JPS5913050B2 - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
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- JPS5913050B2 JPS5913050B2 JP52004594A JP459477A JPS5913050B2 JP S5913050 B2 JPS5913050 B2 JP S5913050B2 JP 52004594 A JP52004594 A JP 52004594A JP 459477 A JP459477 A JP 459477A JP S5913050 B2 JPS5913050 B2 JP S5913050B2
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- JP
- Japan
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- flow rate
- coil
- control
- pressure
- receiving element
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- Regulation And Control Of Combustion (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は流体(例えば燃焼ガス)の流量を比例10的に
制御する流量制御装置に関するものである。
制御する流量制御装置に関するものである。
従来、燃焼ガス等の流体の比例制御において、応答性が
要求されるものは電子式が用いられており、外部信号(
例えばサーシスタによる温度信号等)によつてのみ流量
を制御するか、あるいはサ15−ボモータを有する装置
により流量制御を行なつていた。しかしながらこれら従
来のものは、装置自体のヒステリシスや不感帯のために
制御すべき流量が制御信号に対して一義的に決まらず、
このため迅速で正確な制御が出来ず、また制御系の発2
0振や振動現象を発生させやすいものであり、さらにサ
ーボモータを有するものにあつては、装置が複雑あるい
はコスト高となるなどの欠点を有していた。本発明の流
量制御装置は上記のごとく欠点を除25去し、低コスト
の構成で高速、高精度な流量の制御を可能とし、又使用
対象に応じて電子回路の設定変更のみで適応しうる汎用
性に富むものを提供するものである。
要求されるものは電子式が用いられており、外部信号(
例えばサーシスタによる温度信号等)によつてのみ流量
を制御するか、あるいはサ15−ボモータを有する装置
により流量制御を行なつていた。しかしながらこれら従
来のものは、装置自体のヒステリシスや不感帯のために
制御すべき流量が制御信号に対して一義的に決まらず、
このため迅速で正確な制御が出来ず、また制御系の発2
0振や振動現象を発生させやすいものであり、さらにサ
ーボモータを有するものにあつては、装置が複雑あるい
はコスト高となるなどの欠点を有していた。本発明の流
量制御装置は上記のごとく欠点を除25去し、低コスト
の構成で高速、高精度な流量の制御を可能とし、又使用
対象に応じて電子回路の設定変更のみで適応しうる汎用
性に富むものを提供するものである。
以下本発明の実施例を図面に基ずいて詳細に説30明す
る。
る。
なお、実施例の説明はガス燃焼機器の燃焼ガスの流量制
御装置の場合について行なうものとする。まず第1図は
本発明による流量制御装置における流量検出器を示す。
御装置の場合について行なうものとする。まず第1図は
本発明による流量制御装置における流量検出器を示す。
この流量検出器はガス流量山 に対応した出力信号を出
すものであり、ガス回路の一部に設けたオリフィスやノ
ズルの両端の差圧、あるいはバーナ入口のガス圧と燃焼
室内の圧力との差圧等によつて作動してガス流量を検出
する。すなわち、第1図において、1は高圧側ケース、
2は低圧側ケース、3は高圧導入口、4は低圧導入口、
5はダイヤフラム、6および7はそれぞれ受圧板、8は
ダイヤフラム5および受圧板6,7を一体にするための
リベツト、9はリベツト8に固定して取り付けられたス
リツト板、10は圧縮コイルばね、11は圧縮コイルば
