JPS5859701A - ５軸制御形磁気軸受の振動切削法 - Google Patents
５軸制御形磁気軸受の振動切削法Info
- Publication number
- JPS5859701A JPS5859701A JP15905281A JP15905281A JPS5859701A JP S5859701 A JPS5859701 A JP S5859701A JP 15905281 A JP15905281 A JP 15905281A JP 15905281 A JP15905281 A JP 15905281A JP S5859701 A JPS5859701 A JP S5859701A
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- JP
- Japan
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- magnetic bearing
- spindle
- winding coil
- axial
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/02—Driving main working members
- B23Q5/027—Driving main working members reciprocating members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/08—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting
- B26D7/086—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting by vibrating, e.g. ultrasonically
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、少なくとも１個の軸方向磁気軸受と、少な
くとも２個の半径方向磁気ｌ１ｑｌＩ党ｔｉ＃えた５軸
制御形磁気軸受に於いて、スピンドルを無接１− 触磁気支持する為に磁気軸受に設けられた制御用巻線コ
イルの他に、振動切削用巻線コイルを別に備えた電力装
置で励磁せしめ、その電力装置は振動波形発生装置から
の信号に二って駆動される工うに構成し、スピンドルを
任意の振動姿態で振動切削可能ならしめた５軸制御形磁
気軸受の振動切削法に関するものである。 従来から、非接触形軸受と振動切削を組み合わせること
にエリ超精密力ロエが可能とされているが、磁気軸受を
応用した一般工作機械用スビンドルに関して具体口に振
動切削法を明らかにした文献等は存在しなりようである
。 第１図は、５軸制御形磁気軸受を応用した工１′Ｅ機械
用スピンドルの一般的構成図である。図に於いて、１は
軸方向位置検出器、２は被支持物であルスピン）−ル、
３はスピンドル２にＩＰｌり付けられた軸方向位置検出
器１に対するターゲット、４けスピンドル２を回転せし
めるモータ、５はスピンドル２に取り付けられた了−マ
チャディスク、６は軸方向磁気軸受、７は軸方向巻線コ
イＪｌ／、８ ’／’１２− 半径方向磁気軸受、９リ−半径方向磁気軸受８の右記−
コイル、Ｈｌは別の半径方向磁気ＩＩＩＩＩＩ受、１１
は半径方向磁気軸受用の巻線コイル、１２は半径方向位
置検出器、１：つは別の半径方向位ｆｆり検出器、１４
妊フレームである。第１図の構造を有する５軸制御形磁
＜ｚ＋ ｍｌ受に於いて、スピンドル２を無接触磁気支
持する制御装置の構成法につい千ｉｔ、仏特許２１４９
６４４号等に詳しぐ解活しである。一般的に、個１方向
についてシ」、軸方向位置検出器１からの位置信号を電
気信号に変換し、その信号を位相補償回路等で処理して
Ｈｉｌｌ徊１信号と信号前記制御信号に応じて電力南中
１”１〜器全駆動せしめ軸方向巻線コイル７ｆｆ励磁す
る方法が採られてｂる。父、半径方向につＩ／１″ｒは
、軸方向２箇所に設けた半径方向位置＋ｉ出器１２ 、
１３からの位揃″悟−号を電気信号に変換し、軸方向と
直父する２つのｌｌｌ１ｌｊについての並進運動と回転
運動成分を表わす電気信号を前記位置電気イぎ号の演舞
−処理にエリ求め、史に、前進運動及び回転運動を示す
