JPS59122385A - Motor device utilizing supersonic vibration - Google Patents

Motor device utilizing supersonic vibration

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JPS59122385A
JPS59122385A JP57228569A JP22856982A JPS59122385A JP S59122385 A JPS59122385 A JP S59122385A JP 57228569 A JP57228569 A JP 57228569A JP 22856982 A JP22856982 A JP 22856982A JP S59122385 A JPS59122385 A JP S59122385A
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Japan
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elastic body
elements
motor device
wave
rod
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JP57228569A
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Japanese (ja)
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Toshio Sashita
年生 指田
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/08Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To convert strong vibration enegy of supersonic wave into rotation or linear movement by utilizing traveling wave combined with lateral wave and longitudinal wave excited on the surface of an elastic material. CONSTITUTION:A surface wave combined with a lateral vibration and a longitudinal vibration is formed on the surface 1a of an elastic material 1 such as metal. This surface wave is called ''Rayleigh wave'', and transmitted along the surface 1a of the elastic material 1. This Rayleigh wave is generated by exciting a vibrator which laterally or longitudinally vibrates. When the surface of a free movable body 2 is pressurized in contact on the surface 1a of the material 1 under this state, this body 2 is driven by the frictional force with the elastic body 1.

Description

【発明の詳細な説明】 れる進行波を、相互に加圧接触する位置に配置した動体
の一方向趣動に変換することを特徴とするモーター装置
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a motor device characterized in that it converts a traveling wave generated by a moving object into a unidirectional movement of moving objects placed in pressure contact with each other.

換言すれは、傾数個の電歪素子,圧電素子または磁歪素
子を組合せて弾性体内に組み込んで形成させた超音波振
動子と、該弾性体の一端面と一定の方向に移動する動体
の一端[−相互に加圧接触する位置に配湯することによ
シ、前記弾性体の表面において励振される横波と縦波と
の合成によって形成する進行波を前記動体の一方向運動
に変換することからなるモーター装置に関するものであ
る。
In other words, an ultrasonic vibrator formed by combining a tilted number of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements and incorporating them into an elastic body, and one end of a moving body that moves in a fixed direction with one end face of the elastic body. [-By distributing hot water to a position where they are in pressurized contact with each other, a traveling wave formed by the combination of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of the elastic body is converted into a unidirectional motion of the moving body. The present invention relates to a motor device consisting of.

従来から広く用いられている各種モーター装置は、その
駆動源と1−で電磁力を応用[またものが大部分であり
、各種用途に使われている。l7かしこれら装置の大き
さや重量及び回転力(トルク)等は用いられる材料によ
って一定の制限を・受けるものである。伺故なら、上記
因子は用いられる材料の磁気的特性等によって決められ
るものであり、これらの特性を超えた装置は回転駆動を
行うことが不可能となるためである。
Various types of motor devices that have been widely used in the past use electromagnetic force as their driving source. However, the size, weight, rotational force (torque), etc. of these devices are subject to certain limitations depending on the materials used. This is because the above-mentioned factors are determined by the magnetic properties of the materials used, and devices exceeding these properties cannot be rotated.

本発明け、超音波の持つ強力な振動エネルギーを回転又
は直進運動に変換することによって小形に1〜で軽量々
モーター装置を実現し、具体的には弾性体内に電歪素子
,圧電素子寸たは磁歪素子を組込構成i〜だ超音波振動
子の表面に励振される進行波を利用したモーター装置の
提供を目的とするものである。
The present invention realizes a small and lightweight motor device by converting the powerful vibrational energy of ultrasonic waves into rotational or linear motion. The object of the present invention is to provide a motor device that utilizes traveling waves excited on the surface of an ultrasonic transducer, which has a structure incorporating a magnetostrictive element.

以下図面を参照して本発明に係るモーター装置の動作原
理と実施例に関し詳細な説明を行う。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The operating principle and embodiments of the motor device according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は動作原理を説明するだめの一部拡大斜視図であ
る。】は金属等弾性体であり、その表面1a上に横振動
と縦振動が合成された進行波が形成された状態を拡大し
て示している。
FIG. 1 is a partially enlarged perspective view for explaining the principle of operation. ] is an elastic body such as a metal, and shows an enlarged view of a state in which a traveling wave, which is a combination of transverse vibration and longitudinal vibration, is formed on its surface 1a.

上記進行波とは第1に一般にレイリー波と呼ばれる表面
波であり、弾性体の表面に沿って伝わる波が存在するこ
とが理論的に解明されている。
The traveling wave mentioned above is firstly a surface wave generally called a Rayleigh wave, and it has been theoretically clarified that there are waves that propagate along the surface of an elastic body.

固体中における弾性波は縦波と横波とがあり、夫々独立
に存在−するが、表面という境界条件のため互いに錯綜
し合って合成される。レイ+7−波を発生させるには基
板媒質上に縦または横振動をする振動子をのせて基板の
表面をたたけばよく、どんなたたきかたをしても振動源
より相当離れたところで表面波成分を観測することがで
きる。第2VC棒状(板状)弾性体の屈曲振動による進
行波であり、弾性体の表面には縦波と横波とが90°位
相のずれた欄内撮動が形成され、棒状(板状)弾性体に
沿って伝搬する。第3に棒状(板状)弾性体に沿って伝
搬する縦波進行波であって、弾性体の表面にはポアッン
ン比による横波が表われる。この場合も弾性体表面は縦
波と横波とが9 0’位相のずれた槽内振動を形成する
Elastic waves in solids include longitudinal waves and transverse waves, each of which exists independently, but due to the boundary condition of the surface, they intertwine and are synthesized. To generate Ray +7- waves, it is sufficient to place a vibrator that vibrates vertically or horizontally on the substrate medium and strike the surface of the substrate.No matter how you strike, the surface wave component will be generated at a considerable distance from the vibration source. can be observed. This is a traveling wave caused by the bending vibration of the second VC rod-shaped (plate-shaped) elastic body.On the surface of the elastic body, a longitudinal wave and a transverse wave are formed with a 90° phase shift, and the rod-shaped (plate-shaped) elastic Propagates along the body. The third type is a longitudinal traveling wave that propagates along a rod-shaped (plate-shaped) elastic body, and a transverse wave due to Poin's ratio appears on the surface of the elastic body. In this case as well, the surface of the elastic body forms vibrations in the tank in which longitudinal waves and transverse waves are out of phase by 90'.

前記第1図の場合、振動源は示しておらず、レイリー波
の伝搬状態のみを示している。即ち、今質点Bに着目す
ると、横振巾a(上下方向)と縦振巾b(左右方向)と
の合成された欄内Q上を矢印Mの方向に運動しており、
その進行波は音速Uのスピードで移動している。この運
動は弾性体表面上1aのどの点であっても同様であって
、この状態下でフリーな動体2の表面を弾性体1の表面
上に加圧接触させると、該動体2け弾性体1の進行波の
頂点A及びA′の部分でのみ接触しており、1つ該頂点
A,には振動速度v=2rJb(fcだし矛は振動数)
で矢印Mの方向に運動しているのであるから、フリーな
動体2け弾性体1との摩擦力によって矢印Nの方向に駆
動されることになる。
In the case of FIG. 1, the vibration source is not shown, and only the propagation state of Rayleigh waves is shown. That is, if we now focus on mass point B, it is moving in the direction of arrow M on column Q, which is a combination of lateral width a (vertical direction) and longitudinal width b (horizontal direction),
The traveling wave is moving at the speed of sound U. This movement is the same at any point on the surface of the elastic body 1a, and when the surface of the free moving body 2 is pressed into contact with the surface of the elastic body 1 under this condition, the elastic body 2 moves The traveling waves of 1 are in contact only at the vertices A and A', and the vibration velocity v = 2rJb (fc dagger is the frequency)
Since it is moving in the direction of arrow M, it is driven in the direction of arrow N by the frictional force with the free movable double elastic body 1.

本発明は上記進行波による動体の駆動を基本としたモー
ター装置に関するものであって、その実施例を以下に説
明する。第2図は装置の一部断面図を示しており、図中
11tj:ケーシング本体であって、その内部に筒状屈
曲振動子13の節部分を支持部材12で支え、且つ該振
動子13の略中央部外周面にテーパー132を設け、こ
のテーパー138の面上に動体としての回転子14の内
周面一端側が加圧接触するように配置する。回転子14
は回転軸15に対してその軸方向に移動可能に支持され
、回転力が調圧機構16を介して回転軸15に伝えられ
る。尚調圧機構16の一例詳細は第5図によって後述す
る。17は軸受を示している。
The present invention relates to a motor device based on the driving of a moving object by the above-mentioned traveling waves, and embodiments thereof will be described below. FIG. 2 shows a partial cross-sectional view of the device. In the figure, 11tj is a casing body, in which the node portion of the cylindrical bending vibrator 13 is supported by the support member 12, and the vibrator 13 is supported by the support member 12. A taper 132 is provided on the outer circumferential surface of the substantially central portion, and one end side of the inner circumferential surface of the rotor 14 as a moving body is placed in pressure contact with the surface of the taper 138. Rotor 14
is supported movably in the axial direction relative to the rotating shaft 15, and rotational force is transmitted to the rotating shaft 15 via the pressure regulating mechanism 16. An example of the pressure regulating mechanism 16 will be described in detail later with reference to FIG. 17 indicates a bearing.

振動子13は中途部において電歪素子または圧電素子1
8.19を組込み構成してあり、進行波の励振源となっ
ている。第3図は上記振動子13の側面図を示1〜、第
4図は第3図のA −A線断面を示す。第3図において
電歪素子または圧電素子1.8.19は軸方向に矢印の
ように伸縮動作する構成とし、その間に電極20をはさ
み込んである。電歪素子または圧電素子と電極の配置は
第4図に示す如く、対角にある電極a、bを結線1−で
端子21に導き、同様に電極c、dを結線l−で端子2
2に導く。夫々の対角位置にある電歪素子または圧電素
子は互に逆方向に伸縮するように動作する。即ち、電極
aに接する電歪素子または圧電素子18.l’9は伸長
方向へ、電極すに接する電歪素子または圧電素子18.
19は短縮方向へ動作するように分極する。、更に電極
dに接する電歪素子または圧電素子18.19は伸長方
向へ、電極Cに接する電歪素子捷たは圧電素子18.1
9は短縮方向へ動作するように分極する。
The vibrator 13 has an electrostrictive element or a piezoelectric element 1 in the middle part.
8.19 is incorporated and serves as an excitation source for traveling waves. 3 shows side views 1 to 1 of the vibrator 13, and FIG. 4 shows a cross section taken along line A--A in FIG. In FIG. 3, electrostrictive elements or piezoelectric elements 1, 8, and 19 are configured to expand and contract in the axial direction as shown by arrows, and electrodes 20 are sandwiched between them. The arrangement of the electrostrictive element or piezoelectric element and the electrodes is as shown in FIG.
Leads to 2. The electrostrictive elements or piezoelectric elements located at respective diagonal positions operate to expand and contract in opposite directions. That is, the electrostrictive element or piezoelectric element 18. in contact with electrode a. l'9 is an electrostrictive element or a piezoelectric element 18. which is in contact with the electrode in the extending direction.
19 is polarized to move in the shortening direction. , further, the electrostrictive element or piezoelectric element 18.19 in contact with the electrode d extends in the elongation direction, and the electrostrictive element or piezoelectric element 18.1 in contact with the electrode C
9 is polarized to operate in the shortening direction.

第5図は調圧機構16の一例を示す断面図である。同図
は自動調圧機構の一例を示しており、回転軸15と回転
子14との間にV形底をもった特殊なカム23.24の
一対と、その中間に介在する複数個の鋼球25を設ける
ことにより、無負荷のときはカム底部に鋼球があるが、
負荷が加わり、トルクが増加するに従って鋼球が溝をの
り上げて軸方向の圧力が発生するように機能する。−f
:れによって回転子14のトルりが回転軸15側に伝達
される。
FIG. 5 is a sectional view showing an example of the pressure regulating mechanism 16. The figure shows an example of an automatic pressure regulating mechanism, in which a pair of special cams 23 and 24 with a V-shaped bottom are placed between the rotating shaft 15 and the rotor 14, and a plurality of steel cams interposed between them. By providing the ball 25, there is a steel ball at the bottom of the cam when there is no load, but
As the load is applied and the torque increases, the steel ball rides up the groove, creating axial pressure. -f
: Due to this, the torque of the rotor 14 is transmitted to the rotating shaft 15 side.

上記の構成により、第4図に示す電極a、bに結線きれ
た端子21と振動子13との間に高周波電圧を印加する
と、振動子13は第6図に示すような屈曲振動をひきお
こす。即ち一次の振動状態において、中央部B点が振動
の腹、H及びに点が振動の節となる。次に他の一方の電
極C,dに結線された端子22と、振動子13の間に前
記電極a、bの電圧に対1〜で90’位相のずれた高周
波電圧を加えると前記B点の振動と垂直方向に位相のず
れた振動Z(紙面に垂直方向)が引き起され、いわば縦
波と横波とを人工的に作り出すことになり、その合成波
が回転円振動となる。
With the above configuration, when a high frequency voltage is applied between the vibrator 13 and the terminal 21 which is connected to the electrodes a and b shown in FIG. 4, the vibrator 13 causes a bending vibration as shown in FIG. 6. That is, in the first-order vibration state, point B in the center is the antinode of vibration, and points H and 2 are nodes of vibration. Next, when a high frequency voltage having a phase shift of 1 to 90' is applied to the voltage of the electrodes a and b between the terminal 22 connected to the other electrodes C and d and the vibrator 13, the point B is A vibration Z (perpendicular to the plane of the paper) that is out of phase with the vibration in the vertical direction is induced, so to speak, artificially creating a longitudinal wave and a transverse wave, and the composite wave becomes a rotating circular vibration.

