JPH05248891A - Evaluation circuit for induction sensor - Google Patents

Evaluation circuit for induction sensor

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JPH05248891A
JPH05248891A JP34018692A JP34018692A JPH05248891A JP H05248891 A JPH05248891 A JP H05248891A JP 34018692 A JP34018692 A JP 34018692A JP 34018692 A JP34018692 A JP 34018692A JP H05248891 A JPH05248891 A JP H05248891A
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JP
Japan
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evaluation circuit
coil
synchronous rectifier
voltage
circuit according
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Application number
JP34018692A
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Japanese (ja)
Inventor
Rene Schenk
シェンク レネ
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Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01VGEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V3/00Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation
    • G01V3/08Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices
    • G01V3/10Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices using induction coils
    • G01V3/101Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices using induction coils by measuring the impedance of the search coil; by measuring features of a resonant circuit comprising the search coil
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/028Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
    • G01D3/036Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
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    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
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    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils

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Abstract

PURPOSE: To obtain an evaluation circuit in which temperature compensation can be performed accurately by supplying a clock signal from an oscillator to a synchronous rectifier and selecting the phase position of the signal with respect to the phase position of an induced voltage such that the resistance and inductance of a coil can be measured individually. CONSTITUTION: A measurement signal UM appearing at the joint of a coil 14 and the output side 17C of a controller is fed through two inverters 27, 28 or only one inverter 28 depending on a clock from an oscillator 10. Consequently, a synchronous rectification operation is brought about. In order to measure only the resistance or inductance, a clock of 90 deg. or 0 deg. phase is selected. Real part of the inductance L and resistance R of the coil 14 depend on the temperature for a specified sensor. Real part of the inductance L and resistance R also depend on the measurement. Consequently, temperature compensation can be performed by adding or subtracting two components each other in an appropriate form.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも1つのコイ
ルと発振器と整流器とを有する誘導センサ用の、例えば
集積化された、懸架装置における衝撃による変位量セン
サ(Einfederwegsensor)用の評価回
路であって、前記コイルのインダクタンスは測定すべき
特性量に依存するものであり、前記発振器の出力信号は
前記コイルの入力側に供給されており、さらに前記整流
器には誘導された電圧が供給される、評価回路に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an evaluation circuit for an inductive sensor having at least one coil, an oscillator and a rectifier, for example, an integrated displacement sensor (Einfederwegsensor) for a suspension system. The inductance of the coil depends on the characteristic amount to be measured, the output signal of the oscillator is supplied to the input side of the coil, and the induced voltage is supplied to the rectifier. Regarding the evaluation circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】調節移動距離を測定するために1つ又は
複数のコイルを有する誘導センサを用いることは周知で
ある。このコイルの電気特性は測定量、例えば移動量に
依存して変化する。電子評価回路を用いてコイルの電気
特性の変化が検出され、後処理の簡単な信号に変換され
る。
It is well known to use inductive sensors with one or more coils to measure accommodative travel. The electrical characteristics of this coil change depending on the measured amount, for example the amount of movement. A change in the electrical characteristics of the coil is detected using an electronic evaluation circuit and converted into a signal that is easy to post-process.

【0003】誘導型距離センサにおいて用いられ、移動
距離に依存して直流電圧が生成される測定回路がDE−
OS3927833号から公知である。この回路では交
流電圧がコイルに印加されている。このコイルのインダ
クタンスは移動距離に依存して変化する。さらに該コイ
ルにおいて降下する電圧の振幅及び位相が測定される。
A measuring circuit used in an inductive type distance sensor, in which a DC voltage is generated depending on a moving distance is DE-.
It is known from OS 3927833. In this circuit, an alternating voltage is applied to the coil. The inductance of this coil changes depending on the moving distance. Furthermore, the amplitude and phase of the voltage dropping in the coil are measured.

【0004】測定精度を高めるために2つの発振器が設
けられており、この発振器は同じ周波数の2つの交流電
圧を発生する。この2つの交流電圧は相互に180度位
相がずらされている。この場合第2の交流電圧は調整可
能な振幅を有している。しかしながらこの振幅はコイル
のインダクタンスに最終的に依存する。そのため振幅
と、コイルの既知のインダクタンスとの関係性から正確
な位置の検出が可能である。しかしながら公知の測定回
路では温度補償を可能にするような手段は何も設けられ
ていない。
Two oscillators are provided in order to increase the measurement accuracy, and these oscillators generate two alternating voltages of the same frequency. The two AC voltages are 180 degrees out of phase with each other. In this case, the second alternating voltage has an adjustable amplitude. However, this amplitude ultimately depends on the inductance of the coil. Therefore, it is possible to accurately detect the position from the relationship between the amplitude and the known inductance of the coil. However, the known measuring circuit does not provide any means for enabling temperature compensation.

【0005】付加的な温度測定回路を有する誘導型距離
測定部のための回路装置はDE−OS3910597号
から公知である。この公知回路装置では温度測定回路に
よりコイルのオーム抵抗値が検出される。このオーム抵
抗値は温度に依存しており、前記温度測定回路はオーム
抵抗値をマイクロコンピュータに供給する。マイクロコ
ンピュータは測定された抵抗値から補償データを算出す
る。この補償データにより移動距離の検出の際に求めら
れたデータの補正が可能になる。
A circuit arrangement for an inductive distance measuring unit with an additional temperature measuring circuit is known from DE-OS 3910597. In this known circuit device, the ohmic resistance value of the coil is detected by the temperature measuring circuit. The ohmic resistance value depends on the temperature, and the temperature measuring circuit supplies the ohmic resistance value to the microcomputer. The microcomputer calculates compensation data from the measured resistance value. This compensation data makes it possible to correct the data obtained when the moving distance is detected.

