JPS59135699A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Publication number
JPS59135699A
JPS59135699A JP58007267A JP726783A JPS59135699A JP S59135699 A JPS59135699 A JP S59135699A JP 58007267 A JP58007267 A JP 58007267A JP 726783 A JP726783 A JP 726783A JP S59135699 A JPS59135699 A JP S59135699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
dummy
external terminal
level
output
Prior art date
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Pending
Application number
JP58007267A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Mochizuki
望月 正良
Michio Fujimoto
藤本 道夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Microcomputer System Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Microcomputer Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Microcomputer Engineering Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP58007267A priority Critical patent/JPS59135699A/en
Publication of JPS59135699A publication Critical patent/JPS59135699A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain an inexpensive programmable ROM impossible for rewrite with large storage capacity by using an FAMOS transistor (TR) and omitting its erasing function, in other words, using a plastic package or the like not having an erasing window. CONSTITUTION:An MOSFETQ1 is turned on by applying a high write voltage of about 24V to an external terminal Vpp. Thus, a high voltage of about 10V is applied to a drain of an MOSFETQ2. A normal write operation control signal is applied in this state and an output of an inverter IV1 shown in Fig. 2 goes to a low level by applying a high level signal of about 8V to an external terminal A1, an MOSFETQ4 is turned off and since an output of an inverter IV2 goes to a high level, an MOSFETQ10 is turned off by the low level of a gate control signal -we. Thus, a write selecting signal from a depletion type MOSFETQ15 is applied to a dummy word line DW.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体記憶装置に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a semiconductor memory device.

従来より、FAMO3(フローティングゲート・アバラ
ンシェインジェクション・絶縁ゲート電界効果トランジ
スタ)を記憶素子(メモリセル)とするEPROM装置
が公知である。このEPROM装置では、紫外線等を照
射することkこよって、その記憶情報の消去を行うこと
ができる。したがって、上記消去動作を行うことによっ
て情報の書き換えを行うことができる。この消去動作の
ために、従来のEPROM装置のパンケージには、消去
用窓が形成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an EPROM device using a FAMO3 (floating gate avalanche injection insulated gate field effect transistor) as a storage element (memory cell) has been known. In this EPROM device, the stored information can be erased by irradiating it with ultraviolet rays or the like. Therefore, information can be rewritten by performing the above erasing operation. For this erasing operation, an erasing window is formed in the pancage of a conventional EPROM device.

ところで、本願発明者は、上記FAMO3I−ランジス
タを用い、その消去機能を省略して、言い換えれば、消
去窓を設けないプラスティソクバソケージ等を用いるこ
とにより、安価で大記憶容量化が図られる書き換え不能
なプログラマブルROMを得ることを考えた。
By the way, the inventor of the present application has realized that by using the above-mentioned FAMO3I-transistor and omitting its erasing function, in other words, by using a plastic cage or the like that does not have an erasing window, a large storage capacity can be achieved at low cost. I thought of obtaining a programmable ROM that cannot be rewritten.

上記構成の記憶装置では、半導体ウェハ上で完成された
時点では、その消去を行うことができるからブロービン
グによって、その書込み試験を行うことができる。しか
し、パッケージングをした後の書込み試験は、その消去
が不能であり破壊型の試験となってしまう。したがって
、書込み試験を行うことができないので、市場における
歩留りが悪くなってしまうという問題の生じることが判
明した。
In the memory device having the above configuration, when it is completed on a semiconductor wafer, it can be erased, so a write test can be performed by blobbing. However, the writing test after packaging cannot be erased and becomes a destructive test. Therefore, it has been found that a problem arises in that a write test cannot be performed, resulting in a poor yield in the market.

この発明の目的は、大記憶容量化及び低価格化を図りつ
つ、その信頼性を高めた半導体記憶装置を提供すること
にある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that has a large storage capacity and a low price, while improving its reliability.

この発明の他の目的は、以下の説明及び図面から明らか
になるであろう。
Other objects of the invention will become apparent from the following description and drawings.

以下、この発明を実施例とともに詳細に説明する。Hereinafter, this invention will be explained in detail together with examples.

図面には、この発明の一実施例のブロック図が示されて
いる。
A block diagram of an embodiment of the invention is shown in the drawings.

