JPS59133405A - Position detector - Google Patents

Position detector

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JPS59133405A
JPS59133405A JP774083A JP774083A JPS59133405A JP S59133405 A JPS59133405 A JP S59133405A JP 774083 A JP774083 A JP 774083A JP 774083 A JP774083 A JP 774083A JP S59133405 A JPS59133405 A JP S59133405A
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JP
Japan
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circuit
signal
frequency
resonant
temperature
Prior art date
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Application number
JP774083A
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Japanese (ja)
Inventor
Mamoru Shimamoto
島本 守
Toshiyuki Kaneiwa
兼岩 俊幸
Taku Yamada
卓 山田
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Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To stabilize a position detection output by detecting the level of a frequency signal of specified intermittent frequency supplied to a resonance circuit through an averaging circuit, and providing a temperature compensating circuit. CONSTITUTION:A coil 21 varies in inductance as a core 17 moves, and the resonance frequency of the resonance circuit is varied and set. When the inductance of the coil 21 is maximum, the resonance frequency of the resonance circuit 23 is made coincident with a frequency signal from an oscillation circuit 25. A stabilized voltage Vcc is supplied through a resistance 27 at a point A as an output terminal and the point is grounded through the averaging circuit 30 consisting of a resistance 28 and a capacitor 29. An averaged voltage signal is supplied to the analog/digital (A/D) converting circuit 31 of processing and operation part 24 to obtain a digital measurement detection signal.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えば自動車用エンジンの制御系等に使用さ
れる圧力センサのようなセンサ機構の検出信号出力手段
として効果的に使用される位置検出装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a position detection device that is effectively used as a detection signal output means of a sensor mechanism such as a pressure sensor used in a control system of an automobile engine.

例えば、自動車用エンジンの制御系においては、圧力セ
ンサ等の各種のセンサ機構が用いられる。圧力センサの
ようなセンサ機構にあっては、検出量に応じて駆動され
るアクチェータ機構を有し、このようなアクチェータの
位置を電気的に検出することによって、検出量を電気的
な検出信号に変換するようにしている。具体的には、環
状に巻回構成されるコイルを固定設定すると共に、この
コイルの中心中空部に上記アクチエータによって軸方向
に移動される柱状のコアを設け、このコアの位置によっ
て定まる上記コイルのインダクタンスを電、気的に検出
するように構成するものである。
For example, in the control system of an automobile engine, various sensor mechanisms such as pressure sensors are used. A sensor mechanism such as a pressure sensor has an actuator mechanism that is driven according to the detected amount, and by electrically detecting the position of such an actuator, the detected amount is converted into an electrical detection signal. I'm trying to convert it. Specifically, a coil wound in an annular manner is fixedly set, and a columnar core is provided in the central hollow part of this coil to be moved in the axial direction by the actuator, and the position of the coil is determined by the position of this core. It is configured to detect inductance electrically and electrically.

このコイルのインダクタンス変化を検出スる手段として
は、このコイルに対してコンデンサを並列的に接続して
LC共振回路を構成すると共に、この共振回路に対して
特定される周波数の交流信号を供給し、この交流信号の
周波数と共振回路の共振周波数とのずれに対応するイン
ピーダンス変化を、電圧変化として検出されるようにす
る。
As a means for detecting changes in the inductance of this coil, a capacitor is connected in parallel to this coil to form an LC resonant circuit, and an alternating current signal of a specified frequency is supplied to this resonant circuit. , an impedance change corresponding to a difference between the frequency of the alternating current signal and the resonant frequency of the resonant circuit is detected as a voltage change.

このような手段では共振回路のインピーダンス変化を検
出する手段として、上記特定される周波数の交流信号を
平均化して取り出すものであシ、このためにダイオード
を用いた整流回路が使用される。しかしながら、ダイオ
ードは温度変化に対応して順方向インピーダンスが変化
する温度特性を有するものであり、温度変化に伴ない検
出値に誤差の生ずる状態となる。
In such a means, as a means for detecting a change in impedance of a resonant circuit, the AC signal of the specified frequency is averaged and extracted, and a rectifier circuit using a diode is used for this purpose. However, the diode has a temperature characteristic in which the forward impedance changes in response to temperature changes, and errors occur in detected values as the temperature changes.