【0006】前記の公知回路装置の欠点は、コイルの抵
抗値とインダクタンスが交互に測定され、測定結果が相
互間で誤って計算されてしまうことである。それに対し
て当該測定を同時に行うことは不可能である。
A disadvantage of the known circuit arrangement described above is that the resistance and the inductance of the coil are measured alternately and the measurement results are erroneously calculated between each other. On the other hand, it is impossible to perform the measurement at the same time.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来の回路装置の欠点を解消し、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ非常に正
確な温度補償が可能となるような誘導センサ用の評価回
路を提供することである。
The problem to be solved by the present invention is to overcome the drawbacks of conventional circuit arrangements and to provide a particularly simple and very accurate temperature compensation without the use of an additional temperature sensor. The object is to provide an evaluation circuit for an inductive sensor that makes it possible.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、整流器は同期整流器であり、該同期整流器には発振
器からクロック信号が供給され、該クロック信号の位相
位置は、誘導された電圧の位相位置に対し、コイルの抵
抗値とインダクタンスを別個に測定し得るように選定さ
れるように構成されて解決される。
According to the present invention, the rectifier is a synchronous rectifier, the synchronous rectifier is supplied with a clock signal from an oscillator, and the phase position of the clock signal is the phase of the induced voltage. A solution is constructed and arranged so that the resistance and the inductance of the coil can be separately measured with respect to the position.

【0009】本発明の請求項1の特徴部分による誘導セ
ンサ用の評価回路は次のような利点を有する。すなわち
付加的な温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ
非常に正確な温度補償が可能になることである。
The evaluation circuit for an inductive sensor according to the characterizing portion of claim 1 of the present invention has the following advantages. That is, a particularly simple and very accurate temperature compensation is possible without the use of an additional temperature sensor.

【0010】この利点は制御された出力電圧が同期整流
器に供給されることにより達成される。この同期整流器
自体は正弦波発振器のクロックパルスによって制御され
る。
This advantage is achieved by providing a controlled output voltage to the synchronous rectifier. The synchronous rectifier itself is controlled by the sinusoidal oscillator clock pulses.

【0011】同期整流器を用いることによりコイルの交
流抵抗値が測定され、位相位置が検出されることによっ
て特に簡単な温度補償が可能になる。
By using the synchronous rectifier, the AC resistance value of the coil is measured and the phase position is detected, so that particularly simple temperature compensation is possible.

【0012】コイルのインダクタンスも複素抵抗値の実
部も温度依存特性を有し、さらに測定量にも依存するた
め、2つの成分を適当な手法で相互に加算又は減算する
ことにより、温度補償の達成が可能になる。
Both the inductance of the coil and the real part of the complex resistance value have temperature dependent characteristics, and also depend on the measured quantity. Therefore, the two components are added or subtracted from each other by an appropriate method to compensate for the temperature. It can be achieved.

【0013】特に有利には、同期整流器の制御の際の位
相位置を相応に選択することにより加算又は減算を特に
簡単な手法で達成することができる。
Particularly advantageously, the addition or subtraction can be achieved in a particularly simple manner by correspondingly selecting the phase position in the control of the synchronous rectifier.

【0014】また本発明の評価回路を、集積化された変
位量センサを関連して使用することが特に有利であるこ
とがわかった。なぜならばそのようなセンサでは通常必
要となる第2の補償用コイル並びに付加的な温度センサ
が省略され得るからである。
It has also proved to be particularly advantageous to use the evaluation circuit according to the invention in connection with an integrated displacement sensor. This is because the second compensating coil normally required in such a sensor as well as the additional temperature sensor can be omitted.

【0015】従属請求項に記載された手段により請求項
1による誘導センサ用の評価回路の有利な構成例及び改
善例が可能である。
Advantageous configurations and refinements of the evaluation circuit for inductive sensors according to claim 1 are possible by the measures specified in the subclaims.

【0016】[0016]

【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0017】図1では発振器10、例えば正弦波発振器
が抵抗12を介して可変コイル14として示されている
測定コイルに接続されている。前記発振器10は出力側
10a,10bを有し、電圧USを発生する。抵抗12
とコイル14との間には接続点13が示されている。こ
の接続点13とアースとの間にはコンデンサ15が設け
られており、このコンデンサ15はさらに制御器17の
入力側17aに接続される。
In FIG. 1, an oscillator 10, for example a sinusoidal oscillator, is connected via a resistor 12 to a measuring coil, shown as a variable coil 14. The oscillator 10 has outputs 10a, 10b and produces a voltage US. Resistance 12
A connection point 13 is shown between the coil and the coil 14. A capacitor 15 is provided between the connection point 13 and the ground, and the capacitor 15 is further connected to the input side 17 a of the controller 17.

【0018】入力側17bを介して制御器17には一定
の電圧が供給される。この一定の電圧はUBの1/2で
ある。この場合UBは回路の基準電圧(例えば制御装置
からの5Vの電圧)である。
A constant voltage is supplied to the controller 17 via the input side 17b. This constant voltage is 1/2 of UB. In this case UB is the reference voltage of the circuit (eg 5V from the controller).

【0019】制御器17の出力側17cはコイル14と
接続され、別のコンデンサ16を介してアースに接続さ
れる。さらに制御器17の出力側17cはコンデンサ1
8と抵抗19を介して同期整流器20のアナログスイッ
チ21と接続される。このアナログスイッチ21は発振
器10の出力側10aを介して切換パルスを受け取る。
The output side 17c of the controller 17 is connected to the coil 14 and is connected to the ground via another capacitor 16. Further, the output side 17c of the controller 17 has a capacitor 1
8 and a resistor 19 to connect to the analog switch 21 of the synchronous rectifier 20. This analog switch 21 receives the switching pulse via the output side 10a of the oscillator 10.

【0020】同期整流器20はアナログスイッチ21の
他にさらに2つのインバータ27,28を有している。
このインバータ27,28はそれぞれ、演算増幅器2
2,26と、該演算増幅器22,26の出力側と反転入
力側との間に配置された抵抗23,25と、これらの抵
抗23,25の間に設けられた抵抗24とからなる。
The synchronous rectifier 20 has two inverters 27 and 28 in addition to the analog switch 21.
The inverters 27 and 28 are respectively the operational amplifier 2
2, 26, resistors 23, 25 arranged between the output side and the inverting input side of the operational amplifiers 22, 26, and a resistor 24 provided between these resistors 23, 25.

【0021】演算増幅器22と26の2つの反転入力側
はアナログスイッチ21のそれぞれ1つの端子に接続さ
れる。非反転入力側には基準電圧の半分1/2UBが印
加される。
The two inverting input sides of the operational amplifiers 22 and 26 are respectively connected to one terminal of the analog switch 21. Half the reference voltage, 1/2 UB, is applied to the non-inverting input side.

