JPS59131156A - ガスセンサ− - Google Patents
ガスセンサ−Info
- Publication number
- JPS59131156A JPS59131156A JP58006120A JP612083A JPS59131156A JP S59131156 A JPS59131156 A JP S59131156A JP 58006120 A JP58006120 A JP 58006120A JP 612083 A JP612083 A JP 612083A JP S59131156 A JPS59131156 A JP S59131156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- electrode
- light
- hydrophilic polymer
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4141—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for gases
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/788—Of specified organic or carbon-based composition
- Y10S977/795—Composed of biological material
- Y10S977/796—Composed of biological material for electrical or electronic purpose
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は先端にゲート部と、他端に電極部を有する細長
状のゲート絶縁型電界効果トランジスタ構造を有するイ
オンセンサー（以下Ｉ ８ ＦＥＴという）を使用した
ガスセンサーに関するものである。
状のゲート絶縁型電界効果トランジスタ構造を有するイ
オンセンサー（以下Ｉ ８ ＦＥＴという）を使用した
ガスセンサーに関するものである。
炭酸ガス、アンモニアガスをはじめとするガス濃度測定
は工業用途において重要な事はいうまでもないが、近年
医学、生理学分野においても、生体中のガス濃度を測定
することが重要視されはじめている。例えば生理学にお
いては、−細胞中のガス濃度の測定が重要な知見を与え
、又医学においては、麻酔患者や、重症患者９回復室の
患者の血中ガス濃度の継続的な測定が緊急事態の発見に
役立っている。かかる目的には細胞中、又は血管中に挿
入して用いることのできる極めて小さいガスセンサーが
必要とされる。
は工業用途において重要な事はいうまでもないが、近年
医学、生理学分野においても、生体中のガス濃度を測定
することが重要視されはじめている。例えば生理学にお
いては、−細胞中のガス濃度の測定が重要な知見を与え
、又医学においては、麻酔患者や、重症患者９回復室の
患者の血中ガス濃度の継続的な測定が緊急事態の発見に
役立っている。かかる目的には細胞中、又は血管中に挿
入して用いることのできる極めて小さいガスセンサーが
必要とされる。
上記目的には従来微小なガラス電極を用いたガスセンサ
ーが提案されでいる。
ーが提案されでいる。
しかしながら医学、生理学分野において使用されるガス
センサーは、生体内、例えば血管に挿入されて使用され
るため生体挿入部は直径２ｍｍ以下にする必要があるが
、ガラス電極は、そのサイズに限界があるとともにこわ
れ易いため取扱いが困難である。また、ガラス膜の電極
抵抗が大きくなるため別に高入力抵抗増巾器を設ける必
要があり、電極抵抗も大きいため絶縁が難しく不要な雑
音を誘導しやすいなど実用上解決すべき多くの問題点を
有していた。
センサーは、生体内、例えば血管に挿入されて使用され
るため生体挿入部は直径２ｍｍ以下にする必要があるが
、ガラス電極は、そのサイズに限界があるとともにこわ
れ易いため取扱いが困難である。また、ガラス膜の電極
抵抗が大きくなるため別に高入力抵抗増巾器を設ける必
要があり、電極抵抗も大きいため絶縁が難しく不要な雑
音を誘導しやすいなど実用上解決すべき多くの問題点を
有していた。
本願出願人は、従来のガラス電極を使用したガスセンサ
ーの欠点を解消するため、半導体の電界効果を利用した
ｌ５ＦＥＴを用いたガスセンサーを特開昭５６−２５４
６号に提案している。かかるカスセンサーはガスを吸収
することによりイオン濃度（例えばｐＨ）の変化するガ
ス吸収液にそのイオンに感応するｌ５ＦＥＴのゲート部
を接触させ、該ガス吸収液の外側をガス透過性膜で被覆
することにより作製することができる。上記ガスセンサ
ーに用いるＩ ８ ＦＥＴは、 ＩＣ技術を用いて作製
された絶縁ゲート型電界効果トランジスタ構造を有して
おり、該トランジスタのゲート部に、イオン交換物質、
酵素等を含む化学選択性の膜を形成した極めて小形なも
ので、この化学選択性の膜表面における電解質との界面
電位の変化を検出して、電解質中の特定イオン濃度や酵
素に働く特定物質等を測定するものである。このような
イオンセンサの具体的構造に関しで、本願出願人は既に
