
２の為の真空ポンプ （ｄ）　　弁４′と１３′　　−パージ弁−ソーツ１と
２の為の塔圧力放出 （ｅ）　　弁１０′と１９′−吸着ソーク１と２からの
製品流入弁 （ｆ）　　弁９′、１４′、１５′と５′、６′、１８
−第一吸着ソーツの出口と第 二吸着ゾーンの入［］間の ４Ｊｒ出（助い）カス連結弁 （ｇ）　　弁６′と１５′　　−ソーツのパージ連結弁
−ソーツの第一の半分をパ ージする為に用いられる 第二の半分からのカスを 通す弁 塔Ｃ，Ｄ、ＥとＦは垂直の位置に示されているか、運転
の方法に対する逆効果なしに、垂平又は垂直のいづれの
位置にも据月けられ得る。

外気は乾燥され、圧縮され、そして升０′又（弓、升１
′　のいづれかを経由して該糸に導入さ才しる。吸着に
先立って、外気は、４０％以ドの相対湿度が好捷しいの
で、過剰な湿度を除去する為に凝縮器を通ってそれを通
過させろことに依り修正され得る。そして又、戸、過器
又はスクラバーは炭酸カス、亜硫酸カス又は窒素酸化物
の如き、他のカスを取り除く為に用いられイ；ｌる。２
宿の段階Ｉ′ｉ１ノ１出するカス流の純度を改良し、且
つ非′帛に純粋な富化カス（例えば窒素）の／）の仕様
、Ｉ−；かこのような予めの除去を指定するとき（ｆこ
用いられる。しかしながら之等は不発ｉ１１」の成功し
た運転に対し補助的であり且つ必ぼ［のものではない。

空気は要求されだ吸名゛圧力、例えは７ハール（約７．
１３８に４１０７）　　の圧力で、弁０′と弁２′と６
′又（は弁１１′と１５′を４径由して、酸素を選択的
にふるい分ける為にソーシー１又（（ｉソーシー２に入
れられる。そし、て該洪！、ａ空気・１・１該吸着ゾー
ンを３■ηつで押し進められる。富化された製品窒素カ
ス（ｄ弁１０′又は升１９′　　のいづれかを経由して
夫々ソーシ−１又はソーシー２から排出される。瞬間的
なん化された窒素の流セＩは質゛：１）−かｌ」」に依
り測定され、そして該富イヒされたカス′の酸素含有量
（吐該製品のカス溜めの上流で分析される。富化された
製品窒素カスの流れは製品カス溜めの圧力を一定に保つ
為に該吸着圧力以下の圧力で該製品カス７１イ（めから
Ｊ’ｌｌ出さシ１．る。

−力の吸着ソーツか富化されたカスを発生しているとき
に、他方のソーシは弁３′　又は１２′を経口］して適
用される真空により、再生さねでいる。かくの如く、ソ
ーシ−１が開放さ八た弁Ｏ′、２′、６′と１０′を経
由して窒素を・パ）造している間、ソーシー２は開放さ
れた弁１２を経由して７０トール（７０（転）ＨｆＩ）
乃？１ｐ２５０トール（２５０ｍｍ　Ｈ４？　）の範囲
の真空により再生さ才している。

ｉ：Ｚ、”ｊ−Ａ化された製品窒素カスの酸素含有量の
分析か、望且しくない酸素のレベル例えば１係乃至１０
％よりも大きいレベルに到達した場合には弁０′、２′
、６′と１０′又は弁０′、１１′、１５′と１９′　
　は閉しられる。その時該吸着ゾーンの第一塔（塔Ｃ又
＋ｄ　Ｅ　）は該系からりＪり曲１される（締め切らね
２る）。次いで空気は弁１′と７′又は１′と１６′を
経由して夫々ソーシー１の第二塔（塔Ｄ）又はソーシー
２の第二塔（塔Ｆ）に単独に入る。この塔から排出袋れ
る薄いカスは升９′、１４′と１５′又は升１８′、５
′と６′のいずれかを辿ってソーシー２又に、ソーシー
１の入口９１１．１に流される。