【0022】同期整流器20の演算増幅器26の出力側
はフィルタ29に接続される。このフィルタ29のアナ
ログ出力側30では測定信号が取り出される。
The output side of the operational amplifier 26 of the synchronous rectifier 20 is connected to the filter 29. The measurement signal is taken out at the analog output side 30 of the filter 29.

【0023】発振器10では正弦波振動ないし比較的わ
ずかな調波成分を含む振動が一定の振幅で生成される。
図1ではこの正弦波振動はUSで示されている。この正
弦波振動は抵抗12を介してコイル14に供給され、接
続点13において生じる電圧が検出される。さらにこの
電圧は実際値として制御器17に供給される。目標値と
して制御器17には一定の電圧UB/2が供給される。
制御器は出力電圧URを、入力側17aにおける入力電
圧が同様に一定に維持されるように制御する。接続点1
3では一定の電圧が調整されるので(この場合交流電圧
はゼロであり、出力側10bには一定の振幅を有する交
流電圧USが印加される)、抵抗12を介して一定の振
幅の交流電圧が生じる。
In the oscillator 10, sinusoidal vibration or vibration containing a relatively small number of harmonic components is generated with a constant amplitude.
In FIG. 1, this sinusoidal vibration is indicated by US. This sinusoidal vibration is supplied to the coil 14 via the resistor 12, and the voltage generated at the connection point 13 is detected. Furthermore, this voltage is supplied to the controller 17 as an actual value. As a target value, the controller 17 is supplied with a constant voltage UB / 2.
The controller controls the output voltage UR such that the input voltage on the input side 17a is likewise kept constant. Connection point 1
3, the constant voltage is adjusted (in this case, the AC voltage is zero, and the output side 10b is applied with the AC voltage US having a constant amplitude). Therefore, the AC voltage having the constant amplitude is applied via the resistor 12. Occurs.

【0024】この一定の振幅を有する交流電圧は、抵抗
12を通る電流Iも一定の振幅を有する交流電流である
ように作用する。接続点13における電圧が一定の値に
制御されるので、電流Iもコイル14のインダクタンス
に依存しない。
This alternating voltage with a constant amplitude acts such that the current I through the resistor 12 is also an alternating current with a constant amplitude. Since the voltage at the connection point 13 is controlled to a constant value, the current I also does not depend on the inductance of the coil 14.

【0025】場合によりケーブルにアースに対する漂遊
容量が存在しても、コンデンサ15(このコンデンサ1
5はEMC(電磁的適合性)−ブロックコンデンサとし
て用いられる)と同様に電流は流れない。なぜなら交流
電圧が存在する場合にしか電流はこのコンデンサを通っ
て流れることができないからである。
In some cases, even if the cable has stray capacitance to earth, the capacitor 15 (this capacitor 1
5 does not carry any current, similar to EMC (electromagnetic compatibility) -used as a block capacitor). This is because current can only flow through this capacitor when an alternating voltage is present.

【0026】制御器の入力側は高抵抗なので、わずかな
電流しか制御器入力側17aに流れることができない。
そのため一定の交流電流全てがコイル14を通って流れ
ることが保証される(前記コイル14は測定コイルとし
て示されており、該コイルの電気的な特性が測定され
る)。それにより制御器17の出力側17cにおいて交
流電圧が調整される。この交流電圧はコイル14のいわ
ゆるリアクタンスに比例する。この電圧の位相位置はリ
アクタンスの位相位置を表す。コンデンサないしアース
に対する漂遊容量は(これは図1中コンデンサ16とし
て示されている)不利に作用しない。なぜなら流れる電
流は制御器17から供給されるからである。
Since the input side of the controller has a high resistance, only a small current can flow to the controller input side 17a.
This ensures that all constant alternating current flows through the coil 14 (the coil 14 is shown as a measuring coil and the electrical properties of the coil are measured). As a result, the AC voltage is adjusted at the output side 17c of the controller 17. This AC voltage is proportional to the so-called reactance of the coil 14. The phase position of this voltage represents the phase position of the reactance. The stray capacitance to the capacitor or ground (which is shown as capacitor 16 in FIG. 1) does not have a negative effect. This is because the flowing current is supplied from the controller 17.

【0027】制御器17の出力側17cにおいて生じる
電圧URはコンデンサ18と抵抗19を介して同期整流
器20に供給される。この同期整流器20には発振器1
0のクロック出力側10aを介して切換パルスが供給さ
れる。
The voltage UR generated at the output 17c of the controller 17 is supplied to the synchronous rectifier 20 via the capacitor 18 and the resistor 19. This synchronous rectifier 20 has an oscillator 1
Switching pulses are supplied via the 0 clock output 10a.

【0028】これまでに説明してきた装置によれば既に
測定は可能となる。しかしながら以下に説明する同期整
流器の回路構成例によって初めて所望の温度補償が保証
されるものとなる。
With the devices described so far, measurements can already be made. However, the desired temperature compensation can be guaranteed only by the circuit configuration example of the synchronous rectifier described below.

【0029】コイル14と制御器出力側17cとの間の
接続点において生じる測定信号UMは、発振器10のク
ロックに依存して2つのインバータ27,28か又は1
つのインバータ28だけを介して供給される。これによ
り同期整流作用が得られる。抵抗のみ又はインダクタン
スのみを測定するために、通常はこの同期整流のために
90度の位相又は0度の位相のクロックが選択される。
測定装置自体によって引き起こされる位相ずれを補償す
るために、サンプリングフェーズをさらに補正すること
も可能である。
The measuring signal UM, which occurs at the connection between the coil 14 and the controller output 17c, depends on the clock of the oscillator 10 and either the two inverters 27, 28 or 1
It is supplied via only one inverter 28. As a result, a synchronous rectification action is obtained. A 90 degree phase or a 0 degree phase clock is typically selected for this synchronous rectification to measure resistance or inductance only.
It is also possible to further correct the sampling phase in order to compensate for the phase shift caused by the measuring device itself.