ね10を安定保持するガイドである。以上の要素により
、圧力を変位に変換する圧力変位変換部を構成する。1
2は光像の偏位により光電物質(例えばCdS,CdS
e,シリコンなど)で作られた2つの同形の感光面の抵
抗値の比が差動的に変化する受光素千、13は光源(例
えば発光ダイオード、ネオンランプ、フイラメントラン
プなど)、14は受光素子12および光源13を固定す
る保持台であり、低圧側ケース2に取り付けられている
。
すものであり、ガス回路の一部に設けたオリフィスやノ
ズルの両端の差圧、あるいはバーナ入口のガス圧と燃焼
室内の圧力との差圧等によつて作動してガス流量を検出
する。すなわち、第1図において、1は高圧側ケース、
2は低圧側ケース、3は高圧導入口、4は低圧導入口、
5はダイヤフラム、6および7はそれぞれ受圧板、8は
ダイヤフラム5および受圧板6,7を一体にするための
リベツト、9はリベツト8に固定して取り付けられたス
リツト板、10は圧縮コイルばね、11は圧縮コイルば
ね10を安定保持するガイドである。以上の要素により
、圧力を変位に変換する圧力変位変換部を構成する。1
2は光像の偏位により光電物質(例えばCdS,CdS
e,シリコンなど)で作られた2つの同形の感光面の抵
抗値の比が差動的に変化する受光素千、13は光源(例
えば発光ダイオード、ネオンランプ、フイラメントラン
プなど)、14は受光素子12および光源13を固定す
る保持台であり、低圧側ケース2に取り付けられている
。
15は受光素子12のリード端子、16は光源13のリ
ード端子である。
ード端子である。
スリツト板9、受光素子12、光源13、保持台14に
より、変位電気変換部を構成する。17はスリツト板9
に設けられた長方形のスリツト孔である。
より、変位電気変換部を構成する。17はスリツト板9
に設けられた長方形のスリツト孔である。
以上の構成において、ガス回路の1部に設けたオリフイ
スの前後より高圧導入口3及び低圧導入口4にパイプ等
で導入すると、オリフイスの前後の差圧Pがダイヤフラ
ム5および受圧板6に加わり、Fなる受圧力が与えられ
る。
スの前後より高圧導入口3及び低圧導入口4にパイプ等
で導入すると、オリフイスの前後の差圧Pがダイヤフラ
ム5および受圧板6に加わり、Fなる受圧力が与えられ
る。
したがつてダイヤフラム5、受圧板6は低圧側に移動す
る。しし受圧板7を介して圧縮コイルばね10がたわみ
、応力が増大するため結局ダイヤフラム5の変位は、差
圧Pによる受圧力Fと圧縮コイルばね10の応力が平衡
する位置となる。スリツト板9はリベツト8に連結され
ていて、ダイヤフラム5、受圧板6,7と同一の変位を
するから、スリツト板9に設けられたスリツト孔17も
同一の変位を示す。 ごここで差圧Pと受圧力Fが比例
し、また圧縮コイルばね10のたわみ量と応力も比例す
るから、スリツト孔17の変位は、オリフイス前後の差
圧Pの大きさに比例した値となる。次に、受光素子12
および光源13は互いに対4向して保持台14に取り付
けられており、スリツト板9の受光素子12は極めて接
近した位置関係に置かれていて、光源13よりの光はス
リツト孔17を通つた部分のみ受光素子12の感光面に
照射され、スリツト孔17以外からは受光素子12の感
光面には光は照射されない。
る。しし受圧板7を介して圧縮コイルばね10がたわみ
、応力が増大するため結局ダイヤフラム5の変位は、差
圧Pによる受圧力Fと圧縮コイルばね10の応力が平衡
する位置となる。スリツト板9はリベツト8に連結され
ていて、ダイヤフラム5、受圧板6,7と同一の変位を
するから、スリツト板9に設けられたスリツト孔17も
同一の変位を示す。 ごここで差圧Pと受圧力Fが比例
し、また圧縮コイルばね10のたわみ量と応力も比例す
るから、スリツト孔17の変位は、オリフイス前後の差
圧Pの大きさに比例した値となる。次に、受光素子12
および光源13は互いに対4向して保持台14に取り付
けられており、スリツト板9の受光素子12は極めて接
近した位置関係に置かれていて、光源13よりの光はス
リツト孔17を通つた部分のみ受光素子12の感光面に
照射され、スリツト孔17以外からは受光素子12の感
光面には光は照射されない。
そこで、スリツト板9の光源13との距離を適当にとれ
ば、スリツト板9と受光素子12との距離は極めて小さ
いから、受光素子12の感光面における光像の形状およ