、特公昭５７−４３８６３号に提案した。
ーの欠点を解消するため、半導体の電界効果を利用した
ｌ５ＦＥＴを用いたガスセンサーを特開昭５６−２５４
６号に提案している。かかるカスセンサーはガスを吸収
することによりイオン濃度（例えばｐＨ）の変化するガ
ス吸収液にそのイオンに感応するｌ５ＦＥＴのゲート部
を接触させ、該ガス吸収液の外側をガス透過性膜で被覆
することにより作製することができる。上記ガスセンサ
ーに用いるＩ ８ ＦＥＴは、 ＩＣ技術を用いて作製
された絶縁ゲート型電界効果トランジスタ構造を有して
おり、該トランジスタのゲート部に、イオン交換物質、
酵素等を含む化学選択性の膜を形成した極めて小形なも
ので、この化学選択性の膜表面における電解質との界面
電位の変化を検出して、電解質中の特定イオン濃度や酵
素に働く特定物質等を測定するものである。このような
イオンセンサの具体的構造に関しで、本願出願人は既に
、特公昭５７−４３８６３号に提案した。
しかしながらＩ ８ ＦＥＴは光に感応するという欠点
があり、ｌ８ＦＥＴを利用したガスセンサーを手術中の
監視などに用いる場合にはｌ８ＦＥＴの光感応性は大き
な問題である。Ｉ ８ ＦＥＴの光感応性の絶対値はそ
れほど大きくなく通常１０−１０ Ｖ／Ｌｕｘ程度であ
るが、医療用では測定される変化量が小さいことと、手
術の際には手術灯にで数千ルクス〜数万ルクスもの照明
を受けるために、ｌ８ＦＥＴの光感応性は実用上火きな
障害となる。
があり、ｌ８ＦＥＴを利用したガスセンサーを手術中の
監視などに用いる場合にはｌ８ＦＥＴの光感応性は大き
な問題である。Ｉ ８ ＦＥＴの光感応性の絶対値はそ
れほど大きくなく通常１０−１０ Ｖ／Ｌｕｘ程度であ
るが、医療用では測定される変化量が小さいことと、手
術の際には手術灯にで数千ルクス〜数万ルクスもの照明
を受けるために、ｌ８ＦＥＴの光感応性は実用上火きな
障害となる。
本願出願人はＩ ８ ＦＥＴの光感応性を解消するため
、Ｉ ８ ＦＥＴのゲート部に黒色に着色した親水性の
ポリマーを被覆することを特開昭５３−１４６６９５号
に提案している。しかしながら上記提案はイオンセンサ
ーの光感応性を解消するためのものであり、該ポリマー
はガスは透過せずイオンが透過゛するものである。
゛ 本発明者らはＩ ８ ＦＥＴを用いたガスセンサーに光
不透過性のガス透過膜を用いることによりｌ８ＦＥ’ｌ
’の光感応性を解消できることに着目し、従来−公知の
ガス透過膜、例えばテトラフロロエチレン、トリフロロ
エチレン、ヘキサフロロプロピレン、クロロトリフロロ
エチレン等の重合体、′共重合体の弗素樹脂、ポリエチ
レン、ポ゛リプロピレン、ポリベンテンー１等のポリオ
レフイ′ン及びシリコン樹脂なε′に染料あるいは顔料
を添加して光透過性とガス透過性について検討したとこ
ろ顔料や染料をポリ→−中に加えていくと、ポリマーの
ガス透′過性は低下し、また顔料や染料の濃度が高く”
なりすぎるとポリマーはもろくなる。ポリマーの顔料も
しくは染料の濃度を低くしたまま光透過性を低くすると
、ポリマーの膜厚が大きぐなるためガス透過性が悪くな
る。またガス透過膜の膜厚が大きくなることは、センサ
ーのサイズが大きくなり好ましくないという欠点があっ
た。したがって従来公知のガス透過膜に単に着色すると
いうことではガスセンサーの光感応性を解消することが
できない。
、Ｉ ８ ＦＥＴのゲート部に黒色に着色した親水性の
ポリマーを被覆することを特開昭５３−１４６６９５号
に提案している。しかしながら上記提案はイオンセンサ
ーの光感応性を解消するためのものであり、該ポリマー
はガスは透過せずイオンが透過゛するものである。
゛ 本発明者らはＩ ８ ＦＥＴを用いたガスセンサーに光
不透過性のガス透過膜を用いることによりｌ８ＦＥ’ｌ
’の光感応性を解消できることに着目し、従来−公知の
ガス透過膜、例えばテトラフロロエチレン、トリフロロ
エチレン、ヘキサフロロプロピレン、クロロトリフロロ
エチレン等の重合体、′共重合体の弗素樹脂、ポリエチ
レン、ポ゛リプロピレン、ポリベンテンー１等のポリオ
レフイ′ン及びシリコン樹脂なε′に染料あるいは顔料
を添加して光透過性とガス透過性について検討したとこ
ろ顔料や染料をポリ→−中に加えていくと、ポリマーの
ガス透′過性は低下し、また顔料や染料の濃度が高く”
なりすぎるとポリマーはもろくなる。ポリマーの顔料も
しくは染料の濃度を低くしたまま光透過性を低くすると
、ポリマーの膜厚が大きぐなるためガス透過性が悪くな
る。またガス透過膜の膜厚が大きくなることは、センサ
ーのサイズが大きくなり好ましくないという欠点があっ
た。したがって従来公知のガス透過膜に単に着色すると
いうことではガスセンサーの光感応性を解消することが
できない。
本発明者らは顔料あるいは染料が均一にまざり、光透過
度が低く、かつガス透過度も低下しないガス透過膜につ
いて鋭意検討したところ、シリコンゴムのみが本発明の
目的に適用できることを見い出した。このシリコンゴム
はモノマーあるいはプレポリマーの状態で着色材料とま
く練り合せた後、膜状に成型することができる。着色材
料としではカーボンブラック、シアニンブラック、油煙
等の顔料を用いることが好ましい。着色シリコンゴムは
通常液状もしくはペースト状のシリコンゴλに粒径３０