電気イぎ号は夫々位相補償回路等で処世」を・受けてＨ
ｉｌｌ命１措−弓となり、角ｉｌａピロ川偵用１侶号幻
ｐ」び３− 演箕処理をほどこされ、半径方向巻線コイル８あるいけ
１１谷・励磁する各電力増幅器ｆ駆動すると云う方法が
採られて
くとも２個の半径方向磁気ｌ１ｑｌＩ党ｔｉ＃えた５軸
制御形磁気軸受に於いて、スピンドルを無接１− 触磁気支持する為に磁気軸受に設けられた制御用巻線コ
イルの他に、振動切削用巻線コイルを別に備えた電力装
置で励磁せしめ、その電力装置は振動波形発生装置から
の信号に二って駆動される工うに構成し、スピンドルを
任意の振動姿態で振動切削可能ならしめた５軸制御形磁
気軸受の振動切削法に関するものである。 従来から、非接触形軸受と振動切削を組み合わせること
にエリ超精密力ロエが可能とされているが、磁気軸受を
応用した一般工作機械用スビンドルに関して具体口に振
動切削法を明らかにした文献等は存在しなりようである
。 第１図は、５軸制御形磁気軸受を応用した工１′Ｅ機械
用スピンドルの一般的構成図である。図に於いて、１は
軸方向位置検出器、２は被支持物であルスピン）−ル、
３はスピンドル２にＩＰｌり付けられた軸方向位置検出
器１に対するターゲット、４けスピンドル２を回転せし
めるモータ、５はスピンドル２に取り付けられた了−マ
チャディスク、６は軸方向磁気軸受、７は軸方向巻線コ
イＪｌ／、８ ’／’１２− 半径方向磁気軸受、９リ−半径方向磁気軸受８の右記−
コイル、Ｈｌは別の半径方向磁気ＩＩＩＩＩＩ受、１１
は半径方向磁気軸受用の巻線コイル、１２は半径方向位
置検出器、１：つは別の半径方向位ｆｆり検出器、１４
妊フレームである。第１図の構造を有する５軸制御形磁
＜ｚ＋ ｍｌ受に於いて、スピンドル２を無接触磁気支
持する制御装置の構成法につい千ｉｔ、仏特許２１４９
６４４号等に詳しぐ解活しである。一般的に、個１方向
についてシ」、軸方向位置検出器１からの位置信号を電
気信号に変換し、その信号を位相補償回路等で処理して
Ｈｉｌｌ徊１信号と信号前記制御信号に応じて電力南中
１”１〜器全駆動せしめ軸方向巻線コイル７ｆｆ励磁す
る方法が採られてｂる。父、半径方向につＩ／１″ｒは
、軸方向２箇所に設けた半径方向位置＋ｉ出器１２ 、
１３からの位揃″悟−号を電気信号に変換し、軸方向と
直父する２つのｌｌｌ１ｌｊについての並進運動と回転
運動成分を表わす電気信号を前記位置電気イぎ号の演舞
−処理にエリ求め、史に、前進運動及び回転運動を示す
電気イぎ号は夫々位相補償回路等で処世」を・受けてＨ
ｉｌｌ命１措−弓となり、角ｉｌａピロ川偵用１侶号幻
ｐ」び３− 演箕処理をほどこされ、半径方向巻線コイル８あるいけ
１１谷・励磁する各電力増幅器ｆ駆動すると云う方法が
採られて
【八る。
第１図の５軸ｆｌｉｌｌ省■１形磁気軸受に於いて、ス
ピンドル２を任意の振動姿態で振動させて切削を実施す
る為の本発明に関する一構成例を第２図に示す。 図に於いて、１５は半径方向磁気軸受８に設けた振動切
削用巻線コイル、１６は半径方向磁気軸受１０に設けた
振卯）切削用巻線コイル、１７は軸方向磁気軸受６に設
けたり１１１方向振動切削用巻線コイルである。第２図
によると、スピンドル２の無接触磁気支持は半径方向の
％紳コイル９，１１及び軸方向巻線コイル７が担当し、
スピンドル２を任意に振動させるためには、振佃１切削
用巻線コイル１５ 、 ］６及び軸方向振動切削用巻線
コイル１７がその役割′ｆ４ｕう工うにすることができ
る。 第３図は、スピンドル２を軸方向に振動さぜるＫｉ制御
装置の一構成例を示してｔハる。図に放論て、１８は位
１＊′検出回ｊ！ｂ、１９１’ｊダイポール補償回路、
２０は位相補償回路、２１は電力増幅器、２２は振動波
形４− 発生装置１″、”Ｊ、 ２．’３は電力装置である。軸
方向のｆＩｉＥ接触支持は、軸方向位置検出器１の位置
信号を１〜ｒ置検高検出】８で知′、気イ古号に変換し
、前記事気化号ｖ］１ダイポール補償回路１９及び位相
補償回路側を通ってｆｌｉ！ｌ白１情号とな信号制ｉ＋
ｌ＜ｇ号に応じて電力増幅器２１を駆動して軸方向巻線
コイルを励磁することに工す要項される。父、軸方向の
振動は、周波数、波形、振幅が任意に８９′定できる振
動波形発生装置２２からのイぎ号全電力装飯ｚ３が受け
、軸方向振動切削用巻線コイルを励磁することにより要
