JPS5886638U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による縮小投影露光装置の載物台付近の
基本構成図、第２図は第１図の装置において評価用パタ
ーンと縮小投影像とを重ね合せ拡大してテレビカメラ上
に結像した時の像関係図、第３図は第２図のｘｘ’軸上
の光量の変化を電気信号に変換した時の波形図である。 １・・・・・・縮小投影レンズ、２・・・・・・試料、
３・・・・・・載物台、４・・・・・・光透過基板、５
・・・・・・反射ミラー、６・・・・・・光学系（凸レ
ンズ）、７・・・・・・像検出器（テレビカメラ）、８
・・・・・・テレビカメラ用信号ケーブル、９・・・・
・・真空チャック用エアホース、１０・曲・レーザ測定
用ミラー、１１・・・・・・測長レーザ光、１２・・・
・・・評価用パターン、１３・・・・・・評価用パター
ン像、１４・・・・・・縮小投影像、１７・・・・・・
マスク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被露光物を保持すべき載物台上に載置された、遮光材に
   よるパターンを光透過可能な基板上に加酸した評価用試
   料と、上記パターンの像および上記パターン上に形成さ
   れる縮小投影像の光学像を拡大するための光学系と、上
   記光学系によって拡大された拡大光学像を検出するため
   の検出器とを具備してなることを特徴とする縮小投影露
   光装置。