この実施例の半導体記憶装置は、その全体、すなわち図
面において、各回路ブロックは、公知のMO3(金属−
絶縁物一半導体)集積回路技術によって1つの半導体築
積回路装置として構成される。
In the semiconductor memory device of this embodiment, in its entirety, that is, in the drawing, each circuit block is a well-known MO3 (metallic)
It is constructed as a single semiconductor integrated circuit device using insulator-semiconductor (insulator-semiconductor) integrated circuit technology.

この半導体記憶装置には、外部端子A1〜An。This semiconductor memory device has external terminals A1 to An.

Vcc、GND、Ilo、Vpp、PRG、OB及び面
が設けられている。
Vcc, GND, Ilo, Vpp, PRG, OB and plane are provided.

外部端子A1〜Anにはアドレス信号が供給され、Vc
cには+5Vのような電源電圧が供給される。外部端子
I10にはデータ書込み時に図示しない書込み装置から
データ信号が供給され、読み出し時にはデータが出力さ
れる。外部端子Vpl)にはデータ書込み時において+
25Vのような高電圧が供給され、読み出し時にば0又
は5Vのような比較的低電位にされる。外部端子PRG
、OR及び面には、それぞれプログラム制御信号、アウ
トプットイネーブル信号及びチップイネーブル信号が供
給される。
Address signals are supplied to external terminals A1 to An, and Vc
A power supply voltage such as +5V is supplied to c. A data signal is supplied from a writing device (not shown) to the external terminal I10 during data writing, and data is output during reading. + when writing data to the external terminal Vpl).
A high voltage such as 25V is supplied, and a relatively low potential such as 0 or 5V is applied during reading. External terminal PRG
, OR, and planes are supplied with a program control signal, an output enable signal, and a chip enable signal, respectively.

同図において、X−ADBは、Xアドレスバッファであ
り、外部端子A1−八8からのアドレス信号を受けるこ
とによって、Xデコーダ回路X−DCHに供給するため
の内部相補アドレス信号11〜18を形成する。特に制
限されないが、XアドレスバッファX−ADBは、その
動作が制御回路C0NTから供給される制御信号Ce及
び富によって制御される。この制御信号ce及び璽がそ
れぞれハイレベル及びロウレベルにされたときにのみX
アドレスバッファX−ADBが動作状態とされ、内部相
補アドレス信号11〜工8を形成する。上記制御信号c
e及び乙がそれぞれロウレベル及びハイレベルにされた
ときにXアドレスバッファX−ADHが非動作状態にさ
れる。
In the figure, X-ADB is an X address buffer, which forms internal complementary address signals 11 to 18 to be supplied to the X decoder circuit X-DCH by receiving address signals from external terminals A1-88. do. Although not particularly limited, the operation of the X address buffer X-ADB is controlled by the control signal Ce and signal supplied from the control circuit C0NT. Only when the control signal ce and the seal are set to high level and low level, respectively,
Address buffer X-ADB is activated and forms internal complementary address signals 11-8. The above control signal c
The X address buffer X-ADH is rendered inactive when e and O are set to low level and high level, respectively.

Xデコーダ回路X−DCRは、内部相補アドレス信号信
号主1〜18を受けることによって、メモリアレイMA
RYのワード線W1ないしW256を選択するためのワ
ード線選択信号を形成する。
The X-decoder circuit X-DCR receives internal complementary address signals 1 to 18 to
A word line selection signal for selecting word lines W1 to W256 of RY is formed.

なお、書込み動作では、制御回路C0NTからの約21
V程度の高電圧Vl)p’ によって高レベルのワード
線選択信号を形成する。
In addition, in the write operation, about 21
A high-level word line selection signal is formed by a high voltage Vl)p' of about V.

メモリアレイMARYは、マトリックス状に配置された
複数のFAMO3)ランジスタF1〜F256”ワード
線W1〜W256及びディジット線D1〜Dnから構成
されている。
The memory array MARY is composed of a plurality of FAMO transistors F1 to F256, word lines W1 to W256, and digit lines D1 to Dn arranged in a matrix.