第7図てより振動子中央部131〕、即ち振動の腹の部
分と、それに外接する回転子I4の内周面14 aとの
接触状態を1/4周期毎に分解1、て(A)(B)(C
)(I))に示した。即ち回転子14の内周面14aは
振動子13側の波の頂点と接触しており、その接触点は
順次移動して1周期毎に回転子14の内周面14aを一
周する。頂点の質点速度は、振動の振巾に比例1〜、O
〜数m / sec程度である。上記の接触点の移動に
よって振動子側に発生した振動が回転子側の回転力とし
て変換される理由を以下に述べる。即ち回転子14の内
周面14aの周長と、これに内接する振動子13の外周
面13bの周長とを比較しfc場合、図示より明らかな
ように邑然前者の周長の方が長く、よって第7図に示1
.たまうに両者の接触点が順次移動l−で、接触点が一
周した時、前記の両周長差の分だけ回転子14側がずれ
ることVc々す、それが回転となって取り出される。
From FIG. 7, the contact state between the vibrator central part 131], that is, the antinode part of the vibration, and the inner circumferential surface 14a of the rotor I4 circumscribing it is broken down into quarter cycles (1). (B) (C
)(I)). That is, the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 is in contact with the peak of the wave on the side of the vibrator 13, and the contact point moves sequentially and goes around the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 every cycle. The velocity of the mass point at the apex is proportional to the amplitude of vibration 1~, O
~ several m/sec. The reason why the vibration generated on the vibrator side due to the movement of the contact point is converted into rotational force on the rotor side will be described below. That is, when the circumferential length of the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 and the circumferential length of the outer circumferential surface 13b of the vibrator 13 inscribed therein are compared, it is clear from the diagram that the former circumferential length is better. 1 as shown in Figure 7.
.. As the contact points between the two rotate in sequence, when the contact points complete one rotation, the rotor 14 side shifts by the difference in circumferential length, Vc, which is taken out as rotation.

又電極a、biたはC,dに加える高周波電圧の位相を
逆転することによって回転子の回転方向を切11換える
ことができる。
Furthermore, the direction of rotation of the rotor can be changed by reversing the phase of the high frequency voltage applied to electrodes a, bi or C, d.

第8図は本発明の他の実施例を示す(イ)−細断面図、
(ロ’IA−A線断面の概念図である。本実施例によれ
はケーシング本体31の内部に支持部材32に支えられ
たリング状屈曲振動子33を配置し、その内周面にテー
パー333を設け、回転子34の外周面が接触するよう
に配taれる。
FIG. 8 shows another embodiment of the present invention (a) - thin sectional view;
(This is a conceptual diagram of a cross section taken along the line B'IA-A. In this embodiment, a ring-shaped bending vibrator 33 supported by a support member 32 is disposed inside a casing body 31, and a taper 333 is formed on the inner peripheral surface of the ring-shaped bending vibrator 33. are arranged so that the outer circumferential surface of the rotor 34 comes into contact with the rotor 34.

回転子34は回転軸35に対1.て軸方向に対して移動
可能に支持され第5図に示した構成と同様の調圧機構3
6を設けて回転軸35に回転力を伝える。37は電歪素
子または圧電素子を示し38は軸受を示寸。第8図(ロ
)において(同図ではケーシング本体31の断面を省略
しである)、リング状屈曲振動子33は弾性体で構成さ
れ、その外周に固定配置した電歪素子または圧電素子3
7Fi夫々矢印方向に伸縮するように分極されて、電極
a、b、c、d、e、f、g。
The rotor 34 is connected to the rotating shaft 35 by a pair 1. A pressure regulating mechanism 3 which is supported movably in the axial direction and has a configuration similar to that shown in FIG.
6 is provided to transmit rotational force to the rotating shaft 35. 37 indicates an electrostrictive element or piezoelectric element, and 38 indicates a bearing. In FIG. 8(B) (the cross section of the casing body 31 is omitted in the figure), the ring-shaped bending vibrator 33 is made of an elastic body, and an electrostrictive element or piezoelectric element 3 is fixedly arranged on the outer periphery of the ring-shaped bending vibrator 33.
7Fi electrodes a, b, c, d, e, f, g are polarized to expand and contract in the direction of the arrows.

hを設ける。更に電極a、b、c、dを結線して端子3
9に導き、同様に電極e、f、g、hを結線1〜で端子
40に導く。端子39と振動子33との間に高周波゛電
圧を印加12、更に端子40と振動子33との間に90
°位相をずらした高周波電圧を印加すると振動子33が
バイモルフ形の屈曲振動を発生する。この際の屈曲振動
数f但し E:ヤング率   ♂:ボアソソン比a:中
心円の半径 h:周壁の厚さ n :屈曲振動の次数 f:材料の密度上記実施例はn
 = 2の場合であって、第9図により振動子33に内
接する回転子34の接触状態を1/4周期毎に分解l−
で(A3(B)(C)(D)に示した。
Provide h. Furthermore, connect electrodes a, b, c, and d to terminal 3.
Similarly, electrodes e, f, g, and h are led to terminal 40 through connections 1 to 9. A high frequency voltage 12 is applied between the terminal 39 and the vibrator 33, and a high frequency voltage 90 is applied between the terminal 40 and the vibrator 33.
When a high frequency voltage with a phase shift is applied, the vibrator 33 generates bimorph bending vibration. At this time, the bending frequency f is where: E: Young's modulus ♂: Boisson's ratio a: radius of the center circle h: thickness of the peripheral wall n: order of bending vibration f: density of the material The above example is n
In the case of = 2, the contact state of the rotor 34 inscribed in the vibrator 33 is resolved every 1/4 period according to FIG.
(A3 (B) (C) (D).

上記両者の接触する点が波の頂点であり、その頂点は振
動の一周期につき回転子34の外周面上を半周l〜、上
記接触点の移動によって振動子33側に発生した振動が
回転子34側の回転力として伝達されることは第7図に
示した例によって説明した通りである。
The point where the two contact each other is the peak of the wave, and the peak travels half a circle on the outer peripheral surface of the rotor 34 per cycle of vibration, and the vibration generated on the vibrator 33 side by the movement of the contact point The fact that the rotational force is transmitted as the rotational force on the 34 side is as explained using the example shown in FIG.

第10図は本発明の更に他の実施例を示し、(イ)は一
部所面図、(ロ)は圧電体の電極配置図である。本実施
例によれば90°位相のずれた2回路の高周波電圧をそ
れぞれの電極a、bに印加し圧電体52を励振させる。
FIG. 10 shows still another embodiment of the present invention, in which (a) is a partial view and (b) is a diagram of the electrode arrangement of the piezoelectric body. According to this embodiment, the piezoelectric body 52 is excited by applying high frequency voltages of two circuits having a phase shift of 90 degrees to each electrode a and b.

弾性リング51はバイモルフ振動を発生1〜、その一端
面51に横波と縦波の合成された表面波が形成され、そ
の一端面に加圧接触された回転子53が回転駆動を受け
る。第10図(ロ)は圧電体の分極方向と電極配置であ
る。電極ピッチを表面波の波長の1/2とT7圧電体の
分極方向を図(ロ)に示すようにのeのO・・・とする
。(電極群AとBの位置を1/4波長ずら[7)各電極
は結線され端子aとbの2回路構成する。上記の構成に
より端子aとbに90°位相のずれた高周波電圧を印加
すると弾性体表面上に進行波が形成される。
The elastic ring 51 generates bimorph vibrations, and a surface wave composed of a transverse wave and a longitudinal wave is formed on one end surface 51 of the elastic ring 51, and a rotor 53 that is in pressure contact with the one end surface is driven to rotate. FIG. 10(b) shows the polarization direction of the piezoelectric body and the electrode arrangement. The electrode pitch is 1/2 of the wavelength of the surface wave, and the polarization direction of the T7 piezoelectric body is O of e as shown in the figure (b). (The positions of electrode groups A and B are shifted by 1/4 wavelength [7]) Each electrode is connected to form two circuits of terminals a and b. With the above configuration, when high frequency voltages with a phase shift of 90° are applied to terminals a and b, a traveling wave is formed on the surface of the elastic body.

第11図は本発明の更に他の実施例を示しており、超音
波振動を直進運動に変換するリニアモーターの一例を示
している。同図において板状部材61の表面に対1〜で
単数または複数の弾性体62.62を加圧接触させ、該
弾性体62表面の一部に圧電体63.63を設けて、弾
性体62に表面波(レイリー波)を発生させる。
FIG. 11 shows still another embodiment of the present invention, and shows an example of a linear motor that converts ultrasonic vibration into linear motion. In the figure, one or more elastic bodies 62.62 are brought into pressure contact with the surface of a plate-like member 61, and a piezoelectric body 63.63 is provided on a part of the surface of the elastic body 62. generates surface waves (Rayleigh waves).

弾性体62のコーナ一部62aを曲面形状とすることに
よって表面波は弾性体62の表面に沿つて伝搬し、板状
部材61を矢印W方向に移動させるように駆動させる。
By forming the corner portion 62a of the elastic body 62 into a curved surface shape, the surface wave propagates along the surface of the elastic body 62, and drives the plate member 61 to move in the direction of arrow W.

第12図は上記実施例に用いた一方向表面波発生方法を
示しており、圧電体91の表面に複数個の電極92.9
2・−・を配置し、図示の如く3回路に分割接続して移
相器93に接続する。
FIG. 12 shows the unidirectional surface wave generation method used in the above embodiment, in which a plurality of electrodes 92.9 are formed on the surface of a piezoelectric body 91.
2... are arranged, and as shown in the figure, they are divided into three circuits and connected to the phase shifter 93.

該移相器93により、夫々の回路に0°、120024
0°の如く120°位相のずれた高周波電圧を印加する
ことによって圧電体91に一方向表面波を発生させるこ
とができる。
The phase shifter 93 provides 0° and 120024 degrees to each circuit.
A unidirectional surface wave can be generated in the piezoelectric body 91 by applying high frequency voltages with a phase shift of 120 degrees, such as 0 degrees.

第13図は棒状弾性体71の表面に板状部材72を加圧
接触させ、棒状弾性体71の他の一部に複数の圧電体7
3を固定配置し7、棒状弾性体を曲線形状に曲げてエン
ドレス構造としたリニアモーターの一例である。上記の
構成により棒状弾性体は屈曲振動をひきおこし、その波
動は棒状弾性体71に沿って伝搬し、進行波となってリ
ング上を循環する。
In FIG. 13, a plate-like member 72 is brought into pressure contact with the surface of a rod-like elastic body 71, and a plurality of piezoelectric bodies 7 are placed on another part of the rod-like elastic body 71.
This is an example of a linear motor having an endless structure in which the rods 3 are fixedly arranged, and the rod-shaped elastic body is bent into a curved shape. With the above configuration, the rod-shaped elastic body causes bending vibration, and the wave propagates along the rod-shaped elastic body 71 and becomes a traveling wave that circulates on the ring.

第14図(イ)は2本の棒状弾性体76.77を結合子
78.79によって固定12、一方の棒状弾性体76の
表面に板状部材80を加圧接触はせ、他方の棒状弾性体
77の一部に複数の圧電体81を固定配置1〜たりニア
モーターの一例である。上記の構成により棒状弾性体7
7は圧電体81により屈曲振動をひきおこし、その進行
波は棒状弾性体77の端部で結合子78の縦振動に変換
され、その縦振動は棒状弾性体76の屈曲振動に変換さ
れ、進行波となって棒状弾性体76上を伝搬する。この
進行波は結合子79を通ってもとへもどる。
In FIG. 14(A), two rod-shaped elastic bodies 76 and 77 are fixed 12 by connectors 78 and 79, a plate member 80 is brought into pressure contact with the surface of one of the rod-shaped elastic bodies 76, and the other rod-shaped elastic body This is an example of a near motor in which a plurality of piezoelectric bodies 81 are fixedly arranged on a part of the body 77. With the above configuration, the rod-shaped elastic body 7
7 causes bending vibration by the piezoelectric body 81, and the traveling wave is converted into longitudinal vibration of the coupler 78 at the end of the rod-shaped elastic body 77. The longitudinal vibration is converted into the bending vibration of the rod-shaped elastic body 76, and the traveling wave is converted into a bending vibration of the rod-shaped elastic body 76. and propagates on the rod-shaped elastic body 76. This traveling wave passes through the connector 79 and returns.

第14図(ロ)は2本の棒状弾性体76.77を共振子
82.83によって固定12、一方の棒状弾性体76の
表面に板状部材80を加圧接触させ、他方の棒状弾性体
77の一部に複数の圧電体81を固定配置1.たりニア
モーターの一例である。上記の構成により棒状弾性体7
7は圧電体81により屈曲振動をひきおこし、その進行
波は棒状弾性体77の端部で共振子82の縦振動に変換
され、その縦振動は棒状弾性体76の屈曲振動に変換さ
れ、進行波となって棹状弾性体76上を伝搬する。この
進行波は共振子83を通ってもとへもどる。
In FIG. 14(B), two rod-shaped elastic bodies 76 and 77 are fixed 12 by resonators 82 and 83, a plate member 80 is brought into pressure contact with the surface of one of the rod-shaped elastic bodies 76, and the other rod-shaped elastic body Fixed arrangement of a plurality of piezoelectric bodies 81 on a part of 77 1. This is an example of a near motor. With the above configuration, the rod-shaped elastic body 7
7 causes bending vibration by the piezoelectric body 81, and the traveling wave is converted into longitudinal vibration of the resonator 82 at the end of the rod-shaped elastic body 77, and the longitudinal vibration is converted into the bending vibration of the rod-shaped elastic body 76, and the traveling wave is and propagates on the rod-shaped elastic body 76. This traveling wave passes through the resonator 83 and returns.

ここで、結合子と共振子の機能上の差異を述べる。結合
子とは、棒状弾性体の屈曲振動を縦振動に変換才たはそ
の逆変換を行なう部材であって音響インピーダンスのマ
ツチングの問題で結合子の構成材料および寸法等に制約
を受ける。
Here, we will discuss the functional differences between a coupler and a resonator. A coupler is a member that converts the bending vibration of a rod-shaped elastic body into longitudinal vibration, or vice versa, and is subject to restrictions on the material and dimensions of the coupler due to the problem of acoustic impedance matching.

