JPS5885298A - 水銀ランプの点灯方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｇ）発明の技術分野 本発明は水銀ランプの点灯方法の改良に関するものであ
る。

（２）技術の背景 ＩＣ，ＬＳＩ等の半導体装置を製造する際、回路素子を
形成したシリコン（Ｓｌ）基板上に二酸化シリコン（Ｓ
ｉ、ｏｇ）膜を介してホトレジスト膜を塗布し、該ホト
レジスト膜を所定のパターンに露光したのち、該ホトレ
ジスト膜をバター゛ニングして該パターニングせるホト
レジスト膜をマスクとして下部の５ｉｏｌ膜を所定のパ
ターンに崩成する工程がとられている、このようなホト
レジスト膜を露光するのに紫外線を照射する水銀ランプ
が用いられている。

（８）従来技術と問題点 このような水銀ランプは従来第１図に示すような構造が
とられている。すなわち中央部が膨らんだガラスよりな
る密閉容器ｌには対向した正電極２および負電極８が設
置され該容器の下部には水銀４が充填されている。この
ような水銀は多少常温でも蒸発しており容器の内部に蒸
発した水銀の蒸気が多少滞留している。とこで前記水銀
灯を点灯させゐＫは例えば５００ｖ−１ｋｖ程度の高圧
の直流または交流電圧を電極間に印加し該電極間によっ
て生ずる放電によって前記滞留している水銀蒸気のガス
プラズマを発生させこのガスプラズマによって外部へ高
輝度の紫外線を照射するようにしている。また一方この
放電によって容器内部の温度が上昇しこの温度上昇によ
って容器の下部の水銀が蒸発してその蒸気が放電によっ
てプラズマ状態となりこれによって外部へ高輝度の紫外
線が照射されるようになる、 ところで前述した如く水銀蒸気がプラズマ状態店なって
これによって紫外線を安定して照射するまで、すなわち
水銀ランプが所定の照度となって点灯するまでは、約５
００ｖ〜ｌｋｖ稈度の高電圧を１［極間に印加する必要
がある、このように高電圧を電極間に印加すると電極の
先端が摩耗して損傷したし、また高電圧を印加するため
の特別な電源を用意する必要がある等問題が多い。また
水銀ランプが所定の照度となって点灯するまでに時間が
かかりすぎる等欠点がある。

（４）発明の目的 本発明は上述した欠点を除去し、水銀ランプの電極間に
電圧を印加して水銀ランプを点灯する場合に該水銀ラン
プの電極が損傷しないような、また特別な点灯用の電源
を必要としないような水銀ランプの点灯方法の提供を目
的とするものである。

（５）発明の構成 かかる目的を達成するための水銀ランプの点灯方法は水
銀を収容した容器内の対向配置せる電極間に高電圧を印
加して水銀ランプを点灯する方法において前記容器の外
壁の周囲に導電性コイルを設け、該コイμに通電しなが
ら前記電極間に高電圧を印加するようにしたことを特徴
とするものであろう （６）　　発晩の実施例 以下図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に説
明する。第２図は本発明の方法を実施するための水銀ラ
ンプの構造を示す図で、第８図は該水銀ランプの点灯に
要する時間と水銀ランプの周囲に設けたコイルに通電し
た場合のランプ内に生ずる磁場の強さとの関係を示す図
である。

第２図に示すようにガフス容器１１の中央部の膨れた外
壁の周囲へ近接するようにして導電性の例えば鋼（Ｃｕ
）よりなるコイμｍ２を設ける。このコイルの位置は対
向せる＋側の電極１８と一側の電極１４とのそれぞれの
先端部ＡＢ間の中点を中心として同心円状に設けること
が好ましい。このようにした状態で電極１８．１４間に
高電圧を印加するとともにコイ／Ｉ／１５に例えば２〜
８Ａ程度の交流の電流を流す。するとこのコイ／Ｌ／１
２に対して垂直方向に磁力線１５が生じ先に高電圧の印
加により容器中の下部の水銀１６より発生した水銀蒸気
のガスプラズマのうち＋および−の電荷を帯びた荷電粒
子が前記磁力線の発生にシリ容易に−および十の電極１
４．１８に到達しやすくなる。そのため電極１８．１４
間に電流通路が設けられることになって従来の方法に比
して水銀のガスプラズマが生じやすくなり電源を投入し
てから水銀ランプが所定の照度に到達するまでの時間が
短かく表り、また水銀ランプの電極に印加する電圧も従
来の方法に比して低電圧で済むようになる。

ここで第８図に水銀ランプの電極に電圧を印加してから
所定の照度になるまでに要する時間を縦軸に示し、槓軸
に前記磁力線によって生じる容器内の磁場の強さを示し
て、水銀ランプの点灯に要する時間と発生する磁場の強
さとの関係図を第Ｓ図に示す。

図示するように前記コイ／Ｉ／に通電する電流値を増加
させて容器内の磁場の強さを増加させることで水銀ラン
プの点灯に要する時間が短かくなる結果が得られる。

（７）本発明の効果 以上述べたように本発明の方法によって水銀ランプを点
灯すれば所定の照度に到達するまでの時間が短縮され、
また点灯に要する電源が低電圧で済み、電極の摩耗も少
なくて済む利点が生じる、

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の水銀ランプの構造を示す図、第２図は本
発明の方法を実施するための水銀ランプの構造を示す図
、第３図は本発明の方法を用いて点灯した水銀ランプの
点灯に要する時間とランプ内の磁場の強さとの関係を示
す図４ある、図において１，１１は容器、２．１３は正
電極、８．１４は負電極、４は水銀、１２はコイル、１
５は磁力線、１６は水銀、Ａ、Ｂは端部を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 水銀を収容した容器内の対向配置せる電極間に高電圧を
   印加して水銀ランプを点灯する方法において前記容器の
   外部の周囲に導電性コイルを設け、該コイルに通電しな
   がら前記電極間に高電圧を印加するように、シ九ことを
   特徴とする水銀ランプの点灯方法。