【0030】ここにおいて本発明によれば温度補償を達
成するために位相位置の適切な選択が行われる。所定の
センサに対してコイル14のインダクタンスとコイルの
抵抗の実部は温度に依存する。同様にインダクタンスと
抵抗の実部は測定量にも依存し得る。この場合多くのセ
ンサでは抵抗の実部とインダクタンスが異なる形で測定
量に依存する。従って温度補償は、2つの成分を適切な
形で相互に加算又は減算することによって行われ得る。
適切な選択が行われた場合には温度制御は中止され、こ
れに対して測定量は引続き検出され得る。
Here, according to the invention, a suitable choice of phase position is made in order to achieve temperature compensation. The real part of the inductance of the coil 14 and the resistance of the coil for a given sensor depends on temperature. Similarly, the real parts of the inductance and resistance may also depend on the measurand. In this case, in many sensors, the real part of the resistance and the inductance are different and depend on the measured quantity. Therefore, temperature compensation can be done by adding or subtracting the two components from each other in a suitable manner.
If the proper choice is made, the temperature control is discontinued, whereas the measurand can still be detected.

【0031】そのような評価の際には第2の補償コイル
は必要なく、また別個の温度センサも必要ない。それど
ころか測定コイル自体が温度センサとなる。前記2つの
成分の加算又は減算は、位相位置を相応に選択すること
により特に簡単に行うことができる。図2に示されたベ
クトルダイヤグラム(これは減算に対して当てはまる)
からは当該実施例に対して重要な電流と電圧には常に符
号1が付されていることが明らかである。
No second compensating coil is required for such an evaluation and no separate temperature sensor is required. On the contrary, the measuring coil itself serves as a temperature sensor. The addition or subtraction of the two components can be carried out particularly simply by selecting the phase positions accordingly. Vector diagram shown in Figure 2 (this applies to subtraction)
It is clear from the above that the current and the voltage which are important for the embodiment are always assigned the reference numeral 1.

【0032】コイル14に定電流I1が給電されると、
実際のコイルでは抵抗Rの直列回路とインダクタンスL
を有する理想コイルに相応して電圧U1が生じる。この
電圧U1は励起電流I1に対して位相差βを有してい
る。位相差が0度の同期整流器は、実部UR1によって
引き起こされた電圧降下を測定する。それに対して同期
整流器が90度の位相差を有しているならば、正味のイ
ンダクタンスによって引き起こされた電圧降下UL1が
測定される。
When the constant current I1 is supplied to the coil 14,
In the actual coil, the series circuit of resistance R and inductance L
A voltage U1 is produced corresponding to an ideal coil with This voltage U1 has a phase difference β with respect to the excitation current I1. The zero degree phase difference synchronous rectifier measures the voltage drop caused by the real part UR1. If, on the other hand, the synchronous rectifier has a phase difference of 90 degrees, the voltage drop UL1 caused by the net inductance is measured.

【0033】サンプリングフェーズが90度+αの場合
は測定電圧としてUM1が生じる。この電圧は図2のベ
クトルダイヤグラムにおいてコイル電圧U1からサンプ
リングフェーズ方向(この方向には図2中において符号
Aが付されており、さらに点線で示されている)への垂
直な投射で表されている。測定電圧に対しては次式が成
り立つ。
When the sampling phase is 90 degrees + α, UM1 is generated as the measurement voltage. This voltage is represented in the vector diagram of FIG. 2 by a vertical projection from the coil voltage U1 in the direction of the sampling phase (this direction is labeled A in FIG. 2 and is also indicated by the dotted line). There is. The following equation holds for the measured voltage.

【0034】 UM1=cosα×(U1−tanα×UR1) 実際には一定の係数で乗算された電圧U1の実部が電圧
U1の虚部から減算される。同時に一定の係数での乗算
がさらに行われる。この乗算は一定の増幅によって再び
補償され得る。
UM1 = cosα × (U1-tanα × UR1) In practice, the real part of the voltage U1 multiplied by a constant coefficient is subtracted from the imaginary part of the voltage U1. At the same time, a further multiplication with a constant coefficient is performed. This multiplication can be compensated again by a constant amplification.

【0035】公知の集積化された変位量センサに使用さ
れたならば例えば温度補償に対して次のような角度が生
じる。
If used in a known integrated displacement sensor, the following angles occur, for example for temperature compensation.

【0036】すなわちα=15度の角度が生じる。That is, an angle of α = 15 degrees occurs.

【0037】オフセット及び勾配の付加的なフィルタリ
ングと校正は図1に示された実施例では同期整流器とは
別個の段において行われる。この段はフィルタ29とし
て示されている。しかしながらこのフィルタリングと校
正を、第2のインバータ28に集積された段を用いて実
施することも可能である。
Additional filtering and calibration of offset and slope is done in a separate stage from the synchronous rectifier in the embodiment shown in FIG. This stage is shown as filter 29. However, it is also possible to carry out this filtering and calibration with a stage integrated in the second inverter 28.

【0038】同期整流器20におけるローパスフィルタ
によって既に比較的良好に行われているノイズ信号の抑
圧、例えば測定周波数よりも低い周波数の低周波ノイズ
に対する抑圧は、次のことによりさらに改善され得る。
すなわちコンデンサ18と抵抗19をハイパスフィルタ
として作用するように選定することによりさらに改善さ
れ得る。それにより測定周波数に重畳する低周波振動が
フィルタリングにより取り除かれることが保証される。
The suppression of the noise signal, which is already performed relatively well by the low-pass filter in the synchronous rectifier 20, for example, the suppression of low-frequency noise at a frequency lower than the measurement frequency, can be further improved by the following.
This can be further improved by choosing the capacitor 18 and the resistor 19 to act as a high pass filter. This ensures that low-frequency vibrations that are superimposed on the measurement frequency are filtered out.

【0039】このハイパスフィルタにより不所望の位相
ずれが調整されるので、クロック信号の付加的なシフト
が必要である。全体的に見れば制御器17と同期整流器
20との間のハイパスフィルタと、同期整流器20と出
力側30との間のローパスフィルタ29との組み合わせ
から、生じ得る全ての周波数に対して有効となるノイズ
抑圧が行われる。
Since this high-pass filter adjusts the unwanted phase shift, an additional shift of the clock signal is necessary. Overall, the combination of the high-pass filter between the controller 17 and the synchronous rectifier 20 and the low-pass filter 29 between the synchronous rectifier 20 and the output side 30 is effective for all possible frequencies. Noise suppression is performed.