しかし、形状が単純であるため、小型化、低価格化が容
易である。又、共振子とは、振動変換は上記結合子と同
様であるが、音響インピーダンスのマツチングは比較的
自由に選べ、振動エネルギーの伝達能力も大きい。しか
し、形状が複雑で、固有振動数を振動源の蛋動故に合せ
る必要上価格的に高価となる。
However, since the shape is simple, it is easy to reduce the size and cost. Furthermore, a resonator has the same vibration conversion as the coupler described above, but the acoustic impedance matching can be selected relatively freely and the vibration energy transmission ability is large. However, the shape is complicated and the price is high because it is necessary to match the natural frequency to the perturbation of the vibration source.

第15図は棒状弾性体86の両端部に振動子87.88
を結合1〜、棒状弾性体の表面に板状部材89を加圧接
触させたIJ ニアモーターの一例である。上記の構成
により、棒状弾性体86は振動子87により屈曲振動を
ひきおこし、その進行波は振動子88により振動エネ・
ルギーを吸収される。この振動エネルギーは電気エネル
ギーに変換され、回収または振動子87に帰還される。
FIG. 15 shows vibrators 87 and 88 at both ends of a rod-shaped elastic body 86.
This is an example of an IJ near motor in which a plate-like member 89 is brought into pressure contact with the surface of a rod-like elastic body. With the above configuration, the rod-shaped elastic body 86 causes bending vibration by the vibrator 87, and the traveling wave is converted into vibration energy by the vibrator 88.
Lugy is absorbed. This vibrational energy is converted into electrical energy and recovered or fed back to the vibrator 87.

第16図は棒状(板状)弾性体96の表面上に2回路(
A及びB)の電極を有する圧′上体87を固定し、圧電
体の分極方向を1/4波長おきに弾性体96に対(〜で
紙面に垂直方向の矢印M。
FIG. 16 shows two circuits (
The piezoelectric body 87 having the electrodes A and B) is fixed, and the polarization direction of the piezoelectric body is set in pairs with the elastic body 96 every 1/4 wavelength (arrow M perpendicular to the plane of the paper).

M・・・となるように配置する。電極A及びBにそれぞ
れ90°位相のずれた高周波電圧を印加すると棒状弾性
体はバイモルフ振動をひきおこし一定方向の進行波を形
成する。
Arrange so that M... When high-frequency voltages with a phase shift of 90 degrees are applied to electrodes A and B, the rod-shaped elastic body causes bimorph vibration and forms a traveling wave in a fixed direction.

第17図及び第19図は上記圧電体97a及び97bの
電極A′及びB′の配置を別々の位置におき圧電体の分
極方向を1/2波長おきに弾性体に対I−で矢印M、M
’となるように配置し、圧電体97aと97bの位置関
係を1/4波長十夛波長(n:整数)の間隔とした場合
である。
17 and 19 show that the electrodes A' and B' of the piezoelectric bodies 97a and 97b are arranged at different positions, and the polarization direction of the piezoelectric bodies is set at 1/2 wavelength intervals by the arrow M in the direction of the elastic body. ,M
', and the positional relationship between the piezoelectric bodies 97a and 97b is set to an interval of 1/4 wavelength (n: integer).

第18図は棒状(板状)弾性体96の一部分に2ケの結
合子100,101を介した振動子98.99を固定配
置1−た場合である。結合子の間隔を1/4波長十景波
長(n:整数)としてそれぞれの振動子に90’位相の
ずれた高周波電圧を印加すると棒状弾性体96け屈曲振
動をひきおこし一定方向の進行波を形成する。
FIG. 18 shows a case where vibrators 98 and 99 are fixedly arranged on a part of a rod-shaped (plate-shaped) elastic body 96 via two connectors 100 and 101. When a high frequency voltage with a phase shift of 90' is applied to each oscillator with the spacing between the couplers set to 1/4 wavelength and 10 wavelengths (n: integer), 96 rod-shaped elastic bodies cause bending vibration and form traveling waves in a fixed direction. do.

尚、本実施例では主として圧電素子を主として用いて説
明しているが、これを電歪素子または磁歪素子に代替す
ることが可能である。
Although this embodiment is mainly described using a piezoelectric element, it is possible to replace this with an electrostrictive element or a magnetostrictive element.

