JPS5882139A - 気圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本姥朔は、刻々変化する大気圧のイ＃【真空カプセルと
永久磁石とホールＸＯを用いて１子的に無梯触樫出を行
う気圧センサに関する。

大気圧を計測する僧器としては、すでによく知られてい
るホ伽柱の高さに誹るものと真空カプセルの凝位を４１
１ＩｗＬ的に拡大し同転運動にかえ指針が目Ｉ＃盤上を
回動ｆＥ査して行うアネロイド型とがあるが、本組社は
散板い上−！＆ボｊ壜で用いることは困媚であり、また
アネロイド型においでは真空カプセルの極めて微少微弱
な変化を捨雌な拡大伽横群によりて指針に＠沸している
ため＾度な１造技術【もつすしでも各部の摩擦によるＰ
差、バネ特性による訓差により精度に大幅な限界があり
狂い易い。

また、　ｐＦ＋記ホ釦柱およびアネロイド型においては
いづれも目盛の読取りであるため鯖取り誤奪が生じ、し
かも略れた位置から１目して玉軸に気圧の値を知ること
が出来ない、′ 量こて、本発明の目的は、真空カプセルに憎械的な負向
をかけずに電子的な１Ｂ種触検出をなし、１読して気圧
の正確な値を知ることの出来るデジタル表示のための気
圧センサを簡単な構造で徒供することにある。

次ぎに、この発明の実施例を＆ｌｔｈに基づき詳細にＭ
Ｍ、８月する。

第１図は、固定されたホールｘａ（１０）のチップ背面
が真空カプセル（１）に取付けたホ久峨る（６）の８輪
面と対向し、七の対向面１１＾空カプセル（１）の伸Ｗ
ｔｓ　運動方向と平行であるように成され、且つ、ホ久
磁る（６）がホールＸＣ（１０）と近接すると出力１圧
１コ蔗少し、反対に距離が遠ざかると出力電圧が増大す
るＪうに成！！＾たものを示す。

真空カプセル（１）の１１ｉｌＩＩは基底板（３）にネ
ジ止めされ＆底部（３）はハウジング（２）の底部に固
定され、真空カプセルＣ１）の他端は自由端を形成し支
柱（４）と５字板（５）が１体的に変位讐るように−−
しである。磁石ホルダー（７）には１ｔｌＩｉにホ久碓
石（６）が埋設され１１！端はネジを形成してＬ手板（
５）と位１移動１１能にネジ止めさ、ナｙ）（１５）に
よって遁１“な位１に固定出来る。　ホ久磁石（６）は
４＋！ｉ輪面が＾９カプセル（１）の運１＋１方向を示
す矢印と平行するように埋設され８袷面は總出ししてホ
ールｘａ（１０）と対向する。　へウジンク皇（２）の
上部所定の１位置に垂直にポスト　（８）が取着けられ
スリーブ（９）がｍＴ動的にはめ込まれである。　スリ
ーブ（９）はバネ（１３）の圧力で零に上方へ押されて
いて、入り一フ（９）を１通してポスト　（８）にネジ
止め２酌た調節ネジＣ１１）を回す二七によりスリーブ
（９）の位ｋを一１節出来、位置決定後はセットボール
ド（１４）を締めて固定する。　また、スリーブ（９）
には基板（１２）が固定され、基板Ｃｌ２）にはチップ
背面がホ久＠石（６）と対向するようにホールＩａ（１
０）を塔載しリード繰２ （辱）により°て外部ポテンショメーター（１６）に接
続されである。

以上の種に栴成ぎれたー圧七ンサは、通常計測する気圧
の＆ｌ！！ｌ９４０■ｂから１０４０１ｂの間を正確自
由１に圧力変化できるチャンバーに封入、獄に強迫する
位１に調節ネジ（１１）を回して調節し、ｔ！らに磁石
ホルダー（７）を伸縮して磁束密度を一督する、一方、
外部オフセットｈポテンシッメーターを操作して出力電
圧が正しくＯＶとなるよう調節する。　つぎに、チャン
バー内圧力を徐々に嵩めつり圧力変化に比例して出力電
圧がｊ１紫るよう外部の＠度−節用ポテンシ１メーター
を操作する。　チャンバー内圧力が５１０４０１ｂに遣
したところで、ち１うど出力電圧が１ｖであつて９４０
ｍｂから１０４０膳すに圧力変化Ｔ閏においてｌ＋ｓｂ
の圧力変化によりで等しく１０ｍＶの電圧変化が正する
ようｗＩ４Ｉ２１ｓれたものはセットボールド　（１４
）およびナツト　（１５）　を締めて調節部を固定する
・ このように−畳上れた本貴明の気圧センサをセンサ出力
に同一するデジタル表示回絡に接続すれば、すでに述べ
たように正確で読取り易い気圧力数値表示が得られる。

