JPS5854781Y2 - 真空バルブ装置 - Google Patents
真空バルブ装置Info
- Publication number
- JPS5854781Y2 JPS5854781Y2 JP12439878U JP12439878U JPS5854781Y2 JP S5854781 Y2 JPS5854781 Y2 JP S5854781Y2 JP 12439878 U JP12439878 U JP 12439878U JP 12439878 U JP12439878 U JP 12439878U JP S5854781 Y2 JPS5854781 Y2 JP S5854781Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- rod
- chamber
- valves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はウェハその他のワークを少くとも２個の真空処
理室内の一方と他方とに選択的に導入すべく使用され′
る真空バルブ装置に関する。
理室内の一方と他方とに選択的に導入すべく使用され′
る真空バルブ装置に関する。
元来この種装置はその構成が簡単であると共に操作が容
易であり、更に良好な気密性を有することが要求される
。
易であり、更に良好な気密性を有することが要求される
。
本考案はか・る要求を求を満す装置を得ることをその目
的としたもので、少くとも２個の弁孔１゜１を適宜の角
度間隔に有する弁筺２内の球状の弁室３内に、外周の環
状のバッキング４を有する球状の弁体５を廻動自在に収
容すると共に該弁体５に直径線上の軸孔６を形成してこ
れにワークを着脱自在に保持するロッド７を前後に摺動
自在に気密に挿通させ、直に各弁孔１，１の内端に該弁
体５の周面と接する各環状の断面り形のバッキング８．
８を突設して成る。
的としたもので、少くとも２個の弁孔１゜１を適宜の角
度間隔に有する弁筺２内の球状の弁室３内に、外周の環
状のバッキング４を有する球状の弁体５を廻動自在に収
容すると共に該弁体５に直径線上の軸孔６を形成してこ
れにワークを着脱自在に保持するロッド７を前後に摺動
自在に気密に挿通させ、直に各弁孔１，１の内端に該弁
体５の周面と接する各環状の断面り形のバッキング８．
８を突設して成る。
本案装置は例えば第１図に明示するように弁孔１の２個
を外周に９０度間隔に配設する型式とし、これを第３図
に明示するように９０度間隔に配置される２個の真空処
理室ａ、ａの中間位置にあらしめ、ワークを画室ａ、ａ
の一方と他方とに選択的に導入すべく使用されるもので
、各弁孔１，１はその外端に気密に連る各連管す、ｂを
介して各室ａ、ａ内に連通される。
を外周に９０度間隔に配設する型式とし、これを第３図
に明示するように９０度間隔に配置される２個の真空処
理室ａ、ａの中間位置にあらしめ、ワークを画室ａ、ａ
の一方と他方とに選択的に導入すべく使用されるもので
、各弁孔１，１はその外端に気密に連る各連管す、ｂを
介して各室ａ、ａ内に連通される。
更に弁体５は全体として球状をなすと共に弁孔１．１の
反対側において外方にのびる筒状部５ａを一体に有して
その内部を軸孔６の延長部とし、ロッド７はこれを気密
に挿通して外方にのびてその外端には膨大する一体のつ
まみ７ａを備える。
反対側において外方にのびる筒状部５ａを一体に有して
その内部を軸孔６の延長部とし、ロッド７はこれを気密
に挿通して外方にのびてその外端には膨大する一体のつ
まみ７ａを備える。
この場合前記した外周のバッキング４はこれ←こ略直交
して前後の２本に施されるが一般である。
して前後の２本に施されるが一般である。
尚、図示のものでは一方の連管すの中間部に開閉自在の
扉Ｃを備え、必要に応じこれを開いてその内部のロッド
７に対してワークを着脱し得るようにした。
扉Ｃを備え、必要に応じこれを開いてその内部のロッド
７に対してワークを着脱し得るようにした。
更に図示のものでは該弁体５に両弁孔１，１の中間部に
位置して弁室３内を外部に連通ずる透孔９を備えると共
にその外端に蓋部材１０を施すが、この透孔９は必要に
応し弁室３内を一旦排気すべく利用され得る。
位置して弁室３内を外部に連通ずる透孔９を備えると共
にその外端に蓋部材１０を施すが、この透孔９は必要に
応し弁室３内を一旦排気すべく利用され得る。
その作動・を説明するに、ロッド７の外端を保持してこ
れを左右動すれば弁体５はこれに伴われて左右に廻動す
るもので、かくて軸孔６を両弁孔１，１の一方と他方と
