JPS5891404A - 光フアイバ加工装置 - Google Patents
光フアイバ加工装置Info
- Publication number
- JPS5891404A JPS5891404A JP56189542A JP18954281A JPS5891404A JP S5891404 A JPS5891404 A JP S5891404A JP 56189542 A JP56189542 A JP 56189542A JP 18954281 A JP18954281 A JP 18954281A JP S5891404 A JPS5891404 A JP S5891404A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- heating
- photodetector
- fiber
- heater
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2552—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding reshaping or reforming of light guides for coupling using thermal heating, e.g. tapering, forming of a lens on light guide ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は光ファイバをテーパ状（−加工するＣ：好適な
光フアイバ加工装置１：関する。
光フアイバ加工装置１：関する。
発明の技術的背景
テーパ状Ｃ：加工された光ファイバは牛導体レーザ素子
等の光源と伝送路とじ℃の光ファイバとの結合器やモー
ドフィルタとして利用したり、或いは複数本の光ファイ
バ車の光分配器等として多く用いられる。そして、光通
信用の光囲ｊｉ！！素子として１賛な役割りを来してい
る。
等の光源と伝送路とじ℃の光ファイバとの結合器やモー
ドフィルタとして利用したり、或いは複数本の光ファイ
バ車の光分配器等として多く用いられる。そして、光通
信用の光囲ｊｉ！！素子として１賛な役割りを来してい
る。
さて、従来、このようなテーパ吠光ファイバを製作する
場合、一般ｌ：光ファイバの一部を製作する場合、一般
（＝光ファイバの一部を加熱して軸方向（二引延はし、
これ（＝よって上記加熱部をテーバ駄じ加工している。
場合、一般ｌ：光ファイバの一部を製作する場合、一般
（＝光ファイバの一部を加熱して軸方向（二引延はし、
これ（＝よって上記加熱部をテーバ駄じ加工している。
このようＣ；シて加工されるテーパ状光ファイバの光学
的特性は。
的特性は。
加熱温良、加熱範囲、引延し量等によって一支配される
。便って、これらの加工条件を高精度（＝Ｍ御すること
が所望とする光学的特性を備えたテーパ状光ファイバを
再現性良く得る為の重責なｌ１題となる。
。便って、これらの加工条件を高精度（＝Ｍ御すること
が所望とする光学的特性を備えたテーパ状光ファイバを
再現性良く得る為の重責なｌ１題となる。
背景技術の間趙点
そこで従来、各慎の温度検出器を用いて上記加熱温良を
計−ｊすることが行われ工いる。例えば熱電対や放射温
度針を用いて加熱温度を針銅することが楕々提唱されて
いる。しかし、光ファイバの加熱部の体積が小さく、ま
たその熱谷重も小さいので、熱電対の挿入（：よって光
ファイバの７ＸＩ熱温度が変化すると云う不具合があり
、また元ファイバが細い為、元ファイバ自体の温良を正
確に副り難い等の欠点がある。籍（＝。
計−ｊすることが行われ工いる。例えば熱電対や放射温
度針を用いて加熱温度を針銅することが楕々提唱されて
いる。しかし、光ファイバの加熱部の体積が小さく、ま
たその熱谷重も小さいので、熱電対の挿入（：よって光
