JPS5875749A - 荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置 - Google Patents
荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置Info
- Publication number
- JPS5875749A JPS5875749A JP56175082A JP17508281A JPS5875749A JP S5875749 A JPS5875749 A JP S5875749A JP 56175082 A JP56175082 A JP 56175082A JP 17508281 A JP17508281 A JP 17508281A JP S5875749 A JPS5875749 A JP S5875749A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- pulse
- point
- display
- charged particle
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査型電子顕微鏡とかＸ線マイクロアナライザ
等の荷電粒線を用いた分析装置において、試料上の観察
点を直視的に表示する装置に関する。
等の荷電粒線を用いた分析装置において、試料上の観察
点を直視的に表示する装置に関する。
上述した各種の荷電粒線分析装置では試料を照射する荷
電粒子線と直交する平面内で試料を移動させて観察点を
選択できるようにＸ方向及びＹ方向の移動装置が設けら
れている。通常この試料移動装置は送シねじの回転量を
マイクロメータで読取ることにより移動量を知るか或は
パルスモータで駆動して、パ゛ルス数をカウンタで計数
するととによって移動量を知るようになっており、Ｘ座
標値及びＸ座標値と云う形で試料上の観察点の位置を知
るようになっている。しかしこのような座標値による試
料上の観察点の位置表示では試料上の位置を具体的、直
観的に認識することが困難で、分析装置のオペレータは
試料上の多数の指定された分析位置を順次荷電粒子線の
照射点に移動させると云った作業を行うのに大へん神経
を使っていた。そこで本発明は試料上の観察位置が直視
的に表示されるようにして上述したようなオペレータの
負担を軽減することを目的としてなされた。
電粒子線と直交する平面内で試料を移動させて観察点を
選択できるようにＸ方向及びＹ方向の移動装置が設けら
れている。通常この試料移動装置は送シねじの回転量を
マイクロメータで読取ることにより移動量を知るか或は
パルスモータで駆動して、パ゛ルス数をカウンタで計数
するととによって移動量を知るようになっており、Ｘ座
標値及びＸ座標値と云う形で試料上の観察点の位置を知
るようになっている。しかしこのような座標値による試
料上の観察点の位置表示では試料上の位置を具体的、直
観的に認識することが困難で、分析装置のオペレータは
試料上の多数の指定された分析位置を順次荷電粒子線の
照射点に移動させると云った作業を行うのに大へん神経
を使っていた。そこで本発明は試料上の観察位置が直視
的に表示されるようにして上述したようなオペレータの
負担を軽減することを目的としてなされた。
本発明は試料移動装置のＸ方向及びＹ方向移動量を検出
し、この検出信号によって２次元的表示装置におけるＸ
、 Ｙ両座標値を指定し、同表示装置の指定された位
置に表示を表わすようにした試料位置表示装置を提供す
るものである。以子実施例によって本発明を説明する。
し、この検出信号によって２次元的表示装置におけるＸ
、 Ｙ両座標値を指定し、同表示装置の指定された位
置に表示を表わすようにした試料位置表示装置を提供す
るものである。以子実施例によって本発明を説明する。
図面は本発明の一実施例装置を示す。Ａｔ／ｉＸＹ移動
台でＸ方向移動用パルスモー２Ｍｘ及びＹ方向移動用パ
ルスモータＭ７によってＸ方向、Ｙ方向に駆動され、こ
の台上に試料Ｓがセットされる。
台でＸ方向移動用パルスモー２Ｍｘ及びＹ方向移動用パ
ルスモータＭ７によってＸ方向、Ｙ方向に駆動され、こ
の台上に試料Ｓがセットされる。
Ｐは荷電粒子線の照射点で、この点は動かないが試料Ｓ
の方が移動することにより試料上の任意の点を観察する
ことができる。Ｃは制御装置でノ（ルスモータＭｘ、Ｍ
ｙにパルスを印加してこれを回転させ指示された量だけ
試料をＸ方向及びＹ方向に移動させる。ＤＭｘ及びＤＭ
ｙは夫々）（ルスモータで、ＤＭｘにはパルスモータＭ
ｘに印加されるのと同じパルスが印加され、ＤＭＥには
同様にパルスモータＭｙに印加されるのと同じ）；ルス
が印加される。１，２及び１“、２“は夫々プーリでプ
ーリ１，２間及び１”、２’間に無端ベルト３，３′が
張設されており、プーリ１及び１１がノクルスモータＤ
Ｍｘ及びＤＭ７で駆動される。各ベルト３Ｉ３１は互に
直交しており、各ベルトには夫々に垂直に指針４，４′
が取付けである。ノくルスモータＤＭｘ、ＤＭｙはパル
スモータＭｘ、Ｍｙと同じパルスが印加されているので
、指針４，４′は試料台ＡのＸ方向及びＹ方向移動量に
対応する距離だけＸ方向及びＹ方向に移動し、指針４，
