JPS59133421A - 容量式変換器 - Google Patents

容量式変換器

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JPS59133421A
JPS59133421A JP791083A JP791083A JPS59133421A JP S59133421 A JPS59133421 A JP S59133421A JP 791083 A JP791083 A JP 791083A JP 791083 A JP791083 A JP 791083A JP S59133421 A JPS59133421 A JP S59133421A
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JP
Japan
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pulse width
width signal
set voltage
switch
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP791083A
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English (en)
Inventor
Terutaka Hirata
平田 輝孝
Masahiro Ogawa
雅弘 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Hokushin Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPS59133421A publication Critical patent/JPS59133421A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧力、差圧等の被測定量に応じて可動電極が
変位し容量が差動的に変化する一対のコンデンサを用い
た容量式変換器に関する。
一般に容量式変換器においては、一対の可変コンデンサ
に並列に存在するストレイ容量の影響を受けて直線性が
悪い欠点があった。また差圧変換器や圧力変換器のよう
に可動電極が被測定量に応じて変位する金属ダイヤフラ
ムの場合には、被測定量と容量との関係が双曲線で表わ
せるものが多く、センナ部にも非直線性があった。
本発明は、被測定量に応じて容量が差動的に変化する一
対の可変コンデンサを用い、一対の可変コンデンサの一
方の容量に応じたデユティレシオの第1のパルス幅信号
と他方の容量に応じたデユティレシオの第2のパルス幅
信号およびデユティレシオが一定な第5のパルス幅信号
を得、第1のパルス幅信号と第2のパルス幅信号のデユ
ティレシオの差と設定電圧との積に関連した出力電圧を
得るとともに、第1.第2のパルス幅信号のデ。
ティレシオの和と前記設定電圧との積に関連した電流と
、第5のパルス幅信号のデユティレシオと前記設定電圧
との積に関連した電流との差が一定になるように前記設
定電圧を制御することによって、上述の如き非直線性を
有効に補償できる容量式変換器を実現したものである。
第1図は本発明変換器の一実施例を示す接続図である。
図において、C1,C2は一対の可変コンデンサで、差
圧等の被測定量に応じて変位する可動電極10とこの可
動電極10に対向配置されている固定電極u、12とで
構成されている。らは容量が一定な基準コンデンサであ
る。Clpは容量パルス幅変換回路で、一対の可変コン
デンサC1,C2と基準コンデンサC3の容量を検出し
、C□、 C2,C3の容量にそれぞれ応じたデユティ
レシオのパルス幅信号pw1. pw2. pw3を出
力するものである。
Clpの具体的な構成の一例を第5図および第5図に示
す。第5図において、5w11.5w12.5w13は
それぞれコンデンサC1,C2,C3に並列に接続され
た電界効果トランジスタ等のスイッチ、pGは周期Tお
よびパルス幌上6が一定外パルスPcを出力するパルス
発生器、BAl、 BA2. BA、は各々パ、ファア
ンプ、CPl、 CF2. cpsは各々コンパレータ
、G1.G2.G3紘各々ノアゲートである。5w11
. sw□2,5W13はPGからの第4図0)に示す
如き一定周期Tで一定パルス幅t8のパルスPcによっ
て同時に駆動され、tsの期間オンになる。オンになる
とC□、C2,C3に充電されていた電荷が放電し、オ
フになると抵抗R11’ R1□。
R13を介して直流電源Vaよシの電流でC1,C2,
C3が充電される。その結果C□、 C2,C3の充電
電圧Vc1 、 VO2,VO3は第4図(ロ)に示す
ようになる。コンパレータcp1. cp2. cps
でBAl、 BA2. BA3を介して与えられるVc
l、 VO2,VO3を監視し、Vcll VC2+ 
VO2が一定値■に達するとcp□、CF2. CF2
の出力が第4図(−う、に)、に)に示すように反転す
る。Vcl、 VO2,VO3が■に達するまでの時間
すなわちC工、 C2,C3が充電されている時間をt
t+ t2+ tsとすると、ノアゲして、tl、t2
.tsは抵抗R□□、 R1□、R□3の値を、R11
”R12”R13” Rとすると、(5) t1獅kC1(1) t2■kC2(2) ts−kC3(5) ただし、k=−RLn (1−Th/Va )で与えら
れるので、pwl、 PN2. PN3のデユティレシ
オはそれぞれC1,C2,C3の容量に応じたものとな
るO 第5図の容量パルス幅変換回路Clpは、コンパレータ
CP2の出力でセットされ、コンパレータCp1の出力
でリセットされる7リツグ70ツ1FF  を用い、 
FF  の出力QでスイッチSW□2を駆動1    
      1 し、FF1の出力dでスイッチ8W11を駆動すること
により、一対のコンデンサCx−C2が第6図(ハ)、
(ロ)に示すように充放電を繰シ返して自励振動するよ
うにしたものである。自励振動の周期’rtic1が充
電されている時間t工とC2が充電されている時間ちと
の和(■t□+t2) k ” D −FFIの出力Q
には第6は第6図に)K示す如I C2の容量に応じた
デユティ(4) レフオー堵−のパルス幅信号PW2が生ずる。一方コン