ファイバの７ＸＩ熱温度が変化すると云う不具合があり
、また元ファイバが細い為、元ファイバ自体の温良を正
確に副り難い等の欠点がある。籍（＝。
石英光ファイバの場合（−は、その加工ζ二１６００〜
１９０．０℃の加熱を行うことが必要であるか、大気中
Ｃ二おいてこのような１ｌｂｌｉ（二耐え得る熱電対が
ない。
１９０．０℃の加熱を行うことが必要であるか、大気中
Ｃ二おいてこのような１ｌｂｌｉ（二耐え得る熱電対が
ない。
一方、放射温度針を用いる場合、光ファイノ（自体より
もむしろ加熱装置の加熱温度な計測してしまうと云う不
具合がある・これは、元ファイバの加熱Ｃ＝通常ＣＯ，
レーデ、ガスバーナ１気体放電、無識素雰曲気でのカー
ボンヒータ尋が用いられる為、これらが発する光を前記
放射温度針が計測し℃しま、う為である０この為・温度
の計測誤差が大きく、加熱温度の制御Ｃ：壱効（二利用
することができなかった。
もむしろ加熱装置の加熱温度な計測してしまうと云う不
具合がある・これは、元ファイバの加熱Ｃ＝通常ＣＯ，
レーデ、ガスバーナ１気体放電、無識素雰曲気でのカー
ボンヒータ尋が用いられる為、これらが発する光を前記
放射温度針が計測し℃しま、う為である０この為・温度
の計測誤差が大きく、加熱温度の制御Ｃ：壱効（二利用
することができなかった。
発明の目的
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、光フアイバ自体の加熱温度を簡
易（：且つ正確に検出し′Ｃ上記加熱温度の制御を行い
、所望とする光学的特性のテーパ状光ファイバな再現性
良く製作することのできる実用性の高い覚ファイバ加工
装ｍを徒供することＣ二ある。
の目的とするところは、光フアイバ自体の加熱温度を簡
易（：且つ正確に検出し′Ｃ上記加熱温度の制御を行い
、所望とする光学的特性のテーパ状光ファイバな再現性
良く製作することのできる実用性の高い覚ファイバ加工
装ｍを徒供することＣ二ある。
発明の概要
本発明は光ファイバの加熱Ｃ二よって光ファイバの内部
６二生じる熱放射光を、該光ファイバの熾憔に”（検出
し、゛その検出結果を用いて上記元ファイバの加熱を制
御するようベニした光フアイバ加工＃ｃｍを簀旨とする
ものである。
６二生じる熱放射光を、該光ファイバの熾憔に”（検出
し、゛その検出結果を用いて上記元ファイバの加熱を制
御するようベニした光フアイバ加工＃ｃｍを簀旨とする
ものである。
発明の効果
従って本発明（二よれば光フアイバ自体の加熱１に灼応
した熱放射光を検出するので、加熱＃ｃｔＩＩｔが発す
る光等４＝左右されることなく、また元ファイバの大き
さ等（：左右されることなく正確（二、しかも簡易ば光
フアイバ自体の加熱温良を検出してその温度制御を付う
ことが可能となる。これ故、加熱温度を適正設足して所
望とする光字的特性を儂えたテーパ状光ファイバを再現
性良く製作することができ、製作歩留りの向上を図り優
る等の効果を奏し、実用的利点が絶大である。
した熱放射光を検出するので、加熱＃ｃｔＩＩｔが発す
る光等４＝左右されることなく、また元ファイバの大き
さ等（：左右されることなく正確（二、しかも簡易ば光
フアイバ自体の加熱温良を検出してその温度制御を付う
ことが可能となる。これ故、加熱温度を適正設足して所
望とする光字的特性を儂えたテーパ状光ファイバを再現
性良く製作することができ、製作歩留りの向上を図り優
る等の効果を奏し、実用的利点が絶大である。
発明の実施例
以下、−面を参照して本発明の一宥施ＩｐＨ（二つき説
明する。
明する。
謝１図は実施例装置の概略構成図であり１図中１はテー
パ加工感＝供される党ファイバであるＯこの光ファイバ
１は、テーパ加工すべき所望懺域を加熱器２（：配置し
、その両１１部を治＾Ｓａ。
パ加工感＝供される党ファイバであるＯこの光ファイバ
