JPS5847712U - 電−空変換器 - Google Patents

電−空変換器

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JPS5847712U
JPS5847712U JP14292581U JP14292581U JPS5847712U JP S5847712 U JPS5847712 U JP S5847712U JP 14292581 U JP14292581 U JP 14292581U JP 14292581 U JP14292581 U JP 14292581U JP S5847712 U JPS5847712 U JP S5847712U
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JP
Japan
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voltage
input signal
electro
signal source
electrical input
Prior art date
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Application number
JP14292581U
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English (en)
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JPH04264Y2 (ja
Inventor
渡辺　賀靖
見竹　優
富岡　真二郎
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来の電−空変換器を示す概、　略図
、第３図はこの考案の一実施例を示す電−空変換器を示
す接続図、第４図は第３図実施例に使用される電圧−変
位変換素子を示す図であって第一図Ａは平面図、第４図
Ｂは同横断面図、第５図は電圧−変位変換素子に電圧を
印加した場合の状態を示す図である。 １１：電圧−変位変換素子、１２：金属薄板、１３．１
４：圧電素子板、１５：ノズル、１６：増幅器、１７：
供給圧、１８：絞り、１９：パイロット弁、２０：出力
圧、２１：圧力センサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電気的入力信号源と、中央部をくり抜いた金属薄板の表
    裏に圧電素子をはり付けてなり、一端が固定され、かつ
    前記電気的入力信号源よりの電圧が金属薄板と圧電素子
    に印加された印加電圧に応じて他端が変位する電圧−変
    位変換素子と、この電圧−変位変換素子をフラッパとし
    て用いるノズル、供給圧及びノズル・フラッパ間の背圧
    に応じた出力圧を含む空気圧系と、この空気圧系の出力
    圧を電気信号に変換して前記電気的入力信号源に帰還す
    る回路とよりなる電−空変換器。
JP14292581U 1981-09-26 1981-09-26 電−空変換器 Granted JPS5847712U (ja)

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JP14292581U JPS5847712U (ja) 1981-09-26 1981-09-26 電−空変換器

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JP14292581U JPS5847712U (ja) 1981-09-26 1981-09-26 電−空変換器

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Publication Number Publication Date
JPS5847712U true JPS5847712U (ja) 1983-03-31
JPH04264Y2 JPH04264Y2 (ja) 1992-01-07

Family

ID=29935936

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JP (1) JPS5847712U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61288116A (ja) * 1985-06-14 1986-12-18 Smc Corp 電気信号−空気圧変換ユニット

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5533669A (en) * 1978-08-31 1980-03-08 Shimadzu Corp Reference pressure generator

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5533669A (en) * 1978-08-31 1980-03-08 Shimadzu Corp Reference pressure generator

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61288116A (ja) * 1985-06-14 1986-12-18 Smc Corp 電気信号−空気圧変換ユニット

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Publication number Publication date
JPH04264Y2 (ja) 1992-01-07

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