に自在に合致させ得られ、次で該ロッド７を前進させれ
ば予めこれに保持されるワークは前進してその前方の室
ａ内に導かれると共に、次で後進させれば該室ａ内から
引出される。
れを左右動すれば弁体５はこれに伴われて左右に廻動す
るもので、かくて軸孔６を両弁孔１，１の一方と他方と
に自在に合致させ得られ、次で該ロッド７を前進させれ
ば予めこれに保持されるワークは前進してその前方の室
ａ内に導かれると共に、次で後進させれば該室ａ内から
引出される。
かくて該ワークは必要に応じ一方の室ａと他方の室ａと
に自在に導かれる。
に自在に導かれる。
このように本考案によるときは、ロッド７を左右に廻動
して２個の弁孔１，１を選択しこれに対して進退し得る
もので、かくてワークを２個の室内に選択的に的に導く
べく有利に使用し得られ、この際弁体５はその外周のバ
ッキング４により弁室３内において気密にシールされる
と共に各弁孔１゜１はその内端を各環状の断面り形のバ
ッキング８゜８でシールされ更にロッド７は軸孔６内に
おいて気密にシールされるものでかくて各室ａ内に大気
の導入がなく、その構成は簡単であると共に操作は容易
である等の効果を有する。
して２個の弁孔１，１を選択しこれに対して進退し得る
もので、かくてワークを２個の室内に選択的に的に導く
べく有利に使用し得られ、この際弁体５はその外周のバ
ッキング４により弁室３内において気密にシールされる
と共に各弁孔１゜１はその内端を各環状の断面り形のバ
ッキング８゜８でシールされ更にロッド７は軸孔６内に
おいて気密にシールされるものでかくて各室ａ内に大気
の導入がなく、その構成は簡単であると共に操作は容易
である等の効果を有する。
第１図は本案装置の１例の一部を載除した平面図、第２
図はその裁断側面図、第３図はその使用の１例の平面図
である。 １．１・・・・・・弁孔、２・・・・・・弁筺、３・・
・・・・弁室、４・・・・・・バッキング、５・・・・
・・弁体、６・・・・・・軸孔、７・・・・・・ロッド
、８・・・・・・バッキング。
図はその裁断側面図、第３図はその使用の１例の平面図
である。 １．１・・・・・・弁孔、２・・・・・・弁筺、３・・
・・・・弁室、４・・・・・・バッキング、５・・・・
・・弁体、６・・・・・・軸孔、７・・・・・・ロッド
、８・・・・・・バッキング。
Claims (1)
- 少くとも２個の弁孔１，１を適宜の角度間隔に有する弁
筺２内の球状の弁室３内に、外周の環状のバッキング４
を有する球状の弁体５を廻動自在に収容すると共に該弁
体５に直径線上の軸孔６を形成してこれにワークを着脱
自在に保持するロッド７を前後に摺動自在に気密に挿通
させ、更に各弁７Ｌ１，１の内端に該弁体５の周面と接
する各環状の断面り形のバッキング８，８を突設して成
る真空バルブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12439878U JPS5854781Y2 (ja) | 1978-09-12 | 1978-09-12 | 真空バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12439878U JPS5854781Y2 (ja) | 1978-09-12 | 1978-09-12 | 真空バルブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5597954U JPS5597954U (ja) | 1980-07-08 |
| JPS5854781Y2 true JPS5854781Y2 (ja) | 1983-12-14 |
Family
ID=29084375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12439878U Expired JPS5854781Y2 (ja) | 1978-09-12 | 1978-09-12 | 真空バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854781Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-09-12 JP JP12439878U patent/JPS5854781Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5597954U (ja) | 1980-07-08 |
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