JPS59142002U - ライン用超純水中微粒子測定装置 - Google Patents
ライン用超純水中微粒子測定装置Info
- Publication number
- JPS59142002U JPS59142002U JP3533083U JP3533083U JPS59142002U JP S59142002 U JPS59142002 U JP S59142002U JP 3533083 U JP3533083 U JP 3533083U JP 3533083 U JP3533083 U JP 3533083U JP S59142002 U JPS59142002 U JP S59142002U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- line
- measuring device
- particle measuring
- water particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の実施例を示す図である。
１・・・超純水取出し口、２・・・連結パイプ、３・・
・水圧調節装置、４・・・連結パイプ、５・・・加圧式
濾過装置、６・・・連結パイプ、７・・・流量計、８・
・・排出口、９・・・コード、１０・・・マイコン又は
記録計。
・水圧調節装置、４・・・連結パイプ、５・・・加圧式
濾過装置、６・・・連結パイプ、７・・・流量計、８・
・・排出口、９・・・コード、１０・・・マイコン又は
記録計。
Claims (1)
- 均一孔径をもち一定圧力に対して同一濾過量の得られる
メンブレンフィルターを炉材とする加圧式濾過装置と前
記濾過装置の超純水流入口に接続する水圧調節装置と前
記濾過装置の濾過超純水流出口に接続する流量計とから
なることを特徴とするライン用超純水中微粒子測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3533083U JPS59142002U (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | ライン用超純水中微粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3533083U JPS59142002U (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | ライン用超純水中微粒子測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59142002U true JPS59142002U (ja) | 1984-09-22 |
Family
ID=30166027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3533083U Pending JPS59142002U (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | ライン用超純水中微粒子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59142002U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103797A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-09 | Yoshimi Shinohara | Measuring method and apparatus for suspended matter in water |
| JPS5535250A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Turbidimeter |
| JPS56160638A (en) * | 1980-03-10 | 1981-12-10 | Kondoukuta G Fuyua Mesuu Unto | Method of and apparatus for measuring coroidal components or coroidal index in liquid |
-
1983
- 1983-03-11 JP JP3533083U patent/JPS59142002U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103797A (en) * | 1977-02-23 | 1978-09-09 | Yoshimi Shinohara | Measuring method and apparatus for suspended matter in water |
| JPS5535250A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Turbidimeter |
| JPS56160638A (en) * | 1980-03-10 | 1981-12-10 | Kondoukuta G Fuyua Mesuu Unto | Method of and apparatus for measuring coroidal components or coroidal index in liquid |
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