JPS588949U - ウエハの搬送装置 - Google Patents
ウエハの搬送装置Info
- Publication number
- JPS588949U JPS588949U JP10123581U JP10123581U JPS588949U JP S588949 U JPS588949 U JP S588949U JP 10123581 U JP10123581 U JP 10123581U JP 10123581 U JP10123581 U JP 10123581U JP S588949 U JPS588949 U JP S588949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport device
- wafer transport
- wafer
- extending
- guide groove
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案装置の１例の斜面図、第２図乃至第６図は
その作動の説明線図である。 ａ・・・・・・ウェハ、１・・・・・・案内溝、２・・
・・・・底面、７ａ、 ２ａ・・・・・・両側部、２
ｂ・・・・・・中央部、３・・・・・・作動ロッド、４
・・・・・・ブツシュアーム。
その作動の説明線図である。 ａ・・・・・・ウェハ、１・・・・・・案内溝、２・・
・・・・底面、７ａ、 ２ａ・・・・・・両側部、２
ｂ・・・・・・中央部、３・・・・・・作動ロッド、４
・・・・・・ブツシュアーム。
Claims (1)
- ウェハａを案内溝１内の底面２上に載置してこれに沿っ
て摺動前進自在とする式のものにおいて、該底面２を両
側部２ａ、 ２ａを比較的狭幅の受面に残して中央部
２ｂにおいて凹入する形状に構成させると共に、その側
方にこれに沿って、のびる作動ロッド３を前後動並に往
復回動自在に設け、これに該底面２上にのびるブツシュ
アーム４を突設して成るウェハの搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10123581U JPS588949U (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | ウエハの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10123581U JPS588949U (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | ウエハの搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS588949U true JPS588949U (ja) | 1983-01-20 |
Family
ID=29895902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10123581U Pending JPS588949U (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | ウエハの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588949U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4716051U (ja) * | 1971-03-24 | 1972-10-25 |
-
1981
- 1981-07-09 JP JP10123581U patent/JPS588949U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4716051U (ja) * | 1971-03-24 | 1972-10-25 |
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