メモリアレイMARYにおいて、同じ行に配置されたF
AMOSトランジスタFのコントロールゲートは、それ
ぞれ対応するワード線W1〜W256に共通に接続され
、同じ列に配置されたFAMost・ランジスタFのド
レインは、それぞれ対応するディジット線D1〜Dnに
共通に接続されている。
In memory array MARY, F arranged in the same row
The control gates of the AMOS transistors F are commonly connected to the corresponding word lines W1 to W256, and the drains of the FAMost transistors F arranged in the same column are commonly connected to the corresponding digit lines D1 to Dn, respectively. There is.

この実施例では、特に制限されないが、互いに隣合う行
に配置されFAMO3)ランジスタFのソースは、共通
の半導体領域により一体的に形成されることによって、
共通のソース線SLを構成し、回路の接地電位との間に
その行のワード線の電圧を受けるスイッチMO3FET
SI〜5256が設けられる。これらのMO3FETS
 1−3256は、ワード線が選択されたものだけがオ
フ状態になり、その選択された行における書込み時のリ
ーク電流を小さくするとともに、非選択の行の同様なM
OS F ETがオフ状態となってリーク電流の発生を
防止する。
In this embodiment, although not particularly limited, the sources of the FAMO transistors F arranged in adjacent rows are integrally formed by a common semiconductor region.
A switch MO3FET that constitutes a common source line SL and receives the voltage of the word line of the row between it and the circuit ground potential.
SI~5256 is provided. These MO3FETS
1-3256, only the selected word line is turned off, reducing the leakage current during writing in the selected row, and also reducing the leakage current in the unselected row.
The OS FET is turned off to prevent leakage current from occurring.

Y−ADBは、Yアドレスバッファであり、外部端子A
9〜Anからのアドレス信号を受けることによって、Y
デコーダ回路Y−DCRに供給するための内部相補アド
レス信号19〜anを形成する。内部相補アドレス信号
a9〜anを受けるYデコーダ回路Y−DCRは、カラ
ムスイッチ回l?8cswに供給するための選択信号、
例えばCS1〜C532を形成する。
Y-ADB is a Y address buffer, and external terminal A
By receiving address signals from 9 to An, Y
Internal complementary address signals 19-an to be supplied to the decoder circuit Y-DCR are formed. The Y-decoder circuit Y-DCR receiving internal complementary address signals a9 to an has a column switch circuit l? a selection signal for supplying to 8csw;
For example, CS1 to C532 are formed.

カラムスイッチ回路C8Wば、Yデコーダ回路Y−DC
Rから供給された選択信号CSt〜C532に対応した
ディジット線をコモンディジット線CDに結合させる。
Column switch circuit C8W, Y decoder circuit Y-DC
Digit lines corresponding to selection signals CSt to C532 supplied from R are coupled to common digit line CD.

特に制限されないが、この実施例では、ディジット線の
本数は32本とされ、この32本のディジット線に対し
て上記コモンディジット線CDが設けられている。
Although not particularly limited, in this embodiment, the number of digit lines is 32, and the common digit line CD is provided for these 32 digit lines.

このコモンディシソ1−線CDは、それぞれ対応する読
み出し/書込み回路R/Wに結合されている。そして、
入出力バッファBを介して入出力端子I10に接続され
る。
The common deciso 1-lines CD are coupled to respective corresponding read/write circuits R/W. and,
It is connected to the input/output terminal I10 via the input/output buffer B.

制御信号weがハイレベルなら、読み出し/書込み回路
R/Wは、書込み動作状態にされ、人出カバソファB′
;4c通して人力されたデータ信号と対応する書込み信
号がコモンディジット線CDに伝えられる。
If the control signal we is at a high level, the read/write circuit R/W is put into a write operation state, and the cover sofa B'
4c, the manually inputted data signal and the corresponding write signal are transmitted to the common digit line CD.

制御信号weがロウレベルなら、読み出し/N込み回路
R/Wは、読み出し動作状態にされ、コモンディジット
線CDに読め出された信号を増幅して入出力バッファB
に伝え外部端子I10から送出する。
When the control signal we is at a low level, the read/N input circuit R/W is put into a read operation state, amplifies the signal read out to the common digit line CD, and sends it to the input/output buffer B.
and sends it out from the external terminal I10.

