JPS5866020A - 液の定量吐出装置 - Google Patents

液の定量吐出装置

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JPS5866020A
JPS5866020A JP56163420A JP16342081A JPS5866020A JP S5866020 A JPS5866020 A JP S5866020A JP 56163420 A JP56163420 A JP 56163420A JP 16342081 A JP16342081 A JP 16342081A JP S5866020 A JPS5866020 A JP S5866020A
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JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
piston
chamber
liquid
valve
Prior art date
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Application number
JP56163420A
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English (en)
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JPH0129244B2 (ja
Inventor
Takao Emoto
江本　孝朗
Yoshitaka Nagata
永田　義隆
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Priority to US06/421,886 priority patent/US4527717A/en
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Publication of JPH0129244B2 publication Critical patent/JPH0129244B2/ja
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D37/00—Controlling or regulating the pouring of molten metal from a casting melt-holding vessel

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は液の定量吐出装置にかかり、特に常温または
加熱によシ液化した液状物質を定量吐出させる装置の改
良に関する。
溶剤ではんだの溶融材等を少量ずつ、しかも所定量ずつ
吐出させる必要のある例えば半導体素子製造工程で、上
記目的のために従来用いられていた装置に第１図に示さ
れるものがある。図において、（１）は液状物質を容れ
る容器で、溶融物質の場合には容器はもとより以下に述
べる装置の各部はすべて加熱体によって直接ないし間接
の加熱と保温とが施される。（図面および説明は省略す
る９、）前記客器０）には底部に弁座（２）が設けられ
、容器の上方から容器内を貫通する弁棒（３）によって
上下動かされる弁（４）があり、弁座（２）の下部には
吐出ノズル（５）が取付けられている。また、この容器
は蓋（１ａ）によって気密容器に形成され、上部に設け
られた為圧ガス送入口（１ｂ）から高圧ガスを送入して
液状物質に加圧できるように表っている。この装置では
弁棒（３）によって弁（４）を上昇させて弁座との間に
隙間をつくに、ここから容器内の溶融物質をその自１（
により流出させ、または、加圧を施すことによって流出
量の調整をはかるようＫなっている。この装置は弁の開
閉時間および上下動のストローク量、吐出ノズルの径、
容器内の圧力等によってル４整されるが、容器内の液状
物質の充填ｋｌｌ（残線）によって吐出量がばらつき、
特に比重の大きいものでは甚だしい欠点がある。
この発明は上記従来の欠点を改良するためのもので、容
器に容れられ大液状物質の装填量の多寡に影響されると
となく高精度の定量吐出を達成するものである。
この発明にかかる液の定量吐出装置は、底面にノズルを
有する液容器の内部に１ノズルと１１１ｍ上にあってノ
ズルを１端部とするピストン室をなす下部室と、前記下
部室の上端に弁座を有し前記直線上に連接した上部室と
、容器の上方赤らピストンと弁に至る同軸のピストン桿
と弁棒とを備え、ピストン桿と弁棒とを所定のスケジュ
ールで動作させピストン室に導入された液をノズルから
吐出させることを特徴とする。
以下にこの発明を１実施例につき図面を参照に詳細に説
明する。第２図に示す１実施例の液の定量吐出装置は円
筒状の液容器０１１の底面に液容器と同軸にノズル（５
）が設ゆられており、かつこの液容器は内部がノズルと
１直線上にあってノズルを下端部トするピストンポンプ
である下部室（２）と、＾１」配下部室の上端に弁座（
２）を有して前記直線上に連接ｔｉ上部室ａ→とに分離
され、前記各室のピストン（ト）と弁０→には容器の上
方から容器のふた体（ｌ１ｍ）を貫通して挿入された同
軸のピストン桿（１５ｍ）と弁棒（１６ｍ）に取着され
ている。また、上記ピストン桿と弁棒とは所定のスケジ
ュールで作動する。
すなわち、まず、上部室ａ４に任意の量の液αＱが入れ
られている段階で下部室（２）はピストン（２）が下部
にあってノズルを閉塞させ良状態とし、ついで、上部室
０◆の底部の弁αＱを上昇させ液を下部室のピストン上
に満たし九のち弁を下降させて弁座（２）に接触させて
上部室を閉塞させる。次にピストン（ハ）を上昇させ液
をノズル（５）入口に流【７込んだ後、またピストン（
至）を下降させてピストンポンプの動作をさせることに
よって下部室内の定量の液を吐出させる。
この発明によれば、ピストンポンプによって液吐出を打
なうので、粘稠な液でも、あるいは溶融はんだの如く比
重の大きり液状物質でも容器内に残を生じないで吐出が
達成できるという顕著な利点がある。１実施例の装置に
おいて例えば溶融はんだで吐出量のばらつきが重量比で
従来の４５Ｘから２３％に半減した。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の液の定量吐出装置の断面図、第２図はｌ
実施例の液の定量吐出装置の断面図である。 ５　・・・　ノズル　　１１　　・・・　液容器１２　
　・・・　下部室　　１３　−・・　　弁座１４　　・
・・　上部室　　１０・・・　液１５　　・・・　ピス
トン　１５ａ・・・　ピストン桿１６・・・弁　　１ｇ
ｍ・・・弁棒 代理人　弁理士　　井　上　−勇

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 底面にノズルを有する液容器の内部に、ノズルと１直線
    上にあってノズルを下端部とするピストン室をなす下部
    室と、前記下部室の上端に弁座を有し前記直線上に連接
    した上部室と、容器の上方からピストンと弁に至る同軸
    のピストン桿と弁棒とを備え、ピストン桿と弁棒とを所
    定のスケジュールで動作させピストン室に導入された液
    をノズルから吐出させることを特徴とする液の定量吐出
    装置。
JP56163420A 1981-10-15 1981-10-15 液の定量吐出装置 Granted JPS5866020A (ja)

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JP56163420A JPS5866020A (ja) 1981-10-15 1981-10-15 液の定量吐出装置
US06/421,886 US4527717A (en) 1981-10-15 1982-09-23 Apparatus for quantitatively supplying liquid

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JP56163420A JPS5866020A (ja) 1981-10-15 1981-10-15 液の定量吐出装置

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JPS5866020A true JPS5866020A (ja) 1983-04-20
JPH0129244B2 JPH0129244B2 (ja) 1989-06-08

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ID=15773555

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