　また、電圧計の目盛を気圧目盛に変えたものに接続す
ればアナログ表示も簡単に行なえる・ 第２図に示すものは本発明の他の実施例【あられし、＾
９カプセル（１）の運動方向と１角にホ久磁石（６）と
ホールｘａ　（１０）を対向１！せたものである・　ホ
久磁石（６）ないし磁石ホルダー＜７＞＠よびホールｘ
ａ　（１０）は真空カプセル＜１ト吟心運勧ライン上に
１列配ａされ、磁石ホルダー（７）は真空カプセル（１
）と分　。

離して内筒（２０）の下部に１動的に神大だれて弱いテ
ンションスプリングＣ１７）の働きで円味を帯びた下端
部が常時真空カプセル（１）のＩ＊ｌＩｔ＊Ｌ＾空ポー
Ｉクス（１）の偉力とつり合うている。いいかえれば、
真空カプセル（１）が膨張するときはテンションスプリ
ング（１７）がその連動を妨げ、反対に収縮するときは
違紡を扶ける作用をしている。　この神にしたつ由は、
こ゛の実施例における永久磁石（６）とホールＩＣ（１
０）の対向関係による磁気誘導特性を参照した第３図の
ような非直線性を補正するためである。　ｔた、この実
施例では、壱効磁界の素足の必要がなく駆動ネジ（１１
）を回して磁束密度の馳節をするだけでよいので出力＆
ｌｌＩ］贅が容尋になる利点がめる・ 以上で説明した実施例ではいづれもホ′−ルＩＣ１固定
し、永久磁石を連動させているが、永久磁石を固定しホ
ールｒａｔ’ｓ突カプセルに連結して運動するようにし
ても同情の効果が得られることは明白で電り、愛なホー
ルＩＣの「チップ削かず（とｌｌ５ＩＩＩＩＩ４ｃ圧が
尚まり、対向距離が遠くなるに従い出力電圧が低下する
ようになすことも、あるいは、気圧上昇時対向距離が近
徨し反対に気圧下降するときは対向距離が遭ざかるよう
に実施例とは逆な櫟禍の配置および出力設定にＪ’）同
種効果を侵ることが出来るが、Ｍ筒、本発明の技術節回
を出るものではない。

なお鴫第１ｒｌａおよび第２図の実施例Ｃ；おける機構
各部は出来るだけ非磁性材料で構成し、第１１１ａの力
ｘ−（２１）　　と第２図の外筒（１９）ハ地磁気によ
る外乱を防止するため特に磁性材料を用いる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す気圧センサの断面図、
第２ＷＪは他の実施例を示す断面図、第３ｉ１１は第２
５１５による実施例のｉｔｕ＋を誘導特性を示す参＃Ｉ
ｒＩＩＩ、第４ＷＪはこの気圧センサの気圧変化に対す
る出力電圧を示す参ａ図。 １・■・真空カプセル　２争・・−へウジンク　３・ｅ
・・基底＠６５永各磁石　フ：・・・磁石ホルダー１０
・・・・ホールｚａ　　ｉｌ・・・・調節ネジ　１７・
す・テンシ■ンスプリング　１９１１−・外筒　２０＠
・・・内筒　２１・・・・カバー　１６・・・・外部の
ポテンシジメーター 特許畳鋒出願人　　株式会社　フジャ 寥１図 算２ω 本３０ −、１位 □九二

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　大気圧の増減に応じて膨Ｉｓまたは収縮する
   真空カプセルと、１対の永久磁石とホールＩＯと、かも
   な９、前記永久磁石またはホールＸＧのい１れか１方を
   ｌ定し他方を真空カプセルの自由端に連結して対向奢電
   、−該対向面が真空カプセルの運動方向ラインと平行蒙
   たは直角をなし、対内位置関係を調節可能としたごとを
   特徴とする気圧上νす。
2. （２）　　前項記載の１対の永久磁石とホールＩＯとめ
   対肉距鶏が真空カプセルの変位に対応して変化小 すると１、ホール！Ｏの・力電圧が１・次比例して出力
   するようになされた特許請求の範囲第１項。 紀軌の気圧セνす。