この実施例では、パソケ・−ジング後の書込み試験を行
うため、ダミーアレイDXAR,DYARが設けられい
てる。ダミーアレイD X A、 Rは、特に制限され
ないが、1つの行を構成するスイッチMO5FETDS
とFAMO3I−ランジスタDF〜DF’ により構成
され、タミーワード線DWにそのゲート及びコントロー
ルゲートが共通接続されている。また、ダミーアレイD
YARは、特に制限されないが、1つの列を構成するF
AMOSトランジスタDF1ないしDF256によって
構成される。
In this embodiment, dummy arrays DXAR and DYAR are provided to perform a write test after parsing. The dummy array D
and FAMO3I transistors DF to DF', and their gates and control gates are commonly connected to the tammy word line DW. Also, dummy array D
YAR is not particularly limited to F
It is composed of AMOS transistors DF1 to DF256.

そして、上記ダミーアレイDXAR,DYARを選択す
るため、次の回路が設けられる。
The following circuit is provided to select the dummy arrays DXAR and DYAR.

特に制限されないが、外部端子AIからの信号を受ける
第1のレベル検出回路LVXと、外部端子A9からの信
号を受ける第2のレベル検出回路LVYが設けられる。
Although not particularly limited, a first level detection circuit LVX that receives a signal from the external terminal AI and a second level detection circuit LVY that receives a signal from the external terminal A9 are provided.

これらのレベル検出回路LVX、LVYは、例えば電源
電圧Vcc以上の約6■の高レベルをそれぞれ検出する
。この検出出力は、一方で一ヒ記ダミーワード線DW、
ダミーディジット線DDを選択する選択回路DXS、D
O3にそれぞれ伝えられ、その選択を行う。また、上記
検出出力は、他方において上記XアドレスデコーダX−
DCR,YアドレスデコーダY−DCRをそれぞれ非動
作状態にする。
These level detection circuits LVX and LVY each detect, for example, a high level of approximately 6 cm higher than the power supply voltage Vcc. This detection output is, on the other hand, a dummy word line DW,
Selection circuit DXS, D for selecting dummy digit line DD
Each O3 is informed and makes its selection. Further, the above detection output is transmitted from the above X address decoder X- on the other hand.
DCR and Y-address decoder Y-DCR are respectively rendered inactive.

第2図には、上記ダミーアレイDXARを選択するため
の各回路の一実施例の回路図が示されている。
FIG. 2 shows a circuit diagram of an embodiment of each circuit for selecting the dummy array DXAR.

レベル検出回路LVXは、次の各回路素子により構成さ
れる。外部端子AIの信号は、MO3FETQ2のゲー
トに印加される。このMO3FETQ2のドレインと高
電源電圧vppとの間には、高しきい値電圧のMO3F
ETQ1が設けられている。このMO5FETQIは、
そのゲート糸色縁膜がフィード絶縁膜によって形成され
、約15Vの高しきい値電圧を持つようにされる。」二
記MO3FETQ2のソースには、分圧抵抗R1,R2
の一端が接続され、その他端に制御信号ceを受けるM
O3FETQ3を介して接地電位が与えられる。上記分
圧抵抗R1,R2の分圧出力は、インバータIVIに入
力される。
The level detection circuit LVX is composed of the following circuit elements. The signal at external terminal AI is applied to the gate of MO3FETQ2. A MO3F with a high threshold voltage is connected between the drain of this MO3FETQ2 and the high power supply voltage vpp.
ETQ1 is provided. This MO5FETQI is
The gate edge film is formed by the feed insulating film and has a high threshold voltage of about 15V. ”The source of MO3FETQ2 has voltage dividing resistors R1 and R2.
M is connected at one end and receives control signal ce at the other end.
A ground potential is applied via O3FETQ3. The divided voltage outputs of the voltage dividing resistors R1 and R2 are input to the inverter IVI.

例えば、上記外部端子に8■程度の高信号レベルを供給
した時、上記分圧出力が上記インバータrv1のロジン
クスレッシルド電圧より高くなり、通常の論理ハイレベ
ル(5■)を供給した時、上記分圧出力が上記インバー
タIVIOロジンクスレソショルド電圧より低くなるよ
うに上記抵抗R1、R2の抵抗比が設定される。
For example, when a high signal level of about 8■ is supplied to the external terminal, the divided voltage output becomes higher than the rosin threshold voltage of the inverter rv1, and when a normal logic high level (5■) is supplied, The resistance ratio of the resistors R1 and R2 is set so that the divided voltage output is lower than the inverter IVIO logic threshold voltage.