【0040】ハイパスフィルタ31としては比較的高次
のハイパスフィルタ又は帯域パスフィルタか又はアクテ
ィブハイパスフィルタも使用し得る。その他の有利な効
果として制御器17と発振器10からのオフセット電圧
が出力側30に達し得ないことが保証される。それによ
り信号エラーも引き起こされなくなる。
As the high pass filter 31, a relatively high order high pass filter, a band pass filter, or an active high pass filter may be used. Another advantageous effect is that the offset voltage from the controller 17 and the oscillator 10 cannot reach the output 30. It also prevents signal errors.

【0041】発振器10も制御器17もアナログ形式又
はデジタル形式で実施し得るものである。制御器17の
制御特性は障害量制御回路を用いてさらに改善され得
る。この場合の発振器10の出力電圧は制御器17に付
加的な情報として供給される。
Both the oscillator 10 and the controller 17 can be implemented in analog or digital form. The control characteristics of the controller 17 can be further improved by using the disturbance amount control circuit. The output voltage of the oscillator 10 in this case is supplied to the controller 17 as additional information.

【0042】別の改善は、発振器10の出力側10bに
結合される正弦波電圧USが抵抗ネットワークと第2の
アナログスイッチを介して同期整流器20へ給電される
場合に達成される。このように構成すれば唯1つのコイ
ルを有するセンサに対してもオフセット補償が例えば直
流電圧を増幅段へ給電することによって可能である。こ
のことは非常に安定した補償に結び付く。
Another improvement is achieved when the sinusoidal voltage US, which is coupled to the output 10b of the oscillator 10, is fed to the synchronous rectifier 20 via a resistor network and a second analog switch. With this configuration, offset compensation can be performed even for a sensor having only one coil by supplying a DC voltage to the amplification stage. This leads to very stable compensation.

【0043】発振器電圧と周波数の変化が測定電圧の全
体値をかなり変化させるので、発振器の安定度はセンサ
装置の所望の精度の何倍にもなる。精度の改善は適合す
る伝送特性、例えば測定コイルの伝送特性が平均的かつ
安定した位置を有するのと同じような伝送特性を有する
ネットワークを介して得られる。この場合さらに第2の
アナログスイッチが設けられる。このアナログスイッチ
を介して電圧が交互に同期整流器に給電される。この手
段を介してオフセット補償は可能になる。このオフセッ
ト補償は発振器に関して本来のオフセットと同じ特性を
有している。この実現は図1による実施例において第2
方式の付加的なハイパスフィルタを用いて行われ得る。
The stability of the oscillator is many times greater than the desired accuracy of the sensor device, since changes in the oscillator voltage and frequency change the overall value of the measured voltage considerably. An improvement in accuracy is obtained via a network with matching transmission characteristics, for example the transmission characteristics of the measuring coil have an average and stable position. In this case, a second analog switch is additionally provided. The voltage is alternately fed to the synchronous rectifier via this analog switch. Offset compensation is possible via this means. This offset compensation has the same characteristics of the oscillator as the original offset. This realization is second in the embodiment according to FIG.
Can be done with an additional high pass filter of the scheme.

【0044】図3には本発明による別の実施例の回路装
置全体が示されている。この実施例では発振器がアナロ
グスイッチIC4からなっている。このアナログスイッ
チIC4はツインスイッチとして2つのスイッチ素子3
3,34で構成される。このアナログスイッチIC4の
出力側は3つの抵抗R1,R2,R3からなる直列回路
を介して演算増幅器OP1の非反転入力側に接続され
る。前記の複数の抵抗の組み合わせによる回路とアース
の間には3つのコンデンサC1,C2,C3が設けられ
ている。演算増幅器OP1の出力側と該演算増幅器の反
転入力側との間には抵抗R10が設けられている。この
抵抗R10はその他に抵抗R9を介してアースに接続さ
れる。
FIG. 3 shows the entire circuit device of another embodiment according to the present invention. In this embodiment, the oscillator comprises an analog switch IC4. This analog switch IC4 has two switch elements 3 as twin switches.
It is composed of 3,34. The output side of the analog switch IC4 is connected to the non-inverting input side of the operational amplifier OP1 via a series circuit composed of three resistors R1, R2 and R3. Three capacitors C1, C2 and C3 are provided between the circuit formed by the combination of the plurality of resistors and the ground. A resistor R10 is provided between the output side of the operational amplifier OP1 and the inverting input side of the operational amplifier. The resistor R10 is also connected to ground via a resistor R9.

【0045】比較器K1の非反転入力側は演算増幅器O
P1の反転入力側に接続されている。比較器K1の非反
転入力側は抵抗R4を介してアナログスイッチIC4と
抵抗R1との間の接続点に接続される。比較器K1の出
力側には抵抗R5を介して供給電圧が印加され、その他
に比較器K1の出力側はアナログスイッチIC4の入力
側に接続される。
The operational amplifier O is connected to the non-inverting input side of the comparator K1.
It is connected to the inverting input side of P1. The non-inverting input side of the comparator K1 is connected to the connection point between the analog switch IC4 and the resistor R1 via the resistor R4. A supply voltage is applied to the output side of the comparator K1 via a resistor R5, and the output side of the comparator K1 is connected to the input side of the analog switch IC4.

【0046】制御器17は演算増幅器OP3を有してい
る。この演算増幅器OP3の反転入力側はコンデンサC
5と抵抗R13を介してアースに接続され、抵抗R15
と抵抗R16を介して発振器10の演算増幅器OP1の
出力側に接続される。さらに該演算増幅器OP3の反転
入力側はコンデンサC6と抵抗R14を介して出力側に
接続される。
The controller 17 has an operational amplifier OP3. The inverting input side of this operational amplifier OP3 has a capacitor C
5 and the resistor R13 to ground, and the resistor R15
Is connected to the output side of the operational amplifier OP1 of the oscillator 10 via the resistor R16. Further, the inverting input side of the operational amplifier OP3 is connected to the output side via the capacitor C6 and the resistor R14.

【0047】測定コイル14は抵抗R15と抵抗R16
の間の接続点に接続される。この測定コイル14の別の
側は抵抗R17を介して演算増幅器OP3の出力側に接
続される。当該測定コイル14の2つの端子とアースと
の間には各々1つのコンデンサC7,C8が設けられて
いる。
The measuring coil 14 has resistors R15 and R16.
Connected to the connection point between. The other side of this measuring coil 14 is connected to the output side of the operational amplifier OP3 via a resistor R17. Between the two terminals of the measuring coil 14 and the ground, one capacitor C7, C8 is provided.

