JPS5861831A - 光照射装置 - Google Patents
光照射装置Info
- Publication number
- JPS5861831A JPS5861831A JP56159691A JP15969181A JPS5861831A JP S5861831 A JPS5861831 A JP S5861831A JP 56159691 A JP56159691 A JP 56159691A JP 15969181 A JP15969181 A JP 15969181A JP S5861831 A JPS5861831 A JP S5861831A
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- JP
- Japan
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- lamp
- filter
- rays
- reflector
- ozone
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 9
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/123—Ultraviolet light
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は紫外線を照射する光照射装置に関する。
紫外線を照射する光照射装置は一般に公害上の問題から
オゾンが発生しない放電ランプを用いている０しかし、
オゾンが発生するランプはオゾン度高いものである。そ
して、このオゾンが発生するランプを用いる場合はたと
えば特開昭５１−１４１４８９号会報に見られるように
、管形ランプを液体導管ジャケットで取囲み、この筐体
導管ジャ洩を防止している。
オゾンが発生しない放電ランプを用いている０しかし、
オゾンが発生するランプはオゾン度高いものである。そ
して、このオゾンが発生するランプを用いる場合はたと
えば特開昭５１−１４１４８９号会報に見られるように
、管形ランプを液体導管ジャケットで取囲み、この筐体
導管ジャ洩を防止している。
しかし、このものは脱イオン化器を用いることから、構
造が豪雑となり高価となる欠点がある。
造が豪雑となり高価となる欠点がある。
本発明は上述の事情を！慮してなされたもので、オゾン
処理装置などを用いずに装置外にオゾンが漏れないよう
にし、簡単な構造でランプ冷却も容易に行なえるように
した光照射装置を提供することを目的とする。
処理装置などを用いずに装置外にオゾンが漏れないよう
にし、簡単な構造でランプ冷却も容易に行なえるように
した光照射装置を提供することを目的とする。
本発明は冷却用流体によって強制冷却される反゛射体に
紫外線ランプを収容し、反射体の投光開口を内部に冷却
媒体を通流させてなる紫外線透過性フィルタで閉そくす
るようにしたことを特徴とするＯ 以下、本発明の詳細を図示実施例を参照して説明する。
紫外線ランプを収容し、反射体の投光開口を内部に冷却
媒体を通流させてなる紫外線透過性フィルタで閉そくす
るようにしたことを特徴とするＯ 以下、本発明の詳細を図示実施例を参照して説明する。
１は反射体で、この反射体１は投光開口２を有して凹形
に形成されている。そして、この反射体１はたとえば背
面に冷却用流体３０通流路４を設け、この通流路４にた
とえば水などの冷却用流体３を通流させて強制的に冷却
するように形成されている。５は紫外線ランプで、この
２ンプ５はオゾンが発生するものを可として、管形に形
成され、上記反射体１に収容されている。６はフィルタ
で、このフィルタ６は紫外線透過性で、かつオゾンをし
ゃ断するたとえば酸化チタンを含んだ石英ガラスで中空
に形成されるーことを可とする。
に形成されている。そして、この反射体１はたとえば背
面に冷却用流体３０通流路４を設け、この通流路４にた
とえば水などの冷却用流体３を通流させて強制的に冷却
するように形成されている。５は紫外線ランプで、この
２ンプ５はオゾンが発生するものを可として、管形に形
成され、上記反射体１に収容されている。６はフィルタ
で、このフィルタ６は紫外線透過性で、かつオゾンをし
ゃ断するたとえば酸化チタンを含んだ石英ガラスで中空
に形成されるーことを可とする。
そして、このフィルタ６は上記投光開口２彎閉そくして
配設されている。このフィルタ６は投光８口２を必ずし
も密閉されることを要さないもので、反射体２内の空気
が不所望に通流しないものであれば若干の間隙があって
もよい０７はフィルタ６内に通流される冷却媒体で、こ
の冷却媒体７はたとえば純水であシ、復製させてフィル
タ６内を通流させてランプ５からの熱線を除去するもの
であることを可とする。
配設されている。このフィルタ６は投光８口２を必ずし
も密閉されることを要さないもので、反射体２内の空気
が不所望に通流しないものであれば若干の間隙があって
もよい０７はフィルタ６内に通流される冷却媒体で、こ
の冷却媒体７はたとえば純水であシ、復製させてフィル
タ６内を通流させてランプ５からの熱線を除去するもの
であることを可とする。
つぎに、作用について説明する０ラン”プ５を点灯する
とともに反射体２の通流路４に冷却用流体３を通流させ
ることによ〕反射体２が強制冷却されるとともにランプ
ｌも冷却されるみすると、ランプ１からは紫外線および
熱線が放射されるとともにオゾンが発生する０そして、
放射された紫外線および熱線は投光開口２から直接放射
され、また、反射体１で反射した紫外線および熱線も投
光開口２から放射されてフィルタ６に入射する。ここで
冷却媒体７によって大部分の熱線が除去されて紫外線が
フィルタ６を透過して外方に放射される。このとき、ラ
ンプ１から発生したオゾンは；投光開口２を閉そくして
設けられたフィルタ６によってしゃ断されて反射体２か
ら外部（＝漏れることがなく、紫外線のみが外方に照射
される。したがって、オゾンが発生するランプを用いて
も公害問題をおこすことなく、またオゾン処理装置をも
必要としないものである。
とともに反射体２の通流路４に冷却用流体３を通流させ
ることによ〕反射体２が強制冷却されるとともにランプ
ｌも冷却されるみすると、ランプ１からは紫外線および
熱線が放射されるとともにオゾンが発生する０そして、
放射された紫外線および熱線は投光開口２から直接放射
され、また、反射体１で反射した紫外線および熱線も投
光開口２から放射されてフィルタ６に入射する。ここで
冷却媒体７によって大部分の熱線が除去されて紫外線が
フィルタ６を透過して外方に放射される。このとき、ラ
ンプ１から発生したオゾンは；投光開口２を閉そくして
設けられたフィルタ６によってしゃ断されて反射体２か
ら外部（＝漏れることがなく、紫外線のみが外方に照射
される。したがって、オゾンが発生するランプを用いて
も公害問題をおこすことなく、またオゾン処理装置をも
必要としないものである。
本発明の詳細を図示実施例について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではない。たとえば反射体を冷
却する冷却用流体は空気、フロンガスなどの気体であっ
てもよい。また、反射体の冷却は反射体の外面に複数の
管状の通流路を設けたものであってもよい。
はこれに限定されるものではない。たとえば反射体を冷
却する冷却用流体は空気、フロンガスなどの気体であっ
てもよい。また、反射体の冷却は反射体の外面に複数の