４１の交点が試料上の観点を示す。Ｄは指針４，４′が
その上を移動する表示パネルで、Ｄ上に試料Ｓの拡大型
板Ｔを置いておくと試料Ｓ上の観察点を直視的に表示で
きることになる。試料台Ａの移動方向と指針４＃４１の
移動方向が同じである場合、試料Ｓのセットの向きと試
料の型板Ｔのセットの向きを反対にしておかないと正し
い観察点の表示ができない。
の方が移動することにより試料上の任意の点を観察する
ことができる。Ｃは制御装置でノ（ルスモータＭｘ、Ｍ
ｙにパルスを印加してこれを回転させ指示された量だけ
試料をＸ方向及びＹ方向に移動させる。ＤＭｘ及びＤＭ
ｙは夫々）（ルスモータで、ＤＭｘにはパルスモータＭ
ｘに印加されるのと同じパルスが印加され、ＤＭＥには
同様にパルスモータＭｙに印加されるのと同じ）；ルス
が印加される。１，２及び１“、２“は夫々プーリでプ
ーリ１，２間及び１”、２’間に無端ベルト３，３′が
張設されており、プーリ１及び１１がノクルスモータＤ
Ｍｘ及びＤＭ７で駆動される。各ベルト３Ｉ３１は互に
直交しており、各ベルトには夫々に垂直に指針４，４′
が取付けである。ノくルスモータＤＭｘ、ＤＭｙはパル
スモータＭｘ、Ｍｙと同じパルスが印加されているので
、指針４，４′は試料台ＡのＸ方向及びＹ方向移動量に
対応する距離だけＸ方向及びＹ方向に移動し、指針４，
４１の交点が試料上の観点を示す。Ｄは指針４，４′が
その上を移動する表示パネルで、Ｄ上に試料Ｓの拡大型
板Ｔを置いておくと試料Ｓ上の観察点を直視的に表示で
きることになる。試料台Ａの移動方向と指針４＃４１の
移動方向が同じである場合、試料Ｓのセットの向きと試
料の型板Ｔのセットの向きを反対にしておかないと正し
い観察点の表示ができない。
これは試料の側では粒子線照射点Ｐが固定していて試料
Ｓが動くのに対して表示パネルＤにおいては型板Ｔが静
止していて観察点の表示の方が動くようになっているこ
とによる。Ｋｘ、Ｋｙは夫々パルスモータＭｘ、Ｍｙに
印加するパルスモータするカウンタであり、Ｌｘ、Ｌｙ
はカウンタＫｘｒ”Ｉの計数出力をＸ、Ｙ座標値として
表示する数字表示器である。
Ｓが動くのに対して表示パネルＤにおいては型板Ｔが静
止していて観察点の表示の方が動くようになっているこ
とによる。Ｋｘ、Ｋｙは夫々パルスモータＭｘ、Ｍｙに
印加するパルスモータするカウンタであり、Ｌｘ、Ｌｙ
はカウンタＫｘｒ”Ｉの計数出力をＸ、Ｙ座標値として
表示する数字表示器である。
上側ではＸ方向及びＹ方向の座標指定信号はパルスモー
タＤＭｘ及びＤＭｙの回転量であシ、この指定信号によ
って平面上の指定点に表示を表わす手段はベルトに取付
けられた直交する２本の指針であるが、表示手段として
はブラウン管を用いることもできる。この場合、カウン
タＫｘ、 Ｋ１７の計数出力をＤ ／ Ａ変換した信
号力；Ｘ座標、Ｙ座標指定信号でブラウン管にＸ方向及
びＹ方向偏向信号として印加される。フ゛ラウン管で位
置表示を行うときは螢光面の焼けを防ぐため輝点のフォ
ーカスをぼかしておく必要がある。その他表示手段とし
ては液晶をはさんで直交する平行格子で座標指定信号に
より格子線を選んで電圧を印カロすると云った構成も用
い得る。また試料移動台の移動量を検出する手段も上側
ではノ（ルスモータＭｘ、Ｍｙに与えられるパルス数を
計数１１ｃ）Ｚ）レスモータＤＭｘ等を駆動するのも計
数の一種とみなせる）するものであるが、摺動抵抗を利
用したアナログな方法その他任意の手段を採用すること
力；できる。
タＤＭｘ及びＤＭｙの回転量であシ、この指定信号によ
って平面上の指定点に表示を表わす手段はベルトに取付
けられた直交する２本の指針であるが、表示手段として
はブラウン管を用いることもできる。この場合、カウン
タＫｘ、 Ｋ１７の計数出力をＤ ／ Ａ変換した信
号力；Ｘ座標、Ｙ座標指定信号でブラウン管にＸ方向及
びＹ方向偏向信号として印加される。フ゛ラウン管で位
置表示を行うときは螢光面の焼けを防ぐため輝点のフォ
ーカスをぼかしておく必要がある。その他表示手段とし
ては液晶をはさんで直交する平行格子で座標指定信号に
より格子線を選んで電圧を印カロすると云った構成も用
い得る。また試料移動台の移動量を検出する手段も上側
ではノ（ルスモータＭｘ、Ｍｙに与えられるパルス数を
計数１１ｃ）Ｚ）レスモータＤＭｘ等を駆動するのも計
数の一種とみなせる）するものであるが、摺動抵抗を利
用したアナログな方法その他任意の手段を採用すること
力；できる。
なお試料を回転させた場合は同じ角度だけベルト３．３
１の向きを回転させるか表示ノ（ネルを回わせばよい。
１の向きを回転させるか表示ノ（ネルを回わせばよい。
更に位置表示にブラウン管を用いた場合、輝点の大きさ
或は輝度を試料の２方向移動に応じて変化させ、分析装
置に併設されている光学顕微鏡の焦点位置において輝点
の大きさを最Ｊ−に絞り或は輝度を上げて、試料上の観
察位置と共に光学系の合焦をも表示させることができる
。
或は輝度を試料の２方向移動に応じて変化させ、分析装
置に併設されている光学顕微鏡の焦点位置において輝点
の大きさを最Ｊ−に絞り或は輝度を上げて、試料上の観
察位置と共に光学系の合焦をも表示させることができる
。
本発明装置は上述したような構成で試料の観察位置を直