【0048】演算増幅器OP3の非反転入力側は抵抗R
6を介して比較器K1の非反転入力側に接続され、抵抗
R7を介して5Vの供給電圧が印加される。さらに演算
増幅器OP3の非反転入力側とアースとの間には抵抗R
8とコンデンサC4が設けられている。
The non-inverting input side of the operational amplifier OP3 has a resistor R
It is connected to the non-inverting input side of the comparator K1 via 6 and the supply voltage of 5V is applied via the resistor R7. Further, a resistor R is provided between the non-inverting input side of the operational amplifier OP3 and the ground.
8 and a capacitor C4 are provided.

【0049】同期整流器20は2つの演算増幅器OP4
及びOP5を有している。これらの演算増幅器の反転入
力側はアナログスイッチIC4の各々1つの端子に接続
される。さらに演算増幅器OP5の反転入力側は抵抗R
26を介して演算増幅器OP4の出力側に接続され、さ
らに抵抗R27を介して演算増幅器OP4の反転入力側
に接続される。
The synchronous rectifier 20 includes two operational amplifiers OP4.
And OP5. The inverting inputs of these operational amplifiers are connected to one terminal of each analog switch IC4. Further, the inverting input side of the operational amplifier OP5 has a resistor R
It is connected to the output side of the operational amplifier OP4 via 26, and is further connected to the inverting input side of the operational amplifier OP4 via the resistor R27.

【0050】演算増幅器OP4及びOP5の非反転入力
側は相互に接続され、さらにいわゆるドライバ段32の
演算増幅器OP6の非反転入力側並びに制御器17の演
算増幅器OP3の非反転入力側に接続される。
The non-inverting input sides of the operational amplifiers OP4 and OP5 are connected to each other and further connected to the non-inverting input side of the operational amplifier OP6 of the so-called driver stage 32 and the non-inverting input side of the operational amplifier OP3 of the controller 17. ..

【0051】演算増幅器OP5の反転入力側とアースと
の間には可変抵抗R24が設けられており、演算増幅器
OP5の反転入力側とその出力側との間にはコンデンサ
C3並びに別の可変抵抗R25が設けられている。その
他に演算増幅器OP5の出力側はドライバ段32の抵抗
R23に接続される。
A variable resistor R24 is provided between the inverting input side of the operational amplifier OP5 and ground, and a capacitor C3 and another variable resistor R25 are provided between the inverting input side of the operational amplifier OP5 and its output side. Is provided. In addition, the output side of the operational amplifier OP5 is connected to the resistor R23 of the driver stage 32.

【0052】ドライバ段32は前記演算増幅器OP6の
他にさらに抵抗R19〜R22並びにコンデンサC11
及びC12を有している。この場合抵抗R20とコンデ
ンサC11は演算増幅器OP6の反転入力側とその出力
側の間に設けられており、反転入力側はさらに抵抗R2
3及びR19に接続される。
In addition to the operational amplifier OP6, the driver stage 32 further includes resistors R19 to R22 and a capacitor C11.
And C12. In this case, the resistor R20 and the capacitor C11 are provided between the inverting input side and the output side of the operational amplifier OP6, and the inverting input side further has the resistor R2.
3 and R19.

【0053】演算増幅器OP6の出力側は抵抗R21及
び抵抗22を介して出力側30に接続される。この出力
側30では温度補償のための測定信号が得られる。出力
側30はさらに抵抗R19に接続され、抵抗R21,R
22とアースとの間にはコンデンサC12が配置され
る。
The output side of the operational amplifier OP6 is connected to the output side 30 via the resistors R21 and 22. At this output 30, a measuring signal for temperature compensation is obtained. The output side 30 is further connected to the resistor R19, and the resistors R21, R
A capacitor C12 is arranged between 22 and ground.

【0054】さらに抵抗R18とコンデンサC9からな
るハイパスフィルタがコイル14とアナログスイッチI
C4の間に配置される。
Further, a high-pass filter consisting of a resistor R18 and a capacitor C9 is a coil 14 and an analog switch I.
It is located between C4.

【0055】次に図3による回路装置の機能を説明す
る。
The function of the circuit arrangement according to FIG. 3 will now be described.

【0056】アナログスイッチIC4は抵抗R1をアー
スと基準電圧(5V)に交互に接続する。そのためコン
デンサC1においてほぼ三角形状の振動(e−Funk
tion)が生じる。比較器K1の非反転入力側におい
ては抵抗R4によってヒステリシスが発生する。比較器
K1は閾値に達する毎にアナログスイッチIC4を切換
える。
The analog switch IC4 alternately connects the resistor R1 to the ground and the reference voltage (5V). Therefore, in the capacitor C1, a substantially triangular vibration (e-Funk) is generated.
)) occurs. On the non-inverting input side of the comparator K1, the resistor R4 causes hysteresis. The comparator K1 switches the analog switch IC4 every time the threshold value is reached.

【0057】発生した電圧は2段のパッシブローパスフ
イルタR2,C2及びR3,C3によってフィルタリン
グされ、さらに演算増幅器OP1によって緩衝され増幅
される。それにより調波成分の少ない所望の振動が生じ
る。この振動でもってコイル14は給電される。
The generated voltage is filtered by the two-stage passive low-pass filters R2, C2 and R3, C3, and further buffered and amplified by the operational amplifier OP1. As a result, a desired vibration with few harmonic components is generated. The coil 14 is powered by this vibration.

【0058】アナログスイッチIC4内のツインスイッ
チのスイッチ素子33,34の切換が同時に行われるた
め、比較器K1は、同期整流器20に対するクロックを
同時に供給する。この場合スイッチ素子34は機能的に
みて図1による同期整流器20のアナログスイッチ21
に相応する。しかしながらスイッチ素子33,34は同
じチップに設けられるので、発生した振動、例えば正弦
波振動と同期整流器の振動との間の位相位置は絶対に一
定であることが保証される。同期整流器の振動の位相位
置の絶対値は2つのローパスフィルタR2,C2及びR
3,C3を介してそのつど求められる条件に適合され得
る。
Since the switching elements 33 and 34 of the twin switches in the analog switch IC 4 are switched at the same time, the comparator K1 simultaneously supplies the clock to the synchronous rectifier 20. In this case, the switch element 34 is functionally equivalent to the analog switch 21 of the synchronous rectifier 20 according to FIG.
Corresponds to. However, since the switch elements 33, 34 are provided on the same chip, it is ensured that the phase position between the generated vibration, for example the sinusoidal vibration and the vibration of the synchronous rectifier, is absolutely constant. The absolute value of the phase position of the vibration of the synchronous rectifier is determined by two low pass filters R2, C2 and R.
3, C3 can be adapted to the respective required conditions.