１は、テーパ加工すべき所望懺域を加熱器２（：配置し
、その両１１部を治＾Ｓａ。
３ｂに支持して設けられる。これらの治ＡＪａ。
３ｂは光ファイバ１の軸方向に外１１１１（＝向って移
動制御、つまり引張り制御され、上記元ファイバ１の加
熱部を引延はすものである。
動制御、つまり引張り制御され、上記元ファイバ１の加
熱部を引延はすものである。
しかして、光ファイバ１の−ｍ ＊ ｔ＝は、そのｌ１
ｌｉｌｌ向（二対間して光検出器４が設けられており、
光フアイバ１中な伝播した光は光検出器４にて受光され
、電気信号（−変換されている０そして、この光検出器
４の出力は、所定の通過帯域％注、例えは１０Ｈｚ以下
の成分を４通過させ、且つ増幅する増幅器５を介して前
記加熱器２の駆動制御回路６ζ二与えられている。この
駆動制御回路６は、繭紀光検出器４の検出出力が所定値
に一定化するべく加熱器２による光ファイバ１０カロ熱
温度を制御するものである。つまり、加熱器２の加熱型
な制御している。この加熱制御は１例えば前記加熱器２
がＣＯ，レーザ加熱な行うものである場合、ＣＯ，レー
ザ発振光の出力を制御し、またガスバーナー加熱の場合
Ｃ二はガス流量な制卸して行われる。史ｌ：は加熱器２
が気体放電形のものであるときには放電電流を、また電
気ヒータ加熱の場合１＝はヒータ電流看しくは駆動電圧
な制御するべく電動制御１ｉ１１１Ｅ路６が構成される
。
ｌｉｌｌ向（二対間して光検出器４が設けられており、
光フアイバ１中な伝播した光は光検出器４にて受光され
、電気信号（−変換されている０そして、この光検出器
４の出力は、所定の通過帯域％注、例えは１０Ｈｚ以下
の成分を４通過させ、且つ増幅する増幅器５を介して前
記加熱器２の駆動制御回路６ζ二与えられている。この
駆動制御回路６は、繭紀光検出器４の検出出力が所定値
に一定化するべく加熱器２による光ファイバ１０カロ熱
温度を制御するものである。つまり、加熱器２の加熱型
な制御している。この加熱制御は１例えば前記加熱器２
がＣＯ，レーザ加熱な行うものである場合、ＣＯ，レー
ザ発振光の出力を制御し、またガスバーナー加熱の場合
Ｃ二はガス流量な制卸して行われる。史ｌ：は加熱器２
が気体放電形のものであるときには放電電流を、また電
気ヒータ加熱の場合１＝はヒータ電流看しくは駆動電圧
な制御するべく電動制御１ｉ１１１Ｅ路６が構成される
。
また、光ファイバＪ Ｈ設けられたクラッドモード味去
器７は、前記光ファイバ１の加熱部から光検出器４（＝
伝播する光のクラッドモードを除去するもので、例えは
元ファイバ１のクラッド層に略等しい屈折率を有する液
体をクラッド層表面に接触させること等によって実現さ
れる。
器７は、前記光ファイバ１の加熱部から光検出器４（＝
伝播する光のクラッドモードを除去するもので、例えは
元ファイバ１のクラッド層に略等しい屈折率を有する液
体をクラッド層表面に接触させること等によって実現さ
れる。
しかして、このよう（＝構成された装ｆＣ＝おいて、加
熱器２により光ファイバ１を加熱すると、その加熱憤域
ζ二熱放射光が生じ、光フアイバ１中を伝播する。即ち
％第２図（二元ファイバ１の断面ｍ造を機成的（二示す
よう（二、光ファイバ１は、その中心部のコア１−と、
このコア１ａの局面のクラッド層１ｂとにより構成され
る。この光ファイバ１の領域すを加熱した場合、その加
熱温ｐｔｔニルじて光ファイバ１内部のコアＩａ（：熱
放射光が生じる。そして、点Ｐ、から発セられた熱放射
光の成る成分１＊−１ｔ は、光ファイバ１の導波モー
ドとなってその軸方向（二伝播する。但し、同じ点Ｐｌ
から発せられた熱放射光であってもｓｌｙ・Ｉ／、なる
成分は導波モードとはなり得す、クラッド層１ｂを通し
て外部へ脱げてしまう。尚、光ファイバ１の外部の点Ｐ
！から光フアイバ１中（＝進入する光ｊ、も導波モード
となり得ないことは云うまでもない。
