JPS586384B2 - 捩れ振動型光偏向器 - Google Patents

捩れ振動型光偏向器

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Publication number
JPS586384B2
JPS586384B2 JP4788477A JP4788477A JPS586384B2 JP S586384 B2 JPS586384 B2 JP S586384B2 JP 4788477 A JP4788477 A JP 4788477A JP 4788477 A JP4788477 A JP 4788477A JP S586384 B2 JPS586384 B2 JP S586384B2
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JP
Japan
Prior art keywords
iron piece
rod
movable iron
optical deflector
fixed
Prior art date
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Expired
Application number
JP4788477A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS53133453A (en
Inventor
谷元昭一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Publication date
Application filed by Nippon Kogaku KK filed Critical Nippon Kogaku KK
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Publication of JPS53133453A publication Critical patent/JPS53133453A/ja
Publication of JPS586384B2 publication Critical patent/JPS586384B2/ja
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光源からの光束を偏向させる捩れ振動型光偏向
器に関する。
従来の捩れ振動型光偏向器について、その平面図である
第1a図、その正面図である第1b図に基づいて説明す
る。
第1a,lb図において、強磁性体でないバネ材、例え
ばリン青銅の棒1を、その一端1aで基体7に固定し、
他端1bには鏡4を棒1の中心軸上に、中心軸と鏡4の
面を一致させて固定する。
他端1bに可動鉄片5を貫通させて棒1と垂直にかつ左
右均等に固定し、可動鉄片5の周囲にコイル2を互いに
接触しない様に巻《。
このコイル2は永久磁石3に固定された固定鉄片6に固
定され、固定鉄片6は端部6a,6b,6c,6dを有
している。
端部6a,6b,6c,6dは永久磁石3により、磁化
されており、第1a図の如《、端部5a,5bが同極で
、端部6c,6dが端部5a,5bに相反する極である
可動鉄片5の一端5aが固定鉄片6の端部5a,5dの
間に、他端5bが端部5b,5cの間に、互いに接触し
ないように可動鉄片5と固定鉄片6とが設けられている
以上の如《捩れ振動型光偏向器は、棒1と可動鉄片5と
鏡4とから成る捩れ振動子と、捩れ振動子に回転モーメ
ントを与える為の電磁コイル2と磁石3とから構成され
ている。
棒1、可動鉄片5、鏡4から構成される捩れ振動子の共
振周波数に等しい、又は近似の周波数の交流をコイル2
に流し、可動鉄片5の両端5a、及び5bの極性を交互
に反転させることにより、捩れ振動子に繰返し反転する
回転モーメントを与える。
その結果、鏡4は棒1の軸を中心に振動回転され、自身
への入射する光を偏向させて出射していた。
しかるに、鏡4の振動周波数を高《する為には即ち高い
共振周波数を得る為には、棒1の軸の回りの慣性モーメ
ントを小さくする必要があり、その為には可動鉄片5を
短かくする必要がある。
しかし、可動鉄片5を短《すると元来コイル2を設ける
為の空間が狭いところ、更にその空間を狭めてしまい、
その結果コイル2の巻線を少なくしてしまう。
従来の光偏向器は慣性モーメントを小さくする為に可動
鉄片5の長さを短か《し、それにコイルを巻いていたの
で棒1を駆動させる為の回転モーメントが小さ《なると
いう欠点をもっていた。
本発明の目的は、慣性モーメントを太き《することな《
、棒に大きな回転モーメントを与え、かつ大きな共振周
波数をもった共振型捩れ振動子を有する光偏向器を提供
することである。
本発明の実施例を第2a図、第2b図に基づいて説明す
る。
第2a図は本実施例の平面図、第2b図は正面図を表わ
す。
第2a,2b図において、アルミ合金製の基体21に強
磁性体のバネ材、例えば鋼製の棒21の一端21aを固
定し、他端21bには前述の従来の光偏向器と全く同様
に鏡24を棒21の中心軸上に、中心軸と鏡24の面を
一致させて設け、かつ他端21bに可動鉄片25を棒2
1内を貫通させて、棒21と垂直にかつ左右均等に固設
する。
第2a,2b図の如《、可動鉄片25の形状は棒21よ
り非常に小さい。
固定鉄片26を、基体2γに固定された永久磁石23a
,23bに固定する。
この固定鉄片26は端部26a,26b,26c,26
dを有し、第2図の如く、永久磁石23a,23bによ
り磁化されており、端部26a,26Cが同極例えばN
極で、端部26b,26dが端部ブ6a,26cと逆の
極、例えばS極である。
端子26a,26dの間には可動鉄片25の一端25a
が、端部26b,26cの間には他端25bが夫々延び
ており、互いに接触しないようになっている。
鋼性の棒21の中心軸のまわりに、コイル22を棒21
とは接触しないように巻匂棒21、可動鉄片25、鏡2
4から決定される捩れ振動子の共振周波数に等しいか、
または近似の周波数の交流電流をコイル22に流すと棒
21の軸方向に磁場が生じ、例えば固定端21aをS極
、自由端2lbをN極とすると、可動鉄片25はN極と
なり、可動鉄片25の一端25aは固定鉄片のS極の端