項できる。 尚、第３図の方法は、軸方向の縦振動が実印できるのみ
であるが、半径方向において例えばねじり振動等の振Ｅ
Ｉｆ１１を発生せしめ工うとする場合も本質的に１第３
図に示す方法と同掃である。すなわち、振！ＩＩＩＩ！
；７Ｉ削用巻線コイル１５ 、１６を励磁する複数個の
知力装飽−２３を（＋ｉｆｆえ、振動波形発生装置２２
の１弓号を所望の振！Ｉ０１姿態に応じて処理を施した
電気信号で初数個の電力装置４２３を駆動すれば艮い。 以上、本発明１ｌ−１５軸制御形磁気軸受を応用した一
般工ｆｔｇ機械用スピンド′ルに於いて振動切削の実５
− 功をはかる為の方法ｆ提供したものであす、ツ［■ヒ接
触磁気支持の為の制御装置と振動切削用の器側１装屓が
分離されて【／−するので、ｉＩＩ制御装ｆｉ−１全体
の毅旧を複雑にすることかないと云う傷−ｇＩをイイす
る。
ピンドル２を任意の振動姿態で振動させて切削を実施す
る為の本発明に関する一構成例を第２図に示す。 図に於いて、１５は半径方向磁気軸受８に設けた振動切
削用巻線コイル、１６は半径方向磁気軸受１０に設けた
振卯）切削用巻線コイル、１７は軸方向磁気軸受６に設
けたり１１１方向振動切削用巻線コイルである。第２図
によると、スピンドル２の無接触磁気支持は半径方向の
％紳コイル９，１１及び軸方向巻線コイル７が担当し、
スピンドル２を任意に振動させるためには、振佃１切削
用巻線コイル１５ 、 ］６及び軸方向振動切削用巻線
コイル１７がその役割′ｆ４ｕう工うにすることができ
る。 第３図は、スピンドル２を軸方向に振動さぜるＫｉ制御
装置の一構成例を示してｔハる。図に放論て、１８は位
１＊′検出回ｊ！ｂ、１９１’ｊダイポール補償回路、
２０は位相補償回路、２１は電力増幅器、２２は振動波
形４− 発生装置１″、”Ｊ、 ２．’３は電力装置である。軸
方向のｆＩｉＥ接触支持は、軸方向位置検出器１の位置
信号を１〜ｒ置検高検出】８で知′、気イ古号に変換し
、前記事気化号ｖ］１ダイポール補償回路１９及び位相
補償回路側を通ってｆｌｉ！ｌ白１情号とな信号制ｉ＋
ｌ＜ｇ号に応じて電力増幅器２１を駆動して軸方向巻線
コイルを励磁することに工す要項される。父、軸方向の
振動は、周波数、波形、振幅が任意に８９′定できる振
動波形発生装置２２からのイぎ号全電力装飯ｚ３が受け
、軸方向振動切削用巻線コイルを励磁することにより要
項できる。 尚、第３図の方法は、軸方向の縦振動が実印できるのみ
であるが、半径方向において例えばねじり振動等の振Ｅ
Ｉｆ１１を発生せしめ工うとする場合も本質的に１第３
図に示す方法と同掃である。すなわち、振！ＩＩＩＩ！
；７Ｉ削用巻線コイル１５ 、１６を励磁する複数個の
知力装飽−２３を（＋ｉｆｆえ、振動波形発生装置２２
の１弓号を所望の振！Ｉ０１姿態に応じて処理を施した
電気信号で初数個の電力装置４２３を駆動すれば艮い。 以上、本発明１ｌ−１５軸制御形磁気軸受を応用した一
般工ｆｔｇ機械用スピンド′ルに於いて振動切削の実５
− 功をはかる為の方法ｆ提供したものであす、ツ［■ヒ接
触磁気支持の為の制御装置と振動切削用の器側１装屓が
分離されて【／−するので、ｉＩＩ制御装ｆｉ−１全体
の毅旧を複雑にすることかないと云う傷−ｇＩをイイす
る。
第１図は、５軸制御形磁気軸受を応用１〜に工作機械用
スピンドルの一般的構成を示す断面ツ１、第２図は、本
発明の一実施例を示す断面図、第３図は、本発明に関す
る制御装置の一実施例を示す構成図である。 図に於いて、１は軸方向位置検出器、２はスピンドル、
３にターゲット、４けモータ、５は了−ムチャナイスク
、６は軸方向磁気軸受、７は軸方向巻線コイル、８．Ｈ
ｌは半径方向磁気軸受、９゜１１は巻線コイル、１２
、１３は半径方向位ｈ５恢出器、１４はフレーム、１５
、１（ｉは振動切削用巻線コイル、１７は軸方向振動
切削用巻線コイル、１８は位置恢出回ｊｉＭ、１９はダ
イポール補償回路、２０は位相補償回路、２１は電力増
幅器、２２け振動波形発生装置、２；３６− け電力装竹である。 尚、図中同一部分及び相当部分は同一符号で示す。 以 上 出願人 株式会社第二梢工舎 代理人 弁理士層 十 務 ７−
スピンドルの一般的構成を示す断面ツ１、第２図は、本
発明の一実施例を示す断面図、第３図は、本発明に関す
る制御装置の一実施例を示す構成図である。 図に於いて、１は軸方向位置検出器、２はスピンドル、