センサ機構、例えば圧力センサにあっては、広い圧力範
囲に対して高精度の検出信号が得られる基体的条件の他
に、特に自動車用エンジン制御用等に用いられる場合に
は、広い温度範囲においても高精度の検出出力が得られ
ることが要求される。
For sensor mechanisms, such as pressure sensors, in addition to the fundamental condition of obtaining highly accurate detection signals over a wide pressure range, especially when used for automobile engine control, etc., it is necessary to It is also required that highly accurate detection output can be obtained.

この発明は上記のような点に鑑みなされたもので温度変
化があっても充分安定した位置検出出力が得られ、例え
ば自動車エンジン制御系等においても効果的に使用する
ことができる様にする位置検出装置を提供しようとする
ものである。
This invention was made in view of the above points, and it is possible to obtain a sufficiently stable position detection output even when there are temperature changes, and to enable effective use in, for example, automobile engine control systems. The present invention aims to provide a detection device.

また、この発明にあっては、さらに圧力等の検出機構部
において温度変化に対応して変化が発生するような場合
であっても、この変化に伴なう検出値の誤差を確実に補
償し得るようにすることを目的とする。
Furthermore, in the present invention, even if a change occurs in the pressure detection mechanism in response to a temperature change, the error in the detected value due to this change can be reliably compensated for. The purpose is to obtain.

すなわち、この発明に係る位置検出装置は、検出器部で
の位置変動をインダクタンス変化として検知し、このイ
ンダクタンスとコンデンサとによって並列共振回路を形
成すると共に、この共振回路に断続周波数の特定される
周波数倍また、インダクタンス可変機構を含む検出器の
温度変化に対する出力変動に相当する温度特性に設定し
た温度補償回路を設け、この温度補償回路からの補正信
号によシ、上に平均化回路からの出力信号を補正させる
ようにするものである。
That is, the position detection device according to the present invention detects the positional fluctuation in the detector section as an inductance change, forms a parallel resonant circuit by this inductance and a capacitor, and transmits a specified intermittent frequency to this resonant circuit. In addition, a temperature compensation circuit is provided which is set to a temperature characteristic corresponding to the output fluctuation due to temperature change of the detector including the variable inductance mechanism, and the output from the averaging circuit is adjusted based on the correction signal from this temperature compensation circuit. This is to correct the signal.

以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。第
1図は圧力センサに適用した場合の実施例を示すもので
この圧力セ/す11は、容器12をダイヤフラム13に
よって大気圧室14および負圧室15に区画し、との負
圧室15は図示しない負圧源に連通してその負圧に対応
してダイヤフラム13が駆動されるようにする。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment applied to a pressure sensor, in which a container 12 is divided by a diaphragm 13 into an atmospheric pressure chamber 14 and a negative pressure chamber 15. communicates with a negative pressure source (not shown) so that the diaphragm 13 is driven in response to the negative pressure.

そして、このダイヤフラム13には、支持部材16を介
して高透磁率の例えばフェライト等でなる柱状のコア1
7を取シ付け、負圧変動に伴なうダイヤフラム13の移
動に対応して、コア11が移動されるようにする。
A columnar core 1 made of high magnetic permeability, such as ferrite, is attached to the diaphragm 13 via a support member 16.
7 is attached so that the core 11 is moved in response to the movement of the diaphragm 13 due to negative pressure fluctuations.

この場合、ダイヤフラム13はその両面からスプリング
18m、18bで平衡支持される状態とされ、調節ねじ
19によって負圧検出基準が調整設定されるようになっ
ている。
In this case, the diaphragm 13 is balanced and supported from both sides by springs 18m and 18b, and the negative pressure detection reference is adjusted and set by the adjustment screw 19.

そして、上記コア17の外周部に例えば合成樹脂等の非
磁性系でなるがピン20の外周にコイル21を巻装する
ようにしてガる。
A coil 21 made of non-magnetic material such as synthetic resin is wound around the outer periphery of the pin 20 around the outer periphery of the core 17.

