JPS5859544A - Ｘ線管用タ−ゲツトの製造方法 - Google Patents
Ｘ線管用タ−ゲツトの製造方法Info
- Publication number
- JPS5859544A JPS5859544A JP56154880A JP15488081A JPS5859544A JP S5859544 A JPS5859544 A JP S5859544A JP 56154880 A JP56154880 A JP 56154880A JP 15488081 A JP15488081 A JP 15488081A JP S5859544 A JPS5859544 A JP S5859544A
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- JP
- Japan
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- copper
- target
- sic
- boat
- target button
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｘ線管中で電子線の照射を受けＸ＠を発する
ターゲットの製造方法に関する。
ターゲットの製造方法に関する。
Ｘ線管中で、電子線の照射を受けてＸ線を発するターゲ
ットは、第１図に示すように、円柱状ターゲットホルダ
ｌの傾斜した上面２に嵌入孔３を穿設し、この嵌入孔３
にターゲットボタン４を嵌込んで構成されている。この
ターゲットホルダ１は、一般に、高熱を発するターゲッ
トボタン４がら熱を効率よく奪うように熱伝導性の良好
な純銅棒により形成され％また、ターゲットボタン４は
タングステン（以下Ｗと略称する）又はモリブデン（以
下Ｍｏと略称する）から形成されている。
ットは、第１図に示すように、円柱状ターゲットホルダ
ｌの傾斜した上面２に嵌入孔３を穿設し、この嵌入孔３
にターゲットボタン４を嵌込んで構成されている。この
ターゲットホルダ１は、一般に、高熱を発するターゲッ
トボタン４がら熱を効率よく奪うように熱伝導性の良好
な純銅棒により形成され％また、ターゲットボタン４は
タングステン（以下Ｗと略称する）又はモリブデン（以
下Ｍｏと略称する）から形成されている。
なお、タングステン、モリブデンにはタングステン合金
、モリブデン合金を含む。
、モリブデン合金を含む。
しかして、Ｗ ＋ Ｍｏ と鋼とは単に互いに接触させ
て加熱しても接触面は融合しないので、ターゲットホル
ダ１とターゲットボタン４との接合には次のような前処
理を必要としていた。
て加熱しても接触面は融合しないので、ターゲットホル
ダ１とターゲットボタン４との接合には次のような前処
理を必要としていた。
すなわち、例えば第２図に示すようなカーボン製のボー
ト５上にターゲ・ットポタン４をのせ、その上に銅チッ
プ６をのせて水素炉内で銅の融点よ、りも十分高い温度
、すなわち約１４００℃程度に加熱する。このようにし
て、銅を流動状ＩＩＫしてＷとの親和性を向上させて、
上記ターゲットボタン４０表面に銅を薄くコーティング
する。銅コーテイングの施されたＷターゲットボタン４
は、Ｎ、ｔば真空鋳造法によって銅製のターゲットホル
ダｌと一体に接合される。
ト５上にターゲ・ットポタン４をのせ、その上に銅チッ
プ６をのせて水素炉内で銅の融点よ、りも十分高い温度
、すなわち約１４００℃程度に加熱する。このようにし
て、銅を流動状ＩＩＫしてＷとの親和性を向上させて、
上記ターゲットボタン４０表面に銅を薄くコーティング
する。銅コーテイングの施されたＷターゲットボタン４
は、Ｎ、ｔば真空鋳造法によって銅製のターゲットホル
ダｌと一体に接合される。
しかる（、上記のようなターゲットボタン４の熱処理工
程においては、ボート５の材料であるグラファイトの粉
末が高温雰囲気中で遊離し易く、これが銅チップと融合
してＷと化合し易い状態となり、往々にしてターゲット
ホルダｌとターゲットボタン４との間にタングステンカ
ーバイド（ＷＣ）層を形成し、両者の接合力を弱める欠
点があった。
程においては、ボート５の材料であるグラファイトの粉
末が高温雰囲気中で遊離し易く、これが銅チップと融合
してＷと化合し易い状態となり、往々にしてターゲット
ホルダｌとターゲットボタン４との間にタングステンカ
ーバイド（ＷＣ）層を形成し、両者の接合力を弱める欠
点があった。
本発明者等は、かかる従来の難点を解消すべく鋭意研究
をすすめたところ、ターゲットボタンの熱処理に用いる
ボートとして、シリコンカーバイド（以下ＳＩＣと略称
する）製のボートを用いることにより上記した欠点が解
消されることを見出した。
をすすめたところ、ターゲットボタンの熱処理に用いる