び位置は、スリツト孔17の形状および位置と等しいも
のとなる。したがつてスリツト孔17が変位すると、そ
の変位に全く等しく受光素子12の感光面における光像
が偏位する。受光素子12の感光面の光像が偏位すると
、光電物質で作られた2つの同形の感光面の抵抗値の比
が差動的に変化するため、結局スリツト孔17の変位に
従つて、受光素子12の電気出力信号が変化することに
なる。受光素子12は前述のごとく、光電物質で作られ
た2つの同形の感光面を有しており、この感光面におけ
る光像の偏位に応じて抵抗値の比が差動的に変化し、こ
の2つの感光面に直流電圧を印加すると、その中点の電
圧は光像の偏位により直線的に変化する。すなわち、受
光素子12は光像の偏位に比例した出力電圧を発する。
従つて、前述のオリフイスの前後の差圧Pと、スリツト
孔17の変位が比例すること、スリツト孔17の変位と
受光素子12の感光面における光像の偏位が同一となる
こと、光像の偏位と、出力電圧が比例することより、受
光素子12の出力電圧はオリフイス前後の差圧Pに比例
した値となる。
ば、スリツト板9と受光素子12との距離は極めて小さ
いから、受光素子12の感光面における光像の形状およ
び位置は、スリツト孔17の形状および位置と等しいも
のとなる。したがつてスリツト孔17が変位すると、そ
の変位に全く等しく受光素子12の感光面における光像
が偏位する。受光素子12の感光面の光像が偏位すると
、光電物質で作られた2つの同形の感光面の抵抗値の比
が差動的に変化するため、結局スリツト孔17の変位に
従つて、受光素子12の電気出力信号が変化することに
なる。受光素子12は前述のごとく、光電物質で作られ
た2つの同形の感光面を有しており、この感光面におけ
る光像の偏位に応じて抵抗値の比が差動的に変化し、こ
の2つの感光面に直流電圧を印加すると、その中点の電
圧は光像の偏位により直線的に変化する。すなわち、受
光素子12は光像の偏位に比例した出力電圧を発する。
従つて、前述のオリフイスの前後の差圧Pと、スリツト
孔17の変位が比例すること、スリツト孔17の変位と
受光素子12の感光面における光像の偏位が同一となる
こと、光像の偏位と、出力電圧が比例することより、受
光素子12の出力電圧はオリフイス前後の差圧Pに比例
した値となる。
さて、以上で受光素子12の出力電圧がオリフイス前後
の差圧Pと比例することが分つたが、この差圧Pは、流
体の法則から流量Qの2乗に比例する値となるので結局
、受光素子12の出力電圧、すなわち流量検出器の流量
検出信号は流量Qの2乗に比例した値となり、第2図に
示すごとく特性となる。次に、第3図に本発明の流量制
御装置における比例式電磁弁の一実施例を説明する。
の差圧Pと比例することが分つたが、この差圧Pは、流
体の法則から流量Qの2乗に比例する値となるので結局
、受光素子12の出力電圧、すなわち流量検出器の流量
検出信号は流量Qの2乗に比例した値となり、第2図に
示すごとく特性となる。次に、第3図に本発明の流量制
御装置における比例式電磁弁の一実施例を説明する。
第3図において、17はガス通路を構成する弁ボデ一、
18は弁ポデ一17の一部に設けられた弁座、19は弁
ゴム、20はガス通路を外部と分離するためのダイヤフ
ラム、21はプランシャー22及び23は板ばね、24
はコイル、25は外装ケース、26は板ばね23の一端
を保持する保持板、27は保持板26を変位させてプラ
ンシャー21への応力を調節し、弁ゴム19と弁座19
との締め付け圧を調節するための調節ビスである。
18は弁ポデ一17の一部に設けられた弁座、19は弁
ゴム、20はガス通路を外部と分離するためのダイヤフ
ラム、21はプランシャー22及び23は板ばね、24
はコイル、25は外装ケース、26は板ばね23の一端
を保持する保持板、27は保持板26を変位させてプラ
ンシャー21への応力を調節し、弁ゴム19と弁座19
との締め付け圧を調節するための調節ビスである。
以上の構成において、コイル24に電流を流すと、磁界
が発生し、この磁界によりプランシャー21が図の上方
に引つばられる。しかしながら、プランシャー21が上
方に移動すると、板ばね22及び23にたわみが生じる
ためプランシャー21を下方に押すように応力が増大す
る。このため、プランシャー21は磁界による吸引力と
、板ばね22及び23の応力が等しくなる位置で平衡と