すなわち、負圧室15内の負圧値に対応してダイヤフラ
ム13が変動することによってコア11は?ピン20内
で軸方向に位置変動し、とのがピン20内のコア17の
位置に対応してコイル21のインダクタンスが変化設定
されるようになる。例えば、第2図に示すように大気圧
室14と負圧室15との圧力差に対応してコア17の移
動量が設定され、このコア17の移動に対応して、コイ
ル21のインダクタンスは第3図に示すように変化する
ようになる。
That is, the core 11 changes as the diaphragm 13 changes in response to the negative pressure value in the negative pressure chamber 15. The position of the coil 21 changes in the axial direction within the pin 20, and the inductance of the coil 21 is set to vary in accordance with the position of the core 17 within the pin 20. For example, as shown in FIG. 2, the amount of movement of the core 17 is set in accordance with the pressure difference between the atmospheric pressure chamber 14 and the negative pressure chamber 15, and the inductance of the coil 21 is set in accordance with the movement of the core 17. It begins to change as shown in FIG.

上記コイル21は、コンデンサ22と並列接される発振
回路25からの特定される周波数の周波数信号を、コン
デンサ26を介して供給する。上記発振回路25は、例
えばスイッチをオンφオンすることにより発生されるよ
うな例えば正方向の電圧信号を断続するような状態の周
波数信号を発生するもので、例えば水晶25hによって
その発生周波数は充分に安定化されたものとする。
The coil 21 supplies a frequency signal of a specified frequency from an oscillation circuit 25 connected in parallel with a capacitor 22 via a capacitor 26 . The oscillation circuit 25 generates a frequency signal in a state in which a voltage signal in the positive direction is intermittently generated, for example, by turning on a switch. It is assumed that the

ここで、上記コア17の移動によって前述したようにコ
イル21のインダクタンスが変化スるものであシ、コア
17の位置に対応して共振回路23の共振周波数が可変
設定される。そして、上記発振回路25からの周波数信
号の周波数は、上記コイル21のインダクタンスが最大
となる時の共振回路23の共振周波数と一致するように
特定するものである。
Here, the inductance of the coil 21 changes as described above due to the movement of the core 17, and the resonant frequency of the resonant circuit 23 is variably set in accordance with the position of the core 17. The frequency of the frequency signal from the oscillation circuit 25 is specified to match the resonant frequency of the resonant circuit 23 when the inductance of the coil 21 is at its maximum.

また、上記発振回路25からの周波数信号の出力端とな
るA点では、抵抗27を介して安定化電圧VCCを供給
すると共に、このA点は抵抗28およびコンデンサ29
を介して接地する。
Further, at point A, which is the output terminal of the frequency signal from the oscillation circuit 25, a stabilizing voltage VCC is supplied via a resistor 27, and this point A is connected to a resistor 28 and a capacitor 29.
Ground through.

この抵抗28およびコンデンサ29は積分回路による平
均化回路30を構成するもので、A点における周波数信
号の振幅レベルの平均化電圧信号を発生するようにな多
、この平均化電圧信号は処理演算部24のアナログ・デ
ィジタル変換(A/D )回路3ノに供給して、ディジ
タル状の測定検出信号を得るようにしてなる。
This resistor 28 and capacitor 29 constitute an averaging circuit 30 which is an integrating circuit, and is designed to generate an averaged voltage signal of the amplitude level of the frequency signal at point A. 24 analog-to-digital conversion (A/D) circuits 3 to obtain a digital measurement detection signal.

すなわち、コア17がコイル2ノのインダクタンスを最
大とする位置にある状態で、発振回路25からの断続す
る状態の周波数信号の交流分が共振回路23に印加され
ると、この共振回路23の共振周波数が周波数信号の周
波数の一致する状態であるので、共振回路23は共振状
態とされる。この状態から負圧変化によってコア17が
移動すると、コイル21のインダクタンスも変化し、共
振回路23は共振状態から外れる状態となる。
That is, when the alternating current component of the intermittent frequency signal from the oscillation circuit 25 is applied to the resonant circuit 23 while the core 17 is at the position where the inductance of the coil 2 is maximized, the resonant circuit 23 will resonate. Since the frequencies match those of the frequency signals, the resonant circuit 23 is in a resonant state. When the core 17 moves from this state due to a change in negative pressure, the inductance of the coil 21 also changes, and the resonant circuit 23 comes out of the resonant state.