ボートとして、シリコンカーバイド（以下ＳＩＣと略称
する）製のボートを用いることにより上記した欠点が解
消されることを見出した。
本発明は、かかる知見に基づいてなされたもので、タン
グステン又はモリブデンからなるターゲットボタンと鋼
チップとをｓＩｃ製治具にのせ、これらを銅の融点以上
の温度で熱処理してターゲットボタン表面に銅のコーテ
ィングを施した後、ターゲットホルダに加熱加圧により
接合することを特徴とするＸ線管用ターゲットの製造方
法を提供しようとするものである。
グステン又はモリブデンからなるターゲットボタンと鋼
チップとをｓＩｃ製治具にのせ、これらを銅の融点以上
の温度で熱処理してターゲットボタン表面に銅のコーテ
ィングを施した後、ターゲットホルダに加熱加圧により
接合することを特徴とするＸ線管用ターゲットの製造方
法を提供しようとするものである。
本発明において、ボートの素材として使用するＳＩＣは
、溶融した鋼に対するぬれ特性がきわめて悪く、シたが
って、ボート中の銅チップが溶融しても浸透するような
ことはなく、熱処理工程を通じて必要量の銅をボート中
に保持することができる。
、溶融した鋼に対するぬれ特性がきわめて悪く、シたが
って、ボート中の銅チップが溶融しても浸透するような
ことはなく、熱処理工程を通じて必要量の銅をボート中
に保持することができる。
１￥ｌＶＣ，ｓｉｃは、珪素原子と炭素原子との接合が
強固であるため、高温下でも炭素が遊離して鋼中に溶は
込むようなおそれはない。また、ＳｉＣは高温下におけ
る機械的強度が大きＶｈので、耐久性にも優れている。
強固であるため、高温下でも炭素が遊離して鋼中に溶は
込むようなおそれはない。また、ＳｉＣは高温下におけ
る機械的強度が大きＶｈので、耐久性にも優れている。
しかして本発明においては、上記ターゲットボタンの表
面への銅のコーテイング性と密着性を高めるために、熱
処理に先立って予めターゲットボタンの表面を粗面化す
ることが望ましい。このような粗面化の方法としては、
例えば硝酸エツチングのような化学的処理、微細な研摩
用粒子を吹きつけるホーニング法のような機械的処理が
あるが、特に後者の方法が適している。
面への銅のコーテイング性と密着性を高めるために、熱
処理に先立って予めターゲットボタンの表面を粗面化す
ることが望ましい。このような粗面化の方法としては、
例えば硝酸エツチングのような化学的処理、微細な研摩
用粒子を吹きつけるホーニング法のような機械的処理が
あるが、特に後者の方法が適している。
この場合ターゲットボタンの表面粗さは、８〜２０μｍ
程度が適当である。
程度が適当である。
ターゲットボタンを上記範囲の表面粗さと１７゜１０〜
１００μｍの銅コーテイングを施した場合、表面の銅層
とター・ゲットボタン間の密着性は特に優れたものとな
る。
１００μｍの銅コーテイングを施した場合、表面の銅層
とター・ゲットボタン間の密着性は特に優れたものとな
る。
またさらに、第５図に示すようにＳｉＣボート７の表面
に、アルミナや窒化ボロン等の耐熱性セラミック８を１
０〜１００μｍの厚さにコーティングした場合、ＳｔＣ
ボートに熱衝撃によるクラックが生じるのが防止され、
また仮りにクラックが生じた場合でもこのクラックに流
動状態の銅が浸み込むのを防止することができる。また
、上記コーディング材は熱の輻射率が０．１〜ｏ、３、
と非常に小さいので熱処理効率の向上（処理時間の短縮
化）をはかることができる。
に、アルミナや窒化ボロン等の耐熱性セラミック８を１
０〜１００μｍの厚さにコーティングした場合、ＳｔＣ
ボートに熱衝撃によるクラックが生じるのが防止され、
また仮りにクラックが生じた場合でもこのクラックに流
動状態の銅が浸み込むのを防止することができる。また
、上記コーディング材は熱の輻射率が０．１〜ｏ、３、
と非常に小さいので熱処理効率の向上（処理時間の短縮
化）をはかることができる。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例
直径２５ｍｍ、厚さ２圓 のタングステン製のターゲッ
トボタンを１０〜１５μｍの表面粗さにホーニング処理
後、銅チップ１．０ｇとともにｓｌｃ ボートにのせて
水素炉中で１４５０”ＧＫ加熱した。
トボタンを１０〜１５μｍの表面粗さにホーニング処理
後、銅チップ１．０ｇとともにｓｌｃ ボートにのせて
水素炉中で１４５０”ＧＫ加熱した。
銅チップは約５分間で流動状態となり、表面に厚す８０
〜２００μｍの良好な銅コーテイングが形成された。
〜２００μｍの良好な銅コーテイングが形成された。
この−−ティングの成分を分析したところ、カーホンは
含有されておらず、し友がってコーティングとターゲッ
トボタンとの界面にＷｃの層は存在しなかった。