管状の通流路を設けたものであってもよい。
以上詳述したよう（：本発明は冷却用流体によって強制
冷却される反射体に紫外線ランプを収容し、反射体の投
光開口を内部に冷却媒体を通流させてなる紫外線透過性
フィルタで閉そくするようにしたものである。
冷却される反射体に紫外線ランプを収容し、反射体の投
光開口を内部に冷却媒体を通流させてなる紫外線透過性
フィルタで閉そくするようにしたものである。
したがって、フィルタによってオゾンの装置外ことがで
き、構造が簡単で安価となる。しかもランプは強制的（
二冷却された反射体によって良好に冷却されるので、安
定した点灯状態が保持でき、 □短寿命となるのが良
好に防止される。
き、構造が簡単で安価となる。しかもランプは強制的（
二冷却された反射体によって良好に冷却されるので、安
定した点灯状態が保持でき、 □短寿命となるのが良
好に防止される。
１・・・反射体、 ２−・投光開口、３・・・
冷却用流体、 ５−・・紫外線ランプ、４・・・通
流路、 ６・・・フィルタ、７・・・冷却媒体
。 特許出願人 東芝電材株式会社 代理人 弁理士 小野１）芳 弘
冷却用流体、 ５−・・紫外線ランプ、４・・・通
流路、 ６・・・フィルタ、７・・・冷却媒体
。 特許出願人 東芝電材株式会社 代理人 弁理士 小野１）芳 弘
Claims (3)
- （１） 投光開口を有し冷却用流体によって強制的に
冷却される反射体と、 この反射体に収納された紫外線ランプと、上記投光開口
を閉そくし内部に冷却媒体を通流させてなる紫外線透過
性のフィルタと、を具備したことを゛特徴とする光照射
装置。 - （２）前記フィルタは酸化チタンを含む石英ガラスで形
成されていることを特徴とする特許請求の範囲（１）記
載の光照射装置。 - （３）前記フィルタ内に通流する冷却媒体は純水である
ことを特徴とする特許請求の範１！Ｉ （１）または（
２）記載の光照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56159691A JPS5861831A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | 光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56159691A JPS5861831A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | 光照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5861831A true JPS5861831A (ja) | 1983-04-13 |
Family
ID=15699206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56159691A Pending JPS5861831A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | 光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5861831A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197834U (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-23 | ||
| GB2372557A (en) * | 2001-02-27 | 2002-08-28 | Nordson Corp | Cooled lamp assembly for curing a coating |
| US7077547B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-07-18 | Nordson Corporation | Shuttered lamp assembly and method of cooling the lamp assembly |
| WO2008010949A2 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-24 | Qc Solutions, Inc. | Method and apparatus for forming an oxide layer on semiconductors |
| JP2009072700A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
| US7686473B2 (en) | 2007-04-19 | 2010-03-30 | Nordson Corporation | Lamp assembly |
-
1981
- 1981-10-07 JP JP56159691A patent/JPS5861831A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197834U (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-23 | ||
| JPH0452992Y2 (ja) * | 1984-12-04 | 1992-12-14 | ||
| GB2372557A (en) * | 2001-02-27 | 2002-08-28 | Nordson Corp | Cooled lamp assembly for curing a coating |
| US6619819B2 (en) | 2001-02-27 | 2003-09-16 | Nordson Corporation | Lamp assembly |
| GB2372557B (en) * | 2001-02-27 | 2005-05-04 | Nordson Corp | Lamp assembly |
| US7077547B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-07-18 | Nordson Corporation | Shuttered lamp assembly and method of cooling the lamp assembly |
| WO2008010949A2 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-24 | Qc Solutions, Inc. | Method and apparatus for forming an oxide layer on semiconductors |
| WO2008010949A3 (en) * | 2006-07-20 | 2008-04-10 | Qc Solutions Inc | Method and apparatus for forming an oxide layer on semiconductors |
| US7686473B2 (en) | 2007-04-19 | 2010-03-30 | Nordson Corporation | Lamp assembly |
| JP2009072700A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
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