パレータCP2の出力でセットされ、コンパレータCp
3の出力でリセットされるフリップ70.プFF2の出
力4でスイッチ5W13を駆動し、コンデンサC3を第
6図(ホ)に示す如く充放電させ、FF2の出pW3を
得るようにしたものである。
再び第1図において、swl、 sw2. sw3. 
sw4. sw、は各々スイッチで、  SWlと8W
3はパルス幅信号pW1で、sw2とsw4はパルス幅
信号PW2で、sw5はパルス幅信号PW3でそれぞれ
駆動され、sw2. sw3゜8W4は設定電圧Vrを
それぞれオンオフし、SWlとsw5は設定電圧Vrを
各々反転増幅器IA1. MA2で反転した電圧−Vr
をオンオフするものである。なおスイッチSW□〜SW
5としても電界効果トランジスタ等の電子スイッチが好
適である。FCは演算増幅器Op工を用いたフィルタ回
路で、抵抗R□を介して加えられるSWlでオンオフさ
れた電圧と抵抗R2を介して加えられるsw2でオンオ
フされた電圧とを平滑してその和に応じた出力電圧Vo
を得るものである。ICは演算増幅器Op2を用いた積
分回路で、入力(−)に抵抗R4を介して加わる設定電
圧VrをスイッチSW3でオンオフした電圧と、抵抗R
5を介して加わる設定電圧VrをスイッチSW  でオ
ンオフした電圧と、可変抵抗R6を介して加えられるV
rを工A2で反転した電圧−VrをスイッチSW5でオ
ンオフした電圧と、抵抗R7を介して加えられる基準電
圧Vsとを加算積分して設定電圧Vrを得るものである
このように構成した本発明変換器において、パルス幅信
号の周期Tが積分回路ICの時定数C□R4゜ClR5
1cmR6に比して十分に短かく、定常状態に達してい
るときの積分回路ICの出力電圧の直流分をVrとする
と、積分回路ICの平均入力電流は零となるので、次式
の関係が成立する。
同様にパルス幅信号の周期Tがフィルタ回路PCの時定
数 CFR3に比して十分に短かいので、定常状態に達
しているときのフィルタ回路FCの出力電圧の直流分V
oは、 とがる。(4)式と(5)式からvOは、ただし、R1
” R2 R4″″R5 となり、パルス幅信号の周期Tが変化してもその影響を
受けない。(6)式に(1)式、(2)式および(5)
式を代入すると、voは次式で表わすことができる。
一方可変コンデンサC□、C2の容量は変位量真に対し
、初期容量をCo、可動電極10と固定電極11(12
)間の基準間隔をd(x=Qのとき)およびストレイ容
量をC8とすると、 (7) C21Co aフ、  ” Cs          
(9)の関係で変化するので、出力電圧vOは、となる
。ここで、可変抵抗R6を調整して、を満足させれば、
vOは、 とな”:) % R11R3# R41R7# 、J 
V8は一定値であるので、出力電圧vOは第2図(イ)
に示すように変位量Iに正(8) ように変位量Xが大きくなる程増加率が減少するように
表り、入出力関係を非直線にできる。しかもその非直線
性の大きさは抵抗値R6の値を変えることによって設定
できる。したがって、例えば金属ダイヤフラムで差圧や
圧力を変位に変換する場合には、被測定量と可動電極1
0の変位量Xとの非直線性を補正できる。すなわちセン
サ部の非直線性も補正できる。
なお上述では、パル7幅信号pwでスイッチ8w3を、
パルス幅信号pWでスイッチSW4を、パルス幅信号P
W3でスイッチSW5を駆動する場合を例示したが、第
7図に示すように、パルス幅信号PWiをインバーター
Vを介してノアゲートGの−14 方の入力端に加え、G4の他方の入力端にパルス幅信号
pw(第4図(す)参照)を得、このパルス幅信号PW
4でスイッチsw3を駆動し、パルス幅信号pw2をイ
ンバーターV2を介してノアゲートG5の−方の入力端
に加え、G5の他方の入力端にパルス幅信号pw5(第
4図体)参照)を得、このパルス幅信号pWでスイッチ
SW4を駆動するようにすれば、反転増幅器工A2とス
イッチSW5を省略できる。この場合は基準コンデンサ
C3の容量を選ぶことによって、非直線性を有効に補正
できる。またこの場合スイッチSW1をパルス幅信号p
W4で、スイッチSW2をパルス幅信号pW5で駆動し
てもよい。また、容量パルス幅変換回路C/Pとして第
5図の回路を用いる場合のようにパルス幅信号の周期T
がT−t1+t2のときには、第8図に示すように積分
回路ICの出力Vrを抵抗Rを介して入力(−)に帰還
するととによって、スイッチsw3. sw4を省略で
きる。なお第7図および第8図に訃いてスイッチSW1
〜SW5の一端と基準点間に接続した抵抗R1I、R2
I。
R4”R5曾、R61はsw  −sw  の素子や配
線のストレ5 イ容量の影響を除くためのものである。力お抵抗u、l
 、、 R61の代りにsw1〜SW5と逆位相でオン
オr 11 ) フするスイッチを用いてもよく、またSW1〜SW5を
トランス7アスイツチとしてもよい。
また上述では基準コンデンサC3を用いてパルス幅t3
が一定なパルス幅信号PW3を得る場合を例示したが、
第3図および第5図に点線で示すようにパルス発生器P
GおよびコンパレータcP  の出力で駆動され一定時
間オンとなるモノマルチ等のワンショット回路MMを用
いて得るようにすれば、基準コンデンサC3を省略する
ことができる。
以上説明したように本発明においては、簡単な構成で有
効に非直線性を補正できる容量式変換器が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明変換器の一実施例を示す接続図、第2図
はその動作説明図、第3図は本発明変換器に用いる容量
パルス幅変換回路の具体的な構成の一例を示す接続図、
第4図はその動作説明のための波形図、第5図は容量パ
ルス幅変換回路の具体的な構成の他の例を示す接続図、
第6図はその動作説明のための波形図、第7図および第
8図は本発明変換器の他の実施例を示す接続図である。 C1,C2・・・一対の可変コンデンサ、C3・・・基
準コンデンサ、C/p・・・容量ノ(ルス幅変換回路、
SW1〜SW5・・・スイッチ、IC・・・積分回路、
FC・・・フィルタ回路、Opl、O20・・・演算増
幅器、IAl、 IA2・・・反転増幅器、vs・・・
基準電圧。 (12) o   、ih    町 1.j    k

