JPS5899834U - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS5899834U JPS5899834U JP19649081U JP19649081U JPS5899834U JP S5899834 U JPS5899834 U JP S5899834U JP 19649081 U JP19649081 U JP 19649081U JP 19649081 U JP19649081 U JP 19649081U JP S5899834 U JPS5899834 U JP S5899834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance device
- curved portion
- conveyance
- inner belt
- belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Relays Between Conveyors (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は従来の搬送装置の構成を示す図、第３
図は本考案実施例による搬送装置の構成を示す図である
。 ゛ 、図において、１は駆動回路（モータ）、１２゜１３は
内側ベルト、１４は外側ベルト、１５は半導体ウェハを
それぞれ示す。
図は本考案実施例による搬送装置の構成を示す図である
。 ゛ 、図において、１は駆動回路（モータ）、１２゜１３は
内側ベルト、１４は外側ベルト、１５は半導体ウェハを
それぞれ示す。
Claims (1)
- 単一の駆動回路で駆動される内側ベルト及び外側ベルト
を有し、両ベルト上に半導体ウェハやマスク基板等の被
搬送物を載置し、カーブ部で方向転換して搬送する搬送
装置において、前記内側ベルトをカーブ部の搬送平面で
不連続を形成するように分離し若しくは一部引下げたこ
とを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19649081U JPS5899834U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19649081U JPS5899834U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899834U true JPS5899834U (ja) | 1983-07-07 |
| JPS6130284Y2 JPS6130284Y2 (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=30109730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19649081U Granted JPS5899834U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899834U (ja) |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP19649081U patent/JPS5899834U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6130284Y2 (ja) | 1986-09-05 |
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