また、ダミーワード線選択回路は、次の各回路素子によ
って構成される。上記インバータIVIの出力は、MO
3FETQ4のゲートに伝えられ、そのドレインには、
インバータIV2を通した反転信号が供給される。そし
て、このMO3FETQ4のドレインとダミーワード線
DWとの間には、制御信号宜を受けるディプレッション
型MO3FETQI Oが設けられる。また、ダミーワ
ード線DWには、約21Vの高電圧vpp”がディプレ
ッション型MO3FETQI 5を介して供給される。
Further, the dummy word line selection circuit is constituted by the following circuit elements. The output of the above inverter IVI is MO
It is transmitted to the gate of 3FETQ4, and its drain is
An inverted signal is supplied through inverter IV2. A depletion type MO3FET QIO that receives a control signal is provided between the drain of this MO3FET Q4 and the dummy word line DW. Further, a high voltage vpp'' of about 21 V is supplied to the dummy word line DW via the depletion type MO3FET QI5.

なお、上記XアドレスデコーダX−DCRは、特に制限
されないが、内部アドレス信号a4〜a8を受ける駆動
MO3FETQ7.Q8と、その共通ドレインに設けら
れたディプレッション型負荷MO3FETQ6とで構成
されたノアゲート回路と、制御信号CGを受けて、上記
ノアゲート回路に電源電圧Vccを供給するパワースイ
ッチMO3FETQ5とで構成された第2段目のアドレ
スデコーダと、アト■/ス信号a1〜a3の3ビツトの
信号に基づいて第1段目のアドレスデコーダ(図示せず
)によって形成された8il¥lりの相補デコード出力
co−c7を受けるMOS F ETとにより構成され
る。これらのMOSFETは、ノアゲート回路の出力を
ワード線W1〜W8に対応した8通り選択信号とする。
Note that the X-address decoder X-DCR includes drive MO3FETs Q7 . Q8, a depletion type load MO3FETQ6 provided on the common drain of the NOR gate circuit, and a power switch MO3FETQ5 that receives the control signal CG and supplies the power supply voltage Vcc to the NOR gate circuit. Complementary decoded output co-c7 of 8il\l is generated by the address decoder of the first stage (not shown) based on the 3-bit signals of the address decoder and the address signals a1 to a3. It is composed of a MOS FET that receives These MOSFETs use the output of the NOR gate circuit as eight selection signals corresponding to word lines W1 to W8.

これらの8通りの選択信号は、上記同様なディプレッシ
ョン型MO3FETQ11〜Q14を介して各ワード線
W1〜w8に伝えられる。また、各ワード線W1〜W8
には、上記同様なディプレッション型MOS F ET
Q 16〜Q19が設けられている。
These eight selection signals are transmitted to each word line W1-w8 via depletion type MO3FETs Q11-Q14 similar to those described above. In addition, each word line W1 to W8
is a depression type MOS FET similar to the above.
Q16 to Q19 are provided.

この実施例では、上記ノアゲート回路に、上記インバー
タIVIの出力を受けるインバータIV3で形成された
反転信号を受ける駆動MO3FETQ9を設て、ダミー
ワード線DW選択時にメモリアレイのワード線選択動作
を禁止する。
In this embodiment, the NOR gate circuit is provided with a drive MO3FETQ9 that receives an inverted signal formed by the inverter IV3 that receives the output of the inverter IVI, and inhibits the word line selection operation of the memory array when selecting the dummy word line DW.

なお、ダミーディジット線DDを選択するための選択回
路DO3及びレベル検出回路LVY並びにYアドレスデ
コーダY−DCRも上記同様な回路によって構成される
Note that the selection circuit DO3 for selecting the dummy digit line DD, the level detection circuit LVY, and the Y address decoder Y-DCR are also constituted by the same circuits as described above.

この実施例の半導体記憶装置は、そのパッケージングに
おいて、特に制限されないが、プラスティック封止等に
より消去機能を持たないようにされる。
Although the packaging of the semiconductor memory device of this embodiment is not particularly limited, it is sealed with plastic or the like so that it does not have an erasing function.