【0059】制御器17はコイル14に供給された電圧
を図1の説明の際に記載したように制御する。そのため
ここではこれ以上の機能作用の説明は省く。
The controller 17 controls the voltage supplied to the coil 14 as described in the description of FIG. Therefore, further explanation of the function and action is omitted here.

【0060】制御器の出力側ないしコイル端子の1つに
おいて生じた電圧は、抵抗R18とコンデンサC9から
なるハイパスフィルタを介して同期整流器20に結合さ
れる。抵抗R25の適切な選定ないし設定によりセンサ
信号の上昇が調整され、さらに発生したオフセットが抵
抗R24を用いて調整される。信号のフィルタリングは
コンデンサC10で行われる。ドライバ32を介して装
置全体の出力信号が出力側30に供給される。
The voltage produced at the output of the controller or at one of the coil terminals is coupled to the synchronous rectifier 20 via a high pass filter consisting of a resistor R18 and a capacitor C9. By properly selecting or setting the resistor R25, the rise of the sensor signal is adjusted, and the generated offset is adjusted by the resistor R24. Signal filtering is performed by the capacitor C10. The output signal of the entire device is supplied to the output side 30 via the driver 32.

【0061】図4には差動型誘導センサに対する実施例
が示されている。この実施例ではセンサ11が2つのコ
イル35,36を有している。これらのコイルのインダ
クタンスは測定量に依存して逆方向に変化する。
FIG. 4 shows an embodiment for a differential type inductive sensor. In this embodiment, the sensor 11 has two coils 35 and 36. The inductance of these coils changes in the opposite direction depending on the measured quantity.

【0062】コイル35,36は2つの抵抗R29及び
R31を介して発振器10の正弦波状の励起信号を受け
取る。コンデンサC13,C14並びに抵抗R30とR
32を介して前記コイルのアースされていない側の端子
は同期整流器20と接続される。
The coils 35 and 36 receive the sinusoidal excitation signal of the oscillator 10 via the two resistors R29 and R31. Capacitors C13, C14 and resistors R30 and R
The terminal on the non-grounded side of the coil is connected via 32 to the synchronous rectifier 20.

【0063】同期整流器20は例えば図3の実施例に類
似して構成される。しかしながらこの同期整流器20は
発振器10のクロックによって同時に切換えられるツイ
ンスイッチを有している。
The synchronous rectifier 20 is constructed similar to the embodiment of FIG. 3, for example. However, this synchronous rectifier 20 has twin switches which are switched simultaneously by the clock of the oscillator 10.

【0064】場合により同じようにさらに使用可能な制
御器はこの実施例の場合には取り入れられていない。
A controller, which may likewise be used additionally, is not incorporated in this embodiment.

【0065】次に図4による実施例の機能を説明する。Next, the function of the embodiment shown in FIG. 4 will be described.

【0066】発振器10では正弦波振動が生成される。
この正弦波振動は抵抗R29,R31を介して2つのコ
イル35,36に供給される。抵抗が適切に選定されて
いるならば、この実施例でもコイルを通る交流電流は比
較的一定になる。
The oscillator 10 produces sinusoidal vibration.
This sinusoidal vibration is supplied to the two coils 35 and 36 via resistors R29 and R31. If the resistance is chosen properly, the alternating current through the coil will be relatively constant in this embodiment as well.

【0067】2つの誘導電圧U21,U22が2つの切
換部35,36によって同期整流器に給電される。この
場合これは同時に減算も行う。サンプリングフェーズを
絞って選定することにより測定すべき量が検出され得
る。
The two induced voltages U21 and U22 are supplied to the synchronous rectifier by the two switching units 35 and 36. In this case it also subtracts at the same time. By narrowing down and selecting the sampling phase, the quantity to be measured can be detected.

【0068】図4に示された電圧U1及びU2並びに電
流Ia,Ib,Icは図5に表されている。この場合出
力電圧UAは1回は付加的なフィルタを通して出力さ
れ、1回は付加的なフィルタなしに出力される。この図
では破線で示された曲線がフィルタを通した場合の出力
電圧を表している。
The voltages U1 and U2 and the currents Ia, Ib and Ic shown in FIG. 4 are shown in FIG. In this case, the output voltage UA is output once through the additional filter and once without the additional filter. In this figure, the curve shown by the broken line represents the output voltage when it is filtered.

【0069】[0069]

【発明の効果】本発明の請求項1の特徴部分による誘導
センサ用の評価回路によって得られる利点は、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単で非常に正確な
温度補償が可能になることである。
The advantage obtained by the evaluation circuit for an inductive sensor according to the characterizing part of claim 1 of the invention is that a particularly simple and very accurate temperature compensation is possible without the use of an additional temperature sensor. That is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】1つのコイル有する本発明の第1実施例を示し
た図である。
FIG. 1 shows a first embodiment of the invention with one coil.

【図2】いわゆるベクトルダイヤグラムを示した図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a so-called vector diagram.

【図3】1つのコイルを有する実施例に対するブロック
回路の全体図である。
FIG. 3 is an overall block circuit diagram for an embodiment having one coil.

【図4】差動型誘導センサに対する実施例を示した図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment for a differential type inductive sensor.