なる。コイル24に流すコイル電流が増大すると、これ
に従つて磁界の強さが増して、プランシャー21との吸
引力が大きくなるから、プランシャー21の変位はより
上方で平衡となる。こうして、コイル24に流すコイル
電流の大きさにより、プランシャー21の変位が変化す
る。このため、フッシャー21に取り付けられた弁ゴム
19もプランシャー21と同一の変位となり、弁座18
とのすきまが変化することになる。このすきま、即ち、
ガス通路の開度が変化すると、ここを流れる燃焼ガスの
流殴が変位することになる。結局、コイル24に流れる
コイル電流によつて、ガス流量が連続的に変化しうるこ
とになる。ところで、コイル電流によつて発生する磁界
によりプランシャー21を変化させるため、磁気回路の
ヒステリシス特性のため、コイル電流1。
が発生し、この磁界によりプランシャー21が図の上方
に引つばられる。しかしながら、プランシャー21が上
方に移動すると、板ばね22及び23にたわみが生じる
ためプランシャー21を下方に押すように応力が増大す
る。このため、プランシャー21は磁界による吸引力と
、板ばね22及び23の応力が等しくなる位置で平衡と
なる。コイル24に流すコイル電流が増大すると、これ
に従つて磁界の強さが増して、プランシャー21との吸
引力が大きくなるから、プランシャー21の変位はより
上方で平衡となる。こうして、コイル24に流すコイル
電流の大きさにより、プランシャー21の変位が変化す
る。このため、フッシャー21に取り付けられた弁ゴム
19もプランシャー21と同一の変位となり、弁座18
とのすきまが変化することになる。このすきま、即ち、
ガス通路の開度が変化すると、ここを流れる燃焼ガスの
流殴が変位することになる。結局、コイル24に流れる
コイル電流によつて、ガス流量が連続的に変化しうるこ
とになる。ところで、コイル電流によつて発生する磁界
によりプランシャー21を変化させるため、磁気回路の
ヒステリシス特性のため、コイル電流1。
とガス流量Qは一対一の関係とはならない。その関係を
第4図に示す。第3図の実施例は、このヒステリシス特
性を軽減するように、構成と材料に検討を加えているが
、完全にヒステリシス特性をなくすることは極めて困難
なことである。第4図から、ヒステリシス特性を有する
以上、コイル電流10により流量Qを決定しようとして
も流量Qはかなり広範囲なバラツキを生じる。しかしな
がら、本発明の流量制御装置は、以上のごときヒステリ
シス特性があつても、何んら支障なく流量Qを制御せん
とするものであり、第5図に本発明の流量制御装置全体
を示すプロツク図を記す。
第4図に示す。第3図の実施例は、このヒステリシス特
性を軽減するように、構成と材料に検討を加えているが
、完全にヒステリシス特性をなくすることは極めて困難
なことである。第4図から、ヒステリシス特性を有する
以上、コイル電流10により流量Qを決定しようとして
も流量Qはかなり広範囲なバラツキを生じる。しかしな
がら、本発明の流量制御装置は、以上のごときヒステリ
シス特性があつても、何んら支障なく流量Qを制御せん
とするものであり、第5図に本発明の流量制御装置全体
を示すプロツク図を記す。
図において、Aは第3図に示した比例式電磁弁であり、
Bは第1図に示した流量検出器であり、Cは制御回路で
ある。
Bは第1図に示した流量検出器であり、Cは制御回路で
ある。
28は信号処理回路であり、サーシスタによつて検出し
た温水温度と設定温度との差信号等の外部よりの制御信
号Vlnを入力とし、制御したい流量Qの値に対する設
定信号Vdを出力するものである。
た温水温度と設定温度との差信号等の外部よりの制御信
号Vlnを入力とし、制御したい流量Qの値に対する設
定信号Vdを出力するものである。
29は流量検出器Bの出力する流量検出信号V,を流量
Qに比例する信号に演算する演算回路であり、30は信
号処理回路28が出力する設定信号Vdと、演算回路2
9の出力信号VOの差を増幅し、コイル電流1。
Qに比例する信号に演算する演算回路であり、30は信
号処理回路28が出力する設定信号Vdと、演算回路2
9の出力信号VOの差を増幅し、コイル電流1。
を流して比例式電磁弁Aを駆動する増幅駆動回路である
。この構成において、まず演算回路29は、流量検出器
Bよりの流量検出信号の値の平方根を演算、即ち、第6