以上本発明に係る超音波撮動を利用1.たモーター装置
に関して、その駆動原理及び実施例の詳細な説明を行っ
たが、従来の各種モーター装置と異なり、弾性体内に電
歪素子、圧電素子またけ磁歪素子を組込構成することに
よって、表面に励振される進行波を利用1−だ装荷であ
って超音波の持つ強力な振動エネルギーによって欄内振
動を伴った進行波を発生させて動体の回転捷たは直進運
動に変換するという画期的手法によって成るものであり
、強力な回転力、駆動力を持つ小形軽量なモーター装置
が得られるという大きな効果を有しており、あらゆる用
途に適用することが可能であるという大きな効果を発揮
する。
Utilizing the ultrasound imaging according to the present invention 1. We have given a detailed explanation of the driving principles and examples of the motor device, but unlike various conventional motor devices, by incorporating an electrostrictive element and a magnetostrictive element across a piezoelectric element in an elastic body, the surface This is an innovative technology that uses the traveling waves excited by the ultrasonic wave to generate traveling waves accompanied by internal vibration using the powerful vibration energy of ultrasonic waves, which can be converted into rotational or linear motion of moving objects. It has the great effect of being able to obtain a small and lightweight motor device with strong rotational force and driving force, and it has the great effect of being able to be applied to all kinds of applications. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の動作原理を説明するための一部拡大斜
視図であり、第2図は本発明の実施例を示す一部断面図
、第3図は振動子の側面図、第4図は第3図のA−A線
断面の概念図、第5図Fi調圧機構の一例を示す側面図
、第6図は振動子の屈曲状態を示す説明図、第7図は振
動子と回転子の接触状態を示す分解図、第8図は本発明
の別の実施例を示す(イ)一部所面図、(ロ)A−A線
断面の概念図、第9図は振動子と回転子の接触状態を示
す分解図、第10図は本発明の更に他の実施例を示すも
のであって(イ)図は一部断面図、(ロ)図は圧電体の
電極配置図、第11図は本発明の更に他の実施例を示す
斜視図、第12図は上記実施例圧用いた一方向表面波発
生方法を示す態様図、第13図はエンドレス構造のリニ
アモーターの一例図、第14図(イ)は結合子によりエ
ンドレス構造としたリニアモーター、第14図(ロ)は
共振子によりエンドレス構造とじたリニアモーターの一
例図、第15図は1本の直線弾性体と2個の振動子によ
り構成したIJ ニアモーターの一例図、第16図、第
17図、第19図は圧電体により棒状弾性体に進行波を
形成させる電極の配置図、第18図は振動子により棒状
弾性体に進行波を形成させる配置図である。 1・・・弾性体  2・・・動体  11,31・・・
ケーシング本体  12.32−・・支持部材  13
.33・・・振動子  13a、 33a・・・テーパ
ー  14.34・・・回転子  15.35・・・回
転軸  16.36・・・調圧機構  17・・・軸受
  18.19・・・電歪素子または圧電素子  20
・・・電極  23.24・・・カム25・・・鋼球 
 37・・・電歪素子または圧電素子38・・・軸受 
 41・・・板状部材  42・・・弾性体43・・・
圧電体  44・・・電極  45・・・移相器手続補
正書(自発) 昭和58年9月17日 特許庁長官殿 1、事件の表示 特願昭57−228569号2、発明
の名称 超音波振動を利用したモーター装置3、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 4、補正の対象 (1)明細書の特許請求の範囲の欄 (2)明細書の発明の詳細な説明の欄 (3)明細書の図面の簡単な説明の欄 5、補正の内存 (1)別紙の通り (2)別紙の通り (3)別紙の、’jif]h 1、発明の名称 超音波振動を利用1−たモーター装置 2、特許請求の範囲 (1)  複数個の電歪索子、圧電素子または磁歪素子
を組合せて、弾性体内に組込構成した超音波振動子と、 この弾性体の一端面と、一定の方向に移動する動体の一
端面とを相互に加圧接触する位置に配置することにより
、 この弾性体の表面において励振される横波と縦波の合成
された表面波をこの動体の一方向運動に変換することを
特徴とする超音波振動を利用しまたモーター装置。 (2)複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪素子を組
合せて、 弾性体表面上にレイリー波とよばルる横波と縦波の合成
された表面波を利用したことを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項記載の超音波振動を利用1〜だモーター装
置。 (3)複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪累子を組
合せて、 棒状弾性体に屈曲振動をおこさせ棒状弾性体表面上に横
波と縦波の合成された表面波を利用j−たことを特徴と
する特許請求の範囲第(1)項記載の超音波振動を利用
1.たモーター装置。 (4)複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪索子を組
合せて、棒状弾性体に縦波弾性波をおこさせ、 棒状弾性体表面上にポアッソン比による横波と縦波の合
成された表面波を利用したことを特徴とする特許請求の
範囲第(1)項記載の超音波振動を利用したモーター装
置。 (5)超音波振動子は、円柱または円筒状弾性体内に電
歪素子、圧電素子またけ磁歪素子を2回路以上組込構成
して成り、 この超音波振動子の一端面と相互に加圧接触させる動体
を円筒形回転子として構成することにより、 超音波振動子の表面において励振される横波と縦波の合
成された表面波を動体の一方向回転運動に変換すること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超音波振
動を利用したモーター装置。 (6)支持部材で仕切られた筒状屈曲振動子の略中央部
外周面に設けたテーパーを介して回転子の内周面一端側
が加圧接触され、 この回転子は回転軸に対してその軸方向に移動可能に支
持され回転力が調圧機構を介1゜て回転軸に伝達される
ことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項または第(
5)項に記載の超音波振動を利用17たモーター装置。 (力 振動子の中途部において、 間に電極をはさみ軸方向に伸縮動作を行う電歪素子、圧
電素子または磁歪索子を組み込んだことを特徴とする特
許請求の範囲第(1)項。 第(5)項まだは第(6)項記載の超音波振動を利用j
〜だモーター装置。 (8)回転軸と回転子の間に、 V形底をもった一対のカムとその間に複数の@4球を介
在させたことからなる自動調圧機構を設けたことを特徴
とする特許請求の範囲第(5)項捷たは第(6)項記載
の超音波感動を利用したモーター装置。 (9)開放端側にテーパーを設けた屈曲撮動子と、この
テーパ一部分と接して開放端とは逆の部分を包み込んだ
ロータと、 この屈曲振動子開放端側に2個以上の電歪素子、圧電素
子または磁歪素子を設けた屈曲振動子と、 各部材を貞通[−で少なくとも一端は調圧装置を介して
回転軸を軸受けに支持したことを特徴とする特許請求の
範囲第(5)項記載の超音波感動を利用1〜だモーター
装置う (10)電歪素子、圧電素子または磁歪素子を軸方向に
伸縮1.得るように配したこ七を特徴とする特許請求の
範囲第(5)項記載の超音波振動を利用したモーター装
置a0 (11)円形に保持された電歪素子またけ圧電素子の電
極において、 互いに対角にある電極を結線し各々の端子に導くと共に
、 対角位置にある定歪素子または圧電素子は互に逆方向に
伸縮するように配したことを特徴とする特許請求の範囲
第(5)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 Oa  振動子中央部が外接する回転子内周面との接触
状態をケ持させたことを特徴とする特許請求の範囲第(
5)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 (113)支持部材で支えられた内面にテーパーを有す
るリング状屈曲振動子を配し、 その中で回転軸に対し2て軸方向に移動可能なように回
転子内周面が接触するように支持して設置すると共に、 一方、このリング状振動子の外側K %歪素子捷たけ圧
電素子を配置、で、 回転軸にθJ]圧釉;構を備オーたことを特徴とする特
許請求の範囲第(Ij′fTJ寸たは第(3)項記載の
超廿彼抵動を利用j7たモーター装置。 α4)弾性体で構成されたリング状屈曲振動子の外周に
、 分極された電歪素子または圧電素子を固定配置1−たこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(T3)項記載の超音
波撮動を利用したモーター装置M。 (15)  超音波振動子はリング状弾性体内に電歪素
子、圧電素子または磁歪素子を2回路以上組込構成して
成り、 このリング状弾性体内に配置面1−だ回転子の一端面と
この弾性体の一端面とが相互に加圧接触する構成とし、 弾性体の表面において励振される横波と縦波の合成され
た表面波を回転子の一方向回転運動に変換することを特
徴とする特許請求の範囲第(1)項捷たは第(3)項記
載の超音波振動を利用したモーター装置。 (I5)回転軸の周囲に恰かも部材が貫通した如くに回
転子、リング状弾性体振動子、定歪素子捷たは圧電素子
を顯にかつ一体的に構成し、回転軸のミル一端側は軸受
、他端側は 調圧機構を経て軸受を通させて全体を筐体で覆ったこと
を特徴とする特許請求の範囲第(至)項記載の超音波振
動を利用17たモーター装置。 0′7)回転軸から回転子、振動子と電歪素子または圧
電素子が同心的に構成されたモーターにおいて、 これら電歪素子、圧電素子の電極を隅数個に区画し、 その電極を一つおきに結線1.たーの端子と他の電極を
結線して形成1〜た端子を設け、かつ、−の電歪素子捷
たは!:E電素子の群を他のそれと900位相をずらせ
て配したことを特徴とする特許請求の範囲第05)項記
載の超音波撮動を利用1−だモー ター装置d、。 0日 回転軸と回転子の間にあってカムと複数個の鋼球
を組合せたことからなる調圧機構を用いたことを特徴と
する特許請求の範囲第(4項記載の超音波振動を利用し
たモーター装置。 叫 動体は一定方向に移動する板状部材より成この板状
部材に加圧接触する単数またVi複数の弾性体表面に2
回路以上の圧電水子、磁歪素子捷たは電歪素子を固定配
置し、 各回路に印加する高、周波電圧の位相をずらせるととに
より、 弾(〈°ユ体表面における横波と縦波が合成された表面
波を形成1.てこの板状部材を一定方向に直進移動せ1
7めることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載
の超音波振tMJを利用1−だモーター装置。 (ホ)棒状弾性体の表面に板状部材を加圧接触せ(〜め
ると共に、 他の部分において単数捷たは複数の電歪素子、圧電素子
または磁歪素子を固定配置l−1各回路に印加する高周
波電圧の位相をずらすことにより、 この棒状弾性体の表面において励振される横波と縦波が
合成された表面波を動体の一方向回転運動に変換するこ
とを41!P徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の
超音波振動を利用1゜だモーター装置。 い)棒状弾性体の端部をそれぞれ巻回して当接せしめエ
ンドレスとしたことを特徴とする特許請求の範囲第(ホ
)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 (イ)−の弾性体表面には板状部材を加圧接触し、他の
弾性体表面には複数の電歪素子、圧電素子まだは磁歪素
子を固定配置Lfc2本の棒状弾性体を結合子によって
固定12、 それぞれを回路とし、 弾性体表面において励振される横波と縦波の合成された
表面波をとの動体の一方向運動に変換することを特徴と
する特許請求の範囲第(1)項または第(3)項記載の
超音波撮動を利用したモーター装置。 (ト)−の弾性体表面には板状部材を加圧接触j〜、他
の弾性体表面には複数の電歪素子、圧電素子または磁歪
素子を固定配置1〜だ2本の棒状弾性体を共振子によっ
て固定し、 それぞれを回路とし、 弾性体表面ておいて励振される横波と縦波の合成された
表面波を動体の一方向回転運動に変換することを特徴と
する特許請求の範囲第(1)項線たけ第(3)項記載の
超音波振動を利用したモーター装置。 に)板状部材と電歪素子、圧電素子才たは磁歪素子が1
木の棒状弾性体上に配置されたことを特徴とする特許請
求の範囲第(1)項、縞(3)項寸たは第(4)項記載
の超音波振動を利用1〜たモーター装置。 (イ)棒状弾性体の一端面に複数個の電歪素子ま】 たけ圧電素子を7波長おきに固定配列すると共に、 それぞれの端子には7波長ずつを結線して2回路とし、 棒状弾性体に屈曲振動による表面波を形成することを特
徴とする特許請求の範囲第(ホ)項記載の超音波振動を
利用したモーター装置。     − いつ 棒状弾性体の一端面に了波長おきに分極した複数
個の電歪素子または圧電素子をそれぞれ十波長+1波長
の間隔で固定配置1−1棒状弾性体に屈曲振動による表
面波を形成することを特徴とする特許請求の範囲第(ト
)項記載の超音波振動を利用(−だモーター装置。 (イ)棒状弾性体の一端面に結合子を介1.で、複数個
の電、歪素子、圧電素子または磁歪素子による振動子を
それぞれ1波技十−波畏の2 間隔で固定配置し2、 棒状弾性体に屈曲振動による表面波を形成することを特
徴とする特許請求の範囲第(イ)項記載の超音波振動を
利用1−だモーター装置。 (ホ)円環状弾性体の表面に複数個の電歪素子または圧
電素子を固定配置すると共に、 その振動を表面波に変換を行わせ、 弾性体表面に励振された横波と縦波の合成され7v表面
波を!1dI体の一方向回転運動に変換することを特徴
とする特許請求の範囲第(11項記載の超音波振動を利
用(〜だモーター装置。 3、発明の詳細な説明 本発明は超音波振動子の表面において励振される表面波
を、相互に加圧接触する位置に配置した動体の一方向運
動に変換することを特徴とするモーター装置に関するも
のである。 換言すれば、複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪素
子を組合せて弾性体内に組み込んで形成させた超音波振
動子と、この弾性体の一端面と一定の方向に移動する動
体の一端面を相互に加圧接触する位置に配置することに
より、この弾性体の表面において励振される横波と縦波
との合成によって形成する表面波をこの動体の一方向運
動に変換することからなるモーター装WK−関するもの
である。 従来から広く用いられている各種モーター装置は、その
駆動源として電磁力を応用したものが大部分であり、各
種用途に使われている。しか17、これら装fdの大き
さや電縫及びトルり等は用いられる材料によって一定の
制限を受けるものである。何故ならば、これらの因子は
用いられる材料の磁気的特性等によって決められるもの
であり、これらの特性を超えた装置は回転駆動を行うこ
とが不可能となるためである。 本発明は超音波の持つ強力な振動エネルギーを回転又は
直進運動に変換することによって小形に1〜で軽址なモ
ーター装置を実現1−1具体的には弾性体内に電歪素子
、圧電素子または磁歪素子を組込構成した超音波振動子
の表面に励振される表面波を利用(7たモーター装置の
提供を目的とするものである。 以下、図面を参照して本発明に係るモーター装置の動作
原理と実施例に関1〜詳細な説明を行う。 〈1〉 動作原理について 第1図は動作原理を説明するだめの一部拡大斜視図であ
る。1は金属等弾性体であり、その表面1a上に横振動
と緬振動が合成された表面波が形成された状態を拡大し
て示しでいる。 この表面波とは第1 VC一般にし・イリー波と呼ばれ
るものであり、弾性体の表面に沿って伝わる波が存在す
ると七が理論的Cで解明さ]している。 固体中における弾性波VCFi縦波と横波とがあり、そ
れぞれ独立に存在するが、表面という境界条件のため互
いに錯綜し合って合成される。 レイリー波を発生させるには基板媒質上に縦または横振
動をする振動子をのせて弾性体の表面を励伽すれば、振
動源より相当離れたところで表面波成分を観測すること
ができる。 第2に棒状(板状)弾性体の屈曲振動による表面波であ
り、弾性体の表面には縦波と横波とが900位相のずれ
だ細円振動が形成され、棒状(板状)弾性体に沿って伝
搬する。 第3に棒状(板状)弾性体に沿って伝搬する縦波弾性波
であって、弾性体の表面にはポアッソン比による横波が
表われるつこの場合も弾性体表面は縦波と横波とが90
°位相のずれた細円撮動を形成する。 この第1図はレイリー波の伝搬状態(振動源は図示せず
)のみを示している。即ち、質点Bに層目すると、横4
辰巾a(上下方向)と縦振巾b(左右方向)との合成さ
れだ欄内Q上を矢印Mの方向に運動しており、その表面
波は音速Uのスピードで移動1.でいる。この運動は弾
性体表面上1aのどの点であっても同様であって、この
状態下でフリーな動体2の表面を弾性体1の表面上に加
圧接触させると、この動体2は弾性体1の表面波の頂点
A及びA′の部分でのみ接触しており、かつこの頂点A
、 A′は振動速度V=2π3b(ただt、fは振動数
)で矢印Mの方向に運動1.でいるのであるから、フリ
ーな動体2は弾性体1との摩擦力によって矢印Nの方向
に駆動されることになる。 本発明はこの表面波による動体の駆動を基本ふしたモー
ター装置に関するものであって、その実施例を以下に説
明する。 <2〉本発明の実施例について 第2図は装置の一部断面図を示j〜でおり、11はケー
シング本体であって、その内部に筒状屈曲振動子13の
節部分を支持部材]2で支え、かつこの振動子13の略
中央部外周面にテーパー138を設け、このテーバ−1
33の面上に動体としての回転子14の内周面一端側が
加圧接触するように配置する。回転子14は回転軸15
に対してその軸方向に移動可能に支持され、回転力が調
圧機構16を介して回転軸15に伝えられる。なお、調
圧機構16の一例詳IVJIIは第5図によって後述す
る。 17は軸受を示1.でいる。 振動子13は中途部において定歪素子または圧電素子1
8.19を組込み構成1.であり、表面波の励振源とな
っている。 〈3〉振動子について 第3図はこの振動子13の1il1面図を示し、第4図
は第3図のA、 −A線断面を示す。第3(図((お1
^て゛(M、歪素子″4たは圧電素子18,1.9は軸
方向に矢印のように伸縮動作する構成とし、その間((
油;(φ總Oをはさみ込んである。′電歪素子まだは圧
′Ili素子と電極の配置は第4図に示す如く、対角に
ある電極a、bを結線1.τ端子21に導き、同様[電
極c、dを結線して端子22に導く。それぞれの対角位
1aにある電歪索子または圧電素子は互VC逆方同(f
c伸縮するように動作する。即ち、電稜aに接する電歪
素子または圧電素子18.19は伸長方向へ、電極bi
xこ接する電歪索子または圧電素子18.19は短縮方
向へ動作するように分極する。さらに、電極dに接する
電歪素子または圧電素子18.19は伸長方向へ、電極
Cに接する電歪素子まだは圧電素子18.19は短縮方
向へ動作するように分極する。 〈4〉調圧機構について 第5図は調圧接摺16の一例を示す断面図である。同図
は自動調圧機構の一例を示L7ており、回転軸15と回
転子14との間にV形成をもった特殊なカム23.24
の一対と、その中間に介在する枚数側の銅球25を設け
ることにより、無負荷のと@はカム底部に鋼球があるが
、負荷が加わり、トルクがカン々加するに従って銅球が
溝をのり上げて祠j方向の圧力が発生するように機能す
る。それによって回転子1・1のトルクが回転軸15i
l111に伝達いれる。 この構成により、第4図(で示す′!!、極a、bに結
線さfhた九(子21と振動子13との間に高周波電圧
を印加すると、振動子13は第6図に示すような屈曲振
動をひきおこす。即ち、−次の振動状態において、中央
部B点が撮動の腹、■(及びに点が振動の節となる。次
に他の一方の電極C1dに結線された端子22と、撮動
子13の間にこれらの′就極a、bの電圧に対して90
鵞相のずれた高周波電圧を加えるとこのB点の振動と垂
直方向に位相のずれた振動Z(紙面に垂直方向)が引き
起され、いわば縦波と横波とを人工的に合成することに
なり、その表面波が回転円撮動となる。 〈5〉撮動子と回転子の接触状態について第7図によl
′)振動子13の中央部外周面13b、即ち、振動の腹
の部分と、それて外接する回転子14の内周面14aと
の接触状態を1周期毎に分解1.て(N)(B)(C)
(D)て示した。即ち、回転子14の内周面14aは振
動子13側の波の頂点と接触しており、その接触点は順
次移動して1周期毎に回転子14の内周面14.2を一
周する。頂点の質点連関は、振動の振巾に比例し、0〜
数m / sec程度である。この接触点の移動によっ
て振動子側に発生した振動が回転子側の回転力として変
換される理由を以下に述べる。 即ち、回転子14の内周面14aの局長と、これに内接
する振動子13の中央部外周面13bの周長と1を比較
した場合、図示より明らかなように当然内周面14aの
周長の方が長く、よって第7図に示したように両者の接
触点が順次移動して、接触点が一周した時、との両周長
差の分だけ回転子14側がずれることになり、それが回
転となって取り出される。 もちろん、電極a、b才たけc、dに加える高周波電圧
の位相を逆転することによって回転子の回転方向を切り
換えることができる。 〈6〉リング状屈曲振動子について   −第8図は本
発明の他の実施例を示す(イ)−細断面図、1口)A−
A想断面の概念図である。この実施例によれば、ケーン
ング本体31の内部に支持部材32に支えられたリング
状屈曲撮動子33を配置し、その内周面にテーパー33
3を設け、回転子34の外周面が接触するように配置さ
れる。 回転子34は回転軸35に対して軸方向に対して移動可
能に支持され、第5図に示I−だ構成と同様の調圧機構
36を設けて回転軸35に回転力を伝える。37は電歪
素子または圧電素子を示[7,38は軸受余水す。第8
図c口)において(同図でけケ、−シング本体31の断
面を省略しである)、リング状屈曲振動子33は弾性体
で構成され、その外周に固定配置a(7た電歪素子また
は圧電素子37はそれぞれ矢印方向に伸縮するように分
極されて、′妊極a、b、c、d、e、f、g、hを設
ける。 さらに、電極a、h、c、dを結線して端子39に導き
、同様に、寛Me、ft gl hを結線して端子40
に導く。端子39と振動子33との間に高周波電圧を印
加(7、さらに、端子40と振動子33との間に90°
位相をずらした高周波′重圧を印加すると振動子33が
バイモルフ形の屈曲撮動を発生する、 この際の屈曲振動数f1よ 但し E:ヤング率     l:ボアッノン比a :
中心円の半径   h :周壁の厚さn :屈曲振動の
次数  F=材料の密度この実施例はn = 2の場合
であって、第9図により振動子33に内接する回転子3
4の接触状態を1周期毎に分解して(A)(BMCMD
)Vc示した。これら両者の接触する点が波の頂点であ
り、その頂点は振thの一周期につき回転子34の外周
面上を半周し、これらの接触点の移動によって振動子3
3側に発生1.た振動が回転子34側の回転力として云
怖されることは第7図に示1.た例によって説明しまた
通りである。 〈7〉高周波′磁圧による圧電体の励振について第10
図は本発明の他の実施例を示し、(イ)は−細断面図、
(ロ)は圧′電体の’dイ、極配置図である。 この実施例によれば90°位相のずれた2回路の高周波
電圧をそれぞれの電極a、bに印加し圧電体52を励振
させる。弾性リング51はバイモルフ振動を発生1−1
その一端面51に横波と縦波の合成された表面波が形成
され、その一端面に加圧接触された回転子53が回転部
iMJを受けるう第10図(ロ)は圧電体の分極方向と
電極配置である。電極ピッチを表面波の波長のよとし圧
電体の分極方向を図(ロ)に示すように■e■e・・・
とする。(電極群AとBの位置を土波長ずらし)各電極
は結線され端子aとbの2回路構成するっこの構成によ
り端子aとbに90鵞相のずれた高周波電圧を印加する
と弾性体表面上に表面波が形成される。 <8)直進運動に変換するリニアモーターについて 第11図は本発明の他の実施例を示しており、超音波振
動を直進運動に変換するリニアモーターの一例を示1.
ている。同図において板状部材61の表面に対して単数
または複数の弾性体62゜62を加圧接触させ、これら
の弾性体62表面の一部に圧電体63.63を設けるこ
とによって、弾性体62に表面波(レイリー波)を発生
させることが出来る。弾性体62のコーナ一部62aを
曲面形状とすることによって表面波は弾性体62の表面
に沿って11−1板状部材61を矢印W方向に移動させ
るように駆動させる。 <q>一方図表面波発生方法について 第12図は第11図に示した実施例に用いた一方向表面
波発生方法を示1〜でおり、圧電体91の表面に複数個
の電極92.92・・・を配置し、図示の如く3回路に
分割接続して移相器93に接続する。 この移相器93により、それぞれの回路に00、■2o
c:。 240°の如< 12Q’位相のずれた高周波電圧を印
加することによって圧電体91に一方向表面波を発生づ
することかできる。 〈心 エツトレス構造のリニアモーターに関する実施例
について 第131Nは棒状弾性体71の表面に板状部材72を加
圧接触京せ、伸゛伏弾性に71の他の一部に複数の圧電
体73を同定配面し、棒状弾性体を曲線形状に曲げてエ
ンドレスm1taと1.たリニアモーターの一例である
。この(1に成りこよF)棒状弾性体は屈曲振動をひき
おこし、その波動は棒状弾性体71に沿って伝搬[7、
表面波となってリング上を循環する。 〈11〉結合子によりエンドレス構造としたリニアモー
ターに関する実施例について 第14図(イ)は2本の棒状弾性体76.77を結合子
78.79によって固定し、−の棒状弾性体76の表面
に板状部材80を加圧接触させ、他の棒状弾性体77の
一部に複数の圧電体81を固定配置1〜たりニアモータ
ーの一例である。この構成により棒状弾性体77は圧電
体81により屈曲振動をひきおむし、その表面波は棒状
弾性体77の端部で結合子78の縦振動に変換され、さ
らにその縦振動は棒状弾性体76の屈曲振動に変換され
、゛よって表面波と々って棒状弾性体76上を伝搬する
。この表面波は結合子79を通って棒状弾性体77へも
どる。 〈1Z)共振子によりエンドレス構造としたリニアモー
ターに関する実施例につ いて 第14図(ロ)は2本の棒状弾性体76.77を共振子
82.83によって固定l〜、一方の棒状弾性体76の
表面に板状部材80を加圧接触させ、他の棒状弾性体7
7の一部に複数の圧電体81全固定配置したリニアモー
ターの一例である。この構成により棒状弾性体77は圧
電体81により屈曲振動をひきおこし、その表面波は棒
状弾性体77の端部で共振子82の縦振動に変換され、
その縦振動は棒状弾性体76の屈曲振動に変換され、表
面波となって棒状弾性体76上を伝搬する。この表面波
は共振子83を通って棒状弾性体77へもどる。 〈工3〉結合子と共振子の関係についてここで、結合子
と共振子の機能上の差異を述べる。結合子とけ棒状弾性
体の屈曲振動を縦振動に変換またはその逆変換を行なう
部材であって、音響インピーダンスのマツチングの問題
として結合子の構成材料および寸法等に制約を受ける。 しかL、形状が単純であるため、小型化。 低価格化が容易である。 捷た、共振子とは振動変換は結合子と同様であるが、音
響インピーダンスのマツチングは比較的自由に選べ、振
動エネルギーの伝達能力も太きい。I〜か(7、形状が
複雑で、固有振動数を振動源の振動数に合せる必要上、
価格的には高り構成したリニアモーターに関する 実施例について 第15図は棒状弾性体86の両端部に振動子87゜88
を結合し、棒状弾性体の表面に板状部材89を加圧接触
させたりニアモ ターの一例である。 この構成により、棒状弾性体86は振動子87により屈
曲振動をひきおこし、その表面波は振動子88により振
動エネルギーを吸収される。この振動エネルギーは電気
エネルギーに変換され、回収または振動子87に帰還さ
れる。 <Ig> m面波発生方法について 第16図は棒状(板状)弾性体96の表面上に2回路(
A及びB)の電極を有する圧電体87を固定し、圧電体
の分極方向を主波長おきに弾性体96に対して紙面に垂
直方向の矢印M、M’・・・となるように配置する。電