μ以下のカーボンブラックを１％以上添加し、よく醜練
してから膜状もしくはチューブ状に成型して砂泥させる
こ゛とが最適である。粒径が３０μ以上では膜がもろく
なるとともに、ピンホールが発生する恐れがある。カー
ボンブラックは膜がもろくならない程度まで添加するこ
とができる。通常１〜５０％、好ましくは１〜２０％で
ある。硬化は一液型のシリコン樹脂では加熱もしくは水
分の添加により行なわれる。二液型のシリコン樹脂では
プレポリマーに硬化剤を加えることによってなされる。
度が低く、かつガス透過度も低下しないガス透過膜につ
いて鋭意検討したところ、シリコンゴムのみが本発明の
目的に適用できることを見い出した。このシリコンゴム
はモノマーあるいはプレポリマーの状態で着色材料とま
く練り合せた後、膜状に成型することができる。着色材
料としではカーボンブラック、シアニンブラック、油煙
等の顔料を用いることが好ましい。着色シリコンゴムは
通常液状もしくはペースト状のシリコンゴλに粒径３０
μ以下のカーボンブラックを１％以上添加し、よく醜練
してから膜状もしくはチューブ状に成型して砂泥させる
こ゛とが最適である。粒径が３０μ以上では膜がもろく
なるとともに、ピンホールが発生する恐れがある。カー
ボンブラックは膜がもろくならない程度まで添加するこ
とができる。通常１〜５０％、好ましくは１〜２０％で
ある。硬化は一液型のシリコン樹脂では加熱もしくは水
分の添加により行なわれる。二液型のシリコン樹脂では
プレポリマーに硬化剤を加えることによってなされる。
この場合は硬化剤の方にもあらかしめ顔料を分散してお
くと二液の混合の不完全による色のむらを防ぐことが出
来好ましい。
くと二液の混合の不完全による色のむらを防ぐことが出
来好ましい。
さらにこのガス透過膜はガス透過性と光不透過性の両者
を共に満たすもので、光透過率が１０％以下で、窒素ガ
スの０℃ガス透過係数（Ｐ）と膜厚（ｄ）による商（Ｐ
／ｄ）が２．５ Ｘ １０−’ ［（ｙｊ （８ＴＰ
）／Ｃａ・８ｃｍＨｇ〕以上であるようなガス透過膜で
ある。
を共に満たすもので、光透過率が１０％以下で、窒素ガ
スの０℃ガス透過係数（Ｐ）と膜厚（ｄ）による商（Ｐ
／ｄ）が２．５ Ｘ １０−’ ［（ｙｊ （８ＴＰ
）／Ｃａ・８ｃｍＨｇ〕以上であるようなガス透過膜で
ある。
（ガス透過係数の単位中ｃｔＲ（８ＴＰ ）は０℃１気
圧でのガスの体積である）。ここで光透過率とは４００
〜１２００ｇの波長を有する光の平均透過率である。
圧でのガスの体積である）。ここで光透過率とは４００
〜１２００ｇの波長を有する光の平均透過率である。
光透過率が１０％以上では光の影響が大きく実用上問題
である。また（Ｐ／ｄ）が２，５Ｘ１０以下ではガス透
過性が低く問題である。光透過率は膜そのものをはがし
、ミクロデンジツメ−ターで測定することができる。ま
た窒素ガスのガス透過係数はガス透過量（標準状態での
体積）×膜厚／（膜面積）×（時間）×（両面の差圧）
により定義される値であり、例えはガス透過膜チューブ
の内側に窒素ガスを供給し外側に窒素ガス以外の気体を
満たし、膜を透過する窒素ガスの量をガスクロマトグラ
フィにより定量すれば測定できる。光の透過率、ガス透
過係数ともにガス透過膜に穴（とくにピンホール）のな
い状態で測定を行なうことが盛装である。
である。また（Ｐ／ｄ）が２，５Ｘ１０以下ではガス透
過性が低く問題である。光透過率は膜そのものをはがし
、ミクロデンジツメ−ターで測定することができる。ま
た窒素ガスのガス透過係数はガス透過量（標準状態での
体積）×膜厚／（膜面積）×（時間）×（両面の差圧）
により定義される値であり、例えはガス透過膜チューブ
の内側に窒素ガスを供給し外側に窒素ガス以外の気体を
満たし、膜を透過する窒素ガスの量をガスクロマトグラ
フィにより定量すれば測定できる。光の透過率、ガス透
過係数ともにガス透過膜に穴（とくにピンホール）のな
い状態で測定を行なうことが盛装である。
次に本発明のガスセンサーの一実施例を図面にて説明す
る。
る。
ｌ８ＦＥＴ１はカテーテル２中にそのゲート部３がカテ
ーテルの外部に露出するように埋込まれ、カテーテル中
に埋込まれた電極部４と該電極に連結されるエナメル線
はカテーテル内部に充填された絶縁材料５（例えばエポ
キシ樹脂）にて絶縁される。カテーテル中にはまたＩ
Ｓ ＦＥＴと共にＡｇ−Ａｇ０ｔからなる比較電極６が
埋込まれでいる。ｌ８ＦＥＴのゲート部及び比較電極の
一部はガスを吸収することによってイオン濃度の変化す
るガス吸収液を含有する親水性ポリマー７に接している
。この親水性ポリマーとしてはポリビニルアルコール（
ＰＶＡ ）。
ーテルの外部に露出するように埋込まれ、カテーテル中
に埋込まれた電極部４と該電極に連結されるエナメル線
はカテーテル内部に充填された絶縁材料５（例えばエポ
キシ樹脂）にて絶縁される。カテーテル中にはまたＩ
Ｓ ＦＥＴと共にＡｇ−Ａｇ０ｔからなる比較電極６が
埋込まれでいる。ｌ８ＦＥＴのゲート部及び比較電極の
一部はガスを吸収することによってイオン濃度の変化す
るガス吸収液を含有する親水性ポリマー７に接している
。この親水性ポリマーとしてはポリビニルアルコール（
ＰＶＡ ）。
セルロース、ポリヒドロキシエチル、メタクリレート、