この実施例の半導体記憶装置においては、パッケージン
グ後においても、上記ダミーアレイDXAR,DYAR
を用いて次のように書込み試験を1 行うことができる。
In the semiconductor memory device of this embodiment, even after packaging, the dummy arrays DXAR, DYAR
A writing test can be conducted using the following.

外部端子Vpl)に約25Vの高書込み電圧を供給する
ことによって、上記MO3FETQIがオン状態となる
。したがって、MO3FETQ2のドレインには、約1
0V程度の高電圧が供給されることになる。この状態で
、通常の書込み動作制御信号を供給するとともに、外部
端子A1に約8Vの高レベル信号を供給することによっ
て、第2図のインバータIVIの出力がロウレベルとな
り、MO3FETQ4をオフ状態とすること、及びイン
バータIV2の出力がハイレベルになるため、そのゲー
トの制御信号71−のロウレベルによってMO3FET
QI Oがオフ状態となる。したがって、ダミーワード
線DWには、ディプレッション型MO3FETQ15か
らの書込め用選択信号が供給される。なお、この時、イ
ンバータIV3の出力がハイレベルとなってXアドレス
デコーダX−DCHのMO3FETQ9をオン状態にす
るので、全ワードIJWI〜W256は、ロウレベルの
非選択状態にされる。
By supplying a high write voltage of about 25 V to the external terminal (Vpl), the MO3FETQI is turned on. Therefore, approximately 1
A high voltage of about 0V will be supplied. In this state, by supplying a normal write operation control signal and a high level signal of approximately 8V to external terminal A1, the output of inverter IVI in FIG. 2 becomes low level, turning MO3FET Q4 into an OFF state. , and the output of inverter IV2 becomes high level, so the MO3FET
QI O is turned off. Therefore, the write selection signal from the depletion type MO3FETQ15 is supplied to the dummy word line DW. At this time, the output of the inverter IV3 becomes high level and turns on MO3FETQ9 of the X address decoder X-DCH, so all words IJWI to W256 are set to a low level non-selected state.

2 したがって、任意のディジット線を選択すること及び書
込みデータの設定により、ダミーセルDXARへの書込
みを行うことができる。
2. Therefore, by selecting an arbitrary digit line and setting write data, writing to the dummy cell DXAR can be performed.

また、同様にダミーディジット線DDを選択するこ、!
:によって、ダミーセルDYARへの書込みを行うこと
ができる。
Also, select the dummy digit line DD in the same way!
: allows writing to the dummy cell DYAR.

また、書込み後の読み出し動作においては、上記制御信
号weがハイl/ベルになるのでMO3FETQIOが
オン状態となり、ダミーワー・ド線DWには、インバー
タIV2の出力ハイレベルが供給されるものとなる。
Further, in the read operation after writing, the control signal we goes high/bell, so the MO3FET QIO is turned on, and the high level output of the inverter IV2 is supplied to the dummy word line DW.

さらに、メモリアレイMARYへの書込み動作において
は、外部端子AI、A9の信号ハイレベルけ、5v程度
の論理レベルであることより、インバータIVIの出力
がハイレベルとなり、ダミーワード線DWを選択するこ
とはない。このことはダミーディジット線DDについて
も同様である。
Furthermore, in the write operation to the memory array MARY, since the signals at the external terminals AI and A9 are at a high level and the logic level is about 5V, the output of the inverter IVI becomes a high level, and the dummy word line DW is selected. There isn't. This also applies to dummy digit line DD.

この実施例では、パッケージング後の書込み試験を行う
ことができるので、その信頼性を高くすることができる
。また、その書込み試験において、3値レベルを用いて
動作モードの区別を行うものであるので、外部端子を増
やすこともない。さらに、MO8築積回路によって構成
されているので、大記憶容量、低消費電力化及び低価格
化を図ることができる。
In this embodiment, since a write test can be performed after packaging, the reliability can be increased. Furthermore, in the write test, the operation modes are distinguished using three-value levels, so there is no need to increase the number of external terminals. Furthermore, since it is configured with an MO8 built-in circuit, it is possible to achieve a large storage capacity, low power consumption, and low cost.