この薄いカスは該吸着圧の７０％乃至１２０％、好捷し
くけ８０％乃至１０５％の範！Ｌ［１迄、他方のソーシ
を加圧する為に用いられる。この段階の後に、該ソーシ
は時間遅れｊ／（より、減圧することを許容される。・
該圧力ｉ＋イ下（、ｄ炭素分子ふるいによる該カス分子
のあるものの自然吸着に依り起る。一般にこの圧力降丁
（ｄ約２乃至６０秒の間に起る。この時間の間１（Ｃ１
該第−吸着ソーツの切りｙｔＬさｉｚだ塔は弁４′　又
は１３′を通って通気烙れることにより、大気圧に戻さ
れる。再加圧段階か完了すると、該吸着ソーシの第二塔
（即ち塔り又は塔Ｆ　）　ｉｄ弁６′又は弁１５′を経
由して向流に減圧される。そして予め通気され且つ切り
阿された塔（即ち塔Ｃ又は塔Ｅ）は該ソーシの第二塔か
らの残留カスでパージされる。該時間遅れのＩ程の間に
減圧した吸着ソーツは合弁０′と弁１１′、１５′又は
升２’、６’のいづれかを経由して、１」（鎗カスを受
は入れる。そして富化きれた吸品カスは弁１９′又は１
０′　　を経由して放出される。一方の吸着ソーツか富
化された窒素カスを製造している間、他方の吸着ソーツ
は弁３′又（は弁１２′を経由して７０トール（７０＋
ｎｍ　Ｈ９）　　乃至２５０トール（２５０祁ｒｕ）　
　の範囲の真空の適用に依り再生されている。該サイク
ルは、第二吸着ソーシからの′富化された製品カスの酸
素含有量が予め定めら才した望−ましくないレベルに再
ひ到着する時に繰り返さ才しる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこ＼に述へる新しい再加圧工程に使用しイ！Ｉ
る単−塔の吸着ソーツの装置の略図である。 第２図はこ＼に述べられている新しい再肋口圧工程に使
用し得る２対の塔の吸着ゾーンの装置の略図である。 〔主要部分の符号の説明〕 第１吸着ンーン・・Ａ又はＣ，Ｄ 第２吸着ンーン・・・Ｂ又はＥ、　Ｆ 出　願　人　：　カルコン　力一ホン コーポレーション