図に示すごとく関係で出力信号VOを発生するので、出
力信号VOは流量Qと比例することになる。
。この構成において、まず演算回路29は、流量検出器
Bよりの流量検出信号の値の平方根を演算、即ち、第6
図に示すごとく関係で出力信号VOを発生するので、出
力信号VOは流量Qと比例することになる。
次に制御信号Vinが与えられると、信号処理回路28
は瞬時に制御信号Vinを処理して、設定信号Vdを発
生させる。
は瞬時に制御信号Vinを処理して、設定信号Vdを発
生させる。
この設定信号Vdと流量Qに比例した出力信号VOとの
差が増幅され、コイル電流1。が決定されて、比例式電
磁弁Aが駆動される。比例式電磁弁Aの動作によつてガ
ス流量Qが調節されるが、今ガス流量Qが比例式電磁弁
Aのヒステリシス特性のために大きくなりすぎたとする
と、流量検出器Bの流量検出信号が大きくなり、出力信
号VOも大きくなるので、設定信号Vdとの差が小さく
なり、この結果コイル電流1。が減少して、比例弁電磁
弁Aの動作によりガス通路の開度を小さくしてガス流量
Qを減少させるように働くことになる。ガス流量Qが小
さくなると前述とは逆の動作となるが実際には、瞬時に
この動作が行なわれ、増幅駆動回路30の増幅度が非常
に大きいことから設定信号Vdと出力信号VOがほぼ等
しい値で、安定状態となる。換言すると、ガス流量Qと
比例した出力信号VOが設定信号Vdに等しくなるよう
に瞬時にガス流量Qが制御される。そこで前述の信号処
理回路28が、第7図に示すごとく特性を持つように構
成すると、前述の動作説明から明らかなように、制御信
号Vinに対するガス流量Qの関係は第8図に示すごと
くになる。
差が増幅され、コイル電流1。が決定されて、比例式電
磁弁Aが駆動される。比例式電磁弁Aの動作によつてガ
ス流量Qが調節されるが、今ガス流量Qが比例式電磁弁
Aのヒステリシス特性のために大きくなりすぎたとする
と、流量検出器Bの流量検出信号が大きくなり、出力信
号VOも大きくなるので、設定信号Vdとの差が小さく
なり、この結果コイル電流1。が減少して、比例弁電磁
弁Aの動作によりガス通路の開度を小さくしてガス流量
Qを減少させるように働くことになる。ガス流量Qが小
さくなると前述とは逆の動作となるが実際には、瞬時に
この動作が行なわれ、増幅駆動回路30の増幅度が非常
に大きいことから設定信号Vdと出力信号VOがほぼ等
しい値で、安定状態となる。換言すると、ガス流量Qと
比例した出力信号VOが設定信号Vdに等しくなるよう
に瞬時にガス流量Qが制御される。そこで前述の信号処
理回路28が、第7図に示すごとく特性を持つように構
成すると、前述の動作説明から明らかなように、制御信
号Vinに対するガス流量Qの関係は第8図に示すごと
くになる。
上記第8図に示すごとく特 を有する流量制御装置は、
ガス燃焼機器において、I 燃焼状態の安定性が悪く、
また効率が低下する低燃焼領域を回避し、燃焼状態の安
定及び高効率を保持しうると共に、安全性が高くなる。
ガス燃焼機器において、I 燃焼状態の安定性が悪く、
また効率が低下する低燃焼領域を回避し、燃焼状態の安
定及び高効率を保持しうると共に、安全性が高くなる。
制御信号Vinが小さくなる軽負荷時のオンオフ動作は
制御回路Cに設けたヒステリシス特性によりひんぱんと
ならず、機器の寿命向上、点火音の減少等が図れる。通
常の燃焼負荷においては、極めて応答の早い比例制御が
行なわれ、負荷に応じた燃焼状態となり、また温水温度
、温風温度等が一定となり、省エネルギー、快適性、使
い勝手の向上が図れる。
制御回路Cに設けたヒステリシス特性によりひんぱんと
ならず、機器の寿命向上、点火音の減少等が図れる。通
常の燃焼負荷においては、極めて応答の早い比例制御が
行なわれ、負荷に応じた燃焼状態となり、また温水温度
、温風温度等が一定となり、省エネルギー、快適性、使
い勝手の向上が図れる。
制御回路Cの設定で、最大ガス流醗を規定するので、必
要以上にコイル11に電流を流すことがなくなり、電力
の節約、コイル11の異常発熱の防止、制御回路Cの経
済設計が可能となる。
要以上にコイル11に電流を流すことがなくなり、電力
の節約、コイル11の異常発熱の防止、制御回路Cの経
済設計が可能となる。
等の特長を有し、また制御回路Cの回路定数の変更を行
なうだけで次のような効果を発揮しうる。