ポリビニルピロリドン、寒天等や電解質ポリマー等があ
るがとくにＰＶＡが好ましい。カテーテルの他端はセン
サー測定回路に連結するためのコネクター（図示せず）
が接続されている。この親水性ポリマー７はさらに上述
のシリコンゴム８により覆われている。
ポリビニルピロリドン、寒天等や電解質ポリマー等があ
るがとくにＰＶＡが好ましい。カテーテルの他端はセン
サー測定回路に連結するためのコネクター（図示せず）
が接続されている。この親水性ポリマー７はさらに上述
のシリコンゴム８により覆われている。
上記シリコンゴムは少くともカテーテルの先端部（例え
ば先端から５〜１０α）の全周を被うことが作業が容易
で、かつガス透過膜の確実な被覆ができ好ましい。
ば先端から５〜１０α）の全周を被うことが作業が容易
で、かつガス透過膜の確実な被覆ができ好ましい。
実施例
Ｉ ８ ＦＥＴのゲート感応膜に８ｉｓＮａを有するｐ
Ｈセンサー（長さ５簡巾４００μ）と鎖線を塩素化して
作成シたＡｇ−ＡｇＣ１比較電極をナイロンカテーテル
（直径０．６ ｗｇ ）に埋込み、その上にＮａＨＯＯ
ｇ を含むＰＶム水溶液を塗布し、さらにその上に種
々の光透過率とガス透過率を有するシリコンゴムを被覆
した第１図に示す炭酸ガスセンサーを作製し炭酸ガスセ
ンサーとして使用できるか否かを検討した結果を表−１
に示す。
Ｈセンサー（長さ５簡巾４００μ）と鎖線を塩素化して
作成シたＡｇ−ＡｇＣ１比較電極をナイロンカテーテル
（直径０．６ ｗｇ ）に埋込み、その上にＮａＨＯＯ
ｇ を含むＰＶム水溶液を塗布し、さらにその上に種
々の光透過率とガス透過率を有するシリコンゴムを被覆
した第１図に示す炭酸ガスセンサーを作製し炭酸ガスセ
ンサーとして使用できるか否かを検討した結果を表−１
に示す。
なお、シリコンゴムとしては信越化学■のＲＴＶ４４Ｋ
Ｔを用いた。光感度はタングステンランプにて測定した
。また試料／Ｉ６６は１）ｅｔａｋｔａ社（西独）製８
ｉ１ｉｃｏｎｋａｕｔｓｅｈｕｋ ８ｅｈｌａｕｃｈｅ
００５０１−■ｔの赤色のシリコンチューブを用いた
。
Ｔを用いた。光感度はタングステンランプにて測定した
。また試料／Ｉ６６は１）ｅｔａｋｔａ社（西独）製８
ｉ１ｉｃｏｎｋａｕｔｓｅｈｕｋ ８ｅｈｌａｕｃｈｅ
００５０１−■ｔの赤色のシリコンチューブを用いた
。
第１図は本発明のガスセンサーの断面図である。
１・・・・・・ Ｉ Ｓ ＦＥ’ｌ’
２・・・・・・カテーテル３・・・・・・ゲート部
４・・聞電極部５・・・・・・絶縁材料
６・・曲比較電極７・・・・・・親水性ポリマー
８・・曲シリコンゴム特許出願人 株式会社
り ラ し 代理人 弁理士本多 堅 第１図
２・・・・・・カテーテル３・・・・・・ゲート部
４・・聞電極部５・・・・・・絶縁材料
６・・曲比較電極７・・・・・・親水性ポリマー
８・・曲シリコンゴム特許出願人 株式会社
り ラ し 代理人 弁理士本多 堅 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、先端にゲート部と他端に電極部を有する細長状のゲ
ート絶縁型電界効果トランジスタ構造を有するイオンセ
ンサーの該ゲート部に隣接して比較電極を設け、該ゲー
ト部と比較電極の一部をガスを吸収する仁とによりイオ
ン濃度が変化するガス吸収液を含有する親水性ポリマー
で被覆するとともに、該親水性ポリマーの表面を４００
〜１２００ｇの光の透過率が１０％以下で、かつ窒素ガ
ス透過係数（Ｐ）の膜厚（ｄ）による商（Ｐ／ｄ） ｂ
ｓ ２，５ Ｘ １ ｏ−’（ｃＩｒ（８ＴＰ）／ｃｊ
Ｉ−８−ｃｓＨｇ）以上であるシリコンゴムで被覆した
ことを特徴とするガスセンサー。 ２、イオンセンサーと比較電極が可撓性の細管の先端に
収容されてなる特許請求の範囲第１項記載のガスセンサ
ー。 ３、シリコンゴムが粒径３０μ以下のカーボンブラック
を１％以上含有してなる特許請求の範囲第１項記載のガ
スセンサー。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006120A JPS59131156A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ガスセンサ− |
| US06/567,559 US4474183A (en) | 1983-01-17 | 1984-01-03 | Gas sensor |
| EP84100455A EP0114077B1 (en) | 1983-01-17 | 1984-01-17 | Gas sensor |
| DE8484100455T DE3483536D1 (de) | 1983-01-17 | 1984-01-17 | Gasfuehler. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006120A JPS59131156A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ガスセンサ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131156A true JPS59131156A (ja) | 1984-07-27 |