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　予め定められノＣ純度の富化されたカスの流れを製
   造する為の吸着工程で、そのシーケンスの段階か （ａ）　　３．０バール（約３．０５９　Ｋ９／ｃｕｔ
   　）から８０バール（約８．１５８　Ｋｙ、／ｃｎｉ　
   ）　寸での範囲から選択された吸着圧力に於て、富化さ
   れたカスを生産する為に、炭素分子ふるいの１つの塔よ
   り成る第一の吸着ゾーンを通ってカス混合物を通過さぜ
   且つ１）１」記音化されたカスを製品カス溜めに通、過
   さぜること。 （ｂ）　　前記富化されたカスの純度か、ｒ”４’ｌＪ
   記予め定められた純度板′Ｆ１％から１０％丈下るとき
   、それにより薄いカスとなり、前記吸着圧力の約７０俤
   乃至１２０％の範囲で、炭素分子ふるいの１塔より成る
   第二吸着ゾーンを加圧する為に、薊記第−吸着ソーンの
   出口端から前記第二吸着ゾーンの入１」ψ１′品に前記
   薄いカスを通過させ、その後に前記薄いカスの流れを停
   止し、そ（〜て前記第一吸着ゾーンを切り離すこと。 （ｃ）　　ｎｉｉ記切り離された第一吸着ゾーンを、そ
   の人１コ、鮨１を通って大気に１１随的に通気する間、
   時間遅れ工程により前記第二吸り１ｑンーンか減圧する
   ことを許容すること。 （ｄ）　　その後に、７０トール（７０ｍｍＨ９）から
   ２５０トール（２５０ｍｍＨ？）ｔでの範囲で前記笛−
   ゾーンの入口端に真空を適用することに依り、前記切す
   離され且つ通気された第一吸着ゾーンを再生する間・富
   化されたツ〕スを生産する為に、該吸着圧力に於て、前
   記加圧された第二吸着ゾーンを通って前記混合カスを通
   過させること。 （ｅ）　　該富化されたカスの品質か、前記予め定めら
   れた純度以上１％乃至１０％に’＋グ純度に於て減退す
   るときには、該サイクルを繰り返すこと、即ち前記第二
   ソーツを前記第一ソーツの如く扱うこと。 より成ることを特徴とする吸着エオゲ。 ２　予め定めらｆｌ、／ζ純度の富化されたカスの流れ
   を製造する為の吸着工程でそのシーケンスの段階が、 （ａ）　　３．０バール（約３．０５９　ＫＶ／ａ４　
   ）から８０バール（約８１５８にり／ｃｒｊ　）　ｉで
   の１１ｉｌ：、！Ｉから選択され／−吸着圧力（て於て
   、）・；）化さ第１だカスを生産する為（ボ、的夕１」
   に配列で゛くジした最初の塔と最後の塔」：すＩＪｉ＜
   る、第−Ｍ　）凸−ソーツを通ってカス（昆合！１勿を
   ：　、１ｊｌｉ　、ｌ１７．）させること。 （ｂ）　　前記富化さフｔだカスの糾ルか＋ｉｉＪ記予
   め定めしれん純度以Ｆ１％か１つ１０％丈トーるとき、
   前記第一吸着ソーツの最後の塔を′１！ｂって該カス混
   合物を単独に通Ｍ・：４させ、それにより薄いカスを製
   造し、且つ前記吸着圧力の約７０％乃至１２０％の範囲
   に於て、直列に配列された炭素分子ふるいの最初の塔と
   最後の塔より成る第二吸着ソーツを加圧する為に、削記
   第−吸着ソーンの出口端から、前記第二吸着ソーツの入
   （コ瑞に前記薄いカスを通過きせ、前記ｒ：’ｊいカス
   流を停＋１．しそしてその後に前記第一吸着ソーツの前
   記最初の吸着塔を１刀りシ［１ずこと、。 （ｃ）　　時間遅れ二「枯１により前記第二吸着ソーツ
   が減圧することを許容し、同時に前記第一吸着ソーツの
   前記最初の塔を、その人１」Ｍｉｉ？、を辿つて大気圧
   捷でｔｌ随的に通気し、そして前記第一吸着ソーツの最
   後の塔を自流（（通気し、そして前記第一吸着ソーツの
   該予め通気され且つ切り固（され／こ最初の塔を自流に
   パーンする為に前記通気カスを使用すること。 （ｄ）　　その後に、７０トール（７０ｍｍＨ！？）乃
   至２５０トール（２５０，ＩＩｍＨ９）の範囲、で前記
   第一ソーツの入口シ；１いに真空を適用することにより
   、前記第一吸着ソーツを再生ずる間、ホ化さオしたカス
   を生産する為に該吸着圧力にて、ｉｌ」記第二吸着ゾー
   ンを辿って前記カス混合物を通過させること。 （ｅ）　　該富化カスの純度か、前記予め定めら凡た純
   度以Ｆ１％乃至１０％なづ下るとき、該サイクルを繰り
   返すこと、即ち前記第二ソーツを前記第一ソーツの如く
   扱うこと３３ より成ることを特徴とする吸ス゛ｆ王Ａｈ゛。。 ３　特酌計」求の範１ノｉｉ第］項のす（（着工４■１
   て、その中で該カス混合物か空気であり且つ該ふ化され
   たカスが９０％から９９％の窒素であるもの。 ４、　特許Ｆ’Ｓ求の範囲第−項又は第二項の吸着工程
   で、その中て該薄いカスが、該吸着圧力の釣１０５％迄
   該第二吸着ソーンを加圧することを許されるもの。 ５、特ｄ（−請求の９１［囲第−項又は第二項の吸着口
   ［程で、その中で前記予め定められた純度の５％ＩＪ、
   ［の純度の徳化され、たカスが薄いカスであるも力。