なうだけで次のような効果を発揮しうる。
v ガスの種類(都市ガス、天然ガス、LPガス等)の
変更に際し、回避すべき低燃焼領域、オンオフ幅等を容
易に変更しうる。最大燃焼量をガス回路の径や炎口ノズ
ル径を変えることなく変更しうる。
変更に際し、回避すべき低燃焼領域、オンオフ幅等を容
易に変更しうる。最大燃焼量をガス回路の径や炎口ノズ
ル径を変えることなく変更しうる。
制御回路Cの増幅度を変えることにより、種種の燃焼機
器におけるサーシスタ等を制御系全体の安定性、応答性
を最適に調整しうる。
器におけるサーシスタ等を制御系全体の安定性、応答性
を最適に調整しうる。
このように種々の使用対象、使用条件に適合した設計を
容易に行なえ、最適な制御特性を満足させることができ
る。
容易に行なえ、最適な制御特性を満足させることができ
る。
以上本発明の一実施例を図面に基づいて説明したが、実
施例で示した構成の他に次のような構成が可能である。
施例で示した構成の他に次のような構成が可能である。
(1)燃暁ガスの流量制御(燃焼量制御)のみならず空
気その他の気体の流量制御に用いることができる。
気その他の気体の流量制御に用いることができる。
(2)流量検出器BflCおける受光素子12は抵抗値
が変化するもの以外に起電力を発生するものでも同様に
構成しうる。
が変化するもの以外に起電力を発生するものでも同様に
構成しうる。
また、受光素子12の2つの感光面が同形(基本的に三
角形叉は台形)のものは、光像Lの偏位に対し電気出力
信号が直線性を有すが、同形でなく、光像Lの偏位に対
して平方根の特性を有するような形状にすることも可能
で、この場合は流量Qと流睦検出信号V,が比例すると
共に前述の実施例の演算回路29を不要とする。(3)
比例式電磁弁Aは圧縮コイルばね、引張コイルばねを用
いても構成可能で、低コスト化、小型化などのために摺
動抵抗がいくらか発生するようなものであつても適応し
うる。
角形叉は台形)のものは、光像Lの偏位に対し電気出力
信号が直線性を有すが、同形でなく、光像Lの偏位に対
して平方根の特性を有するような形状にすることも可能
で、この場合は流量Qと流睦検出信号V,が比例すると
共に前述の実施例の演算回路29を不要とする。(3)
比例式電磁弁Aは圧縮コイルばね、引張コイルばねを用
いても構成可能で、低コスト化、小型化などのために摺
動抵抗がいくらか発生するようなものであつても適応し
うる。
(4)制御回路Cは使用対象、使用条件に応じて容易に
設計可能で、例えば流睦を0(:fl)〜100(f)
連続制御したり、多段階制御しうることは明白である。
設計可能で、例えば流睦を0(:fl)〜100(f)
連続制御したり、多段階制御しうることは明白である。
以上説明したように本発明によれば比例式電磁弁がヒス
テリシス特性を有していても、流量検出器によつて正確
な流量制御ができるもので、その工業的価値は大変大な
るものである。
テリシス特性を有していても、流量検出器によつて正確
な流量制御ができるもので、その工業的価値は大変大な
るものである。
図は本発明の実施例を示し、第1図は流量検知器の断面
図、第2図は流量変化に対する出力特性図、第3図は比
例式電磁弁の断面図、第4図はコイル電流変化に対する
流量特性図、第5図は制御回路部のプロツク図、第6図
は流量検知信号量に対する出力信号の変化を示す図、第
7図および第8図は制御信号に対する設定信号および流
量の変化を示す図である。 12・・・・・・受光素子、13・・・・・・光源、1
9・・・・・・弁(弁ゴム)、21・・・・・・プラン
シャー、22,23・・・・・・ばね(板ばね)、24
・・・・・・コイル、A・・・・・・比例式電磁弁、B
・・・・・・流量検知器、C・・・・・・制御回路。
図、第2図は流量変化に対する出力特性図、第3図は比
例式電磁弁の断面図、第4図はコイル電流変化に対する
流量特性図、第5図は制御回路部のプロツク図、第6図
は流量検知信号量に対する出力信号の変化を示す図、第
7図および第8図は制御信号に対する設定信号および流
量の変化を示す図である。 12・・・・・・受光素子、13・・・・・・光源、1
9・・・・・・弁(弁ゴム)、21・・・・・・プラン
シャー、22,23・・・・・・ばね(板ばね)、24
・・・・・・コイル、A・・・・・・比例式電磁弁、B