極A及びBにそれぞれ90゜位相のずれた高周波電圧を
印加すると棒状弾性体96はバイモルフ振動をひきおこ
し一定方向の表面波を形成する。 ぐ16〉表面波発生方法について 第17図及び第19図はこの圧1に体973及び97b
の電極A′及びB′の配置を別々の位置におき圧電体の
分極方向を1波長おきに弾性体に対して矢印M、M’と
なるように配置(−1圧電体97aと97bの位置関係
を一波長+下波長(n:整数)の間隔とした場合である
。 ぐ17)表面波発生方法について 第18図は棒状(板状)弾性体96の一部分に2ケの結
合子100. 101を介1−た振動子98.99を固
定配置した場合である。結合子の間隔を1波長+1波長
(+1:整数)と1.てそれぞれの振動子に900位相
のずれた高周波電圧を印加すると棒状弾性体96は屈曲
振WdJをひきおこし、一定方向の表面波を形成する。 なお、この実施例では主として圧電素子を主として用い
て説明しているが、これを電歪素子または磁歪素子に代
替することが可能である。 〈19〉本発明の効果について 以上、本発明に係る超音波振動を利用したモーターdf
vc関して、その駆動原理及び実施例の詳細な説明を行
ったが、従来の各種モーター装置と異なり、弾性体内に
電歪素子、圧電素子または磁歪素子を組込構成すること
によって、表面に励振される表面波を利用した装置であ
って、超音波の持つ強力な振動エネルギーによって細円
1辰動を伴った表面波を発生させて動体の回転捷たけ直
進運動に変換するという画期的手法によって成るもので
、強力な回転力や駆動力などを持つ小形に(7て軽量な
モーター装置が得られるという大きな効果を有1.でお
り、あらゆる用途に適用することが可能であるという大
きな効果を発揮する。 4、図面の簡単な説明 第1図は本発明の動作原理を説明するための一部拡大斜
視図であり、第2図は本発明の実施例を示す一部断面図
、第3図は振動子の側面図、第4図は第3図のA−A線
断面の概念図、第5図は調圧機構の一例を示す側面図、
第6図は振動子の屈曲状態を示す説明図、第7図は振動
子と回転子の接触状態を示す分解図、第8図は本発明の
他の実施例を示す(イ)一部所面図、(ロ)A−A線断
面の概念図、第9図は振動子と回転子の接触状態を示す
分解図、第10図は本発明の他の実施例を示すものであ
って(イ)図は一部断面図、(ロ)図は圧電体の′社標
配置図、第11図は本発明の他の実施例を示す斜視図、
第12図は第11図において示(7た実施例において用
いた一方向表面波発生方法を示す態様図、第13図はエ
ンドレス構造のリニアモーターの一例図、第14図(イ
)は結合子によりエンドレス構造としたリニアモーター
。 第14図(ロ)は共娠子によりエンドレス構造と17だ
リニアモーターの一例図、槙15図は1本の直線弾性体
と2個の振動子により構成したリニアモーターの一例図
、第16図、槙17図、第19図は圧電体により棒状弾
性体に表面波を形成させる電極の配置図、第18図は撮
動子により棒状弾性体に表面波を形成させる配置図であ
る。 1・・・弾性体  2・・・動体  11,31・・・
ケーシング本体  12.32・・・支持部材  13
.33・・・振動子  13a、 33a・・・テーパ
ー  14.34・・・回転子  15.35・・・回
転軸  16.36・・・調圧機構  17・・・軸受
  18.19・・・電歪素子または圧電素子  20
・・・電極  23.24・・・カム25・・・鋼球 
 37・・・電歪素子まだは圧電素子38・・・軸受
FIG. 1 is a partially enlarged perspective view for explaining the operating principle of the present invention, FIG. 2 is a partially sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a side view of the vibrator, and FIG. The figures are a conceptual diagram of the section taken along the line A-A in Figure 3, Figure 5 is a side view showing an example of the Fi pressure regulating mechanism, Figure 6 is an explanatory diagram showing the bent state of the vibrator, and Figure 7 is the vibrator and FIG. 8 is an exploded view showing the contact state of the rotor; FIG. 8 is a partially sectional view showing another embodiment of the present invention; (B) a conceptual diagram of a cross section taken along line A-A; FIG. 9 is a vibrator. FIG. 10 is an exploded view showing the contact state of the rotor and the rotor, and FIG. 10 shows still another embodiment of the present invention, in which (a) is a partial sectional view, and (b) is an electrode arrangement diagram of the piezoelectric body. , FIG. 11 is a perspective view showing still another embodiment of the present invention, FIG. 12 is a mode diagram showing a unidirectional surface wave generation method using the pressure of the above embodiment, and FIG. 13 is an example of an endless structure linear motor. , Fig. 14 (a) shows a linear motor with an endless structure using a coupler, Fig. 14 (b) shows an example of a linear motor with an endless structure using a resonator, and Fig. 15 shows a linear motor with one linear elastic body and two Figures 16, 17, and 19 are diagrams showing the arrangement of electrodes that form traveling waves in a rod-shaped elastic body using a piezoelectric body. FIG. 4 is a layout diagram for forming traveling waves in a rod-shaped elastic body. 1... Elastic body 2... Moving body 11, 31...
Casing body 12.32--Support member 13
.. 33... Vibrator 13a, 33a... Taper 14.34... Rotor 15.35... Rotating shaft 16.36... Pressure regulating mechanism 17... Bearing 18.19... Electric Strain element or piezoelectric element 20
... Electrode 23.24 ... Cam 25 ... Steel ball
37... Electrostrictive element or piezoelectric element 38... Bearing
41... Plate member 42... Elastic body 43...
Piezoelectric body 44...Electrode 45...Phase shifter procedural amendment (voluntary) September 17, 1980 To the Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of case: Japanese Patent Application No. 57-228569 2, Title of invention: Ultrasonic Motor device using vibration 3, relationship with the amended case Patent applicant 4, subject of amendment (1) Claims column in the specification (2) Detailed description of the invention column in the specification ( 3) Column 5 for a brief explanation of the drawings in the specification, Inclusion of amendments (1) As per the attached sheet (2) As per the attached sheet (3) As shown in the attached sheet, 'jif] h 1, Name of the invention Utilizing ultrasonic vibration 1 Claims (1): An ultrasonic vibrator constructed by combining a plurality of electrostrictive cables, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements and incorporating them into an elastic body, and one end surface of the elastic body. , and one end surface of a moving body moving in a certain direction are placed in pressure contact with each other, so that a combined surface wave of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of this elastic body is transmitted to one end of this moving body. A motor device that utilizes ultrasonic vibration and is characterized by converting it into directional motion. (2) A patent characterized in that a combination of multiple electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements is used to generate surface waves, which are a combination of transverse waves and longitudinal waves, called Rayleigh waves, on the surface of an elastic body. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1). (3) By combining multiple electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements, a bending vibration is caused in a rod-shaped elastic body, and a combined surface wave of transverse waves and longitudinal waves is used on the surface of the rod-shaped elastic body. Utilizing ultrasonic vibrations according to claim (1), characterized in that: 1. motor device. (4) Combining multiple electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive cables to generate longitudinal elastic waves in a rod-shaped elastic body, and create a surface where transverse waves and longitudinal waves are combined by Poisson's ratio on the surface of the rod-shaped elastic body. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1), characterized in that the motor device uses waves. (5) An ultrasonic vibrator is constructed by incorporating two or more circuits of an electrostrictive element, a piezoelectric element, and a magnetostrictive element in a cylindrical or cylindrical elastic body, and is pressurized with one end surface of the ultrasonic vibrator. A patent characterized in that by configuring the moving body to be brought into contact as a cylindrical rotor, a combined surface wave of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of an ultrasonic transducer is converted into a unidirectional rotational motion of the moving body. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1). (6) One end of the inner circumferential surface of the rotor is brought into pressure contact with the rotor through a taper provided on the outer circumferential surface of the approximately central part of the cylindrical bending vibrator partitioned by the support member, and this rotor is pressed against the rotating shaft. Claim (1) or (1) is characterized in that it is supported movably in the axial direction and that rotational force is transmitted to the rotating shaft through a pressure regulating mechanism.
17. A motor device using the ultrasonic vibration described in item 5). (Claim (1) of the claim, characterized in that an electrostrictive element, a piezoelectric element, or a magnetostrictive element that expands and contracts in the axial direction with electrodes sandwiched between them is incorporated in the middle part of the force vibrator.) (5) If not, use the ultrasonic vibration described in (6).
~da motor device. (8) A patent claim characterized in that an automatic pressure regulating mechanism is provided between the rotating shaft and the rotor, which consists of a pair of cams with V-shaped bottoms and a plurality of @4 balls interposed between them. A motor device using ultrasonic vibration as described in item (5) or item (6). (9) A bending transducer with a taper on the open end side, a rotor that touches a part of the taper and wraps around the opposite part of the open end, and two or more electrostrictive sensors on the open end side of the bending transducer. A bending vibrator provided with a piezoelectric element, a piezoelectric element, or a magnetostrictive element; (10) Expanding and contracting an electrostrictive element, piezoelectric element, or magnetostrictive element in the axial direction.1. A motor device a0 using ultrasonic vibration according to claim (5), characterized in that the electrodes are arranged so as to obtain Claim 1, characterized in that electrodes located diagonally opposite each other are connected and led to respective terminals, and constant strain elements or piezoelectric elements located diagonally are arranged so as to expand and contract in opposite directions. 5) A motor device using ultrasonic vibration as described in item 5). Oa The central part of the vibrator maintains a contact state with the circumscribed inner peripheral surface of the rotor (
5) A motor device using ultrasonic vibration as described in item 5). (113) A tapered ring-shaped bending vibrator is disposed on the inner surface supported by a support member, and the inner circumferential surface of the rotor is in contact with the rotating shaft so as to be movable in the axial direction. The patent claim is characterized in that the ring-shaped vibrator is supported and installed, and on the other hand, a K% strain element-shaped piezoelectric element is arranged outside the ring-shaped vibrator, and a mechanism is provided on the rotating shaft. A motor device that utilizes the range No. (Ij'fTJ dimensions or ultra-low resistance described in item (3)). A motor device M using ultrasonic imaging according to claim (T3), characterized in that the element or piezoelectric element is fixedly arranged. (15) The ultrasonic vibrator is constructed by incorporating two or more circuits of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements in a ring-shaped elastic body, and the ring-shaped elastic body has a disposed surface 1, one end surface of the rotor, and one end surface of the rotor. One end surface of this elastic body is configured to come into pressure contact with each other, and a combined surface wave of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of the elastic body is converted into a unidirectional rotational motion of the rotor. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1) or (3). (I5) A rotor, a ring-shaped elastic vibrator, a constant strain element, or a piezoelectric element is formed in a close and integral manner so that the member penetrates around the rotating shaft, and the mill end side of the rotating shaft is 17. A motor device utilizing ultrasonic vibration according to claim 17, characterized in that the other end is a bearing, the other end is passed through a pressure regulating mechanism, the bearing is passed through, and the whole is covered with a casing. 0'7) In a motor in which a rotor, a vibrator, and an electrostrictive element or piezoelectric element are configured concentrically from a rotating shaft, the electrodes of these electrostrictive elements and piezoelectric elements are divided into several corners, and the electrodes are placed at one corner. Every second connection 1. Terminals of 1 to 1 are connected to other electrodes, and the electrostrictive element of - is connected! : A motor device d using ultrasonic imaging according to claim 5), characterized in that a group of E-electronic elements is arranged with a phase shift of 900 degrees from other elements. Day 0 Claim No. 4, characterized in that it uses a pressure regulating mechanism that is located between the rotating shaft and the rotor and is composed of a combination of a cam and a plurality of steel balls. Motor device. A moving body consists of a plate-like member that moves in a fixed direction. Two or more elastic bodies are applied to the surface of a single or plural elastic bodies that come into pressure contact with the plate-like member.
By fixedly arranging the piezoelectric water element, magnetostrictive element, or electrostrictive element above the circuit, and shifting the phase of the high frequency voltage applied to each circuit, a bullet (〈〈transverse wave and longitudinal wave on the body surface) form a combined surface wave 1. Move the lever plate-like member straight in a certain direction 1