ここで共振回路23のインピーダンスは理論的には共振
状態で無限大となシ、共振状態から外れるととKよって
、共振回路23のインピーダンスは有限の値を有するよ
うになる。そして、完全に共振から外れる状態となると
、共振回路23のインピーダンスは零に近い状態となる
Theoretically, the impedance of the resonant circuit 23 is infinite in the resonant state, but when the resonant circuit 23 is out of the resonant state, the impedance of the resonant circuit 23 has a finite value. When the resonance circuit 23 is completely removed from resonance, the impedance of the resonant circuit 23 becomes close to zero.

ここで、コンデンサ26の容量がコンデンサ22の容量
に比較して大きいものとすると、第4図に示した等価回
路が成立つ。この第4図において、インピーダンス23
0は、コンデンサ22および26の構成する回路のA点
から見たインピーダンスで、コア17の移動に対応して
そのインピーダンス値は変化する。すなわち、このイン
ピーダンス230は、コア1yo位置変化に対応して、
略零から無限大に変化する。
Here, assuming that the capacitance of the capacitor 26 is larger than that of the capacitor 22, the equivalent circuit shown in FIG. 4 is established. In this Fig. 4, impedance 23
0 is the impedance seen from point A of the circuit constituted by the capacitors 22 and 26, and the impedance value changes in response to the movement of the core 17. That is, this impedance 230 corresponds to a change in the position of the core 1yo,
It changes from approximately zero to infinity.

したがって、A点における発振回路25からの出力周波
数信号のレベルは、第5図にAで示すように変化する。
Therefore, the level of the output frequency signal from the oscillation circuit 25 at point A changes as shown by A in FIG.

この周波数信号は、正の振動波形であるため、抵抗28
とコンデンサ29で構成される平均化回路3oがらの検
出出力信号は、同じく第5図にBで示すような直流電圧
信号となる。
Since this frequency signal is a positive vibration waveform, the resistor 28
The detection output signal from the averaging circuit 3o composed of the capacitor 29 and the capacitor 29 becomes a DC voltage signal as shown by B in FIG.

したがって、このような位置検出装置にあっては、例え
ばダイオードのように、インピーダンスが温度変化に対
応して変化するような回路素子を用いていないものであ
るため、温度変化に影響されない検出回路が構成される
ようになシ、温度特性の無い検出信号が得られるように
なる。
Therefore, since such position detection devices do not use circuit elements whose impedance changes in response to temperature changes, such as diodes, detection circuits that are not affected by temperature changes are not available. As configured, a detection signal without temperature characteristics can be obtained.

しかし、この圧力センサ11を大きな温度変化のある場
所に設定したような場合には、平均化回路30の出力に
温度特性が発生するおそれがある。その原因はコア17
の支持部材16と、ゲピン20の材質の相違による熱膨
張係数の差に起因するもので、温度変化によってコイル
21とコア17との相対的位置関係が変動するからであ
る。この時の平均化回路30の直流出力電圧の特性は第
6図の(4)に示すように々る。ここで室温をToとす
ると、コア17の移動に□対する平均化回路30の出力
電圧は、温度に対して絡線形状に変化する。しかも、電
圧レベルも同図の俤)に示すように略平行に変化する。
However, if this pressure sensor 11 is set in a place where there is a large temperature change, there is a possibility that the output of the averaging circuit 30 will have temperature characteristics. The cause is core 17
This is due to the difference in coefficient of thermal expansion due to the difference in the materials of the support member 16 and the pin 20, and the relative positional relationship between the coil 21 and the core 17 changes due to temperature changes. The characteristics of the DC output voltage of the averaging circuit 30 at this time are as shown in (4) of FIG. Here, if the room temperature is To, the output voltage of the averaging circuit 30 with respect to the movement of the core 17 changes in the form of a circuit line with respect to temperature. Moreover, the voltage levels also change approximately in parallel as shown in the figure.