| JPH0365491B2 JPH0365491B2 (ja) | 1991-10-14 |
Family
ID=11629643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58006120A Granted JPS59131156A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ガスセンサ− |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4474183A (ja) |
| EP (1) | EP0114077B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59131156A (ja) |
| DE (1) | DE3483536D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125558A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-04 | Kuraray Co Ltd | ガスセンサ |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4568445A (en) * | 1984-12-21 | 1986-02-04 | Honeywell Inc. | Electrode system for an electro-chemical sensor for measuring vapor concentrations |
| US4716887A (en) * | 1985-04-11 | 1988-01-05 | Telectronics N.V. | Apparatus and method for adjusting heart/pacer rate relative to cardiac pCO2 to obtain a required cardiac output |
| US4921591A (en) * | 1987-10-13 | 1990-05-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Ion sensors and their divided parts |
| US5124130A (en) * | 1990-05-22 | 1992-06-23 | Optex Biomedical, Inc. | Optical probe |
| US5204265A (en) * | 1990-10-15 | 1993-04-20 | Puritan-Bennett Corporation | Method of stabilizing a carbon dioxide sensor |
| US5117827A (en) * | 1990-10-26 | 1992-06-02 | Sandhill Scientific, Inc. | Apparatus and method for ambulatory reflux monitoring |
| WO1992019150A1 (en) * | 1991-05-03 | 1992-11-12 | Innerspace, Inc. | Direct insertable tissue probe |
| US5271398A (en) * | 1991-10-09 | 1993-12-21 | Optex Biomedical, Inc. | Intra-vessel measurement of blood parameters |
| US5335305A (en) * | 1991-12-19 | 1994-08-02 | Optex Biomedical, Inc. | Optical sensor for fluid parameters |
| JPH1071150A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-03-17 | Nippon Koden Corp | 生体内ガスセンサ |
| US6411834B1 (en) | 1999-09-03 | 2002-06-25 | Nihon Kohden Corporation | Biological sensor |
| US6936147B2 (en) * | 1999-11-19 | 2005-08-30 | Perkinelmer Las, Inc. | Hybrid film type sensor |
| JP4456303B2 (ja) * | 2000-09-06 | 2010-04-28 | 株式会社堀場製作所 | ｐＨセンサ |
| US6572745B2 (en) * | 2001-03-23 | 2003-06-03 | Virotek, L.L.C. | Electrochemical sensor and method thereof |
| US6576102B1 (en) | 2001-03-23 | 2003-06-10 | Virotek, L.L.C. | Electrochemical sensor and method thereof |