7. A motor device using ultrasonic vibration tMJ according to claim (1). (E) A plate-like member is pressed into contact with the surface of a rod-like elastic body, and a single or plural electrostrictive element, piezoelectric element, or magnetostrictive element is fixedly arranged in other parts l-1 Each circuit By shifting the phase of the high-frequency voltage applied to the rod-shaped elastic body, the surface wave, which is a combination of transverse and longitudinal waves excited on the surface of the rod-shaped elastic body, is converted into a unidirectional rotational motion of the moving object. A 1° motor device using ultrasonic vibration as described in claim (1).B) The end portions of a rod-shaped elastic body are wound and brought into contact with each other to form an endless structure. A motor device using ultrasonic vibration as described in paragraph (e). (a) A plate-shaped member is brought into pressure contact with the surface of the elastic body labeled -, and a plurality of electrostrictive elements, piezoelectric elements, and magnetostrictive elements are fixedly arranged on the surface of the other elastic bodies.Lfc Two rod-shaped elastic bodies are connected to the connector. Claim (1) characterized in that the fixed 12, each of which is a circuit, converts a combined surface wave of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of an elastic body into a unidirectional motion of a moving body. A motor device using ultrasonic imaging according to item (3) or item (3). (g) A plate-like member is pressed into contact with the surface of the elastic body j~, and a plurality of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements are fixedly arranged on the surface of the other elastic body, and one or two rod-shaped elastic bodies are fixed. is fixed by a resonator, each of which is a circuit, and a combined surface wave of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of an elastic body is converted into a unidirectional rotational motion of a moving object. A motor device using ultrasonic vibration according to item (1) and item (3). 2) A plate member and an electrostrictive element, a piezoelectric element, or a magnetostrictive element are combined into one
A motor device utilizing ultrasonic vibrations as set forth in claim (1), stripe (3), or (4), characterized in that the motor device is arranged on a wooden rod-shaped elastic body. . (a) A plurality of electrostrictive elements or piezoelectric elements are fixedly arranged on one end surface of the rod-shaped elastic body at every seven wavelengths, and seven wavelengths are connected to each terminal to form two circuits. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (e), characterized in that a surface wave is formed by bending vibration. - When A plurality of electrostrictive elements or piezoelectric elements polarized at every end wavelength are fixedly arranged on one end surface of a rod-shaped elastic body at intervals of 10 wavelengths + 1 wavelength. 1-1 Surface waves are formed in the rod-shaped elastic body by bending vibration. A motor device utilizing ultrasonic vibration according to claim (g), characterized in that: Claims characterized in that vibrators made of strain elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements are each fixedly arranged at intervals of 1 to 2, and surface waves are formed by bending vibration in a rod-shaped elastic body. A motor device using ultrasonic vibrations as described in item (a). (e) A plurality of electrostrictive elements or piezoelectric elements are fixedly arranged on the surface of an annular elastic body, and the vibrations are converted into surface waves. The ultrasonic wave according to claim 11 is characterized by converting a 7V surface wave, which is a composite of transverse waves and longitudinal waves excited on the surface of an elastic body, into a unidirectional rotational motion of a !1 dI body. A motor device that utilizes vibrations. 3. Detailed Description of the Invention The present invention converts surface waves excited on the surface of an ultrasonic vibrator into unidirectional motion of moving objects placed in pressure contact with each other. In other words, the present invention relates to an ultrasonic vibrator formed by combining a plurality of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements and incorporating them into an elastic body; By arranging one end surface and the other end surface of a moving body moving in a certain direction in a position where they are in pressurized contact with each other, surface waves formed by the combination of transverse waves and longitudinal waves excited on the surface of this elastic body can be generated. This relates to a motor device WK that converts a moving body into unidirectional motion.Most of the various motor devices that have been widely used in the past have applied electromagnetic force as their drive source, and are used for various purposes. 17 However, the size of these fds, electric resistance welding, torsion, etc. are subject to certain limitations depending on the materials used.This is because these factors depend on the magnetic properties of the materials used. This is because devices exceeding these characteristics cannot be driven in rotation.The present invention converts the powerful vibrational energy of ultrasonic waves into rotational or linear motion. Achieving a small and lightweight motor device by 1-1 Specifically, by creating a surface wave excited on the surface of an ultrasonic vibrator that has an electrostrictive element, a piezoelectric element, or a magnetostrictive element built into an elastic body. The purpose is to provide a motor device for use (7). DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the operating principle and embodiments of the motor device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. <1> Principle of operation FIG. 1 is a partially enlarged perspective view for explaining the principle of operation. Reference numeral 1 designates an elastic body such as a metal, and the state in which a surface wave, which is a combination of transverse vibration and vertical vibration, is formed on its surface 1a is shown in an enlarged manner. This surface wave is generally called a Nishi-Ilie wave, and it was elucidated in the theoretical C that there exists a wave that propagates along the surface of an elastic body. There are elastic waves VCFi in solids, longitudinal waves and transverse waves, which exist independently, but due to the boundary condition of the surface, they intertwine and are synthesized. To generate Rayleigh waves, if a vibrator that vibrates vertically or horizontally is placed on a substrate medium to excite the surface of an elastic body, the surface wave component can be observed at a considerable distance from the vibration source. The second type is a surface wave caused by the bending vibration of a rod-shaped (plate-shaped) elastic body. On the surface of the elastic body, a longitudinal wave and a transverse wave are out of phase by 900, and thin circular vibrations are formed. propagates along. Thirdly, longitudinal waves propagate along a rod-shaped (plate-shaped) elastic body, and transverse waves due to Poisson's ratio appear on the surface of the elastic body.In this case, longitudinal waves and transverse waves also appear on the surface of the elastic body. 90
° Forms thin circular imaging with phase shift. This FIG. 1 shows only the propagation state of Rayleigh waves (the vibration source is not shown). In other words, if we look at the layer at mass point B, horizontally 4
The composite beam width a (vertical direction) and vertical vibration width b (horizontal direction) is moving in the direction of arrow M on the column Q, and its surface wave moves at the speed of sound U. I'm here. This movement is the same at any point on the surface of the elastic body 1a, and under this condition, when the surface of the free moving body 2 is pressed into contact with the surface of the elastic body 1, this moving body 2 moves to the elastic body. They are in contact only at the apexes A and A' of the surface waves of No. 1, and this apex A
, A' is a motion 1. Therefore, the free moving body 2 is driven in the direction of the arrow N by the frictional force with the elastic body 1. The present invention relates to a motor device that basically drives a moving object using surface waves, and embodiments thereof will be described below. <2> Regarding the embodiments of the present invention, FIG. 2 shows a partial cross-sectional view of the device, and 11 is a casing body, inside which the node portion of the cylindrical bending vibrator 13 is supported.] 2, and a taper 138 is provided on the outer circumferential surface of the approximately central portion of the vibrator 13.
33 so that one end of the inner circumferential surface of the rotor 14 as a moving body is in pressurized contact with the surface of the rotor 14. The rotor 14 is a rotating shaft 15
The rotational force is transmitted to the rotating shaft 15 via the pressure regulating mechanism 16. An example of the pressure regulating mechanism 16 will be described in detail later with reference to FIG. 5. 17 indicates a bearing 1. I'm here. The vibrator 13 has a constant strain element or a piezoelectric element 1 in the middle part.
8.19 built-in configuration 1. , and serves as an excitation source for surface waves. <3> About the Vibrator FIG. 3 shows a plane view of this vibrator 13, and FIG. 4 shows a cross section taken along line A and -A in FIG. 3rd (Fig.
^Te゛(M, strain element "4 or piezoelectric element 18, 1.9 is configured to expand and contract in the axial direction as shown by the arrow, and during that time ((
The arrangement of the electrodes and the electrostrictive element is as shown in Figure 4. Connect the diagonal electrodes a and b to the 1.τ terminal 21. Similarly, the electrodes c and d are connected to the terminal 22.The electrostrictive cables or piezoelectric elements at each diagonal position 1a are
c It moves to expand and contract. That is, the electrostrictive element or piezoelectric element 18, 19 in contact with the electric ridge a extends in the direction of extension of the electrode bi.
The electrostrictive cords or piezoelectric elements 18, 19 which are in contact with each other are polarized so as to operate in the direction of contraction. Further, the electrostrictive element or piezoelectric element 18,19 in contact with the electrode d is polarized so as to operate in the direction of extension, and the electrostrictive element or piezoelectric element 18,19 in contact with the electrode C is polarized so as to operate in the direction of contraction. <4> Regarding the pressure regulating mechanism FIG. 5 is a sectional view showing an example of the pressure regulating slide 16. The figure shows an example of an automatic pressure regulating mechanism L7, in which a special cam 23, 24 with a V-formation between the rotating shaft 15 and the rotor 14 is used.
By providing a pair of copper balls 25 and a number of copper balls 25 intervening between them, the steel ball is located at the bottom of the cam under no load, but as a load is applied and torque is gradually applied, the copper ball becomes grooved. The function is to lift up the shrine and generate pressure in the j direction. As a result, the torque of the rotor 1.1 is changed to the rotating shaft 15i.
Transfer to l111. With this configuration, when a high frequency voltage is applied between the child 21 and the vibrator 13, the vibrator 13 is In other words, in the following vibration state, point B in the center becomes the antinode of the image, and point 2 becomes the vibration node. Between the terminal 22 and the camera element 13, there is a voltage of 90% for the voltage of these poles a and b.
When a high-frequency voltage with a phase shift is applied, a vibration Z (perpendicular to the plane of the paper) that is vertically out of phase with the vibration at point B is induced, so to speak, the longitudinal wave and transverse wave are artificially synthesized. The surface wave becomes a rotating circle image. <5> Regarding the contact state of the camera element and rotor, see Figure 7.
') The state of contact between the central outer circumferential surface 13b of the vibrator 13, that is, the antinode part of the vibration, and the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 that circumscribes it is broken down for each cycle.1. Te(N)(B)(C)
(D) Shown. That is, the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 is in contact with the peak of the wave on the vibrator 13 side, and the contact point moves sequentially and goes around the inner circumferential surface 14.2 of the rotor 14 in each period. . The mass point association at the apex is proportional to the amplitude of vibration, and ranges from 0 to
It is about several m/sec. The reason why vibrations generated on the vibrator side due to the movement of this contact point are converted into rotational force on the rotor side will be described below. That is, when comparing the length of the inner circumferential surface 14a of the rotor 14 with the circumferential length of the central outer circumferential surface 13b of the vibrator 13 inscribed therein, it is obvious that the circumference of the inner circumferential surface 14a is The length is longer, so as shown in FIG. 7, the contact points of both move sequentially, and when the contact points go around once, the rotor 14 side shifts by the difference in the circumferential length between the two. It is rotated and taken out. Of course, the direction of rotation of the rotor can be switched by reversing the phase of the high frequency voltages applied to the electrodes a, b, and c, d. <6> Regarding the ring-shaped bending vibrator - Figure 8 shows another embodiment of the present invention (A) - Thin sectional view, 1 mouth) A -