視的に表示できるので、試料上の分析点を選択するのに
便利であり、特に多数の試料を同時装填して順次分析し
て行くような場合、試料の送り操作が大へんやり易くな
る。
視的に表示できるので、試料上の分析点を選択するのに
便利であり、特に多数の試料を同時装填して順次分析し
て行くような場合、試料の送り操作が大へんやり易くな
る。
図面は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図で
ある。 Ａ・・・試料台、Ｍｘ、Ｍ７・・・試料台駆動用）（ル
スモータ、Ｃ・・・制御回路、ＤＭｘ、ＤＭｙ・・・）
くルスモータ、３．３’・・・ベル）、’＋４’・・・
指針、Ｄ・・・表示パネル、Ｔ・・・試料Ｓの拡大型板
。 代理人 弁理士 軽 浩 介
ある。 Ａ・・・試料台、Ｍｘ、Ｍ７・・・試料台駆動用）（ル
スモータ、Ｃ・・・制御回路、ＤＭｘ、ＤＭｙ・・・）
くルスモータ、３．３’・・・ベル）、’＋４’・・・
指針、Ｄ・・・表示パネル、Ｔ・・・試料Ｓの拡大型板
。 代理人 弁理士 軽 浩 介
Claims (1)
- 試料移動装置のＸ方向及びＹ方向の移動量を検出する手
段と、この検出手段の出力をＸ座標及びＸ座標の指定信
号として平面上の指定座標位置に表示点を表わす表示手
段とよシなる荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175082A JPS5875749A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175082A JPS5875749A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5875749A true JPS5875749A (ja) | 1983-05-07 |
Family
ID=15989920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56175082A Pending JPS5875749A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子線分析装置の試料位置表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5875749A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61218057A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-27 | Hitachi Ltd | イオンマイクロアナライザ− |
| DE4229275A1 (de) * | 1991-09-04 | 1993-03-11 | Hitachi Ltd | Steuerung fuer die position einer probe in einem system mit fokussiertem ionenstrahl |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638755A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Sample location displaying device |
-
1981
- 1981-10-30 JP JP56175082A patent/JPS5875749A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638755A (en) * | 1979-09-05 | 1981-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Sample location displaying device |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61218057A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-27 | Hitachi Ltd | イオンマイクロアナライザ− |
| JPH0527938B2 (ja) * | 1985-03-25 | 1993-04-22 | Hitachi Ltd | |
| DE4229275A1 (de) * | 1991-09-04 | 1993-03-11 | Hitachi Ltd | Steuerung fuer die position einer probe in einem system mit fokussiertem ionenstrahl |
| DE4229275C2 (de) * | 1991-09-04 | 1998-07-23 | Hitachi Ltd | Steuerung für die Position einer Probe in einem System mit fokussiertem Ionenstrahl |
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