| US8996090B2 (en) * | 2002-06-03 | 2015-03-31 | Exostat Medical, Inc. | Noninvasive detection of a physiologic parameter within a body tissue of a patient |
| US7630747B2 (en) * | 2003-09-09 | 2009-12-08 | Keimar, Inc. | Apparatus for ascertaining blood characteristics and probe for use therewith |
| US20050121826A1 (en) * | 2003-12-03 | 2005-06-09 | Kiamars Hajizadeh | Multi-sensor device for motorized meter and methods thereof |
| US20100010328A1 (en) * | 2008-07-11 | 2010-01-14 | Nguyen Harry D | Probes and sensors for ascertaining blood characteristics and methods and devices for use therewith |
| WO2010027957A2 (en) * | 2008-09-03 | 2010-03-11 | Keimar, Inc. | Systems for characterizing physiologic parameters and methods for use therewith |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS562546A (en) * | 1979-06-20 | 1981-01-12 | Kuraray Co Ltd | Gas sensor using fet and its manufacture |
| JPS5740641A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 | Kuraray Co Ltd | Gas sensor |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3719576A (en) * | 1971-01-29 | 1973-03-06 | Gen Electric | Electrode for measuring co2 tension in blood and other liquid and gaseous environments |
| US3831432A (en) * | 1972-09-05 | 1974-08-27 | Texas Instruments Inc | Environment monitoring device and system |
| US4020830A (en) * | 1975-03-12 | 1977-05-03 | The University Of Utah | Selective chemical sensitive FET transducers |
| US4273636A (en) * | 1977-05-26 | 1981-06-16 | Kiyoo Shimada | Selective chemical sensitive field effect transistor transducers |
| JPS5466194A (en) * | 1977-11-04 | 1979-05-28 | Kuraray Co | Fet sensor |
| US4198851A (en) * | 1978-05-22 | 1980-04-22 | University Of Utah | Method and structure for detecting the concentration of oxygen in a substance |
| DE3020068C2 (de) * | 1979-05-30 | 1983-11-03 | Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo | Chemisch empfindliche Meßzelle |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP58006120A patent/JPS59131156A/ja active Granted
-
1984
- 1984-01-03 US US06/567,559 patent/US4474183A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-01-17 DE DE8484100455T patent/DE3483536D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1984-01-17 EP EP84100455A patent/EP0114077B1/en not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS562546A (en) * | 1979-06-20 | 1981-01-12 | Kuraray Co Ltd | Gas sensor using fet and its manufacture |