３にターゲット、４けモータ、５は了−ムチャナイスク
、６は軸方向磁気軸受、７は軸方向巻線コイル、８．Ｈ
ｌは半径方向磁気軸受、９゜１１は巻線コイル、１２
、１３は半径方向位ｈ５恢出器、１４はフレーム、１５
、１（ｉは振動切削用巻線コイル、１７は軸方向振動
切削用巻線コイル、１８は位置恢出回ｊｉＭ、１９はダ
イポール補償回路、２０は位相補償回路、２１は電力増
幅器、２２け振動波形発生装置、２；３６− け電力装竹である。 尚、図中同一部分及び相当部分は同一符号で示す。 以 上 出願人 株式会社第二梢工舎 代理人 弁理士層 十 務 ７−
Claims (1)
- 少なくとも１個の軸方向磁気軸受と、少々ぐとも２個の
半径方向磁槃、軸受を備えた、めわゆる５軸制御形磁気
軸受を一般丁昨機械用に応用したスピンドルを使用して
撮動切削する場合、スピンドルを無接触磁気支持する為
の制御用巻線コイルの他に振動切削用巻線コイルを別に
備え、上記振動切削用巻線コイルを励磁する電力装置と
、上記電力装置を駆動してスピンドルを任意の振動姿態
で振動させる為の振動波形発生装置を備えたことを特徴
とする５軸制御形磁気軸受の振動切削法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905281A JPS5859701A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | ５軸制御形磁気軸受の振動切削法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905281A JPS5859701A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | ５軸制御形磁気軸受の振動切削法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859701A true JPS5859701A (ja) | 1983-04-08 |
Family
ID=15685169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15905281A Pending JPS5859701A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | ５軸制御形磁気軸受の振動切削法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859701A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006002675A1 (de) * | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Sauer Gmbh | Schwingkopf-werkzeug |
| JP2010105324A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Ngk Insulators Ltd | フィルム貼付装置及びフィルム貼付け方法 |
-
1981
- 1981-10-06 JP JP15905281A patent/JPS5859701A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006002675A1 (de) * | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Sauer Gmbh | Schwingkopf-werkzeug |
| US8240396B2 (en) | 2004-07-02 | 2012-08-14 | Sauer Gmbh | Tool with an oscillating head |
| JP2010105324A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Ngk Insulators Ltd | フィルム貼付装置及びフィルム貼付け方法 |
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