JPS5898641U - レジスト供給装置 - Google Patents
レジスト供給装置Info
- Publication number
- JPS5898641U JPS5898641U JP19543781U JP19543781U JPS5898641U JP S5898641 U JPS5898641 U JP S5898641U JP 19543781 U JP19543781 U JP 19543781U JP 19543781 U JP19543781 U JP 19543781U JP S5898641 U JPS5898641 U JP S5898641U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- supply device
- device equipped
- resist supply
- nozzle pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の供給装置の一実施例を示す模式説明図
上ある。 １・・・液、２・・・瓶、３．１６・・・管、４・・・
供給機構、５、 １７． ２３・・・逆流防止弁、−７
・・・ピストン機構−１５・・・６８装置、１９・・・
ノズル管、２２・・・バイパス管、２４・・・流量調整
ネジ。
上ある。 １・・・液、２・・・瓶、３．１６・・・管、４・・・
供給機構、５、 １７． ２３・・・逆流防止弁、−７
・・・ピストン機構−１５・・・６８装置、１９・・・
ノズル管、２２・・・バイパス管、２４・・・流量調整
ネジ。
Claims (1)
- 密閉型の供給機構により送られる高粘度レジスト液を濾
過精製するす１ミクロンの孔サイズフィルターを装着し
た濾過装置を備え、一定量の濾過精製液をノズル管より
供給するレジスト供給装置であって、前記ノズル管と撰
給機構を連結する逆流専用のバイパス管を設けたことを
特徴とするレジスト供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19543781U JPS5898641U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | レジスト供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19543781U JPS5898641U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | レジスト供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898641U true JPS5898641U (ja) | 1983-07-05 |
Family
ID=30108714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19543781U Pending JPS5898641U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | レジスト供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898641U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062121A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-10 | Nec Corp | フオトレジスト吐出装置 |
| JPS60158734U (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-22 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | 基板表面処理液供給装置 |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP19543781U patent/JPS5898641U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062121A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-10 | Nec Corp | フオトレジスト吐出装置 |
| JPS60158734U (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-22 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | 基板表面処理液供給装置 |
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