| JPS5740641A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 | Kuraray Co Ltd | Gas sensor |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125558A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-04 | Kuraray Co Ltd | ガスセンサ |
| JPH04223B2 (ja) * | 1983-12-09 | 1992-01-06 | Nippon Koden Kogyo Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0365491B2 (ja) | 1991-10-14 |
| US4474183A (en) | 1984-10-02 |
| DE3483536D1 (de) | 1990-12-13 |
| EP0114077A2 (en) | 1984-07-25 |
| EP0114077A3 (en) | 1985-09-25 |
| EP0114077B1 (en) | 1990-11-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59131156A (ja) | ガスセンサ− | |
| US5124129A (en) | Carbon dioxide indicator | |
| US5005572A (en) | CO2 indicator and the use thereof to evaluate placement of tracheal tubes | |
| US7811276B2 (en) | Medical sensor and technique for using the same | |
| AU634986B2 (en) | Indicator device | |
| Peterson et al. | Fiber optic pH probe for physiological use | |
| US4994117A (en) | Quantitative carbon dioxide detector | |
| US5046496A (en) | Sensor assembly for measuring analytes in fluids | |
| US8062221B2 (en) | Sensor for tissue gas detection and technique for using the same | |
| USRE30317E (en) | Method and apparatus for determining the perfusion efficiency factor of animal tissue | |
| JPH10507515A (ja) | 気体濃度測定の方法及びそれを実施するための微細加工検出装置 | |
| WO1990003819A1 (en) | Co2 diagnostic monitor | |
| JPS6154410B2 (ja) | ||
| KR101899925B1 (ko) | 색 변환 기반 의료용 날숨센서 및 그 제조방법 | |
| CA2181676A1 (en) | Improved cell and circuit for monitoring photochemical reactions | |
| WO1990001695A1 (en) | Carbon dioxide indicator | |
| WO1989007957A1 (en) | Co2 indicator for placement of tracheal tubes | |
| WO2020047606A1 (en) | Systems, sensors and methods for determining a concentration of an analyte | |
| US7238267B2 (en) | Self-condensing pH sensor | |
| CA1236396A (en) | Endotoxin-detecting device | |
| EP3177909B1 (en) | Capnography system | |
| JPH02249480A (ja) | バイオセンサ | |
| CA1325763C (en) | Carbon dioxide indicator | |
| JPS62197758A (ja) | 電気化学検出器 | |
| KR20200133608A (ko) | 비색 센서 어레이 및 이의 제조방법 |