【図5】図4による実施例に含まれる信号経過をフィル
タリングさせずに時間に関して表した図と実施例に含ま
れる信号経過をフィルタリングさせて時間に関して表し
た図である。
5 is a diagram of the signal curve according to FIG. 4 in terms of time without filtering and the signal curve of the exemplary embodiment in terms of time with filtering.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 発振器 10a 出力側 10b 出力側 12 抵抗 13 接続点 14 測定コイル 15 コンデンサ 16 コンデンサ 17 制御器 17a 入力側 17b 入力側 17c 出力側 18 コンデンサ 19 抵抗 20 同期整流器 21 アナログスイッチ 22 演算増幅器 23 抵抗 24 抵抗 25 抵抗 26 演算増幅器 27 インバータ 28 インバータ 29 フィルタ 30 アナログ出力側 32 ドライバ段 33 スイッチ素子 34 スイッチ素子 R 抵抗 C コンデンサ IC4 アナログスイッチ OP1 演算増幅器 OP3 演算増幅器 OP4 演算増幅器 OP5 演算増幅器 OP6 演算増幅器 K1 比較器 10 oscillator 10a output side 10b output side 12 resistance 13 connection point 14 measurement coil 15 capacitor 16 capacitor 17 controller 17a input side 17b input side 17c output side 18 capacitor 19 resistance 20 synchronous rectifier 21 analog switch 22 operational amplifier 23 resistance 24 resistance 25 Resistor 26 Operational amplifier 27 Inverter 28 Inverter 29 Filter 30 Analog output side 32 Driver stage 33 Switching element 34 Switching element R Resistance C capacitor IC4 Analog switch OP1 Operational amplifier OP3 Operational amplifier OP4 Operational amplifier OP5 Operational amplifier OP6 Operational amplifier K1 Comparator

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1つのコイルと発振器と整流
器とを有する誘導センサ用の評価回路であって、前記コ
イルのインダクタンスは測定すべき特性量に依存するも
のであり、前記発振器の出力信号は前記コイルの入力側
に供給されており、さらに前記整流器には誘導された電
圧が供給される、評価回路において、 前記整流器は同期整流器(20)であり、該同期整流器
(20)には発振器(10)からクロック信号が供給さ
れ、該クロック信号の位相位置は、誘導された電圧の位
相位置に対し、コイル(14)、(35),(36)の
抵抗値(R),(R1),(R2)とインダクタンス
(L),(L1),(L2)を別個に測定し得るように
選定されることを特徴とする、誘導センサ用の評価回
路。
1. An evaluation circuit for an inductive sensor having at least one coil, an oscillator and a rectifier, wherein the inductance of the coil depends on a characteristic quantity to be measured, and the output signal of the oscillator is An evaluation circuit in which an induced voltage is supplied to the input side of a coil, and the induced voltage is supplied to the rectifier, wherein the rectifier is a synchronous rectifier (20), and the synchronous rectifier (20) includes an oscillator (10). ), The phase position of the clock signal is the resistance values (R), (R1), (R1) of the coils (14), (35), (36) with respect to the phase position of the induced voltage. Evaluation circuit for an inductive sensor, characterized in that it is chosen such that R2) and the inductances (L), (L1), (L2) can be measured separately.
【請求項2】 測定信号の温度補償が前記コイル(1
4)の抵抗値(R)の温度依存性を利用して行われ、こ
の場合交流抵抗値の実部が求められる、請求項1記載の
評価回路。
2. The temperature compensation of the measurement signal is performed by the coil (1).
The evaluation circuit according to claim 1, which is performed by utilizing the temperature dependency of the resistance value (R) of 4), and in this case, the real part of the AC resistance value is obtained.
【請求項3】 前記クロック信号の位相位置は、コイル
(14)内で誘導された電圧の虚部と、一定の係数で乗
算された実部との間の差から温度補償された測定電圧が
生じるように選定される、請求項2記載の評価回路。
3. The phase position of the clock signal is the temperature compensated measured voltage from the difference between the imaginary part of the voltage induced in the coil (14) and the real part multiplied by a constant factor. The evaluation circuit according to claim 2, which is selected to occur.
【請求項4】 少なくとも1つの前記コイル(14)の
出力信号は、前記同期整流器(20)への供給の前に制
御器(17)において制御される、請求項1から3まで
いずれか1記載の評価回路。
4. The output signal of at least one of said coils (14) is controlled in a controller (17) before being fed to said synchronous rectifier (20). Evaluation circuit.
【請求項5】 前記同期整流器(20)は2つのインバ
ータ(27,28)を有しており、該インバータ(2
7,28)には前記コイル(14)の出力信号が交互に
供給される、請求項1から4までいずれか1記載の評価
回路。
5. The synchronous rectifier (20) comprises two inverters (27, 28), the inverter (2)
7. The evaluation circuit according to claim 1, wherein the output signals of the coils (14) are alternately supplied to 7, 28).
【請求項6】 前記同期整流器(20)の入力側にはフ
ィルタ装置(18,19)が配置されている、請求項1
から5までいずれか1記載の評価回路。
6. A filter device (18, 19) is arranged on the input side of the synchronous rectifier (20).
The evaluation circuit according to any one of 1 to 5.
【請求項7】 前記1つ又は複数のコイルと前記同期整
流器との間にローパスフィルタが設けられている、請求
項1から6までいずれか1記載の評価回路。
7. The evaluation circuit according to claim 1, further comprising a low-pass filter provided between the one or more coils and the synchronous rectifier.
【請求項8】 オフセット補償のためのネットワークが
設けられており、該ネットワークは同期整流器を介して
別のアナログスイッチと、選択可能な周波数及び位相位
置で接続される、請求項1から7までいずれか1記載の
評価回路。
8. A network for offset compensation is provided, which network is connected via a synchronous rectifier to another analog switch at selectable frequency and phase positions. Evaluation circuit according to item 1.
【請求項9】 前記同期整流器(20)としてローパス
特性を有する差動増幅器が用いられる、請求項1から8
までいずれか1記載の評価回路。
9. The differential amplifier having a low-pass characteristic is used as the synchronous rectifier (20).
The evaluation circuit according to any one of items 1 to 3.
【請求項10】 2つのコイル(35,36)を有する
差動型誘導センサ(11)が設けられており、前記同期
整流器(20)は2つのスイッチング素子を有してお
り、該スイッチング素子は前記2つのコイル(35,3
6)のそれぞれ1つと接続され、同じクロック内で切換
えられる、請求項1から9までいずれか1記載の評価回
路。
10. A differential inductive sensor (11) having two coils (35, 36) is provided, the synchronous rectifier (20) having two switching elements, the switching elements being: The two coils (35, 3
Evaluation circuit according to any one of claims 1 to 9, which is connected to each one of 6) and switched in the same clock.
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