JPS59121657U - 現像装置 - Google Patents

現像装置

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Publication number
JPS59121657U
JPS59121657U JP1501683U JP1501683U JPS59121657U JP S59121657 U JPS59121657 U JP S59121657U JP 1501683 U JP1501683 U JP 1501683U JP 1501683 U JP1501683 U JP 1501683U JP S59121657 U JPS59121657 U JP S59121657U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust duct
chamber
developing device
pressure sensor
processed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1501683U
Other languages
English (en)
Inventor
中川　健三
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP1501683U priority Critical patent/JPS59121657U/ja
Publication of JPS59121657U publication Critical patent/JPS59121657U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかるスプレー現像装置の断面構成図
、第２図は試料保持台の拡大図でＡは正面図、Ｂは平面
図、第３図はダイアフラム形圧力センサの構成図または
第４図は本考案に係る排気量の調整機構で人は側断面図
、Ｂは正面図である。 図において、３は試料保持台、９はスプレーガン、１０
はノズル、１１は現像液のタンク、１５は排気ダクト、
１６は圧力センサ、１７はダイアフラム膨圧カセンサ、
１８はコントローラ、１９はモータ、２４は第２の排気
ダクト、２８はウエノＸＯ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理体を支持する支持台、前記支持台を収容するチャ
    ンバ、前記被処理体に現像液を噴射するスプレーガン、
    前記チェンバ内のガス体を排出する排気ダクト、前記チ
    ャンバ内の圧力を検出する圧力センサ及び前記圧力セン
    サに連動して前記排気ダクトの有効断面を制御する機構
    とを備えてなることを特徴とする現像装置。
JP1501683U 1983-02-04 1983-02-04 現像装置 Pending JPS59121657U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1501683U JPS59121657U (ja) 1983-02-04 1983-02-04 現像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1501683U JPS59121657U (ja) 1983-02-04 1983-02-04 現像装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59121657U true JPS59121657U (ja) 1984-08-16

Family

ID=30146357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1501683U Pending JPS59121657U (ja) 1983-02-04 1983-02-04 現像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59121657U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62264054A (ja) * 1986-05-12 1987-11-17 Daikin Ind Ltd レジスト現像装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS62264054A (ja) * 1986-05-12 1987-11-17 Daikin Ind Ltd レジスト現像装置

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