It is a conceptual diagram of the A imaginary cross section. According to this embodiment, a ring-shaped bending sensor 33 supported by a support member 32 is disposed inside the caning main body 31, and a taper 33 is formed on the inner circumferential surface of the ring-shaped bending sensor 33.
3 are provided and arranged so that the outer circumferential surface of the rotor 34 is in contact with the rotor 34. The rotor 34 is supported to be movable in the axial direction with respect to the rotating shaft 35, and is provided with a pressure regulating mechanism 36 similar to the configuration shown in FIG. 5 to transmit rotational force to the rotating shaft 35. 37 represents an electrostrictive element or a piezoelectric element; 7 and 38 represent bearing spills; 8th
The ring-shaped bending vibrator 33 is made of an elastic body, and an electrostrictive element (a) fixedly disposed on its outer periphery (the cross section of the sing body 31 is omitted in the same figure). Alternatively, the piezoelectric elements 37 are polarized so as to expand and contract in the directions of the arrows, respectively, to provide 'fertile poles a, b, c, d, e, f, g, and h. Furthermore, the electrodes a, h, c, and d are connected. Similarly, connect Kan Me and ft gl h to terminal 40.
lead to. A high frequency voltage is applied between the terminal 39 and the vibrator 33 (7, and a 90° voltage is applied between the terminal 40 and the vibrator 33).
When a phase-shifted high-frequency pressure is applied, the vibrator 33 generates bimorph-shaped bending motion. At this time, the bending frequency f1 is: E: Young's modulus l: Boarnon ratio a:
Radius of central circle h: Thickness of peripheral wall n: Order of bending vibration F = Density of material In this example, n = 2, and as shown in FIG. 9, the rotor 3 inscribed in the vibrator 33
(A) (BMCMD)
) Vc was shown. The point where these two contact each other is the apex of the wave, and the apex makes half a revolution on the outer peripheral surface of the rotor 34 for each period of vibration, and the movement of these contact points causes the vibration of the vibrator 3
Occurrence on 3 side 1. It is shown in FIG. This is explained using an example. <7> About excitation of piezoelectric material by high frequency magnetic pressure Part 10
The figures show other embodiments of the present invention, (a) - thin sectional view;
(b) is a polar arrangement diagram of a piezoelectric material. According to this embodiment, the piezoelectric body 52 is excited by applying high frequency voltages of two circuits having a phase shift of 90° to each electrode a and b. Elastic ring 51 generates bimorph vibration 1-1
A surface wave that is a combination of a transverse wave and a longitudinal wave is formed on one end surface 51, and the rotor 53, which is in pressure contact with the one end surface, receives the rotating part iMJ. and electrode arrangement. The electrode pitch is set according to the wavelength of the surface wave, and the polarization direction of the piezoelectric body is determined as shown in the figure (b).■e■e...
shall be. (The positions of electrode groups A and B are shifted by the same wavelength.) Each electrode is connected to form two circuits of terminals a and b. When high frequency voltages with a phase difference of 90 degrees are applied to terminals a and b, the elastic body surface A surface wave is formed on top. <8) About the linear motor that converts into linear motion FIG. 11 shows another embodiment of the present invention, and shows an example of a linear motor that converts ultrasonic vibration into linear motion.
ing. In the same figure, the elastic body 62 is brought into pressure contact with the surface of the plate-like member 61 by pressing one or more elastic bodies 62 and 62, and piezoelectric bodies 63 and 63 are provided on a part of the surface of these elastic bodies 62. can generate surface waves (Rayleigh waves). By forming the corner portion 62a of the elastic body 62 into a curved shape, the surface waves drive the 11-1 plate member 61 to move in the direction of arrow W along the surface of the elastic body 62. <q> One-way surface wave generation method FIG. 12 shows the unidirectional surface wave generation method used in the embodiment shown in FIG. 92 . This phase shifter 93 provides 00, ■2o to each circuit.
c:. A unidirectional surface wave can be generated in the piezoelectric body 91 by applying high frequency voltages with a phase shift of 240°<12Q'. Embodiment Regarding a Linear Motor with a Core Ettress Structure In the 131N, a plate-like member 72 is pressed into contact with the surface of a rod-like elastic body 71, and a plurality of piezoelectric bodies 73 are attached to another part of the elastic body 71. The rod-shaped elastic body is bent into a curved shape to form an endless m1ta and 1. This is an example of a linear motor. This (becomes 1 F) rod-shaped elastic body causes bending vibration, and the wave propagates along the rod-shaped elastic body 71 [7,
It becomes a surface wave and circulates on the ring. <11> Regarding an embodiment of a linear motor with an endless structure using a connector, FIG. This is an example of a near motor in which a plurality of piezoelectric bodies 81 are fixedly arranged on a part of another rod-shaped elastic body 77 by bringing a plate member 80 into pressure contact with the plate member 80 . With this configuration, the rod-shaped elastic body 77 receives bending vibration by the piezoelectric body 81, and the surface waves are converted into longitudinal vibrations of the coupler 78 at the ends of the rod-shaped elastic body 77. is converted into a bending vibration, and thus the surface wave propagates on the rod-shaped elastic body 76. This surface wave passes through the coupler 79 and returns to the rod-shaped elastic body 77. <1Z) Regarding an embodiment of a linear motor with an endless structure using a resonator, FIG. A plate-like member 80 is brought into pressure contact with the surface of the other rod-like elastic body 7.
This is an example of a linear motor in which a plurality of piezoelectric bodies 81 are completely fixedly arranged on a part of the motor 7. With this configuration, the rod-shaped elastic body 77 causes bending vibration by the piezoelectric body 81, and the surface wave is converted into longitudinal vibration of the resonator 82 at the end of the rod-shaped elastic body 77.
The longitudinal vibration is converted into a bending vibration of the rod-shaped elastic body 76, and propagates on the rod-shaped elastic body 76 as a surface wave. This surface wave passes through the resonator 83 and returns to the rod-shaped elastic body 77. <Eng. 3> Regarding the relationship between the coupler and the resonator. Here, the functional differences between the coupler and the resonator will be described. The connector is a member that converts the bending vibration of a rod-like elastic body into longitudinal vibration or vice versa, and is subject to restrictions on the material and dimensions of the connector due to the problem of matching acoustic impedance. Only L, the shape is simple, so it is compact. It is easy to reduce the price. A twisted resonator converts vibrations in the same way as a coupler, but the acoustic impedance matching can be selected relatively freely, and the vibration energy transmission capacity is also strong. I~ (7. Due to the complex shape and the need to match the natural frequency to the frequency of the vibration source,
FIG. 15 shows an example of a linear motor that is expensive in terms of price.
This is an example of a near motor in which the plate-shaped member 89 is brought into pressure contact with the surface of the rod-shaped elastic body. With this configuration, the rod-shaped elastic body 86 causes bending vibration by the vibrator 87, and the vibration energy of the surface wave is absorbed by the vibrator 88. This vibrational energy is converted into electrical energy and recovered or fed back to the vibrator 87. <Ig> Regarding the m-plane wave generation method, FIG. 16 shows two circuits (
A piezoelectric body 87 having electrodes A and B) is fixed, and the piezoelectric body is arranged so that the polarization direction of the piezoelectric body becomes arrows M, M', etc. perpendicular to the plane of the paper with respect to the elastic body 96 at every dominant wavelength. . When high frequency voltages with a phase shift of 90° are applied to electrodes A and B, the rod-shaped elastic body 96 causes bimorph vibration and forms a surface wave in a fixed direction. 16〉About surface wave generation method Figures 17 and 19 show the pressure 1 and the bodies 973 and 97b.
Electrodes A' and B' are arranged at different positions, and the polarization directions of the piezoelectric bodies are arranged so that they are aligned with arrows M and M' with respect to the elastic body every other wavelength (positions of -1 piezoelectric bodies 97a and 97b). This is the case where the relationship is set to the interval of one wavelength + lower wavelength (n: integer).G17) Surface wave generation method FIG. 18 shows two connectors 100. This is a case where vibrators 98 and 99 are fixedly arranged via 101. The spacing between the couplers is 1 wavelength + 1 wavelength (+1: integer) and 1. When a high frequency voltage with a phase shift of 900 degrees is applied to each vibrator, the rod-shaped elastic body 96 causes a bending vibration WdJ, forming a surface wave in a fixed direction. Note that although this embodiment is mainly described using a piezoelectric element, it is possible to replace this with an electrostrictive element or a magnetostrictive element. <19> Effects of the present invention The motor df using ultrasonic vibration according to the present invention has been described above.
Regarding the VC, we have given a detailed explanation of its driving principle and examples, but unlike various conventional motor devices, by incorporating an electrostrictive element, piezoelectric element, or magnetostrictive element into an elastic body, it is possible to excite the surface. This is an innovative method that uses the powerful vibrational energy of ultrasonic waves to generate surface waves with a thin circular motion, which converts the rotational motion of a moving body into linear motion. It has the great effect of being able to obtain a small and lightweight motor device with strong rotational force and driving force (1), and can be applied to all kinds of applications. 4. Brief description of the drawings Fig. 1 is a partially enlarged perspective view for explaining the operating principle of the present invention, and Fig. 2 is a partially sectional view showing an embodiment of the present invention. 3 is a side view of the vibrator, FIG. 4 is a conceptual diagram of a cross section taken along line A-A in FIG. 3, and FIG. 5 is a side view showing an example of the pressure regulating mechanism.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing the bent state of the vibrator, FIG. 7 is an exploded view showing the contact state of the vibrator and rotor, and FIG. 8 is a partial view of another embodiment of the present invention. FIG. 9 is an exploded view showing the state of contact between the vibrator and the rotor, and FIG. 10 is another embodiment of the present invention. (a) The figure is a partial cross-sectional view, (b) The figure is a diagram of the layout of the piezoelectric material, and Figure 11 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
Fig. 12 is a mode diagram showing the unidirectional surface wave generation method used in the seven embodiments shown in Fig. 11, Fig. 13 is an example of an endless structure linear motor, and Fig. 14 (a) is a connector. A linear motor with an endless structure is shown in Fig. 14 (b). Fig. 14 (b) is an example of a linear motor with an endless structure and a linear motor with an endless structure. Fig. 15 shows a linear motor constructed with one linear elastic body and two vibrators. An example of a motor, Figures 16, 17, and 19 are electrode layout diagrams that form surface waves on a rod-shaped elastic body using a piezoelectric body, and Figure 18 shows a surface wave that is formed on a rod-shaped elastic body using an imager. 1... Elastic body 2... Moving body 11, 31...
Casing body 12.32...Supporting member 13
.. 33... Vibrator 13a, 33a... Taper 14.34... Rotor 15.35... Rotating shaft 16.36... Pressure regulating mechanism 17... Bearing 18.19... Electric Strain element or piezoelectric element 20
... Electrode 23.24 ... Cam 25 ... Steel ball
37... Electrostrictive element and piezoelectric element 38... Bearing