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被測定量に応じて容量が差動的に変化する一対の可変コ
    ンデンサと、この一対の可変コンデンサの一方の容量に
    応じたデユティレシオの第1のパルス幅信号と他方の容
    量に応じたデユティレシオの第2のパルス幅信号および
    デユティレシオが一定な第3のパルス幅信号を発生する
    回路と、前記第1のパルス幅信号と第2のパルス幅信号
    のデユティレシオの差と設定電圧との積に関連した出力
    信号を得る回路と、前記第1.第2のパルス幅信号のデ
    ーティレシオの和と前記設定電圧との積に関連した値か
    ら前記ta3のパルス幅信号のデユティレシオと前記設
    定電圧との積に関連した値を差引いた値が一定になるよ
    うに前記設定電圧を制御する回路とを有してなる容量式
    変換器。
JP791083A 1983-01-20 1983-01-20 容量式変換器 Pending JPS59133421A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0250028A2 (de) * 1986-06-18 1987-12-23 Philips Patentverwaltung GmbH Schaltungsanordnung zur Kompensation von temperatur- und nichttemperatur-bedingtem Driften eines kapazitiven Sensors

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0250028A2 (de) * 1986-06-18 1987-12-23 Philips Patentverwaltung GmbH Schaltungsanordnung zur Kompensation von temperatur- und nichttemperatur-bedingtem Driften eines kapazitiven Sensors

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