熱器２により光ファイバ１を加熱すると、その加熱憤域
ζ二熱放射光が生じ、光フアイバ１中を伝播する。即ち
％第２図（二元ファイバ１の断面ｍ造を機成的（二示す
よう（二、光ファイバ１は、その中心部のコア１−と、
このコア１ａの局面のクラッド層１ｂとにより構成され
る。この光ファイバ１の領域すを加熱した場合、その加
熱温ｐｔｔニルじて光ファイバ１内部のコアＩａ（：熱
放射光が生じる。そして、点Ｐ、から発セられた熱放射
光の成る成分１＊−１ｔ は、光ファイバ１の導波モー
ドとなってその軸方向（二伝播する。但し、同じ点Ｐｌ
から発せられた熱放射光であってもｓｌｙ・Ｉ／、なる
成分は導波モードとはなり得す、クラッド層１ｂを通し
て外部へ脱げてしまう。尚、光ファイバ１の外部の点Ｐ
！から光フアイバ１中（＝進入する光ｊ、も導波モード
となり得ないことは云うまでもない。
そこで今、光ファイバ１の導波モードとなる熱放射光ｚ
、 ＊ １Ｍの光電力をり、ｌ、、とした場合、光ファ
イバ１のコア径を１．その開口数をＮＡとしたとき、元
ファイバ１のａｍで優られる光電力Ｌ１は次のようにな
る。
、 ＊ １Ｍの光電力をり、ｌ、、とした場合、光ファ
イバ１のコア径を１．その開口数をＮＡとしたとき、元
ファイバ１のａｍで優られる光電力Ｌ１は次のようにな
る。
Ｌ、＝ ｃ＠Ｊｅｂ１１ａ （ＮＡ） ＠Ｐ（Ｔ）
但し、上式中Ｆ（Ｔ）は温度に関する関数であって、ｍ
［Ｔの４乗（＝はぼ比例する０また＠炭質化による熱放
射光のスペクトル変化と、光フアイバ１リスベクトル吸
収等の間係から正確にはＩｌ＋ からすれたものとな
る。然し乍ら１本装置によるム１ｌＩＬ制餌を行う場合
（−は、光電力Ｌ１と諷ｔＸＴとν）ｌ均１の対応かと
れれば十分なことかり、ｋ’（ｒ）の胸叙形が必すしも
明らかｇ二なってなくても艮い。また上式中Ｃは、比例
定数を示し、δは光ファイバの形式Ｃ二よって定まる定
数である。元ファイバー１が８Ｉｆｉの場合−６＝はδ
＝１゜０１型の場合Ｃ二はＪ＝ｌ／２として与えられる
。
但し、上式中Ｆ（Ｔ）は温度に関する関数であって、ｍ
［Ｔの４乗（＝はぼ比例する０また＠炭質化による熱放
射光のスペクトル変化と、光フアイバ１リスベクトル吸
収等の間係から正確にはＩｌ＋ からすれたものとな
る。然し乍ら１本装置によるム１ｌＩＬ制餌を行う場合
（−は、光電力Ｌ１と諷ｔＸＴとν）ｌ均１の対応かと
れれば十分なことかり、ｋ’（ｒ）の胸叙形が必すしも
明らかｇ二なってなくても艮い。また上式中Ｃは、比例
定数を示し、δは光ファイバの形式Ｃ二よって定まる定
数である。元ファイバー１が８Ｉｆｉの場合−６＝はδ
＝１゜０１型の場合Ｃ二はＪ＝ｌ／２として与えられる
。
このよう６二、光ファイバ１の端面Ｃ二伝播される光電
力Ｌｉ １が光ファイバ１の加熱温度Ｔに関与した１１
として与えられ−るので、上記光電カム、を光検出器４
にて検出すれは、外乱要因のない光ファイバ１自体の加
熱ｉｉ度を正確に検出することが口Ｊ能となる。そして
、この検出結果Ｃ二従って加熱器２による元ファイバＪ
の加熱を制御すれは、元ファイバ１の加熱温度を所望温
度Ｃ二正確菟二制餌することＤｓ可能となる◇尚バクラ
ッドモード除去器１によって光ファイバ１を伝播するク
ラッドモード党を更に効果的（二除去すること（＝よっ
て、加熱温度の検出精度の向上を図り得る。また検出出
力の１ＱＨｚ以下の成分のみを利用してＩＬ１１ｃ制御
することＣ１よって迷光等の外乱簀因を除去して、また
加熱制御の応答特性を調整すれば、より喪いｉ！曳制−
を竹い侮る。つまり、加熱器２による加熱の応答、つま
り温度変化は一般Ｃ二数ＩＱｍ式以上の遅れが生じる。
力Ｌｉ １が光ファイバ１の加熱温度Ｔに関与した１１
として与えられ−るので、上記光電カム、を光検出器４
にて検出すれは、外乱要因のない光ファイバ１自体の加
熱ｉｉ度を正確に検出することが口Ｊ能となる。そして