部26d側へ、他端25bはS極の端部26b側に夫々
吸引される。
更に棒21の極性即ち、可動鉄片25の極性を交流電流
で交互に反転させることにより捩れ振動子に繰返し反転
する回転モーメントが加わり、その結果鏡24は棒21
の中心軸を中心に振動回転され、自身へ入射する光を偏
向させて出射する。
例えば、棒21に直径2.6mm、長さ40mmの鋼製
の丸棒を用い、可動鉄片25に縦2mm、横0.5mm
、長さ11mmの棒を用い、鏡24に直径8mmのもの
を用いた場合、8KHzの共振周波数が得られ、巻線回
数750のコイルに交流電流の振幅50mAの正弦波の
駆動信号を加えると鏡24からの出射光線の捩れ角が3
0分となる。
可動鉄片は、慣性モーメントを小さくする為に小さいも
のが要求され、その結果コイルの巻線に制限が生じる。
この可動鉄片にコイルを巻《従来技術と異なり、本発明
で大きい棒にコイルを巻《理由は、コイルの巻線を増加
でき、従って磁力を強《でき、回転モーメントを大きく
できるからである。
また回転モーメントを太き《できることから、本発明で
は棒21にバネ定数の大きい物質を使用でき、共振周波
数がバネ定数に正比例するので共振周波数を大きくでき
る結果、偏向の速さを増すことができるからである。
尚、上述の実施例では棒21、可動鉄片25、鏡24か
ら構成される捩れ振動子の共振周波数に等しいか、又は
近似の周波数の交流覗流をコイル22に流し、固定鉄片
26に一定の磁極を与える為に永久磁石23を用いたが
、上述の関係とは逆に、棒21及び可動鉄片に一定の磁
極を与える為にゴイル22に直流電流を流し、かつ上述
の永久磁石23a,23bを電磁石に代えてもよい。
具体的には永久磁石23a,23bの組み込まれた部分
の材質を交流磁場を発生させるのに適した材料に変更し
、その囲りにコイルを巻いて、電磁石とする。
電磁石のコイルは2個あるが、両者のコイルの接続は直
列でもよいし並列でもよい。
但し、2つの電磁石のコイルに通電した時の極性は、第
2a図の永久磁石23a,23bの極性と同じか、又は
永久磁石23a,23bの両方の磁石の極性を変えた極
性と同じでなければならない。
この2個のコイルに捩れ振動子の共振周波数に等しいか
又は近似の周波数の交流電流を流して固定鉄片の端部2
6a,26cと端部25b,26dとが交互に磁極を反
転する如《固定鉄片26に磁化を与えれば、光走査装置
として動作する。
また、本実施例では可動鉄片25を棒21に貫通させて
固設したが、貫通させずに埋設してもよい。
尚、可動鉄片25は純鉄はもちろんのこと、鉄を主成分
とした材料、例えば電磁軟鉄、パ−マロイ等でもよい。
更に、本実施例では鏡24の面と棒21の中心軸とを一
致する如く鏡24を設けたが、必ずしも一致させて用い
る必安はない。
以上、本発明によれば、コイルを捩れ振動子の棒に取付
けることからコイルの巻線の断面積及び長さを増すこと
ができるので、慣性モーメントを大きくすることなく可
動鉄片に大きな回転モーメントを与えられ、かつ共振周
波数を大きくした捩れ振動子を有する光偏向器を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1a図、第1b図は従来の捩れ振動型光偏向器の平面
図、正面図を示し、第2a図、第2b図は本発明の実施
例の平面図、正面図を示す。 〔主要部分の符号の説明〕、21・・一・・・棒、22
・・・・・コイル、25・・・・・・可動鉄片、23a
,23b・・・・・永久磁石、24・・・・・・鏡、2
6・・・・・・固定鉄片。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光束を偏向させる捩れ振動型光偏向器において、 強磁性体のバネ材から成り、かつその一端を基体に固定
    した棒と:該棒から突出する如く該棒の前記一端から離
    れた位置に固設した強磁性体の可動鉄片と;前記棒の池
    端に固設した鏡と;前記棒と接触しないように、棒の長
    手方向の軸の周囲に設けられて、通電することにより、
    前記可動鉄片及び前記棒を磁化する為の電磁コイルと;
    前記可動鉄片と接触しないように、可動鉄片の両端の周
    囲に設げられて、前記俸を振動回転させる為に、前記可
    動鉄片を前記棒の軸を中心に振動回転させる磁石手段と
    を有することを特徴とする捩れ振動型光偏向器。 2 前記電磁コイルによって磁化された前記可動鉄片か
    前記磁石手段のいずれか一方が時間的にその磁気極性を
    変化させることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の光偏向器。 3 前記電磁コイルに交流を流して、前記可動鉄片の磁
    気極性を時間的に変化させることを特徴とする特許請求
    の範囲第2項記載の光偏向器。 4 前記電磁コイルに直流を流し、前記磁石手段に交流
    を流して、該磁石手段の磁気極性を時間的に変化させる
    ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の光偏向器
    。 5 前記可動鉄片は前記棒に略垂直に、かつ左右均等に
    固設したことを特徴とする特許請求の範囲第1、2、3
    または第4項記載の光偏向器。 6 前記磁石手段の磁気極性を、固定鉄片の端部26a
    ,26b,26c,26dがS,N,S、Nのように交
    互に配列するようになしたことを特徴とする特許請求の
    範囲第1、2、3又は第4項に記載の光偏向器。 7 前記固定鉄片の端部26a,26dの間に前記可動
    鉄片の一端25aが、端部26b,26cの間に他端2
    5bが延び、互いに接触しないようになっていることを
    特徴とする特許請求の範囲第6項に記載の光偏向器。
JP4788477A 1977-04-27 1977-04-27 捩れ振動型光偏向器 Expired JPS586384B2 (ja)

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JPS53133453A JPS53133453A (en) 1978-11-21
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