JPS5892069A - 読み取り方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電荷結合素子（以下ＣＣＤと称する）を用いた
ＭＴＦ検査機における読み取り方式に関する。

ＭＴＦ検査機として被検レンズにより線像をＣＣＤ上に
結像し、このＣＯＤのあらかじめ選択された一定間隔お
きの複数個の光感応素子より信号を読み取ってフーリエ
変換しＭＴＦを求めるものが提案されて・いる。しかし
ＣＣＤは多数の素子を配列したものであるため、製造工
程により光感度、転送効率等が他の素子と大きく異なる
異常な素子（異常ピット）ができやすい。ＣＣＤの一定
間隔をおいて選択された素子に異常ビットがあると、Ｃ
ＣＤ上の光分布の測定に大きな誤差を生ずる。

また異常ピットのできる位置はＣＣＤ毎に異なり、あら
かじめ異常ピットの位置を測定してその選択を避けるよ
うにするには非常に手間がかかる。

本発明はこのような事情に鑑み、ＣＣＤの異常ビットに
よる影響をなくし得る簡便な読み取り方式を提供するこ
とを目的とする。

以下図面を参照しながら本発明について実施例をあげて
説明する。

第１図は本発明に使用するＣＣＤの構成例である。中央
部に一列に並んだ複数個の光感応素子よりなるイメージ
センサ１１はそれに照明される光量に対応した電荷量を
７７トレジスタ１２．１３に転送する。７フトレジスタ
１２．１３はイメージセンサ１１をはさむように２組配
置され、それぞれイメージセンサ１１の奇数ビットと偶
数ビットをうけもつ。

ンフトレジスタ１２，１３の出力は前置増幅器１４．１
５を通り出力回路１６を介して元の順序で出力される。

第２図（α）は被検レンズにより線像がイメージセンサ
１１に垂直に結像された時の出力回路１６のビデオ出力
を示す。ＭＴＦ検査機において２　ＩＪノットャートの
線像を被検レンズによりＣＣＤ上に作ってそのダレ具合
をフーリエ変換してＭＴＦを求める方式のものでは一般
にＣＣＤのビデオ出力をすべて演算する必要はなく、ｃ
ｃＤの複数ビットおきに選択したビットの出力を演算す
るのが普通である。第２図（α）において斜線はその選
択されたヒントの出力であり、異常ピントの出力を２ビ
ット分Ａ、Ｂ含んでいる。このだめ線像分布が第２図＜
ｂ＞のようになり、演算誤差の原因となる。

これをさけるためには選択ビットをどちらかにシフトし
て異常ビットの選択をさけるようにすればよい。

第３図は選択ビットをシフトして得た４種類の線像分布
ｍ、　　ｍ＋ｌ、　　ｍ＋２．　　ｍ＋３　　とその処
理を示す。最初の分布ｍから計算されたＭＴＦ■は異常
ビットのためた他のものとは大きく異なる異常値となる
。したがってこれを除いて他の分布ｍ＋１゜ｍ＋２．　
　ｍ＋３　　から各々計算された３つのＭＴＦ’■。

■、■を平均化回路１７で平均化して最終的なＭＴＦ値
とすることによりより精度の高ＭＴＦ値が得られる。ま
た２種類の７フトレジスタ１２．１３の転送効率や前置
増幅器１４．１５のゲインの相違による偶数ビット出力
と奇数ビット出力の相違も同時に取り除くことができる
。

第４図は本発明の実施回路例を示す。ＣＣＤ１８はスリ
ットチャートの線像が被検レンズにより垂直に結像され
、ＣＣＤ１Ｂからのビデオ信号が１時ランダムアクセス
メモリ（ＲＡＭ）１９の各番地に順次に記憶される。Ｒ
ＡＭ１９からビデオ信号を読み出すためにクロック発生
器２０から出力されるクロツクパルスはＲＡＭ　１９の
指定番地を歩進させなからＮ進カウ／り２１を増加させ
る。このＮはＣ０Ｄ１８のビット数と一致している。カ
ウンタ２１の下位２ビツト出力は排他的オア回路ＥＸ１
　、　ＥＸ２　。

インバータＩＮ１．ＩＮ２及びアンド回路ＡＮＤよりな
る比較回路２２にてカウンタ２３の出力と比較され、両
者が一致した時に出力をＲＡＭ１９に印加してビデオ信
号を読み出させる。したがってＲＡＭ１９はビデオ信号
を４番地おきに読み出し、つまりＣＣＤ１８からのビデ
オ信号を４ピツトおきに選択して読み出す。カウンタ２
１がＮ個のクロ′ツクパルスを数え終わってキャリーパ
ルスを発生すると、このキャリーパルスによりカウンタ
２３が１つ増加してＲＡＭ　１９の読み出し番地を１番
地だけシフトさせる。同様にカウンタ２１のキャリーパ
ルスによりカウンタ２３が１つ増加する毎にＲＡＭ１９
の読み出し番地が１番地づつシフトされる。この結果Ｒ
ＡＭ１９に記憶されていたＣＣＤ１８からのビデオ信号
はまず４．８．１２・・・　ビットの信号よりなる第１
組の信号が読み出され、次に１．５．９・・・ビットの
信号よりなる第２組の信号が読み出され、以後２，６゜
１０・・・　ビットの信号よりなる第３組の信号と３゜
７．１１・・・ビットの信号よりなる第４組の信号が順
次に読み出される。ＲＡＭ１９から読み出されたビデオ
信号は図示しない演算回路により各組の信号毎にフーリ
エ変換されてＭＴＦ’■〜■が計算され、このＭＴＦ■
〜■のうちの異常なもの■と正常なもの■〜■が判別さ
れて正常なもの■〜■のみが平均化回路１７で平均化さ
れる。

以上のように本発明によれば被検レンズによりチャート
像が結像されるＣＣＤにおける一定間隔おきの複数個の
光感応素子よりの信号を読み取ってフーリエ変換するＭ
ＴＦ検査機において、ＣＣＤにおける各々同じ一定間隔
おきの複数個の光感応素子よりなる複数組の光感応素子
群よりの信号を順次に読み取るので、これらの信号をフ
ーリエ変換して正常なＭＴＦ値を求めることが可能にな
り、ＣＣＤの異常ピントによる影響をなくすことができ
て手間もかからなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＣＣＤの構成例を示すブロック図、第２図及び
第３図は本発明を説明するだめの図、第４図は本発明の
実施回路例を示すブロック図であ、る。 １８・・ＣＣＤ、　　　１９・・ＲＡＭ、　　　２０・
・クロック発生器、２１．２３・・カウンタ、２２・・
・比較回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検レンズによりチャ□−ト像が結像される電荷結合素
   子における一定間隔おきの複数個の光感応素子よりの信
   号を読み取ってフーリエ変換するＭＴＦ検査機において
   、前記電荷結合素子における各々同じ一定間隔お−きの
   複数個の光感応素子よりなる複数組の光感応素子群より
   の信号を順次に読み取ることを特徴とする読み取り方式
   。