、この検出結果Ｃ二従って加熱器２による元ファイバＪ
の加熱を制御すれは、元ファイバ１の加熱温度を所望温
度Ｃ二正確菟二制餌することＤｓ可能となる◇尚バクラ
ッドモード除去器１によって光ファイバ１を伝播するク
ラッドモード党を更に効果的（二除去すること（＝よっ
て、加熱温度の検出精度の向上を図り得る。また検出出
力の１ＱＨｚ以下の成分のみを利用してＩＬ１１ｃ制御
することＣ１よって迷光等の外乱簀因を除去して、また
加熱制御の応答特性を調整すれば、より喪いｉ！曳制−
を竹い侮る。つまり、加熱器２による加熱の応答、つま
り温度変化は一般Ｃ二数ＩＱｍ式以上の遅れが生じる。
従って、このような応答％性を考慮して、検出出力の高
周波成分を除去し℃制御データとして利用すること（二
より、加熱特性Ｃニルじた効果的な温度制御が可能とな
る。
周波成分を除去し℃制御データとして利用すること（二
より、加熱特性Ｃニルじた効果的な温度制御が可能とな
る。
以上のようＣ二元ファイバ１の加熱温度を制御して元フ
ァイバ１（＝引張りを与えること（：より、上記光ファ
イバ１の加熱部が所望とするテーバ角度で引延ばされ、
ここ（：所望とする光学的特性を備えたテーパ状光ファ
イバが製作されることになる。
ァイバ１（＝引張りを与えること（：より、上記光ファ
イバ１の加熱部が所望とするテーバ角度で引延ばされ、
ここ（：所望とする光学的特性を備えたテーパ状光ファ
イバが製作されることになる。
尚、元ファイバ１のコア径や開口数等の元フアイパ仕様
が異なる場合（＝は、増幅器５の利得をｌ１４贅して光
電力Ｌｌと加熱温度Ｔとの囲体をｌ１１１整すればよい
。また２本以上の元ファイノ５をｊ［ｌ二してテーバ加
工する場合には、少なくとも１本の元ファイバの熱放射
光を検出するよう（：すれはよい。資するＩ：本発明は
、その要旨を逸脱しない軛曲で抽々変形して夾施するこ
とができる。
が異なる場合（＝は、増幅器５の利得をｌ１４贅して光
電力Ｌｌと加熱温度Ｔとの囲体をｌ１１１整すればよい
。また２本以上の元ファイノ５をｊ［ｌ二してテーバ加
工する場合には、少なくとも１本の元ファイバの熱放射
光を検出するよう（：すれはよい。資するＩ：本発明は
、その要旨を逸脱しない軛曲で抽々変形して夾施するこ
とができる。
以上評述したようＣ＝本発ｔｊｌ’ｊ（二よれば、光フ
ァイバの熱放射光の端部（＝伝播された光電力を検出し
て上記元ファイバの加熱温度を制御するので、非蕃Ｃ二
正確なｉｉ度副制御り舵となる。つまり、几ファイバの
熱放射光（：よって光フアイバ自体の加熱温度を検出す
ること（＝なるので、上記加熱−反の効果的な温度制両
が可能となる・従って、ｔｍｗとする光学的特性を備え
たテーパ状光ファイバを再現性良く製作することができ
、要用的利点が多大である等の効果を奏する。
ァイバの熱放射光の端部（＝伝播された光電力を検出し
て上記元ファイバの加熱温度を制御するので、非蕃Ｃ二
正確なｉｉ度副制御り舵となる。つまり、几ファイバの
熱放射光（：よって光フアイバ自体の加熱温度を検出す
ること（＝なるので、上記加熱−反の効果的な温度制両
が可能となる・従って、ｔｍｗとする光学的特性を備え
たテーパ状光ファイバを再現性良く製作することができ
、要用的利点が多大である等の効果を奏する。
４、図面の間車な収用
！１４１図は本発明の一実施例ｉｔＭを示す概略構成図
１第２図は光ファイバの熱放射光の伝播モード鵞示す図
である。
１第２図は光ファイバの熱放射光の伝播モード鵞示す図
である。
１・・・光ファイバ、２・・・加熱器、３ａ、３ｂ・・
・治具、４・・・光検出器、５・・・増幅器、６・・・
駆動制御回路、７・・・タラクドモード除去器。
・治具、４・・・光検出器、５・・・増幅器、６・・・
駆動制御回路、７・・・タラクドモード除去器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１３光ファイバーの一部を加熱する光フアイバ加熱器