このような温度特性を補償するために、さらに温度補償
回路32を設ける。この回路32は、安定化電圧vcc
を抵抗33を介して0点に供給すると共に、この0点を
抵抗34および順方向にしたダイオード35を介して接
地し、0点の電位を温度補正信号として処理演算部24
のA/D変換回路36に供給するものである。
In order to compensate for such temperature characteristics, a temperature compensation circuit 32 is further provided. This circuit 32 has a stabilizing voltage vcc
is supplied to the 0 point via a resistor 33, and this 0 point is grounded via a resistor 34 and a forward diode 35, and the potential at the 0 point is used as a temperature correction signal to the processing calculation unit 24.
It is supplied to the A/D conversion circuit 36 of.

この温度補償回路32のダイオード35の順方向電圧V
Dは、温度に対して VD=−AT+B で近似できる。ここで、T、A、Bはそれぞれ温度、順
方向電圧■。の温度変化率、オフセット電圧である。
The forward voltage V of the diode 35 of this temperature compensation circuit 32
D can be approximated by VD=-AT+B with respect to temperature. Here, T, A, and B are temperature and forward voltage, respectively. is the temperature change rate and offset voltage.

さて、0点の出力電圧をva1抵抗33,34のそれぞ
れ抵抗値をR1* Jとすると、■あは次式で示される
Now, assuming that the output voltage at point 0 is the resistance value of each of the va1 resistors 33 and 34 as R1*J, then ■A is expressed by the following equation.

’a =(Vc c−■0 ) ” R,+ R,+ 
Vn出力電圧vaの温度に対する変化率は、ダイオード
35の順方向電圧VDの変化率Aにr Rs/(Rz 
+Rt )Jを乗じたものである。したがって、温度補
償回路32の出力電圧V、の温度に対する変化率は、抵
抗33と34の抵抗値を選択することによって、任意に
選定することができる。
'a = (Vc c-■0) ” R, + R, +
The rate of change of the Vn output voltage va with respect to temperature is the rate of change A of the forward voltage VD of the diode 35, r Rs/(Rz
+Rt) is multiplied by J. Therefore, the rate of change of the output voltage V of the temperature compensation circuit 32 with respect to temperature can be arbitrarily selected by selecting the resistance values of the resistors 33 and 34.

例えは、補償出力電圧■8が室温ToからT、上昇した
時に、第6図の(B)に示したように平均化回路30の
出力電圧が各電圧レベルでdVだけ変化する状態にある
と仮定する。このような時には、抵抗33および34の
抵抗値を選定することによって、温度補償回路32の出
力電圧が第7図に示すように室温ToからT1上昇した
時にdVだけ変化するように設定する。
For example, when the compensation output voltage (8) rises by T from the room temperature To, the output voltage of the averaging circuit 30 changes by dV at each voltage level, as shown in FIG. 6(B). Assume. In such a case, the resistance values of the resistors 33 and 34 are selected so that the output voltage of the temperature compensation circuit 32 changes by dV when the temperature rises by T1 from the room temperature To, as shown in FIG.

前記平均化回路30の出力電圧、および温度補償回路3
2からの出力電圧は、それぞれ処理演算部24のA/D
変換器31.36でそれぞれディジタル値に変換される
。室温Toの時のこのディジタル値をそれぞれD B 
+ D Cとする。そして、室温Toから11上昇した
時のそれぞれのディジタル値をD□およびDd@とする
。そして、処理演算部においては、室温Toの時のデー
タDおけあらかじめ記憶設定しておく。
Output voltage of the averaging circuit 30 and temperature compensation circuit 3
The output voltage from 2 is the A/D of the processing calculation unit 24, respectively.
They are each converted into digital values by converters 31 and 36. These digital values at room temperature To are D B
+DC. Then, let the respective digital values when the room temperature rises by 11 from the room temperature To be D□ and Dd@. In the processing calculation unit, data D at room temperature To is stored and set in advance.