この発明は、前記実施例に限定されない。The invention is not limited to the above embodiments.

上記3値レヘルは、例えばディプレッション型MO3F
ETを用いることにより負の電圧を検出するもの等積々
の実施形態を採ることができるものである。そして、上
記3値レベルを人力する外部端子は、上述のように通常
の動作に影響を及ぼすことのない端子であればなんであ
ってもよい。
The above three-level level is, for example, depression type MO3F.
Numerous embodiments can be adopted, such as one in which negative voltage is detected by using ET. The external terminal for manually inputting the three-value levels may be any terminal as long as it does not affect the normal operation as described above.

また、外部端子数に余裕がある場合には、上記ダミーア
レイに切り換える制御端子を追加するものであってもよ
い。
Furthermore, if the number of external terminals is sufficient, a control terminal for switching to the dummy array may be added.

また、×nビット構成の半導体記憶装置を構成する場合
には、上記メモリアレイ及びダミーアレイ並びに読み出
し/書込み回路、入出力回路をn組設けるものとすれば
よい。
Further, when configuring a semiconductor memory device having a ×n bit configuration, n sets of the above-mentioned memory array, dummy array, read/write circuit, and input/output circuit may be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

5 第1図は、この発明の一実施例を示すブロフク図、 第2図は、その具体的一実施例を示す回路図である。 MARY・・メモリアレイ、X−ADB・・Xアドレス
バッファ、Y−ADB・・Yアドレスバッファ、X−D
CR・・Xデコーダ回路、Y−DCR・・Yデコーダ回
路、C8W・・カラムスイッチ回路、R/W・・読み出
し/書込み回路、B・・人出カバソファ、C0NT・・
制御回路、DXAR,DYAR・・ダミーアレイ、LV
X、LVY・・レベル検出回路、DXS・・ダミーワー
ド線選択回路、DC3・−ダミーディジット線選択回路 6
5. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a circuit diagram showing a specific embodiment thereof. MARY...Memory array, X-ADB...X address buffer, Y-ADB...Y address buffer, X-D
CR...X decoder circuit, Y-DCR...Y decoder circuit, C8W...column switch circuit, R/W...read/write circuit, B...population cover sofa, C0NT...
Control circuit, DXAR, DYAR...dummy array, LV
X, LVY: level detection circuit, DXS: dummy word line selection circuit, DC3: -dummy digit line selection circuit 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 ■、メモリセルがFAMO3I−ランジスタで構成され
たメモリアレイ及びダミーアレイと、上記メモリアレイ
のメモリセルを選択するメモリセル選択回路と、上記ダ
ミーアレイのダミーセルを選択するダミーセル選択回路
と、その外部端子のレベルを検出して、上記メモリセル
選択回路又はダミーセル選択回路を選択的に動作させる
レベル検出回路とを含み、消去不能なパッケージで封止
されるものであることを特徴とする半導体記憶装置。 2、外部端子は、アドレス信号端子であり、上記ダミー
セル選択回路を動作状態とする入力レベルは、論理ハイ
レベル以上の高レベルであることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の半導体記憶装置。
[Claims] (1) A memory array and a dummy array whose memory cells are composed of FAMO3I transistors, a memory cell selection circuit that selects a memory cell of the memory array, and a dummy cell selection circuit that selects a dummy cell of the dummy array. It is characterized by comprising a circuit and a level detection circuit that detects the level of its external terminal and selectively operates the memory cell selection circuit or the dummy cell selection circuit, and is sealed in a non-erasable package. A semiconductor storage device. 2. The semiconductor memory according to claim 1, wherein the external terminal is an address signal terminal, and the input level for activating the dummy cell selection circuit is a high level higher than a logic high level. Device.
JP58007267A 1983-01-21 1983-01-21 Semiconductor storage device Pending JPS59135699A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6267798A (en) * 1985-09-20 1987-03-27 Hitachi Micro Comput Eng Ltd Semiconductor integrated circuit device
JPH0574260A (en) * 1991-07-26 1993-03-26 Seikosha Co Ltd Manufacture of sheet-shape switch
US7815456B2 (en) 2008-12-22 2010-10-19 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Semiconductor device socket

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