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪素子を組
合せて、弾性体内に組込構成した超音波振動子と、該弾
性体の一端面と、一定の方向に移動する動体の一端面を
相互に加圧接触する位置に配置することによシ、前記弾
性体の表面において励振される横波と縦波の合成された
進行波を、前記動体の一方向運動に変換することを特徴
とする超音波振動を利用したモーター装置。 (2)袂数個の電歪素子、圧電素子または磁歪索子を組
合せて、弾性体表面上にレーリー波とよけれる横波と縦
波の合成された進行波を利用したこと全特徴とする特許
請求の範囲第(1)項記載の超音波振動を利用したモー
ター装置。 (3)蝮数個の電歪素子、圧電素子または磁歪素子を組
合せて、棒状弾性体に屈曲振動音おこさせ棒状弾性体光
面上に横波と縦波の合成された進行波を利用したこと全
特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超音波振動
を利用したモーター装置。 (4)複数個の電歪素子、圧電素子または磁歪素子を組
合せて、棒状弾性体に縦波進行波をおこさせ、棒状弾性
体表面上にポアッソン比による横波と縦波の合成された
進行波を利用したことを特徴とする特許請求の範囲第(
1)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 (5)超音波振動子は、円柱または円筒状弾性体内に電
歪素子、圧電素子または磁歪索子を2回路以上組込構成
して成り、前記超音波振動子の一端面と相互に加圧接触
させる動体を円筒形回転子として構成することにより、
超音波振動子の表面において励振される横波と縦波の合
成された進行波を動体の一方向回転運動に変換すること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超音波振
動を利用1〜だモーター装置。 (6)支持部材で仕切られた筒状屈曲振動子の略中央郡
夕iJM面に設けたテーパーを介して回転子の内周面一
端側が加圧接触され前記回転子r1回転軸に対してその
軸方向に移動可能に支持され回転力が調圧機構を介して
回転軸に伝達されることを特徴とする特許請求の範囲第
(1項またrj、第(5)項に記載の芹音波振動金利用
したモーター装置。 (7)振動子の中途部において、間に電極をに[さみ軸
方向に伸縮動作を行う電歪素子、圧電素子または磁歪素
子を組み込んたこと全%徴とする特許請求の範囲第(1
)項、第(5)f@”tたけ第(6)項記載の超音波振
動をオ]]用したモーター装置。 (8)  回転軸と回転子の間に■形底全もった一対の
カムとその間に秒数の鋼球を介在させたことからなる自
動調圧機構を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第
(5)項または第(6)項記載の超音波振動を利用した
モーター装置。 (9)  開放端側にテーパー全役けた屈曲振動子と該
テーパ一部分と接して〔ト・放端とは逆の部分を包み込
んだロータと、前記屈曲振動子開放端倶1に2個以上の
電歪素子、圧電1素子または磁歪素子を設けた屈曲振動
子と前記それぞれの部材を貫通して少なくとも一端は調
圧装置を介して回転軸を軸受けに支持したことを特徴と
する特許請求の範囲第(5)項記載の超音波撮動を利用
したモーター装置。 叫 電歪素子、圧−5素子または磁歪素子を軸方向に伸
粗し得るように配したことを特徴とする特許請求の範囲
第(5)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 0])  円形に保持されだ電歪素子または圧電素子の
電極において、互いに対角にある電極を結線し各々の端
子に導びくと共に対角位置にある電歪素子または圧電素
子は互に逆方向に伸縮するように配し7だことを特徴と
する特許請求の範囲第(5)項記載の超音波振動を利用
したモーター装置。 (2)振動子中央部が外接する回転子内周面との接触状
態を保持させたことを特徴とする特許請求の範囲第(5
)項記載の超音波振動を利用したモーター装置。 (2)支持部材で支えられた内面にテーパーを有するリ
ング状屈曲振動子を配し、その中で回転軸に対して軸方
向に移動可能なように回転子外周面が接触するように支
持して設置すると共に、一方前記リング状振動子の外側
に電歪素子または圧電素子を配してかつ回転軸に調圧機
構を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項
または第(3)項記載の超音波振動を利用したモーター
装置。 (縛 弾性体で構成されたリング状屈曲振動子の外周に
分極された%企素子または圧電素子を固定配置したこと
を特徴とする特許請求の範囲第04項記載の超音波振動
を利用したモーター装置。 051  超音波振動子はリング状弾性体内に電歪素子
、圧電素子または磁歪素子を2回路以上組込構成して成
り、該リング状弾性体内に配置した回転子の一端面と前
記弾性体の一端面とが相互に加圧接触する構成とし、弾
性体の表面において励振される横波と縦波の合成された
進行波を回転子の一方向回転運動に変換することを特徴
とする特許請求の範囲第(1)項または第(3)項記載
の超音波振動を利用したモーター装置。 (ト)回転軸の周囲に恰かも部材が貫通した如くに回転
子、リング状弾性体振動子、電歪素子または圧電素子を
順にかつ一体的に構成し回転軸の一端側は軸受、他端側
は調圧機構を経て軸受を通させて全体を筐体で覆ったこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(151項記載の超音
波振動を利用したモーター装置。 θη 回転軸から回転子、振動子と電歪素子または圧電
素子が同心的に構成されたモーターにおいて、前記電歪
素子、圧電素子の電極を偶数個に区画し、その電極を一
つおきに結線した一方の端子と、他の電極全結線して形
成した端子を設け、かつ一方の電歪素子または圧電素子
の群を他方のそれと90°位相をずらせて配したことを
特徴とする特許請求の範囲第Q51項討截の超音波振動
を利用したモーター装置゛。 (18)  回転軸と回転子の間にあってカムと複数個
の鋼球を組合せたことからなる調圧機構を用いたことを
特徴とする特許請求の範囲第(至)項記載の超召波振動
を利用したモーター装置。 01  動体L1一定方向に移動する板状部材より成り
、該板状部材に加圧接触する単数または複数の弾性体表
面に2回路以上の圧電素子、磁歪素子または電歪素子を
固定配置し、夫々の回路に印加する高周波電圧の位相を
ずらせることにより、弾性体表面において横波と縦波が
合成された進行波全形成して前記板状部材を一定方向に
直進移動せしめることを特徴とする特許請求の範囲第(
1)項記載の超音波振動全利用したモーター装置。 罎 棒状弾性体の表面に板状部材を加圧接触せしめると
共に、他の部分において単数または複数の霜、全素子、
圧電素子または磁歪素子を固定配置し、それぞれの回路
に印加する高周波電圧の位相をずらすことにより前記棒
状弾性体の表面において励振される横波と縦波が合成さ
れた進行波を動体の一方向回転運動に変換することを特
徴とする特許請求の範囲第(1ン項記載の超音波振動を
利用したモーター装置。 イ1)棒状弾性体の端部全それぞれ巻回して当接せしめ
エンドレスとしたことを特徴とする特許請求の範囲第俤
項記載の超音波振動全利用したモーター装置。 翰 一方の弾性体表面には板状部材を加圧接触し、他方
の弾性体表面には複数の電歪素子。 圧電素子またはIj1!t−&素子を固定配置した2本
の棒状弾性体を結合子によって固定し夫々を回路とし、
弾性体表面において励振される横波と縦波の合成された
進行波音、前記動体の一方向運動に変換すること全特徴
とする特許請求の範囲第(1)項またにV第(3)項記
載の超音波振動を利用したモーター装置。 翰 一方の弾性体表面には板状部制−會力0圧接触し、
他方の弾性体表面には枚数の電歪素子。 圧143I索子捷たは磁歪素子を固定画上置した2本の
棒状弾性体を共振子によって固定し夫々を回路とし、弾
性体表面において励振される横波と縦波の合成された進
行波全動体の一方向利用したモーター装部。 (至)板状部材と電歪索子、圧電素子または磁歪素子が
1本の棒状弾性体上に配置されたことを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項、第(3)項捷たは第(4)項記
載の超音波振動をオロ用したモーター装置。 (ハ)棒状弾性体の一端面に複数個の電歪素子まして2
回路とし、棒状弾性体に屈曲振動による進行波を形成す
ることを特徴とする特許請求の範囲第−項記載の超音波
振動を第1用したモーター装わ−0 (ホ) 棒状弾性体の一端面に一波長おきに分極しま た複数個の電歪素子または圧電素子ケそれぞれ−波長+
−波長の間隔で固定配置し、棒状2 弾性体に屈曲振動による進行波全形成することを特徴と
する特許請求の軸囲第翰項言e1載の超音波振動ゲ第1
用したモーター装置。 @ 棒状弾性体の一端面に結合子を介して複数個の電歪
素子、圧電素子または磁歪素子による振動子をそれぞれ
一波長十一波長の間隔で2 固定配置し、棒状弾性体に屈曲振動eこよる進行波を形
成することを特徴とする特許請求の範II)1項記載の
超音波振動を第1[用したモーター装し。 翰 円環状弾性体の表面に複数個の電歪素子まだは圧電
素子を固定配置すると共に、その振動を進行波に変換葡
行わせ、弾性イネ表面に励振された横波と縦波の合成さ
れたら!!−4]波全動体の一方向回転運動に変換する
ととを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超晋
波振動を利用したモーター装置。
[Scope of Claims] (1) An ultrasonic transducer constructed by combining a plurality of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements and incorporating them into an elastic body; By arranging one end surface of the moving body in a position where they are in pressurized contact with each other, a traveling wave, which is a composite of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of the elastic body, can be caused to move in one direction of the moving body. A motor device that uses ultrasonic vibrations. (2) A patent that is characterized by the use of a combined traveling wave of transverse waves and longitudinal waves that can be avoided by Rayleigh waves on the surface of an elastic body by combining several electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1). (3) By combining several electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements, a bending vibration sound is generated in a rod-shaped elastic body, and a traveling wave that is a combination of transverse waves and longitudinal waves is used on the optical surface of the rod-shaped elastic body. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (1), which has all the characteristics. (4) By combining multiple electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements, a longitudinal traveling wave is generated in the rod-shaped elastic body, and a traveling wave that is a composite of transverse waves and longitudinal waves due to Poisson's ratio is generated on the surface of the rod-shaped elastic body. Claim No. (
1) A motor device using ultrasonic vibration as described in section 1). (5) The ultrasonic vibrator is constructed by incorporating two or more circuits of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive cords in a columnar or cylindrical elastic body, and is pressurized mutually with one end surface of the ultrasonic vibrator. By configuring the moving body to be brought into contact as a cylindrical rotor,
The ultrasonic vibration described in claim (1) is characterized in that a traveling wave, which is a combination of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of an ultrasonic vibrator, is converted into a unidirectional rotational motion of a moving object. Use 1~da motor device. (6) One end of the inner circumferential surface of the rotor is brought into pressurized contact with the rotation axis of the rotor r1 through a taper provided on the approximately center surface of the cylindrical bending vibrator partitioned by the support member. The ultrasonic vibration according to claim 1 or claim 5, characterized in that it is supported movably in the axial direction and the rotational force is transmitted to the rotating shaft via a pressure regulating mechanism. A motor device using gold. (7) A patent that incorporates an electrostrictive element, piezoelectric element, or magnetostrictive element that expands and contracts in the axial direction with an electrode between them in the middle of the vibrator. Claim No. 1
A motor device using the ultrasonic vibration described in item (5) and item (6). Utilizing ultrasonic vibration as set forth in claim (5) or (6), characterized in that an automatic pressure regulating mechanism is provided that consists of a cam and a second steel ball interposed therebetween. (9) A bending oscillator with a full taper on the open end side, a rotor that is in contact with a part of the taper and enclosing a part opposite to the open end, and a bending oscillator with the open end 1 A bending vibrator provided with two or more electrostrictive elements, one piezoelectric element, or a magnetostrictive element, and a rotating shaft supported on a bearing through a pressure regulating device at least one end passing through each of the above-mentioned members. A motor device using ultrasonic imaging according to claim (5), characterized in that an electrostrictive element, a pressure-5 element, or a magnetostrictive element is arranged so as to be able to be expanded in the axial direction. A motor device using ultrasonic vibration according to claim (5).0]) In the electrodes of an electrostrictive element or piezoelectric element held in a circular shape, diagonal electrodes are connected to each other and each terminal is connected. Utilizing ultrasonic vibration according to claim (5), characterized in that the electrostrictive elements or piezoelectric elements that are guided to and diagonally located are arranged so as to expand and contract in opposite directions. (2) Claim No. 5 characterized in that the central portion of the vibrator maintains a state of contact with the circumscribed inner circumferential surface of the rotor.
) A motor device using ultrasonic vibration as described in item 2. (2) A tapered ring-shaped bending vibrator is disposed on the inner surface supported by a support member, and the rotor is supported so that the outer circumferential surface of the rotor is in contact with the rotating shaft so that it can move in the axial direction. Claim (1) or Claim 1, characterized in that the ring-shaped vibrator has an electrostrictive element or a piezoelectric element disposed outside the ring-shaped vibrator, and a pressure regulating mechanism is provided on the rotating shaft. A motor device using ultrasonic vibration as described in (3). (A motor using ultrasonic vibration according to claim 04, characterized in that a polarized electric element or piezoelectric element is fixedly arranged on the outer circumference of a ring-shaped bending vibrator made of an elastic body. Apparatus. 051 An ultrasonic vibrator is constructed by incorporating two or more circuits of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements in a ring-shaped elastic body, and includes one end surface of a rotor disposed in the ring-shaped elastic body and the elastic body. A patent claim characterized in that the one end surface is in pressurized contact with each other, and a traveling wave that is a combination of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of the elastic body is converted into a unidirectional rotational motion of a rotor. A motor device that utilizes ultrasonic vibrations as described in item (1) or item (3). A patent claim characterized in that an electrostrictive element or a piezoelectric element is sequentially and integrally configured, one end of a rotating shaft receives a bearing, the other end passes a bearing through a pressure regulating mechanism, and the entire body is covered with a housing. (A motor device using ultrasonic vibration according to item 151. θη In a motor in which a rotor, a vibrator, and an electrostrictive element or a piezoelectric element are concentrically configured from a rotating shaft, the electrostrictive element, the piezoelectric element The electrodes are divided into an even number, and one terminal is formed by connecting every other electrode, and another terminal is formed by connecting all the other electrodes, and one group of electrostrictive elements or piezoelectric elements is connected to the other. A motor device utilizing ultrasonic vibration as set forth in claim Q51, characterized in that the motor device is arranged with a phase shift of 90° from the cam. A motor device using supersonant vibration according to claim 1, characterized in that a pressure regulating mechanism made of a combination of steel balls is used. 01 Moving object L1 plate-shaped moving in a fixed direction Two or more circuits of piezoelectric elements, magnetostrictive elements, or electrostrictive elements are fixedly arranged on the surface of one or more elastic bodies that are in pressurized contact with the plate-like member, and the phase of the high-frequency voltage applied to each circuit is adjusted. By shifting, a traveling wave consisting of a transverse wave and a longitudinal wave is combined on the surface of the elastic body, and the plate-like member is moved straight in a fixed direction.
A motor device that fully utilizes the ultrasonic vibrations described in item 1). A plate-shaped member is brought into pressure contact with the surface of a rod-shaped elastic body, and one or more frosts, all elements,
By fixing the piezoelectric element or magnetostrictive element and shifting the phase of the high-frequency voltage applied to each circuit, a traveling wave, which is a combination of a transverse wave and a longitudinal wave excited on the surface of the rod-shaped elastic body, is rotated in one direction of the moving object. A motor device using the ultrasonic vibration according to claim 1, characterized in that the ultrasonic vibration is converted into motion. (1) All the ends of the rod-shaped elastic body are wound and brought into contact with each other to make it endless. A motor device that makes full use of ultrasonic vibrations according to claim 1. A plate member is brought into pressure contact with the surface of one elastic body, and a plurality of electrostrictive elements are placed on the surface of the other elastic body. Piezoelectric element or Ij1! Two rod-shaped elastic bodies with t-& elements fixedly arranged are fixed by a connector and each is made into a circuit,
Claim (1) or V (3) is characterized in that traveling wave sound is a composite of transverse waves and longitudinal waves excited on the surface of an elastic body, and is converted into unidirectional motion of the moving body. A motor device that uses ultrasonic vibration.翰 The surface of one elastic body is in contact with a plate-like member - zero pressure,
Several electrostrictive elements are placed on the surface of the other elastic body. Two rod-shaped elastic bodies on which a pressure 143I rope or magnetostrictive element is placed on a fixed image are fixed by a resonator, each of which is used as a circuit, and the combined traveling wave of transverse waves and longitudinal waves excited on the surface of the elastic body is generated. A motor unit that uses a moving object in one direction. (to) Claims (1) and (3), characterized in that the plate-like member, the electrostrictive cord, the piezoelectric element, or the magnetostrictive element are arranged on one rod-like elastic body. or a motor device using ultrasonic vibration as described in item (4). (c) Multiple electrostrictive elements on one end surface of the rod-shaped elastic body.
A motor equipped with an ultrasonic vibration according to claim 1, characterized in that the circuit forms a traveling wave due to bending vibration in a rod-like elastic body. Polarized at every other wavelength on the end face, and a plurality of electrostrictive elements or piezoelectric elements each having a polarization of -wavelength +
- The first ultrasonic vibration device according to claim 1, characterized in that the ultrasonic vibration device is fixedly arranged at intervals of wavelengths and forms a traveling wave by bending vibration in a rod-shaped elastic body.
The motor device used. @ A plurality of electrostrictive elements, piezoelectric elements, or magnetostrictive elements are fixedly arranged on one end surface of a rod-shaped elastic body via a coupler at intervals of 1 wavelength and 11 wavelengths, and bending vibration e is applied to the rod-shaped elastic body. A motor device using the ultrasonic vibration according to claim 2), characterized in that the ultrasonic vibration according to claim 1 forms a traveling wave. A plurality of electrostrictive elements (or piezoelectric elements) are fixedly arranged on the surface of a toroidal elastic body, and the vibrations are converted into traveling waves.The transverse waves and longitudinal waves excited on the surface of the elastic rice are combined ! ! -4] A motor device using ultra-high frequency vibration according to claim (1), characterized in that the wave is converted into a unidirectional rotational motion of the entire moving body.
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