・・・・・・流量検知器、C・・・・・・制御回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 流体通路の一部に設けたオリフィスあるいは流体通
路の一部と大気圧との差圧を変位に変換する圧力変位変
換部と、光源と、同一基板上に同一の光電物質で作られ
た2つの感光面を有する受光素子とを有し、前記受光素
子の感光面における光像の偏位が前記圧力変位変換部の
与える変位に応動させて流体の流量を連続的に検出する
流量検出器と、コイル、プランジャー、ばね、弁などよ
り成り前記コイルに電流を流して流体の流量を連続的に
調節する比例式電磁弁と、外部よりの制御信号及び前記
流量検出器の出力信号を入力信号とし、前記コイルに流
す電流を制御する制御回路とにより構成された流量制御
装置。 2 制御回路を、外部よりの制御信号が所定の値以上と
なるまで、および前記制御信号もしくは流量検出器の出
力信号が所定の値以下となつた時、比例式電磁弁の開度
が全閉となるように構成した特許請求の範囲第1項記載
の流量制御装置。 3 制御回路が、流量検出器の出力信号が所定の値以上
とならないように制限手段を具備して成る特許請求の範
囲第1項記載の流量制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52004594A JPS5913050B2 (ja) | 1977-01-18 | 1977-01-18 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52004594A JPS5913050B2 (ja) | 1977-01-18 | 1977-01-18 | 流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5390582A JPS5390582A (en) | 1978-08-09 |
JPS5913050B2 true JPS5913050B2 (ja) | 1984-03-27 |
Family
ID=11588359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52004594A Expired JPS5913050B2 (ja) | 1977-01-18 | 1977-01-18 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5913050B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55121829A (en) * | 1979-03-15 | 1980-09-19 | Matsushita Electric Works Ltd | Roll type kneader |
JPS58214083A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力比例制御弁 |
JPS62138622A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 燃料圧送装置の制御装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS509952A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-01-31 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56324Y2 (ja) * | 1974-08-02 | 1981-01-07 |
-
1977
- 1977-01-18 JP JP52004594A patent/JPS5913050B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS509952A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-01-31 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5390582A (en) | 1978-08-09 |
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