と、この一部加熱された光ファイバを軸方向（二引地ば
して上記加熱部をテーパ状Ｃ二形成する手段と、前記元
ファイバの加熱によって圧しる熱放射光を前記光ファイ
バの端部より検出する光検出器と、この光検出器が検出
する熱放射光のレベルを所定の値（ニ一定住制御する助
紀元ファイバ加熱器の駆動制御（ロ）路とを具備したこ
とを４１Ｈ１ｋとする元ファイバ加工装置。 （２）光検出器は光ファイバを伝播するクラッドモー１
元を除去した熱放射光を検出するものである特許請求の
範囲第１項記載の光フアイバ加工装置８ （３）光検出器は、光ファイバの端面ｉ二対向して般け
られる光検出器本体と、この光検出器本体と元ファイバ
加熱部との関１＝＆けられたクランドそ−ド除去器とか
らなるものである特許請求の範囲第２項記載の光フアイ
バ加工装置０ （４）電動制御回路は、光検出器が検出した熱放射光の
ｘｏＨｘ以下の成分を用いて光フアイバ加熱器を制御す
るものである特許請求の範曲脂１項記載の光ファイバ加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56189542A JPS5891404A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 光フアイバ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56189542A JPS5891404A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 光フアイバ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891404A true JPS5891404A (ja) | 1983-05-31 |
| JPH0510642B2 JPH0510642B2 (ja) | 1993-02-10 |
Family
ID=16243048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56189542A Granted JPS5891404A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 光フアイバ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891404A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103477260A (zh) * | 2011-01-14 | 2013-12-25 | 3Sae科技公司 | 热力学扩散系统和方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0644954U (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-14 | 日本電信電話株式会社 | 簡易電柱上足場 |
-
1981
- 1981-11-26 JP JP56189542A patent/JPS5891404A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103477260A (zh) * | 2011-01-14 | 2013-12-25 | 3Sae科技公司 | 热力学扩散系统和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0510642B2 (ja) | 1993-02-10 |
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