したがって、処理演算部においては、温度補償回路32
からの出力電圧に対応するA/D変換器36の出力デー
タと、上記記憶されたデータとの差を補正値として算出
し、A/D変換器31の出力データから減算すれに、温
度補償のされた検出データとすることができる。
Therefore, in the processing calculation section, the temperature compensation circuit 32
The difference between the output data of the A/D converter 36 corresponding to the output voltage from the A/D converter 36 and the above-mentioned stored data is calculated as a correction value, and the temperature compensation value is detected data.

第8図は上記補正動作の流れ図を示すもので、まずステ
ップ101で基準室温TO℃の時の温度補償回路32の
出力電圧に対応するディジタルデータT、。を記憶設定
する。そして、ステップ102で現在の圧力差に対応し
た平均化回路30の出力に対応するディジタルデータP
を検出す13− ると共に、ステップ103で現在温度の温度補償回路3
2の補正出力に対応するディジタルデータTXを検出し
、ステップ104で上記TTo””らTxを減じて、現
在温度における補正値Ddvを算出する。
FIG. 8 shows a flowchart of the above-mentioned correction operation. First, in step 101, digital data T, which corresponds to the output voltage of the temperature compensation circuit 32 when the reference room temperature TO°C. Memorize and set. Then, in step 102, the digital data P corresponding to the output of the averaging circuit 30 corresponding to the current pressure difference is
13- At the same time, in step 103, the current temperature is detected by the temperature compensation circuit 3.
The digital data TX corresponding to the correction output No. 2 is detected, and in step 104, the correction value Ddv at the current temperature is calculated by subtracting Tx from the above TTo''.

そして、ステップ105でこの補正値Ddvが零よシ大
きいか否かを判断し、その判断結果に対応してステップ
106および107で検出ディジタルデータPに対する
補正演算を行なって、圧力データDを得るものである。
Then, in step 105, it is determined whether or not this correction value Ddv is greater than zero, and in accordance with the result of the determination, correction calculations are performed on the detected digital data P in steps 106 and 107 to obtain pressure data D. It is.

尚、上記実施例の説明では、温度補償回路32による補
正演算は、検出器、すなわち圧力センナ11部の構成部
品の温度膨張率の差異にもとづく温度特性を補償するた
めに行うようにしたが、もちろん回路素子の温度特性に
よる出力への影響を補償するために用いるようにしても
よいことはもちろんである。
In the description of the above embodiment, the correction calculation by the temperature compensation circuit 32 is performed to compensate for the temperature characteristics based on the difference in the temperature expansion coefficient of the components of the detector, that is, the pressure sensor 11. Of course, it may also be used to compensate for the influence on the output due to the temperature characteristics of the circuit elements.

以上のようにこの発明によれば、位置変化に対するイン
ダクタンス変化を、温度特性を有することなく効果的に
検知し、電気信号に変換して出力し得るものであフ、特
にその構成は充分簡易化する状態にすることができる。
As described above, according to the present invention, an inductance change due to a position change can be effectively detected without having temperature characteristics, and can be converted into an electric signal and output, and in particular, the configuration is sufficiently simplified. can be put into a state where

特に、組み立て工程、部品調整等の複雑な調整作業は特
に必要としないものである。
In particular, complicated adjustment work such as assembly process and parts adjustment is not particularly required.