含有されておらず、し友がってコーティングとターゲッ
トボタンとの界面にＷｃの層は存在しなかった。
第１図を工率発明の実施に好適するターゲットの縦断面
図、第２図はターゲットボタンの銅コーテイング方法を
示す縦断面図、第３＠は本発明の製造方法に使用される
８１Ｃボートの一実施例を示す縦断面図である。 ！ ・・・ ターゲットホルダ ３・・・嵌入孔 ４ ・・・ ターゲットボタン ６ ・・・銅チップ ７ ・・・ Ｓ亀Ｃボート ８ ・・・耐熱性セラミック （７３１７）代理人弁理士 則近 憲佑（ほか１名） 第１図 ？、 第２図 第３図 、声 ２３９−
図、第２図はターゲットボタンの銅コーテイング方法を
示す縦断面図、第３＠は本発明の製造方法に使用される
８１Ｃボートの一実施例を示す縦断面図である。 ！ ・・・ ターゲットホルダ ３・・・嵌入孔 ４ ・・・ ターゲットボタン ６ ・・・銅チップ ７ ・・・ Ｓ亀Ｃボート ８ ・・・耐熱性セラミック （７３１７）代理人弁理士 則近 憲佑（ほか１名） 第１図 ？、 第２図 第３図 、声 ２３９−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 タングステン又はモリブデンからなるターゲット
ボタンと銅チップとをシリコンカーバイド製治具にのせ
、これらを銅の融点以上の温度で熱処理してターゲット
ボタン表面に銅のコーティングを施した後、ターゲット
ホルダに加熱加圧により接合することを特徴とするｘｌ
Ｉ管用ターゲットの製造方法。 ２、 ターゲットボタンの表面を予めホーニング仕上げ
により表面粗さを８〜２０ｓＫするζＥを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のｘ！！管用ターゲットの製造
方法。 ３、シリコンカーバイド製治具表面が、耐熱性セラミッ
クでコーティングされていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項本しくは第２項１絨のｘ！Ｉ管用ターゲッ
トの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56154880A JPS5859544A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | Ｘ線管用タ−ゲツトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56154880A JPS5859544A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | Ｘ線管用タ−ゲツトの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859544A true JPS5859544A (ja) | 1983-04-08 |
Family
ID=15593962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56154880A Pending JPS5859544A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | Ｘ線管用タ−ゲツトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859544A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6479095B1 (en) * | 1997-02-14 | 2002-11-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Composite material for heat sinks for semiconductor devices and method for producing the same |
-
1981
- 1981-10-01 JP JP56154880A patent/JPS5859544A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6479095B1 (en) * | 1997-02-14 | 2002-11-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Composite material for heat sinks for semiconductor devices and method for producing the same |
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