また、大きな温度変化によって検出量の構成部品の温度
膨張率の差異等による温度特性も、効果的に補償し得る
ものであシ、特に自動車用エンジン制御系に用いるセン
サ等のように、温度条件のはけしい雰囲気においても効
果的に利用できるものである。
In addition, it is possible to effectively compensate for temperature characteristics caused by differences in thermal expansion coefficients of components of the detected amount due to large temperature changes. It can be used effectively even in harsh environments.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例に係る圧力センサ機構に応
用した例を説明する構成図、第2図および第3図はそれ
ぞれ上記実施例における圧カセ/すのコアの移動特性、
およびインダクタンス変化特性を示す図、第4図は上記
装置の検出出力部の等何回路を示す図、第5図は同じく
検出出力信号の状態を説明する図、第6図は温度変化に
対する出力変動の状態を説明する図、第7図は上記出力
変動に対する補償出力を説明する図、第8図は温度補償
のための補正動作を説明する流れ図である。 11・・・圧力センサ、13・・・ダイヤフラム、16
・・・保持部材、17・・・コア、2o・・・がビン、
21・・・コイル、22,26.29・・・コンデンサ
、23・・・並列共振回路、24・・・処理演算部、2
5・・・発振回路、30・・・平均化回路、32・・・
温度補償回路、35・・・ダイオード。
FIG. 1 is a block diagram illustrating an example applied to a pressure sensor mechanism according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 respectively show the movement characteristics of the core of the pressure cassette/socket in the above embodiment, and FIG.
FIG. 4 is a diagram showing the circuits of the detection output section of the above device, FIG. 5 is a diagram explaining the state of the detection output signal, and FIG. 6 is a diagram showing the output fluctuation due to temperature change. FIG. 7 is a diagram explaining the compensation output for the above-mentioned output fluctuation, and FIG. 8 is a flowchart explaining the correction operation for temperature compensation. 11... Pressure sensor, 13... Diaphragm, 16
... holding member, 17 ... core, 2o ... is a bottle,
21... Coil, 22, 26.29... Capacitor, 23... Parallel resonant circuit, 24... Processing calculation unit, 2
5...Oscillation circuit, 30...Averaging circuit, 32...
Temperature compensation circuit, 35...diode.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)  被測定対象物の変動を検出する検出器と、こ
の検出器の検出位置に対応して共振周波数の変化設定さ
れる共振回路と、この共振回路に対して共振信号として
周波数信号を供給する発振手段と、この発振手段からの
周波数信号の平均値電圧を出力信号として取シ出す平均
化回路とを具備し、上記発振手段からの周波数信号は、
特定される検出位置に対応する上記共振回路の共振周波
数で断続される信号としたことを特徴とする位置検出装
置。
(1) A detector that detects fluctuations in the object to be measured, a resonant circuit whose resonant frequency is set to change according to the detection position of this detector, and a frequency signal supplied as a resonant signal to this resonant circuit. and an averaging circuit that extracts the average value voltage of the frequency signal from the oscillation means as an output signal, and the frequency signal from the oscillation means is
A position detection device characterized in that the signal is intermittent at a resonant frequency of the resonant circuit corresponding to a specified detection position.
(2)  被測定対象物の変動を検出する検出器と、こ
の検出器の検出位置に対応して共振周波数の変化設定さ
れる共振回路と、この共振回路に対して特定される検出
位置に対応する共振周波数の断続変化する周波数信号を
供給する発振手段と、この発振手段からの信号の平均値
電圧を出力信号として取シ出す平均化回路と、上記検出
器の温度変化に対する出力変動に相当する温度特性に設
定した温度補正回路と、この温度補正回路からの補正信
号によシ上記平均化回路からの出力信号を補正する温度
補正手段とを具備したことを特徴とする位置検出装置。
(2) A detector that detects fluctuations in the object to be measured, a resonant circuit whose resonant frequency is set to change in accordance with the detection position of this detector, and a detection position specified for this resonant circuit. an oscillating means for supplying a frequency signal whose resonant frequency changes intermittently; an averaging circuit for extracting the average value voltage of the signal from the oscillating means as an output signal; A position detection device comprising: a temperature correction circuit set to a temperature characteristic; and temperature correction means for correcting an output signal from the averaging circuit using a correction signal from the temperature correction circuit.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61107101A (en) * 1984-10-31 1986-05-26 Japan Electronic Control Syst Co Ltd Apparatus for detecting opening degree of throttle valve of internal combustion engine
WO1988007152A1 (en) * 1987-03-14 1988-09-22 Kabushiki Kaisha Kambayashi Seisakujo Solenoid device
JPH0547806U (en) * 1991-11-28 1993-06-25 株式会社ゼクセル Displacement sensor

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